CN117445213A - 一种单晶硅棒切片机 - Google Patents
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- CN117445213A CN117445213A CN202311679493.1A CN202311679493A CN117445213A CN 117445213 A CN117445213 A CN 117445213A CN 202311679493 A CN202311679493 A CN 202311679493A CN 117445213 A CN117445213 A CN 117445213A
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- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 79
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 79
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 19
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 15
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 10
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 6
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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Abstract
本发明公开了一种单晶硅棒切片机,包括:机体,机体内转动连接有辊筒组,辊筒组包括呈三角形布置的三个辊筒,辊筒上设有高速转动的金刚线,金刚线沿预设路径缠绕辊筒,在辊筒上方形成用于切割硅棒的线网,辊筒上方设有驱动硅棒移动的硅棒进给单元;断线检测单元,断线检测单元通过在机体上设置图像采集设备,实时获取形成的线网图像,判断线网断线状态和位置。本发明利用图像采集设备实时获取切片机作业过程中的线网图像,对切片过程进行实时监控,依据当前线网和初始线网的图像对比,判断线网的断线状态和断线位置,及时发现断线状态,便于后期维护,提高了硅棒的切片作业效率。
Description
技术领域
本发明涉及光伏硅片加工技术领域,更具体地说,本发明涉及一种单晶硅棒切片机。
背景技术
光伏硅片加工时,生产出的单晶硅棒最终要经过切方和切片,将材料硅变为0.15mm后的方形硅片,这种硅片通常采用金刚线切割而成,多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割目的,在切片机使用一段时间后,金刚线频繁切割会产生拉伸变形,张力不足的情况。
现有技术中,如申请号为202320045582.X的中国专利,公开了一种金刚线切片机的绕线轮机构,其包括包括收放线辊、排线轮、张力轮以及用于支撑收放线辊的绕线室框架,切割室框架上设有安装板,安装板上设有张紧电机,张力轮设置于张紧电机,张紧电机的输出轴上可以设置胀紧套,胀紧套与张力轮配合设置,便可实现张力轮相对张紧电机可调节设置,具体地是沿着张紧电机的轴向微调,进而实现对金刚线张力的调节。当金刚线频繁张紧和切割后容易产生断裂,但此装置不具有断线检测功能,不能及时发现断线状态进行维护。因此,有必要提出一种单晶硅棒切片机,以至少部分地解决现有技术中存在的问题。
发明内容
在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念,这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
为至少部分地解决上述问题,本发明提供了一种单晶硅棒切片机,包括:
机体,机体内转动连接有辊筒组,辊筒组包括呈三角形布置的三个辊筒,辊筒上设有高速转动的金刚线,金刚线沿预设路径缠绕辊筒,在辊筒上方形成用于切割硅棒的线网,辊筒上方设有驱动硅棒移动的硅棒进给单元;
断线检测单元,断线检测单元通过在机体上设置图像采集设备,实时获取形成的线网图像,判断线网断线状态和位置。
优选的,机体一侧设置有收放线单元,收放线单元包括电机驱动的收线辊和放线辊,金刚线的两端分别连接在收线辊和放线辊上。
优选的,所述一种单晶硅棒切片机,还包括:靠近收线辊布置的第一张紧单元,第一张紧单元包括:
滑块,滑块滑动连接于机体侧壁的竖直滑槽内;
第一张紧辊,第一张紧辊转动连接于滑块上,金刚线缠绕于第一张紧辊上并且第一张紧辊靠近收线辊布置,第一张紧辊上设有压力传感器;
液压杆,液压杆连接于机体侧壁且输出端与滑块连接。
优选的,机体两侧分别连接有防护板,防护板扣设于辊筒外侧。
优选的,所述一种单晶硅棒切片机,还包括:靠近辊筒布置第二张紧单元,第二张紧单元包括:
第一导向辊,第一导向辊设置于任意一个上部的辊筒和下部的辊筒之间,第一导向辊两端通过导向辊支架连接在机体上;
转杆,转杆一端通过第一转轴转动连接于导向辊支架内侧,第一转轴可锁定于任意位置,转杆中部与导向辊支架之间连接有弹簧;
第二张紧辊,第二张紧辊转动连接于转杆另一端并位于导向辊支架一侧;
第二导向辊,第二导向辊通过支杆连接于导向辊支架远离第二张紧辊的一侧,第二张紧辊、第一导向辊、第二导向辊与辊筒的长度相等,金刚线由上部的辊筒引出后,依次环绕第二张紧辊底部、第一导向辊顶部和第二导向辊底部后,缠绕在下部的辊筒上。
优选的,第二张紧辊和第一导向辊上均环向设置多个弧形槽,弧形槽的深度小于金刚线的直径,金刚线滑动于弧形槽内。
优选的,第二张紧单元还包括:锁紧单元,锁紧单元包括:
壳体,壳体连接于导向辊支架内,壳体两侧连接有波浪段,壳体设置为导电板并与控制器电连接;
转座,转座连接于壳体底端,且转座的高度低于壳体的高度,第一转轴转动连接于转座中心;
电流变液,电流变液填充于壳体内,并且与转座和第一转轴均接触,电流变液通电后由液态变为固态。
优选的,第一转轴外壁均匀开设有多个加固槽,加固槽沿第一转轴长度方向延伸。
优选的,第二张紧辊上设有压力传感器,压力传感器用于获取第二张紧辊上受到的金刚线总压力值,当总压力值达到预设值时,表明金刚线为张紧状态,控制器对壳体通电将第一转轴锁定,当预设值与总压力值的差值查过预设阈值时,表明金刚线存在断线风险。
优选的,导向辊支架上连接有夹持单元,夹持单元包括:
夹持臂组件,夹持臂组件包括第一夹持臂、第二夹持臂和第三夹持臂,第一夹持臂、第二夹持臂和第三夹持臂均对称设置为两个,两个第一夹持臂的第一端通过第二转轴同时铰接于转杆上,且铰接点处转杆开设有供第二转轴穿过的腰孔;两个第二夹持臂交叉设置且在交叉点处通过第三转轴与导向辊支架连接,两个第二夹持臂的第一端分别与第一夹持臂的第二端铰接;两个第三夹持臂的第一端分别与两个第二夹持臂的第二端铰接,两个第三夹持臂的第二端铰接;
导向块,导向块滑动连接于导向辊支架上的导向槽内,导向槽竖直设置,并且导向块与第二转轴连接;
夹持辊,夹持辊设置为三个,并分别连接于两个第三夹持臂的第一端和第二端,夹持辊采用弹性材料制成。
相比现有技术,本发明至少包括以下有益效果:
本发明提供的一种单晶硅棒切片机,利用图像采集设备实时获取切片机作业过程中的线网图像,对切片过程进行实时监控,依据当前线网和初始线网的图像对比,判断线网的断线状态和断线位置,及时发现断线状态,便于后期维护,提高了硅棒的切片作业效率。
本发明所述的一种单晶硅棒切片机,本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现,部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明机体的结构示意图(两个辊筒);
图2为本发明中第一张紧单元的结构示意图;
图3为本发明中第二张紧单元的安装结构示意图(三个辊筒);
图4为本发明中导向辊支架的侧向结构示意图;
图5为本发明中锁紧单元的剖面结构示意图;
图6为本发明图5中A处局部放大结构示意图;
图7为本发明中导向辊支架内侧的结构示意图(第二导向辊未示出);
图8为本发明中第二张紧单元的立体结构示意图(第二导向辊未示出)。
图中:1.机体;2.辊筒;3.金刚线;4.硅棒;5.收线辊;6.竖直滑槽;7.第一张紧辊;8.液压杆;9.第一导向辊;10.导向辊支架;11.转杆;12.第一转轴;13.第二张紧辊;14.弧形槽;15.壳体;16.转座;17.加固槽;18.第一夹持臂;19.第二夹持臂;20.第三夹持臂;21.第二转轴;22.第三转轴;23.导向块;24.夹持辊;25.第二导向辊;26.支杆;27.弹簧;28.导向槽。
具体实施方式
下面结合附图以及实施例对本发明做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
实施例1:
如图1、3所示,本发明提供了一种单晶硅棒切片机,包括:
机体1,机体1内转动连接有辊筒组,辊筒组包括呈三角形布置的三个辊筒2,其中两个辊筒2位于上部且高度相等,一个辊筒2位于下部且低于上部的辊筒2,两个辊筒2上设有高速转动的金刚线3,金刚线3沿预设路径缠绕辊筒2,在辊筒2上方形成用于切割硅棒4的线网,辊筒2上方设有驱动硅棒4移动的硅棒进给单元;
断线检测单元,断线检测单元通过在机体1上设置图像采集设备,实时获取形成的线网图像,判断线网断线状态和位置。
机体1一侧设置有收放线单元,收放线单元包括电机驱动的收线辊5和放线辊,金刚线3的两端分别连接在收线辊5和放线辊上。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
一种单晶硅棒切片机使用时,通过电机驱动放线辊和收线辊5转动,带动金刚线3高速移动,金刚线3缠绕在辊筒2上方形成用于切割硅棒4的线网结构,上方线网内的金刚线按照预设的间隔均匀布置,在切割时,启动硅棒进给单元,使硅棒4靠近线网,即可通过高速移动的金刚线3将硅棒4按照预设厚度切割。在机台1上设置图像采集设备,在线网形成后采集两个辊筒2上线网的初始图像,切片机使用过程中,实时采集线网的图像并与初始图像作对比,当发生金刚线3部分缺失时,表明线网发生断线,并根据图像中金刚线3缺失位置判断断线位置,为作业过程做出警示并为后期维护提供依据。
本发明提供一种单晶硅棒切片机,利用图像采集设备实时获取切片机作业过程中的线网图像,对切片过程进行实时监控,依据当前线网和初始线网的图像对比,判断线网的断线状态和断线位置,及时发现断线状态,便于后期维护,提高了硅棒的切片作业效率。
实施例2:
如图2所示,在上述实施例1的基础上,所述一种单晶硅棒切片机,还包括:靠近收线辊5布置的第一张紧单元,第一张紧单元包括:
滑块,滑块滑动连接于机体1侧壁的竖直滑槽6内;
第一张紧辊7,第一张紧辊7转动连接于滑块上,金刚线3缠绕于第一张紧辊7上并且第一张紧辊7靠近收线辊布置,第一张紧辊7上设有压力传感器;
液压杆8,液压杆8连接于机体1侧壁且输出端与滑块连接。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
在切片机使用一段时间后,金刚线3频繁切割会产生拉伸变形,张力不足的情况,因此在靠近收线辊5的位置处设置第一张紧单元。使用时,通过压力传感器检测第一张紧辊7受到的压力即为金刚线3的张力,当检测到的压力值小于预设值时,说明金刚线3上张力不足,启动液压杆8伸长,推动滑块在竖直滑槽6内滑动,使第一张紧辊7向下挤压金刚线3,增大金刚线3的张力。通过第一张紧单元的设置,能够实时监控金刚线3上的张力,依据检测数据对其进行调节,保证金刚线3始终处于张紧状态,避免线网局部松弛的情况,保证硅棒的切片精度。
实施例3:
在上述实施例1的基础上,机体1两侧分别连接有防护板,防护板扣设于辊筒2外侧。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
在机体1两侧设置防护板,当金刚线3发生断线时,金刚线3由于高速运动并保持一定张力,会从断线处向外弹出,通过防护板对断线进行阻挡,避免断线甩出后产生安全事故。
实施例4:
如图3、4、7、8所示,在上述实施例1的基础上,所述的一种单晶硅棒切片机,还包括:靠近辊筒2布置第二张紧单元,第二张紧单元包括:
第一导向辊9,第一导向辊9设置于任意一个上部的辊筒2和下部的辊筒2之间,第一导向辊9两端通过导向辊支架10连接在机体1上;
转杆11,转杆11一端通过第一转轴12转动连接于导向辊支架10内侧,第一转轴12可锁定于任意位置,转杆11中部与导向辊支架10之间连接有弹簧27;
第二张紧辊13,第二张紧辊13转动连接于转杆11另一端并位于导向辊支架10一侧;
第二导向辊25,第二导向辊25通过支杆26连接于导向辊支架10远离第二张紧辊13的一侧,第二张紧辊13、第一导向辊9、第二导向辊25与辊筒2的长度相等,金刚线3由上部的辊筒2引出后,依次环绕第二张紧辊13底部、第一导向辊9顶部和第二导向辊13底部后,缠绕在下部的辊筒2上。为描述更清楚,附图8中以较短长度的第二张紧辊13和第一导向辊9作为示例。
第二张紧辊13和第一导向辊9上均环向设置多个弧形槽14,弧形槽14的深度小于金刚线3的直径,金刚线3滑动于弧形槽14内。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
将切片机的张紧单元设置在收线辊5附近时,能够对单股的金刚线3张紧,进而扩展到对线网的张紧,但实际使用过程中,由于金刚线3在辊筒2上缠绕的圈数过多,经常会导致靠近辊筒2出现侧的几圈张紧效果较好,而线网中部的张紧效果不够理想,因此在靠近辊筒2位置处设置第二张紧单元。第二张紧单元使用时,每股金刚线3均由一个上部的辊筒2引出后,环绕第二张紧辊13底部、第一导向辊9顶部和第二导向辊13底部后后,缠绕在下部的辊筒2上,然后从下部的辊筒2缠绕至另一个上部的辊筒2上,最后从另一个上部的辊筒2的上方回到第一个上部的辊筒2上,这样就能够保证辊筒2上方形成的线网形式不变,而辊筒2下方的线网经过第二张紧辊13、第一导向辊9和第二导向辊13;第二张紧辊13通过转杆11连接于导向辊支架10上,通过人为转动转杆11调节角度,或者将第一转轴12与电机输出端连接,通过电机转动的方式调节转杆11角度,转杆11位于不同角度时,第二张紧辊13对金刚线3的张紧力也不同,即通过调节转杆11角度使金刚线3达到预设张力值。通过弹簧27拉紧转杆11,减少调节过程中的传动间隙。在第二张紧辊13、第一导向辊9和第二导向辊13上设置弧形槽14,为保证上方线网的金刚线3是垂直硅棒4长度方向分布,则下方线网的金刚线3倾斜预设角度,弧形槽14相对于辊筒横截面也需要呈预设角度,使金刚线3在弧形槽14内滑移,保证金刚线3在张紧过程中不发生干涉。
如附图1所示,也可将辊筒组设置为两个辊筒2的形式,此种形式时,将第二张紧单元的第一导向辊9设置于两个辊筒2之间,并低于上方两个辊筒2即可。
通过上述结构设计,将第二张紧辊13设置在金刚线3的线网内侧,能够同时对线网的多股金刚线3进行张紧,对辊筒2上各处的金刚线3同时调节,保证线网各位置处的张力一致,对第一张紧单元进行补充,提高了张紧效果,减少张力不均衡时切割过程产生的凹凸不平现象,改善硅片成品质量。
实施例5:
如图5、6所示,在上述实施例4的基础上,第二张紧单元还包括:锁紧单元,锁紧单元包括:壳体15,壳体15连接于导向辊支架10内,壳体15两侧连接有波浪段,壳体15设置为导电板并与控制器电连接;
转座16,转座16连接于壳体15底端,且转座16的高度低于壳体15的高度,第一转轴12转动连接于转座16中心;
电流变液,电流变液填充于壳体15内,并且与转座16和第一转轴12均接触,电流变液通电后由液态变为固态。
第一转轴12外壁均匀开设有多个加固槽17,加固槽17沿第一转轴12长度方向延伸。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
转杆11受压后使第一转轴12存在移位风险,在壳体15内充满电流变液,电流变液与第一转轴12充分接触,由于转座16和第一转轴12之间存在间隙,电流变液充分流入转座16和第一转轴12之间间隙和加固槽17内,当在对转杆11角度调节完成后,控制器对壳体15通电,电流传导至电流变液上,电流变液形成一个固态整体,电流变液外侧与壳体15的波浪段卡接,使电流变液整体不发生移动,电流变液内侧在加固槽17内的部分,对第一转轴12形成阻挡,使第一转轴12不能发生转动,传动间隙被压缩,实现了对第一转轴12的锁定,保证第一转轴12在调节到位后不发生移位,保持压力稳定。
实施例6:
在上述实施例5的基础上,第二张紧辊13上设有压力传感器,压力传感器用于获取第二张紧辊13上受到的金刚线3总压力值,当总压力值达到预设值时,表明金刚线3为张紧状态,控制器对壳体15通电将第一转轴12锁定,当预设值与总压力值的差值查过预设阈值时,表明金刚线3存在断线风险。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
在第二张紧辊13上设置压力传感器,通过压力传感器检测第二张紧辊13受到的总压力值即为金刚线3的总压力值,其预设值可以通过单股金刚线3的预设张力值和金刚线3的总股数相乘进行计算;当检测值与预设值超过预设阈值时,即表明金刚线3上的张力不足,若检测值是突然降低甚至消失,则表明金刚线3发生断线。此种方式能够作为辅助检测断线的方式,当辊筒2上任意位置金刚线3断线时均能检测到,相比于只在第一张紧单元处设置压力传感器的方式,能够更快的识别断线,减少只有局部断线,辊筒2上其余位置金刚线3仍处于缠绕状态时,识别断线产生的时间差。
实施例7:
如图3、4、7、8所示,在上述实施例6的基础上,导向辊支架10上连接有夹持单元,夹持单元包括:
夹持臂组件,夹持臂组件包括第一夹持臂18、第二夹持臂19和第三夹持臂20,第一夹持臂18、第二夹持臂19和第三夹持臂20均对称设置为两个,两个第一夹持臂18的第一端通过第二转轴21同时铰接于转杆11上,且铰接点处转杆11开设有供第二转轴21穿过的腰孔;两个第二夹持臂19交叉设置且在交叉点处通过第三转轴22与导向辊支架10连接,两个第二夹持臂19的第一端分别与第一夹持臂18的第二端铰接;两个第三夹持臂20的第一端分别与两个第二夹持臂19的第二端铰接,两个第三夹持臂20的第二端铰接;
导向块23,导向块23滑动连接于导向辊支架10上的导向槽28内,导向槽28竖直设置,并且导向块23与第二转轴21连接;
夹持辊24,夹持辊24设置为三个,并分别连接于两个第三夹持臂20的第一端和第二端,夹持辊24采用弹性材料制成。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
当发生断线时需要对断裂的金刚线3及时固定,避免金刚线3甩出,因此设置夹持单元。夹持单元使用时,当压力传感器获取第二张紧辊13上的压力数据,控制器判断金刚线3存在断线风险,综合断线检测单元判断线网发生断线时,控制器对壳体15断电,电流变液由固态变为液态,第一转轴12能够自由转动,转杆11端部失去锁定,转杆11在弹簧27的作用下快速向上转动,减少对金刚线3的挤压使其张力减小,降低弹出时的动能。转杆11转动时带动第一夹持臂18的第二端向外展开,带动两个第二夹持臂19的第一端相互远离,第二夹持臂19的第二端也相互远离,即相对于第一导向辊9向下移动,第三夹持臂20的第二端向下移动,即相对于第一导向辊9向下移动,进而将三个夹持辊24压接在第一导向辊9上,将剩余未弹出的金刚线3压紧,避免金刚线3大面积脱落,导向块23在导向槽28内滑动,对第二转轴21起导向作用。
通过上述结构设计,有效实现了金刚线3发生断线时,能够及时相应减少对金刚线3上的张拉,降低金刚线2的动能,对第一导向辊9上剩余金刚线3的快速固定压紧,有效避免金刚线3大幅度脱落,在设备内发生缠绕干涉,降低了维护难度,避免产生安全事故。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管本发明的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本发明的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本发明并不限于特定的细节与这里示出与描述的图例。
Claims (10)
1.一种单晶硅棒切片机,其特征在于,包括:
机体(1),机体(1)内转动连接有辊筒组,辊筒组包括呈三角形布置的三个辊筒(2),辊筒(2)上设有高速转动的金刚线(3),金刚线(3)沿预设路径缠绕辊筒(2),在辊筒(2)上方形成用于切割硅棒(4)的线网,辊筒(2)上方设有驱动硅棒(4)移动的硅棒进给单元;
断线检测单元,断线检测单元通过在机体(1)上设置图像采集设备,实时获取形成的线网图像,判断线网断线状态和位置。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,机体(1)一侧设置有收放线单元,收放线单元包括电机驱动的收线辊(5)和放线辊,金刚线(3)的两端分别连接在收线辊(5)和放线辊上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,还包括:靠近收线辊(5)布置的第一张紧单元,第一张紧单元包括:
滑块,滑块滑动连接于机体(1)侧壁的竖直滑槽(6)内;
第一张紧辊(7),第一张紧辊(7)转动连接于滑块上,金刚线(3)缠绕于第一张紧辊(7)上并且第一张紧辊(7)靠近收线辊布置,第一张紧辊(7)上设有压力传感器;
液压杆(8),液压杆(8)连接于机体(1)侧壁且输出端与滑块连接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,机体(1)两侧分别连接有防护板,防护板扣设于辊筒(2)外侧。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,还包括:靠近辊筒(2)布置第二张紧单元,第二张紧单元包括:
第一导向辊(9),第一导向辊(9)设置于任意一个上部的辊筒(2)和下部的辊筒(2)之间,第一导向辊(9)两端通过导向辊支架(10)连接在机体(1)上;
转杆(11),转杆(11)一端通过第一转轴(12)转动连接于导向辊支架(10)内侧,第一转轴(12)可锁定于任意位置,转杆(11)中部与导向辊支架(10)之间连接有弹簧(27);
第二张紧辊(13),第二张紧辊(13)转动连接于转杆(11)另一端并位于导向辊支架(10)一侧;
第二导向辊(25),第二导向辊(25)通过支杆(26)连接于导向辊支架(10)远离第二张紧辊(13)的一侧,第二张紧辊(13)、第一导向辊(9)、第二导向辊(25)与辊筒(2)的长度相等,金刚线(3)由上部的辊筒(2)引出后,依次环绕第二张紧辊(13)底部、第一导向辊(9)顶部和第二导向辊(13)底部后,缠绕在下部的辊筒(2)上。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,第二张紧辊(13)和第一导向辊(9)上均环向设置多个弧形槽(14),弧形槽(14)的深度小于金刚线(3)的直径,金刚线(3)滑动于弧形槽(14)内。
7.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,第二张紧单元还包括:锁紧单元,锁紧单元包括:
壳体(15),壳体(15)连接于导向辊支架(10)内,壳体(15)两侧连接有波浪段,壳体(15)设置为导电板并与控制器电连接;
转座(16),转座(16)连接于壳体(15)底端,且转座(16)的高度低于壳体(15)的高度,第一转轴(12)转动连接于转座(16)中心;
电流变液,电流变液填充于壳体(15)内,并且与转座(16)和第一转轴(12)均接触,电流变液通电后由液态变为固态。
8.根据权利要求7所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,第一转轴(12)外壁均匀开设有多个加固槽(17),加固槽(17)沿第一转轴(12)长度方向延伸。
9.根据权利要求7所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,第二张紧辊(13)上设有压力传感器,压力传感器用于获取第二张紧辊(13)上受到的金刚线(3)总压力值,当总压力值达到预设值时,表明金刚线(3)为张紧状态,控制器对壳体(15)通电将第一转轴(12)锁定,当预设值与总压力值的差值查过预设阈值时,表明金刚线(3)存在断线风险。
10.根据权利要求9所述的一种单晶硅棒切片机,其特征在于,导向辊支架(10)上连接有夹持单元,夹持单元包括:
夹持臂组件,夹持臂组件包括第一夹持臂(18)、第二夹持臂(19)和第三夹持臂(20),第一夹持臂(18)、第二夹持臂(19)和第三夹持臂(20)均对称设置为两个,两个第一夹持臂(18)的第一端通过第二转轴(21)同时铰接于转杆(11)上,且铰接点处转杆(11)开设有供第二转轴(21)穿过的腰孔;两个第二夹持臂(19)交叉设置且在交叉点处通过第三转轴(22)与导向辊支架(10)连接,两个第二夹持臂(19)的第一端分别与第一夹持臂(18)的第二端铰接;两个第三夹持臂(20)的第一端分别与两个第二夹持臂(19)的第二端铰接,两个第三夹持臂(20)的第二端铰接;
导向块(23),导向块(23)滑动连接于导向辊支架(10)上的导向槽(28)内,导向槽(28)竖直设置,并且导向块(23)与第二转轴(21)连接;
夹持辊(24),夹持辊(24)设置为三个,并分别连接于两个第三夹持臂(20)的第一端和第二端,夹持辊(24)采用弹性材料制成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311679493.1A CN117445213B (zh) | 2023-12-08 | 2023-12-08 | 一种单晶硅棒切片机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311679493.1A CN117445213B (zh) | 2023-12-08 | 2023-12-08 | 一种单晶硅棒切片机 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117445213A true CN117445213A (zh) | 2024-01-26 |
CN117445213B CN117445213B (zh) | 2024-04-30 |
Family
ID=89582077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311679493.1A Active CN117445213B (zh) | 2023-12-08 | 2023-12-08 | 一种单晶硅棒切片机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117445213B (zh) |
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---|---|
CN117445213B (zh) | 2024-04-30 |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
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