CN117405995A - 变压器过载预警装置及半导体机台 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种变压器过载预警装置，包括：电流互感器，所述电流互感器用于检测变压器的初级线圈内流过的电流；检测单元，所述检测单元与所述电流互感器连接，用于检测所述电流互感器所检测到的检测电流是否超过一报警电流阈值；报警器，所述报警器与所述检测单元连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警。上述技术方案通过设定一报警电流阈值，当检测单元监测到变压器的初级线圈内流过的电流超过此报警电流阈值时，报警器会触发声音报警和光闪报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防变压器烧毁，杜绝了安全事故发生。

Description

变压器过载预警装置及半导体机台

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种变压器过载预警装置及半导体机台。

背景技术

去胶机是半导体工艺中的一种常见设备。由于设备老旧，长时间工艺下高压电容，磁控管、变压器老化等问题导致功率变压器过载，温度过高发热并烧毁，该变压器功率大，每次烧毁时产生大量异味和烟雾，甚至产生明火，给生产过程带来重大安全风险，导致设备的维修成本增加。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种变压器过载预警装置及半导体机台，能够提高设备的运行安全性。

为了解决上述问题，本发明提供了一种变压器过载预警装置，应用于半导体机台；包括：电流互感器，所述电流互感器用于检测变压器的初级线圈内流过的电流；检测单元，所述检测单元与所述电流互感器连接，用于检测所述电流互感器所检测到的检测电流是否超过一报警电流阈值；报警器，所述报警器与所述检测单元连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警。

在一些实施例中，所述检测单元包括数显屏幕，所述数显屏幕用于显示所述电流互感器所检测到的所述检测电流。

在一些实施例中，所述报警器为声光报警器。

在一些实施例中，还包括同步供电电源，所述同步供电电源分别与所述变压器的初级线圈和所述检测单元连接，用于为所述初级线圈和所述检测单元同步供电。

在一些实施例中，所述报警电流阈值小于所述初级线圈的最大允许电流。

在一些实施例中，所述检测单元包括设置按键，所述设置按键用于设定所述报警电流阈值。

在一些实施例中，所述检测单元包括内部继电器，当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述内部继电器吸合，所述检测单元输出高电平。

为了解决上述问题，本发明还提供了一种半导体机台，所述机台的供电模块包括一变压器，所述变压器的初级线圈连接一过载预警装置，所述过载预警装置包括：电流互感器，所述电流互感器用于检测变压器的初级线圈内流过的电流；检测单元，所述检测单元与所述电流互感器连接，用于检测所述电流互感器内的检测电流是否超过一阈值；报警器，所述报警器与所述检测单元连接，在检测电流超过报警电流阈值的情况下触发报警。

在一些实施例中，所述机台还包括一机台报警模块，所述机台报警模块与所述过载预警装置的所述检测单元连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警。

上述技术方案通过提供一种变压器过载预警装置及半导体机台，通过设定一报警电流阈值，当检测单元监测到变压器的初级线圈内流过的电流超过此报警电流阈值时，报警器会触发声音报警和光闪报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防变压器烧毁，杜绝了安全事故发生。特别是对于半导体工艺中的一种常见设备——半导体去胶机，通过采用本发明所述的变压器过载预警装置，可以在由于其部分设备老旧、长时间工艺下高压电容、磁控管、变压器老化等问题导致功率变压器过载，温度过高发热时，及时触发声音报警和光闪报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防变压器烧毁，杜绝了安全事故发生避免给生产过程带来重大安全风险。此外，通过数显屏幕可以观察到实时的电流变化，可以预判设备的状态以及备件的老化程度，制定固定的备件更换和维修周期，大幅度减少人力。数显屏幕显示的实时检测电流还为所述半导体机台提供了调整功率的功能，可以通过检测电流大小来判断调整设备负载的功率，使设备处于最佳的运行状态。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

附图说明

图1是本申请一实施例提供的变压器过载预警装置的电路连接示意图；

图2是本申请一实施例提供的半导体机台的电路连接示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请具体实施方式中的附图，对本申请具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的具体实施方式仅仅是本申请一部分具体实施方式，而不是全部的具体实施方式。基于本申请中的具体实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他具体实施方式，都属于本申请保护的范围。

图1是本申请一实施例提供的变压器过载预警装置的电路连接示意图。下面请参阅图1，所述变压器过载预警装置应用于半导体机台，包括：电流互感器11、检测单元12以及报警器13。

所述电流互感器11用于检测变压器14的初级线圈内流过的电流。所述检测单元12与所述电流互感器11连接，用于检测所述电流互感器11所检测到的检测电流是否超过一报警电流阈值。所述报警器13与所述检测单元12连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。对于所述报警电流阈值可以通过所述变压器14的额定容量来计算。例如对于额定容量是1450VA，额定电压是110伏的所述变压器14，通过计算所述变压器14的初级线圈内流过的电流I＝W/U＝1450/110＝13.18A。可以将所述报警阈值电流设置为13.15A，当所述变压器14的初级线圈内流过的电流超过所述报警阈值电流时，触发设备的报警系统，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。当所述变压器14的初级线圈内流过的电流超过最大允许电流13.18A时，所述变压器14的温度剧烈上升，所述变压器14的初级线圈烧坏，产生大量异味和烟雾，甚至产生明火，给生产过程带来重大安全风险，导致设备的维修成本增加。在这种情况下，必须控制所述变压器14在所述报警电流阈值下工作，一旦超出所述报警电流阈值，必须触发设备报警系统，提醒工作人员停机检修，更换老化备件。

在一些实施例中，所述检测单元12可以包括数显屏幕，所述数显屏幕用于显示所述电流互感器11所检测到的所述检测电流。具体的，所述数显屏幕可以为LED数码管。所述数显屏幕的作用在于能够让工作人员直观的看到所述电流互感器11所检测到的检测电流大小，这样即使在所述变压器过载预警装置的报警功能失效时，通过人工巡检监测的方式也能够及时发现问题。此外，通过所述数显屏幕可以观察到实时的检测电流变化，从而可以预判设备的状态以及备件的老化程度，制定固定的备件更换和维修周期，大幅度减少人力。在其他的实施例中，所述检测单元12也可不包括所述数显屏幕，而是通过在制造的时候通过外部显示的方式对所述变压器过载预警装置的所述检测电流进行显示。

在一些实施例中，所述检测单元12可以包括设置按键，所述设置按键用于设定所述报警电流阈值。通过所述设置按键使工作人员可以更加方便快捷地设置所述报警电流阈值。在其他的实施例中，所述检测单元12也可不包括所述设置按键，而是在制造的时候通过外部设定的方式对所述变压器过载预警装置的所述报警电流阈值进行预先设定。

在一些实施例中，所述检测单元12还可以包括内部继电器，当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述内部继电器吸合，所述检测单元12输出高电平，从而驱动所述报警器13能够及时发出警报，提醒检修人员进行检修，避免所述变压器14烧毁。当所述变压器14正常工作时，初级线圈内流过的电流通过所述电流互感器11采样检测，传输至所述检测单元12里进行和预先设置的所述报警电流阈值进行比较，此时，所述检测电流小于所述报警电流阈值，不足以驱动所述内部继电器吸合，所述检测单元12输出低电平，所述报警器13处于待机状态，不触发警报。

在本实施例中，所述报警器13可以为声光报警器，当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述报警器13在发出声音进行报警的同时开启光闪进行报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。在其他的实施例中，所述报警器13也可以为任何一种类型的能够起到报警作用的装置。

在一些实施例中，所述报警电流阈值小于所述初级线圈的最大允许电流。对于所述报警电流阈值可以通过所述变压器14的额定容量来计算。例如对于额定容量是1450VA，额定电压是110伏的所述变压器14，通过计算所述变压器14的初级线圈内流过的电流I＝W/U＝1450/110＝13.18A。可以将所述报警阈值电流设置为13.15A，当所述变压器14的初级线圈内流过的电流超过所述报警阈值电流时，触发设备的报警系统，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。当所述变压器14的初级线圈内流过的电流超过最大允许电流13.18A时，所述变压器14的温度剧烈上升，所述变压器14的初级线圈烧坏，产生大量异味和烟雾，甚至产生明火，给生产过程带来重大安全风险，导致设备的维修成本增加。在这种情况下，必须控制所述变压器14在所述报警电流阈值下工作，一旦超出所述报警电流阈值，必须触发设备报警系统，提醒工作人员停机检修，更换老化备件。当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述报警器13触发报警，从而提醒检修人员及时进行检修，此时，所述检测电流(即变压器的初级线圈内流过的电流)并未超过所述初级线圈的最大允许电流，为检修人员预留出足够的时间来关闭设备，避免事故发生。上述的报警方式能够更好的保证所述变压器14不会被烧毁，从而能够降低维修成本。

在本实施例中，所述变压器过载预警装置还包括同步供电电源15，所述同步供电电源15分别与所述变压器14的初级线圈和所述检测单元12连接，用于为所述变压器14的初级线圈和所述检测单元12同步供电。具体的，所述供电电源可以为110V的交流电源。通过对所述变压器过载预警装置和所述变压器14同步供电，可以防止误触发，提高了所述变压器过载预警装置的可靠性，符合降本增效精神。

图2是本申请一实施例提供的半导体机台的电路连接示意图。下面请参阅图2，所述机台包括负载20以及供电模块21，所述供电模块21用于给负载20供电。所述供电模块21包括一变压器14以及一过载预警装置，所述变压器14的初级线圈连接所述过载预警装置。所述过载预警装置包括：电流互感器11、检测单元12、以及报警器13。

所述电流互感器11用于检测变压器14的初级线圈内流过的电流。所述检测单元12与所述电流互感器11连接，用于检测所述电流互感器11所检测到的检测电流是否超过一报警电流阈值。所述报警器13与所述检测单元12连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。

在一些实施例中，所述检测单元12可以包括数显屏幕，所述数显屏幕用于显示所述电流互感器11所检测到的所述检测电流。具体的，所述数显屏幕可以为LED数码管。所述数显屏幕的作用在于能够让工作人员直观的看到所述电流互感器11所检测到的检测电流大小，这样即使在所述变压器过载预警装置的报警功能失效时，通过人工巡检监测的方式也能够及时发现问题。此外，通过所述数显屏幕可以观察到实时的检测电流变化，从而可以预判设备的状态以及备件的老化程度，制定固定的备件更换和维修周期，大幅度减少人力。在其他的实施例中，所述检测单元12也可不包括所述数显屏幕，而是通过在制造的时候通过外部显示的方式对所述变压器过载预警装置的所述检测电流进行显示。

在一些实施例中，所述检测单元12可以包括设置按键，所述设置按键用于设定所述报警电流阈值。通过所述设置按键使工作人员可以更加方便快捷地设置所述报警电流阈值。在其他的实施例中，所述检测单元12也可不包括所述设置按键，而是在制造的时候通过外部设定的方式对所述变压器过载预警装置的所述报警电流阈值进行预先设定。

在一些实施例中，所述检测单元12还可以包括内部继电器，当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述内部继电器吸合，所述检测单元12输出高电平，从而驱动所述报警器13能够及时发出警报，提醒检修人员进行检修，避免所述变压器14烧毁。当所述变压器14正常工作时，初级线圈内流过的电流通过所述电流互感器11采样检测，传输至所述检测单元12里进行和预先设置的所述报警电流阈值进行比较，此时，所述检测电流小于所述报警电流阈值，不足以驱动所述内部继电器吸合，所述检测单元12输出低电平，所述报警器13处于待机状态，不触发警报。

在本实施例中，所述报警器13可以为声光报警器，当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述报警器13在发出声音进行报警的同时开启光闪进行报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。在其他的实施例中，所述报警器13也可以为任何一种类型的能够起到报警作用的装置。对于所述报警电流阈值可以通过所述变压器14的额定容量来计算。例如对于额定容量是1450VA，额定电压是110伏的所述变压器14，通过计算所述变压器14的初级线圈内流过的电流I＝W/U＝1450/110＝13.18A。可以将所述报警阈值电流设置为13.15A，当所述变压器14的初级线圈内流过的电流超过所述报警阈值电流时，触发设备的报警系统，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。当所述变压器14的初级线圈内流过的电流超过最大允许电流13.18A时，所述变压器14的温度剧烈上升，所述变压器14的初级线圈烧坏，产生大量异味和烟雾，甚至产生明火，给生产过程带来重大安全风险，导致设备的维修成本增加。在这种情况下，必须控制所述变压器14在所述报警电流阈值下工作，一旦超出所述报警电流阈值，必须触发设备报警系统，提醒工作人员停机检修，更换老化备件。

在一些实施例中，所述报警电流阈值小于所述初级线圈的最大允许电流。当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述报警器13触发报警，从而提醒检修人员及时进行检修，此时，所述检测电流(即变压器的初级线圈内流过的电流)并未超过所述初级线圈的最大允许电流，为检修人员预留出足够的时间来关闭设备，避免事故发生。上述的报警方式能够更好的保证所述变压器14不会被烧毁，从而能够降低维修成本。

在本实施例中，所述变压器过载预警装置还包括同步供电电源15，所述同步供电电源15分别与所述变压器14的初级线圈和所述检测单元12连接，用于为所述变压器14的初级线圈和所述检测单元12同步供电。具体的，所述供电电源可以为110V的交流电源。通过对所述变压器过载预警装置和所述变压器14同步供电，可以防止误触发，提高了所述变压器过载预警装置的可靠性，符合降本增效精神。

在本实施例中，所述机台还包括一机台报警模块16，所述机台报警模块16与所述检测单元12连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发所述半导体机台的报警，中断设备正在实施的工艺，提醒设备工作人员检查设备。

在一些实施例中，所述负载20是所述半导体机台在工作中需要由所述供电模块21进行供电的任何一种或多种电器设备，其中可能存在高压电容、磁控管等容易烧毁的电子元件。这些元件中任何一个发生故障都有可能会导致所述供电模块21中的所述变压器14过载。上述装置使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防所述变压器14烧毁，杜绝了安全事故发生。

在一些实施例中，所述半导体机台可以为半导体去胶机。通过采用本发明所述的变压器过载预警装置，可以在由于其部分设备老旧、长时间工艺下高压电容、磁控管、变压器老化等问题导致功率变压器过载，温度过高发热时，及时触发声音报警和光闪报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防变压器烧毁，杜绝了安全事故发生避免给生产过程带来重大安全风险。

上述技术方案通过提供一种变压器过载预警装置及半导体机台，通过设定一报警电流阈值，当检测单元监测到变压器的初级线圈内流过的电流超过此报警电流阈值时，报警器会触发声音报警和光闪报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防变压器烧毁，杜绝了安全事故发生。特别是对于半导体工艺中的一种常见设备——半导体去胶机，通过采用本发明所述的变压器过载预警装置，可以在由于其部分设备老旧、长时间工艺下高压电容、磁控管、变压器老化等问题导致功率变压器过载，温度过高发热时，及时触发声音报警和光闪报警，从而使得工作人员能够及时得到通知并处理，做到提早预防变压器烧毁，杜绝了安全事故发生避免给生产过程带来重大安全风险。此外，通过数显屏幕可以观察到实时的电流变化，可以预判设备的状态以及备件的老化程度，制定固定的备件更换和维修周期，大幅度减少人力。数显屏幕显示的实时检测电流还为所述半导体机台提供了调整功率的功能，可以通过检测电流大小来判断调整设备负载的功率，使设备处于最佳的运行状态。

应注意到，在说明书中对“一实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等的引用指示所描述的实施例可以包括特定的特征、结构或特性，但是每个实施例可能不一定包括该特定的特征、结构或特性。而且，这样的短语不一定指代相同的实施例。此外，当结合实施例描述特定的特征、结构或特性时，无论是否明确描述，结合其它实施例来实现这样的特征、结构或特性都在相关领域的技术人员的知识范围内。

通常，可以至少部分地从上下文中的用法理解术语。例如，如在本文中所使用的术语“一个或多个”至少部分取决于上下文，可以用于以单数意义描述任何特征、结构或特性，或可以用于以复数意义描述特征、结构或特征的组合。类似地，至少部分取决于上下文，诸如“一”、“某一”或“该”的术语同样可以被理解为表达单数用法或表达复数用法。另外，术语“基于”可以被理解为不一定旨在表达一组排他性的因素，而是可以替代地，同样至少部分地取决于上下文，允许存在不一定明确描述的其它因素。在本说明书中也应当注意的是，“连接/耦接”不仅指一个部件与另一个部件直接耦接，也指一个部件通过中间部件与另一个部件间接地耦接。

需要说明的是，本发明的文件中涉及的术语“包括”和“具有”以及它们的变形，意图在于覆盖不排他的包含。术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，除非上下文有明确指示，应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换。另外，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。此外，在以上说明中，省略了对公知组件和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。上述各个实施例中，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同/相似的部分互相参见即可。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种变压器过载预警装置，应用于半导体机台；其特征在于，包括：

电流互感器，所述电流互感器用于检测变压器的初级线圈内流过的电流；检测单元，所述检测单元与所述电流互感器连接，用于检测所述电流互感器所检测到的检测电流是否超过一报警电流阈值；

报警器，所述报警器与所述检测单元连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警。

2.根据权利要求1所述的变压器过载预警装置，其特征在于，所述检测单元包括数显屏幕，所述数显屏幕用于显示所述电流互感器所检测到的所述检测电流。

3.根据权利要求1所述的变压器过载预警装置，其特征在于，所述报警器为声光报警器。

4.根据权利要求1所述的变压器过载预警装置，其特征在于，还包括同步供电电源，所述同步供电电源分别与所述变压器的初级线圈和所述检测单元连接，用于为所述初级线圈和所述检测单元同步供电。

5.根据权利要求1所述的变压器过载预警装置，其特征在于，所述报警电流阈值小于所述初级线圈的最大允许电流。

6.根据权利要求1所述的变压器过载预警装置，其特征在于，所述检测单元包括设置按键，所述设置按键用于设定所述报警电流阈值。

7.根据权利要求1所述的变压器过载预警装置，其特征在于，所述检测单元包括内部继电器，当所述检测电流超过所述报警电流阈值时，所述内部继电器吸合，所述检测单元输出高电平。

8.一种半导体机台，其特征在于，所述机台的供电模块包括一变压器，所述变压器的初级线圈连接一过载预警装置，所述过载预警装置包括：

电流互感器，所述电流互感器用于检测变压器的初级线圈内流过的电流；检测单元，所述检测单元与所述电流互感器连接，用于检测所述电流互感器内的检测电流是否超过一阈值；

报警器，所述报警器与所述检测单元连接，在检测电流超过报警电流阈值的情况下触发报警。

9.根据权利要求8所述的半导体机台，其特征在于，所述机台还包括一机台报警模块，所述机台报警模块与所述过载预警装置的所述检测单元连接，在所述检测电流超过所述报警电流阈值的情况下触发报警。