CN117380682A - 一种智能清理装置及清理方法 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种智能清理装置及清理方法，涉及智能清理的技术领域。一种智能清理装置，包括盒体，所述盒体内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构和用于发出泡沫的泡沫发生机构；所述一种智能清理装置还包括设于所述盒体上的喷嘴机构，所述吸尘机构和所述泡沫发生机构均与所述喷嘴机构相连，所述喷嘴机构用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构经喷嘴机构对空洞进行吸尘以及泡沫发生机构经喷嘴机构向空洞喷出泡沫。本申请还公开了一种智能清理装置的清理方法。本申请能便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘。
Description
技术领域
本申请涉及智能清理的技术领域，尤其是涉及一种智能清理装置及清理方法。
背景技术
在半导体芯片制造过程中，真空反应腔是至关重要的组成部分，它直接影响半导体器件的质量和产量；反应腔体中通常存在一些零部件，这些零部件上会具有多个微小空洞,这些空洞的功能通常为喷出反应气体和降温气体以对半导体芯片进行处理。在芯片处理过程中，真空反应腔会产生微米级或者纳米级的微尘，为了保证反应腔内零部件能够正常使用，目前通常会用化学方式来对零部件空洞里的微尘进行处理。
零部件空洞里的微尘通常包括弥漫在空洞内的部分以及附着在空洞壁面上的剩余部分，当运用化学方式来处理这些弥漫在空洞内或者附着在空洞壁面上的微尘时，化学处理的方式可能会导致零部件空洞的结构受到损坏，从而使得零部件不满足使用需求。
发明内容
为了便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘，本申请提供一种智能清理装置及清理方法。
第一方面，本发明的上述发明目的一是通过以下技术方案得以实现的：
一种智能清理装置，包括盒体，所述盒体内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构和用于发出泡沫的泡沫发生机构；所述一种智能清理装置还包括设于所述盒体上的喷嘴机构，所述吸尘机构和所述泡沫发生机构均与所述喷嘴机构相连，所述喷嘴机构用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构经喷嘴机构对空洞进行吸尘以及泡沫发生机构经喷嘴机构向空洞喷出泡沫。
通过采用上述技术方案，在将喷嘴机构伸入反应腔内后，通过驱动吸尘机构即可产生负压对空洞内进行吸尘，从而去除掉零部件空洞内弥漫的微尘；而驱动泡沫发生机构即可产生泡沫经喷嘴机构喷出，从而去除掉空洞壁面上的微尘；本申请能便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘。
优选的，所述吸尘机构包括入水管、文丘里管、出水管和吸尘管，所述入水管用于与外部水源相连，所述文丘里管设于所述盒体内底端，所述文丘里管的一端与所述入水管相连，所述文丘里管的另一端与所述出水管相连；所述文丘里管包括中部的负压段，所述吸尘管的一端与所述负压段相连，所述吸尘管的另一端与所述喷嘴机构相连，所述吸尘管上设有过滤件。
通过采用上述技术方案，在通过外部水源向入水管注水后，水会经流文丘里管而到达出水管，经流文丘里管的水会使得负压段产生负压从而使得吸尘管内产生负压，微尘会被吸尘管吸入然后附着在过滤件上。
优选的，所述泡沫发生机构包括液流管、水泵、气体注入件和泡沫发生件，所述液流管设于所述盒体内壁上，所述液流管的一端与所述出水管相连，所述液流管的另一端与所述泡沫发生件相连，所述泡沫发生件与所述喷嘴机构相连；所述水泵和所述气体注入件均与所述液流管相连。
通过采用上述技术方案，驱动水泵能够控制自出水管而来的水流入泡沫发生件的流量，驱动气体注入件能够向液流管注入气体从而便于泡沫发生件制造泡沫。
优选的，所述喷嘴机构包括弹性管和活动喷嘴，所述弹性管设于盒体上，所述活动喷嘴设于弹性管远离盒体一端；所述弹性管包括内部的第二经流管路和第一经流管路，所述第二经流管路与所述吸尘管远离负压段的一端连通，所述第一经流管路与所述泡沫发生件的喷沫口连通；所述第二经流管路和第一经流管路均经活动喷嘴延伸至外界环境。
通过采用上述技术方案，由于弹性管的存在，能够便于移动活动喷嘴进入反应腔内以调整泡沫发生件发出的泡沫喷射方向以及吸尘机构吸尘朝向。
优选的，所述活动喷嘴上设有卡环，所述弹性管上设有卡槽，所述卡环卡在所述卡槽内且所述卡环与所述卡槽之间为转动连接。
通过采用上述技术方案，能够转动活动喷嘴以调整活动喷嘴的朝向。
优选的，所述活动喷嘴包括连接部和弯嘴部，所述连接部设于所述弹性管上，所述弯嘴部可拆卸设于所述连接部上。
通过采用上述技术方案，能够将弯嘴部拆卸下以更换其他形状的弯嘴部，从而调整泡沫喷出方向以及负压产生朝向。
优选的，所述出水管上还连接有加料管，所述盒体上还设有用于储存清洗剂的容纳筒，所述容纳筒与所述加料管相连，所述加料管上设有抽料泵。
通过采用上述技术方案，在容纳筒内储存清洗剂后，通过控制抽料泵能够通过加料管向出水管内添加清洗剂。
优选的，所述吸尘管包括固定管部和对接管部，所述固定管部与所述负压段相连，所述对接管部与所述固定管部之间为可拆卸连接；所述过滤件设于固定管部靠近对接管部一端，所述过滤件与所述固定管部之间为可拆卸连接。
通过采用上述技术方案，能够将对接管部拆卸下来从而拆卸下过滤件以清理。
优选的，所述出水管上还连有用于向外部环境排水的出水副管，所述出水副管上设有第一阀门；所述液流管上还设有第二阀门。
通过采用上述技术方案，在拆卸下过滤件的情况下，打开第一阀门，关闭第二阀门，吸尘管吸入的微尘能够直接随着水流从出水副管排出。
第二方面，本发明的上述发明目的二是通过以下技术方案得以实现的：
一种智能清理装置的清理方法，包括以下步骤：
S1、将喷嘴机构伸入反应腔内；
S2、驱动吸尘机构经喷嘴机构对空洞内部进行吸尘，同时驱动泡沫发生机构经喷嘴机构向空洞内喷出泡沫。
通过采用上述技术方案，当反应腔内为密闭环境时，能够驱动泡沫发生机构和吸尘机构同时工作，泡沫发生机构喷出泡沫的动作为正压动作，而吸尘机构产生的为负压动作，所以泡沫发生机构和吸尘机构能够同时平衡工作从而对密闭环境进行除尘。
综上所述，本发明包括以下至少一种有益技术效果：
1．在将喷嘴机构伸入反应腔内后，通过驱动吸尘机构即可产生负压对空洞内进行吸尘，从而去除掉零部件空洞内弥漫的微尘；而驱动泡沫发生机构即可产生泡沫经喷嘴机构喷出，从而去除掉空洞壁面上的微尘；本申请能便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘；
2. 本申请能够实现以下两种除尘方式：
第一种：第一阀门处于关闭状态，第二阀门处于开启状态，此时通过向入水管注水，水会自入水管流经文丘里管而到达出水管，水在流经文丘里管时使得吸尘管产生负压从而主要对空洞内弥漫的微尘进行吸尘，过滤件会吸附微尘，并且同时到达出水管的水会进入到液流管，在气体注入件和水泵的辅助工作下，泡沫发生件会同时喷出泡沫以主要除去空洞壁面上的微尘，上述泡沫清理和负压清理的动作是同时进行的；
第二种：第一阀门处于打开状态，第二阀门处于关闭状态，此时自吸尘管吸入的微尘被过滤件收集，而水流会从出水副管排出，上述为负压清理动作单独进行；
3. 当反应腔内为密闭环境时，能够驱动泡沫发生机构和吸尘机构同时工作，泡沫发生机构喷出泡沫的动作为正压动作，而吸尘机构产生的为负压动作，所以泡沫发生机构和吸尘机构能够同时平衡工作从而对密闭环境进行除尘；所以上述泡沫清理和负压清理的动作同时进行是应对密闭环境，而负压清理动作单独进行是应对开放环境。
附图说明
图1是本申请实施例中一种智能清理装置的整体结构示意图；
图2是用于体现吸尘机构和泡沫发生机构的结构示意图；
图3是用于体现吸尘管的剖视图；
图4是用于体现喷嘴机构的剖视图。
附图中标记：1、盒体；2、吸尘机构；21、入水管；22、文丘里管；221、负压段；23、出水管；24、吸尘管；241、固定管部；242、对接管部；25、过滤件；3、泡沫发生机构；31、液流管；311、第二阀门；32、水泵；33、气体注入件；34、泡沫发生件；4、喷嘴机构；41、弹性管；411、第一经流管路；412、第二经流管路；42、活动喷嘴；421、卡环；422、连接部；423、弯嘴部；5、出水副管；51、第一阀门；6、加料管；61、容纳筒；62、抽料泵。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
本申请实施例公开一种智能清理装置。用于能够便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘，其中空洞里的微尘主要包括弥漫在空洞内的部分以及附着在空洞壁面上的剩余部分。
参照图1和图2，一种智能清理装置包括盒体1，盒体1内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构2和用于发出泡沫的泡沫发生机构3；一种智能清理装置还包括设于盒体1上的喷嘴机构4，吸尘机构2和泡沫发生机构3均与喷嘴机构4相连，喷嘴机构4用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构2经喷嘴机构4在反应腔内进行吸尘以及泡沫发生机构3经喷嘴机构4向反应腔内喷出泡沫。
首先将喷嘴机构4伸入反应腔内，然后将喷嘴机构4对准反应腔内零部件上需要清理的空洞，之后驱动泡沫发生机构3经喷嘴机构4对准空洞喷出泡沫，并且驱动吸尘机构2经喷嘴机构4朝对空洞进行吸尘。
由于反应腔内可能为密闭环境也可能为开放环境，所以为了能便于在上述两种环境内进行除尘，在本申请中包括两种除尘模式：第一种为吸尘机构2单独工作，这种工作方式用于在开放环境进行除尘；第二种为吸尘机构2和泡沫发生机构3同时工作，这种工作方式用于在密闭环境进行除尘。
参照图1和图2，具体的，吸尘机构2包括入水管21、文丘里管22、出水管23和吸尘管24，入水管21用于与外部水源相连，文丘里管22设于盒体1内底端且文丘里管22横向铺设，文丘里管22的一端与入水管21相连，文丘里管22的另一端与出水管23相连；文丘里管22包括中部的负压段221，吸尘管24的一端与负压段221相连，吸尘管24的另一端与喷嘴机构4相连，文丘里管22为现有技术故其他具体结构此处不再赘述，结合图3，吸尘管24内设有过滤件25，过滤件25优选为海帕过滤网，海帕过滤网能够捕捉小至5纳米的微尘。出水管23上还连有用于向外部环境排水的出水副管5，出水副管5远离出水管23的一端延伸至盒体1外，出水副管5上设有第一阀门51；第一阀门51为电磁阀。
参照图1和图2，具体的，泡沫发生机构3包括液流管31、水泵32、气体注入件33和泡沫发生件34，液流管31设于盒体1内底端，液流管31上设有第二阀门311，第二阀门311也为电磁阀，液流管31的一端与出水管23相连，液流管31的另一端与泡沫发生件34相连，泡沫发生件34为现有技术故此处不再赘述泡沫发生件34的喷沫端延伸至盒体1外并与喷嘴机构4相连；水泵32和气体注入件33均与液流管31相连，水泵32和气体注入件33也均为现有技术故不再赘述，此处的气体注入件33用于注入压缩空气。
第一阀门51、第二阀门311、水泵32、气体注入件33和泡沫发生件34均与PLC程序控制器相连。通过PLC程序控制器能够智能控制两种除尘模式的切换。
上述第一种吸尘机构2单独工作的除尘模式具体为：首先通过PLC程序控制器控制第一阀门51开启，第二阀门311关闭，此时在向入水管21注水后，水会流经文丘里管22而到达出水管23内，负压段221会产生负压从而使得吸尘管24内产生负压，吸尘管24经喷嘴机构4向零部件的空洞产生负压从而进行吸尘，自吸尘管24吸入的微尘会被过滤件25聚集，水流会从出水副管5排出。
上述第二种吸尘机构2和泡沫发生机构3同时工作的除尘模式具体为：首先通过PLC程序控制器控制第一阀门51关闭，第二阀门311开启，此时在向入水管21注水后，水会流经文丘里管22而到达出水管23内，水在流经文丘里管22时使得吸尘管24产生负压从而经由喷嘴机构4主要对空洞内弥漫的微尘进行吸尘，过滤件25会吸附微尘，并且同时到达出水管23的水会进入到液流管31，PLC程序控制器控制气体注入件33和水泵32辅助工作，泡沫发生件34同时喷出泡沫经由喷嘴机构4来主要除去空洞壁面上的微尘，上述泡沫清理和负压清理的动作是同时进行的。
需要说明的是：在密闭环境下，由于泡沫发生机构3喷出泡沫的动作为正压动作，而吸尘机构2产生的为负压动作，所以泡沫发生机构3和吸尘机构2能够同时平衡工作从而对密闭环境进行除尘。
参照图1和图2，出水管23上还连接有加料管6，盒体1上还设有用于储存清洗剂的容纳筒61，在本申请中容纳筒61储存的清洗剂为界面活性剂，容纳筒61与加料管6相连，加料管6上设有抽料泵62，抽料泵62也与PLC程序控制器相连。
通过控制PLC程序控制器驱动抽料泵62即可将容纳筒61内的清洗剂经由加料管6而进入到出水管23内，从而使得后续泡沫发生件34制造的泡沫更好的去除微尘。
参照图2和图3，为了便于对过滤件25进行清理，吸尘管24包括固定管部241和对接管部242，固定管部241与负压段221相连，对接管部242与固定管部241之间为可拆卸连接，对接管部242远离固定管部241的一端贴合插入在第二经流管路412内，具体的，对接管部242与固定管部241之间为螺纹连接；过滤件25可拆卸设于固定管部241靠近对接管部242一端，具体为过滤件25卡嵌在固定管部241内。
通过拆卸下喷嘴机构4，然后转到对接管部242即可将对接管部242从固定管部241上拆卸下来，此时能够拆卸下过滤件25以进行清理或更换。
参照图4，喷嘴机构4包括具有形变能力的弹性管41和活动喷嘴42，弹性管41的材质为橡胶，结合图1，弹性管41设于盒体1上，活动喷嘴42设于弹性管41远离盒体1一端；弹性管41包括内部的第一经流管路411和第二经流管路412，结合图2，第二经流管路412与吸尘管24远离负压段221的一端连通，第一经流管路411与泡沫发生件34的喷沫口连通，具体为吸尘管24贴合插入在第二经流管路412内，泡沫发生件34的喷沫口贴合插入在第一经流管路411内；第二经流管路412和第一经流管路411均经活动喷嘴42延伸至外界环境。
通过使得弹性管41形变即可使得活动喷嘴42顺利伸入到反应腔内，从而便于调整活动喷嘴42朝向。
参照图4，活动喷嘴42上设有卡环421，弹性管41上设有卡槽，卡环421卡在所述卡槽内且卡环421与卡槽之间为转动连接；第二经流管路412和第一经流管路411以弹性管41的轴线中心对称。
由于弹性管41具有形变能力，所以能够略微转动弹性管41的部分结构以调整活动喷嘴42的朝向；当需要转动的角度过大时，能够将活动喷嘴42 转动180°，然后再略微转动弹性管41的部分结构以调整活动喷嘴42的朝向。
参照图4，由于反应腔形状各异，为了使得能够便于对反应腔内零部件不同位置的空洞进行清理，活动喷嘴42包括连接部422和弯嘴部423，连接部422设于弹性管41上，弯嘴部423可拆卸设于连接部422上，具体为弯嘴部423通过螺丝与连接部422相连。能够拆卸下弯嘴部423以更换其他形状的弯嘴部423从而便于朝对反应腔零部件的不同位置。
本申请实施例中一种智能清理装置的实施原理为：首先保证第一阀门51处于关闭状态，第二阀门311处于开启状态，此时向入水管21注水后，水会流经文丘里管22而到达出水管23内，水在流经文丘里管22时使得吸尘管24产生负压从而经由喷嘴机构4主要对空洞内弥漫的微尘进行吸尘，过滤件25会吸附微尘，并且同时到达出水管23的水会进入到液流管31，在气体注入件33和水泵32的辅助工作下，泡沫发生件34会同时喷出泡沫经由喷嘴机构4来主要除去空洞壁面上的微尘。
本申请实施例还公开了一种智能清理装置的清理方法，包括以下步骤：
S1、将喷嘴机构4伸入反应腔内；
具体的，将活动喷嘴42伸入反应腔内并朝对零部件空洞；
S2、驱动吸尘机构2经喷嘴机构4对反应腔内部进行吸尘，同时驱动泡沫发生机构3经喷嘴机构4向反应腔内喷出泡沫；
具体的，向入水管21注水，水经流文丘里管22而到达出水管23，吸尘管24内产生负压，吸尘管24通过第二经流管路412对零部件上的空洞进行抽吸从而进行吸尘，同时水经出水管23到达液流管31并到达泡沫发生件34内，气体注入件33和水泵32同时辅助工作使得泡沫发生件34产生泡沫，泡沫经第一经流管路411进入零部件内的空洞从而进行微尘清理；
本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种智能清理装置，其特征在于：包括盒体(1)，所述盒体(1)内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构(2)和用于发出泡沫的泡沫发生机构(3)；所述一种智能清理装置还包括设于所述盒体(1)上的喷嘴机构(4)，所述吸尘机构(2)和所述泡沫发生机构(3)均与所述喷嘴机构(4)相连，所述喷嘴机构(4)用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构(2)经喷嘴机构(4)对空洞进行吸尘以及泡沫发生机构(3)经喷嘴机构(4)向空洞喷出泡沫。
2.根据权利要求1所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述吸尘机构(2)包括入水管(21)、文丘里管(22)、出水管(23)和吸尘管(24)，所述入水管(21)用于与外部水源相连，所述文丘里管(22)设于所述盒体(1)内底端，所述文丘里管(22)的一端与所述入水管(21)相连，所述文丘里管(22)的另一端与所述出水管(23)相连；所述文丘里管(22)包括中部的负压段(221)，所述吸尘管(24)的一端与所述负压段(221)相连，所述吸尘管(24)的另一端与所述喷嘴机构(4)相连，所述吸尘管(24)上设有过滤件(25)。
3.根据权利要求2所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述泡沫发生机构(3)包括液流管(31)、水泵(32)、气体注入件(33)和泡沫发生件(34)，所述液流管(31)设于所述盒体(1)内壁上，所述液流管(31)的一端与所述出水管(23)相连，所述液流管(31)的另一端与所述泡沫发生件(34)相连，所述泡沫发生件(34)与所述喷嘴机构(4)相连；所述水泵(32)和所述气体注入件(33)均与所述液流管(31)相连。
4.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述喷嘴机构(4)包括弹性管(41)和活动喷嘴(42)，所述弹性管(41)设于盒体(1)上，所述活动喷嘴(42)设于弹性管(41)远离盒体(1)一端；所述弹性管(41)包括内部的第二经流管路(412)和第一经流管路(411)，所述第二经流管路(412)与所述吸尘管(24)远离负压段(221)的一端连通，所述第一经流管路(411)与所述泡沫发生件(34)的喷沫口连通；所述第二经流管路(412)和第一经流管路(411)均经活动喷嘴(42)延伸至外界环境。
5.根据权利要求4所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述活动喷嘴(42)上设有卡环(421)，所述弹性管(41)上设有卡槽，所述卡环(421)卡在所述卡槽内且所述卡环(421)与所述卡槽之间为转动连接。
6.根据权利要求4所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述活动喷嘴(42)包括连接部(422)和弯嘴部(423)，所述连接部(422)设于所述弹性管(41)上，所述弯嘴部(423)可拆卸设于所述连接部(422)上。
7.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述出水管(23)上还连接有加料管(6)，所述盒体(1)上还设有用于储存清洗剂的容纳筒(61)，所述容纳筒(61)与所述加料管(6)相连，所述加料管(6)上设有抽料泵(62)。
8.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述吸尘管(24)包括固定管部(241)和对接管部(242)，所述固定管部(241)与所述负压段(221)相连，所述对接管部(242)与所述固定管部(241)之间为可拆卸连接；所述过滤件(25)设于固定管部(241)靠近对接管部(242)一端，所述过滤件(25)与所述固定管部(241)之间为可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述出水管(23)上还连有用于向外部环境排水的出水副管(5)，所述出水副管(5)上设有第一阀门(51)；所述液流管(31)上还设有第二阀门(311)。
10.一种应用于权利要求1-9任一所述的一种智能清理装置的清理方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将喷嘴机构(4)伸入反应腔内；
S2、驱动吸尘机构(2)经喷嘴机构(4)对空洞内部进行吸尘，同时驱动泡沫发生机构(3)经喷嘴机构(4)向空洞内喷出泡沫。
Priority Applications (1)
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