CN117359135B - 振镜校正方法、装置、计算机设备、存储介质和程序产品 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及激光技术领域，尤其是一种振镜校正方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：检测振镜是否需要校正；当所述振镜需要校正时，移动标定板至工作台；通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点；基于所述目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；基于振镜理论以及所述目标起始点计算得到所述参考点对应的第二打标位置；根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正。采用本方法能够自动较正，降低校正成本。
Description
技术领域
本申请涉及激光技术领域，特别是涉及一种振镜校正方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。
背景技术
随着激光技术的发展，出现了激光剥离设备，在半导体行业中，基底和应用层通常由粘接层进行连接。为了转移开应用层，并重复利用基底，以减少半导体芯片制备成本，需要通过激光剥离设备对基底和应用层二者进行剥离。
传统技术中，由于激光剥离设备拼接精度要求±3um，其中轴运动精度为±1um，振镜温漂为±1um，容错范围只剩下±1um，传统的激光剥离设备精度会产生漂移，拼接精度大于±3um，需要停止设备，进行振镜的校正。
然而，目前的校正方式是通过人工手动校正，即激光镭雕出图形后，使用直尺测量，并人为判断尺寸及畸变情况，随后输入修改校正参数，随后再次循环上述步骤，经过反复调试后完成对标记的校正；不难看出，上述对标记的校正方法，使用人工测量，会导致主观判断误差大，并且会花费大量的时间及人工成本。
发明内容
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够自动较正，降低校正成本的振镜校正方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。
第一方面，本申请提供一种振镜校正方法，所述方法包括：
检测振镜是否需要校正；
当所述振镜需要校正时，移动标定板至工作台；
通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点；
基于所述目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；
基于振镜理论以及所述目标起始点计算得到所述参考点对应的第二打标位置；
根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正。
在其中一个实施例中，所述通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点，包括：
通过相机遍历所述标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别所述标定板图像中的标记图像，并基于所述标记图像得到初始起始点；
基于所述初始起始点，将所述相机的视野移动至标定区域的中心；
基于所述振镜和所述相机的位置关系，将所述标定区域的中心移动至所述振镜下；
控制所述振镜进行打标得到打标图案；
当基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点为目标光栅值处时，将所述初始起始点作为目标起始点；
当基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点不为目标光栅值处时，则基于所述打标图案确定目标起始点。
在其中一个实施例中，所述基于当所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点为目标光栅值处时，将所述参考起始点作为目标起始点之前，还包括：
将所述相机的视野移动至所述初始起始点，并在所述初始起始点处按照预设幅度移动所述相机；
当所述相机的视野中出现所述打标图案的线的端点，则判定所述初始起始点为目标光栅值处，否则判定所述初始起始点不为目标光栅值处。
在其中一个实施例中，所述基于所述打标图案确定目标起始点，包括：
基于所述打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
在其中一个实施例中，所述基于所述初始起始点，将所述相机的视野移动至标定区域的中心，包括：
获取标定区域的尺寸信息；
基于所述初始起始点以及所述尺寸信息计算得到标定区域的中心；
将所述相机的视野移动至标定区域的中心。
在其中一个实施例中，所述根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正，包括：
计算各所述参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；
当各所述偏差均小于预设值时，判断所述振镜校正成功；
当存在至少一个偏差大于或等于所述预设值时，将各所述偏差导入所述振镜，并控制所述振镜基于所述偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至所述振镜校正成功。
第二方面，本申请还提供一种振镜校正装置，所述装置包括：
检测模块，用于检测振镜是否需要校正；
移动模块，用于当所述振镜需要校正时，移动标定板至工作台；
目标起始点确定模块，用于通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点；
第一打标位置确定模块，用于基于所述目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；
第二打标位置确定模块，用于基于振镜理论以及所述目标起始点计算得到所述参考点对应的第二打标位置；
校正模块，用于根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正。
第三方面，本申请还提供一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的任意一个实施例中的方法的步骤。
第四方面，本申请还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的任意一个实施例中的方法的步骤。
第五方面，本申请还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述的任意一个实施例中的方法的步骤。
上述振镜校正方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品，自动判断振镜是否需要校正，当振镜需要校正时，则移动标定板至工作台，并控制相机采集标定板的标定图像，基于标定板图像确定打标的目标起始点；基于目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；基于振镜理论以及目标起始点计算得到参考点对应的第二打标位置；根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，自动进行矫正，减少了人工干预，不需要人工去检测振镜是否需要校正，预防了因振镜误差较大带来的生产风险，降低了人工成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一个实施例中的激光剥离设备的正视图；
图2为一个实施例中的激光剥离设备侧视图；
图3为一个实施例中的激光剥离设备的俯视图；
图4为一个实施例中的激光剥离设备的立体图；
图5为一个实施例中的激光剥离设备的局部放大图；
图6为一个实施例中的激光剥离设备的工作台的局部放大图；
图7为一个实施例中的激光剥离设备的抓取标定板位置的局部放大图；
图8为一个实施例中振镜校正方法的流程示意图；
图9为一个实施例中标定板的示意图；
图10为一个实施例中的目标起始点确定步骤的流程图；
图11为一个实施例中振镜校正装置的结构框图；
图12为一个实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
本申请实施例提供的振镜校正方法，可以应用于如图1所示的应用环境中。其中图1为一个实施例中的激光剥离设备的正视图，图2为一个实施例中的激光剥离设备侧视图，图3为一个实施例中的激光剥离设备的俯视图，图4为一个实施例中的激光剥离设备的立体图，图5为一个实施例中的激光剥离设备的局部放大图，图6为一个实施例中的激光剥离设备的工作台的局部放大图，图7为一个实施例中的激光剥离设备的抓取标定板位置的局部放大图。在该实施例中该激光剥离设备包括激光振镜1、相机2、工作台3、夹爪4、基台5、场镜6以及伺服轴光栅7。其中激光振镜1用于控制激光的偏转；相机2用于高速采集、传输、处理和分析高质量的图像；工作台3为激光加工台，其可以承载待剥离产品或者标定板；夹爪4用于运输标定板和产品；基台5用于装载标定板；场镜6用于让通过场镜6的光在一个平面上各个点都是其聚焦点；伺服轴光栅7用于提供机台坐标系坐标值。其中，该激光剥离设备还包括处理器，该处理器用于控制激光振镜1、相机2、夹爪4、场镜6以及伺服轴光栅7的工作。
在一个示例性的实施例中，如图8所示，提供了一种振镜校正方法，以该方法应用于图1中的处理器为例进行说明，包括以下步骤802至步骤812。其中：
S802：检测振镜是否需要校正。
其中，为了保证在产品的处理过程中，振镜的误差符合要求，因此需要实时检测振镜是否需要校正，其中该检测可以是周期性的，每个周期的间隔时长可以基于需要设置，在其他的实施例中，还可以通过设置参数来判断振镜是否需要校正，例如通过设置振镜的工作时间阈值或振镜的使用次数阈值等。在其中一个可选的实施例中，检测振镜是否需要校正，包括，检测振镜的使用时间是否大于时间阈值以及振镜对应的产品的生产数量是否大于产品阈值，若振镜的使用时间大于时间阈值或振镜对应的产品的生产数量大于产品阈值，则判定振镜需要校正，否则振镜不需要校正。其中，对于时间，处理器在每次校正完成后，开始使用时间记录，并在使用时间大于时间阈值时，判定振镜需要校正。对于生产数量，则处理器记录振镜所生产的产品的数量，例如其可以根据夹爪搬运的产品的数量得到，或者是基于振镜的工作次数得到，当从上一次振镜校正完成后，该产品的生产数量大于产品阈值，则判定振镜需要校正，需要说明的一点是，每次振镜校正完成，则该产品的生成数量和振镜的使用时间均复位至初始值。
S804：当振镜需要校正时，移动标定板至工作台。
其中，在振镜需要校正时，处理器控制停止产品的生产，并控制夹爪将标定板从基台夹至工作台。在其中一个可选的实施例中，在标定板放置好后，将工作台吸真空。
S806：通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点。
其中，目标起始点是目标光栅值处，例如光栅值最小处。其中由于振镜和相机之间的关系的标定可能存在误差，因此在确定目标起始点时，打标后重新移动到起始位置处会与之前所识别的起始位置存在偏差，因此需要基于打标图案重新确定目标起始点。
其中标定板图像是指相机所采集的标定板的图像，可选地，相机遍历整个标定板所在的标定板区域，获取到标定板图像，并基于所获取的标定板图像确定目标起始点。
可选地，首先通过识别相机采集的标定板图像，确定标记图像，结合图9所示，图9为一个实施例中的标定板，其中的“+”即为标记图像，通过对采集的标定板图像进行识别确定该标记图像，并基于该标记图像确定初始起始点，后续在标定板上进行打标，并在打标完成后，重新将相机视野移动至该初始起始点处，若该初始起始点与打标的图案的光栅值最小处不一致，则确定打标图案的光栅值最小处为目标起始点，若该初始起始点与打标的图案的光栅值最小处一致，则确定初始起始点即为目标起始点。
S808：基于目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置。
其中，基于目标起始点进行打标，具体地，载台X、Y从起始点开始移动在打标区域进行打标，在一次打标完成后，通过相机采集打标区域的图像，并识别相机视野中打标区域的打标图案的参考点，将所有参考点的坐标保存并记录为振镜的真值，即第一打标位置。在其中一个可选的实施例中，打标图案为网格，该参考点的位置为网格的格点，即任意两条网格线的交点。
S810：基于振镜理论以及目标起始点计算得到参考点对应的第二打标位置。
其中第二打标位置是基于标定板坐标系推导出的每个参考点的坐标，可以理解为振镜的理论值。由于目标起始点已知，打标图案已知，且标定板坐标系已知，因为可以求得标定板坐标系下各个参考点的第二打标位置。
S812：根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正。
其中，由于每个参考点均对应有第一打标位置和第二打标位置，因此第一打标位置和第二打标位置的偏差可以衡量振镜的误差，为此，基于该些参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差对振镜进行校正。
在其中一个可选的实施例中，根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正，包括：计算各参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；当各偏差均小于预设值时，判断振镜校正成功；当存在至少一个偏差大于或等于预设值时，将各偏差导入振镜，并控制振镜基于偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至振镜校正成功。
其中可选地，处理器计算得到各参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差，并判断该些偏差是否均小于预设值，当存在至少一个偏差大于或等于预设值时，则将所有的偏差导入振镜，从而振镜基于偏差自动校正下一次打标的位置，然后基于校正后的打标的位置再次打标，并通过相机获取到再次打标后的各参考点的第一打标位置，将其与第二打标位置进行比较，直至振镜所有的偏差均小于预设值时，振镜校正成功。
在其中一个可选的实施例中，在振镜校正成功后，则控制振镜继续进行产品的生产，并检测振镜是否需要校正，若不需要校正，则继续进行产品的生成步骤，包括计算加工焦距，移动到平台激光中心，激光出光，开始打样，打样完成关闭激光，工作台下料，一次加工结束。
这样通过增加自动振镜自动矫正装置，软件新增自动矫正功能，减少了停机时间，设备可以一直自动运行，增加了产量。
上述振镜校正方法，自动判断振镜是否需要校正，当振镜需要校正时，则移动标定板至工作台，并控制相机采集标定板的标定图像，基于标定板图像确定打标的目标起始点；基于目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；基于振镜理论以及目标起始点计算得到参考点对应的第二打标位置；根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正，自动进行矫正，减少了人工干预，不需要人工去检测振镜是否需要校正，预防了因振镜误差较大带来的生产风险，降低了人工成本。。
在其中一个可选的实施例中，参见图10所示，图10为一个实施例中的目标起始点确定步骤的流程图，在该实施例中，上述目标起始点确定步骤，即通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点，包括：
S1002：通过相机遍历标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别标定板图像中的标记图像，并基于标记图像得到初始起始点。
其中，标定区域是标定板所在的区域，通过相机遍历整个标定板区域进行图像采集得到标定板图像，并对标定板图像进行标记图像的识别。
在其中一个可选的实施例中，处理器控制相机按照预设轨迹遍历标定板区域，并通过另外一个线程实时对采集的标定板图像进行实时的识别。从而在对标定板图像进行识别得到标记图像后，则可以停止遍历，也即停止标定板图像的采集。
在其中一个可选的实施例中，对标定板图像进行识别可以是通过模板图像实现的，具体地，获取到标记图像的模板图像，基于该模板图像对标定板图像进行识别确定标记图像的位置，然后识别标记图像的目标点，例如识别出标记图像的中心点，将该中心点作为初始起始点，其中，该初始起始点即为标记区域中伺服轴X、Y光栅值最小处。
S1004：基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心。
其中，标定区域的中心是基于初始起始点以及标定区域的尺寸信息所确定的。其中处理器先控制相机，将初始起始点移动至相机的视野，然后基于初始起始点以及标定区域的尺寸信息，将相机视野移动至标定区域的中心，即将相机视野的中心移动至标定区域的中心。
在其中一个可选的实施例中，基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心，包括：获取标定区域的尺寸信息；基于初始起始点以及尺寸信息计算得到标定区域的中心；将相机的视野移动至标定区域的中心。
其中，为了方便理解，假设标定区域的尺寸信息为长W*高H，则W/2、H/2处即为标定区域的中心，因此控制相机的视野从初始起始点，在X轴和Y轴上分别移动W/2、H/2的距离，以将相机的视野移动至标定区域的中心。
在其中一个可选的实施例中，标定区域的中心是基于伺服轴的工作区间范围确定的。
S1006：基于振镜和相机的位置关系，将标定区域的中心移动至振镜下。
其中振镜和相机的位置关系是预先标定的，基于振镜和相机的位置关系，可以将标定区域的中心移动至振镜下，例如控制工作台移动，以将标定区域的中心移动至振镜下。
S1008：控制振镜进行打标得到打标图案。
其中，打标图案为网格，设定打标参数为长W、高H，打标间距step，使用振镜基于设置的打标参数绘制出矩形网格。
S1010：当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将初始起始点作为目标起始点。
S1012：当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点不为目标光栅值处时，则基于打标图案确定目标起始点。
其中，在打标结束后，再次将相机视野移动至初始起始点。需要说明的是，本申请中所有的关于相机视野的描述，均是指将相机视野的中心对准对应的点，例如此处是将相机视野的中心移动至初始起始点，从而确定基于初始起始点与打标图案确定初始起始点是否为目标光栅值处。其中目标光栅值处即打标图案的光栅值的最小点处。
在其中一个可选的实施例中，基于当初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将参考起始点作为目标起始点之前，还包括：将相机的视野移动至初始起始点，并在初始起始点处按照预设幅度移动相机；当相机的视野中出现打标图案的线的端点，则判定初始起始点为目标光栅值处，否则判定初始起始点不为目标光栅值处。
其中，初始起始点是通过标定板的标记图像初步判断的，算法会在初始起始点周围小幅度移动X、Y轴，若减少X、Y坐标，视野中会出现线的端点，则认为该初始起始点为标定区域光栅值最小处，否则，移动视野重新搜寻目标起始点，例如基于打标图案确定目标起始点。
在其中一个可选的实施例中，基于打标图案确定目标起始点，包括：基于打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。例如确定打标图案中光栅值最小的点为目标起始点。
上述实施例中，准确地确定了目标起始点，为后续的振镜校正奠定了基础，避免因为相机和振镜的标定关系导致的起始点错误，提高了振镜的校正的准确性。
应该理解的是，虽然如上的各实施例所涉及的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，如上的各实施例所涉及的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
基于同样的发明构思，本申请实施例还提供了一种用于实现上述所涉及的振镜校正方法的振镜校正装置。该装置所提供的解决问题的实现方案与上述方法中所记载的实现方案相似，故下面所提供的一个或多个振镜校正装置实施例中的具体限定可以参见上文中对于振镜校正方法的限定，在此不再赘述。
在一个示例性的实施例中，如图11所示，提供了一种振镜校正装置，包括：检测模块1101、移动模块1102、目标起始点确定模块1103、第一打标位置确定模块1104、第二打标位置确定模块1105和校正模块1106，其中：
检测模块1101，用于检测振镜是否需要校正；
移动模块1102，用于当振镜需要校正时，移动标定板至工作台；
目标起始点确定模块1103，用于通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点；
第一打标位置确定模块1104，用于基于目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；
第二打标位置确定模块1105，用于基于振镜理论以及目标起始点计算得到参考点对应的第二打标位置；
校正模块1106，用于根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正。
在其中一个可选的实施例中，目标起始点确定模块1103还用于通过相机遍历标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别标定板图像中的标记图像，并基于标记图像得到初始起始点；基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心；基于振镜和相机的位置关系，将标定区域的中心移动至振镜下；控制振镜进行打标得到打标图案；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将初始起始点作为目标起始点；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点不为目标光栅值处时，则基于打标图案确定目标起始点。
在其中一个可选的实施例中，目标起始点确定模块1103还用于将相机的视野移动至初始起始点，并在初始起始点处按照预设幅度移动相机；当相机的视野中出现打标图案的线的端点，则判定初始起始点为目标光栅值处，否则判定初始起始点不为目标光栅值处。
在其中一个可选的实施例中，目标起始点确定模块1103还用于基于打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
在其中一个可选的实施例中，目标起始点确定模块1103还用于获取标定区域的尺寸信息；基于初始起始点以及尺寸信息计算得到标定区域的中心；将相机的视野移动至标定区域的中心。
在其中一个可选的实施例中，校正模块1106还用于计算各参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；当各偏差均小于预设值时，判断振镜校正成功；当存在至少一个偏差大于或等于预设值时，将各偏差导入振镜，并控制振镜基于偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至振镜校正成功。
上述振镜校正装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
在一个示例性的实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是终端，其内部结构图可以如图12所示，该终端可以与激光剥离设备相通信，用于控制激光剥离设备的正常运行。该计算机设备包括处理器、存储器、输入/输出接口、通信接口、显示单元和输入装置。其中，处理器、存储器和输入/输出接口通过系统总线连接，通信接口、显示单元和输入装置通过输入/输出接口连接到系统总线。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的输入/输出接口用于处理器与外部设备之间交换信息。该计算机设备的通信接口用于与外部的终端进行有线或无线方式的通信，无线方式可通过WIFI、移动蜂窝网络、NFC（近场通信）或其他技术实现。该计算机程序被处理器执行时以实现一种振镜校正方法。该计算机设备的显示单元用于形成视觉可见的画面，可以是显示屏、投影装置或虚拟现实成像装置。显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该计算机设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是计算机设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。
本领域技术人员可以理解，图12中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
在一个示例性的实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：检测振镜是否需要校正；当振镜需要校正时，移动标定板至工作台；通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点；基于目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；基于振镜理论以及目标起始点计算得到参考点对应的第二打标位置；根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时所实现的通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点，包括：通过相机遍历标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别标定板图像中的标记图像，并基于标记图像得到初始起始点；基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心；基于振镜和相机的位置关系，将标定区域的中心移动至振镜下；控制振镜进行打标得到打标图案；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将初始起始点作为目标起始点；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点不为目标光栅值处时，则基于打标图案确定目标起始点。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时所实现的基于当初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将参考起始点作为目标起始点之前，还包括：将相机的视野移动至初始起始点，并在初始起始点处按照预设幅度移动相机；当相机的视野中出现打标图案的线的端点，则判定初始起始点为目标光栅值处，否则判定初始起始点不为目标光栅值处。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时所实现的基于打标图案确定目标起始点，包括：基于打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时所实现的基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心，包括：获取标定区域的尺寸信息；基于初始起始点以及尺寸信息计算得到标定区域的中心；将相机的视野移动至标定区域的中心。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时所实现的根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正，包括：计算各参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；当各偏差均小于预设值时，判断振镜校正成功；当存在至少一个偏差大于或等于预设值时，将各偏差导入振镜，并控制振镜基于偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至振镜校正成功。
在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：检测振镜是否需要校正；当振镜需要校正时，移动标定板至工作台；通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点；基于目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；基于振镜理论以及目标起始点计算得到参考点对应的第二打标位置；根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时所实现的通过相机采集工作台上的标定板的标定板图像，并基于标定板图像确定打标的目标起始点，包括：通过相机遍历标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别标定板图像中的标记图像，并基于标记图像得到初始起始点；基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心；基于振镜和相机的位置关系，将标定区域的中心移动至振镜下；控制振镜进行打标得到打标图案；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将初始起始点作为目标起始点；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点不为目标光栅值处时，则基于打标图案确定目标起始点。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的基于当初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将参考起始点作为目标起始点之前，还包括：将相机的视野移动至初始起始点，并在初始起始点处按照预设幅度移动相机；当相机的视野中出现打标图案的线的端点，则判定初始起始点为目标光栅值处，否则判定初始起始点不为目标光栅值处。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的基于打标图案确定目标起始点，包括：基于打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心，包括：获取标定区域的尺寸信息；基于初始起始点以及尺寸信息计算得到标定区域的中心；将相机的视野移动至标定区域的中心。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正，包括：计算各参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；当各偏差均小于预设值时，判断振镜校正成功；当存在至少一个偏差大于或等于预设值时，将各偏差导入振镜，并控制振镜基于偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至振镜校正成功。
在一个实施例中，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：通过相机遍历标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别标定板图像中的标记图像，并基于标记图像得到初始起始点；基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心；基于振镜和相机的位置关系，将标定区域的中心移动至振镜下；控制振镜进行打标得到打标图案；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将初始起始点作为目标起始点；当基于初始起始点与打标图案确定初始起始点不为目标光栅值处时，则基于打标图案确定目标起始点。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的基于当初始起始点与打标图案确定初始起始点为目标光栅值处时，将参考起始点作为目标起始点之前，还包括：将相机的视野移动至初始起始点，并在初始起始点处按照预设幅度移动相机；当相机的视野中出现打标图案的线的端点，则判定初始起始点为目标光栅值处，否则判定初始起始点不为目标光栅值处。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的基于打标图案确定目标起始点，包括：基于打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的基于初始起始点，将相机的视野移动至标定区域的中心，包括：获取标定区域的尺寸信息；基于初始起始点以及尺寸信息计算得到标定区域的中心；将相机的视野移动至标定区域的中心。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时所实现的根据第一打标位置和第二打标位置的偏差，对振镜进行校正，包括：计算各参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；当各偏差均小于预设值时，判断振镜校正成功；当存在至少一个偏差大于或等于预设值时，将各偏差导入振镜，并控制振镜基于偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至振镜校正成功。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器（Read-OnlyMemory，ROM）、磁带、软盘、闪存、光存储器、高密度嵌入式非易失性存储器、阻变存储器（ReRAM）、磁变存储器（Magnetoresistive Random Access Memory，MRAM）、铁电存储器（Ferroelectric Random Access Memory，FRAM）、相变存储器（Phase Change Memory，PCM）、石墨烯存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器（Random Access Memory，RAM）或外部高速缓冲存储器等。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器（Static Random Access Memory，SRAM）或动态随机存取存储器（Dynamic RandomAccess Memory，DRAM）等。本申请所提供的各实施例中所涉及的数据库可包括关系型数据库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，不限于此。本申请所提供的各实施例中所涉及的处理器可为通用处理器、中央处理器、图形处理器、数字信号处理器、可编程逻辑器、基于量子计算的数据处理逻辑器等，不限于此。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种振镜校正方法，其特征在于，所述方法包括：
检测振镜是否需要校正；
当所述振镜需要校正时，移动标定板至工作台；
通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点；
基于所述目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；
基于振镜理论以及所述目标起始点计算得到所述参考点对应的第二打标位置；
根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正；
所述通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点，包括：
通过相机遍历所述标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别所述标定板图像中的标记图像，并基于所述标记图像得到初始起始点；
基于所述初始起始点，将所述相机的视野移动至标定区域的中心；
基于所述振镜和所述相机的位置关系，将所述标定区域的中心移动至所述振镜下；
控制所述振镜进行打标得到打标图案；
当基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点为目标光栅值处时，将所述初始起始点作为目标起始点；
当基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点不为目标光栅值处时，则基于所述打标图案确定目标起始点；
所述基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点为目标光栅值处时，将所述初始起始点作为目标起始点之前，还包括：
将所述相机的视野移动至所述初始起始点，并在所述初始起始点处按照预设幅度移动所述相机；
当所述相机的视野中出现所述打标图案的线的端点，则判定所述初始起始点为目标光栅值处，否则判定所述初始起始点不为目标光栅值处。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述打标图案确定目标起始点，包括：
基于所述打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述初始起始点，将所述相机的视野移动至标定区域的中心，包括：
获取标定区域的尺寸信息；
基于所述初始起始点以及所述尺寸信息计算得到标定区域的中心；
将所述相机的视野移动至标定区域的中心。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正，包括：
计算各所述参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；
当各所述偏差均小于预设值时，判断所述振镜校正成功；
当存在至少一个偏差大于或等于所述预设值时，将各所述偏差导入所述振镜，并控制所述振镜基于所述偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至所述振镜校正成功。
5.一种振镜校正装置，其特征在于，所述装置包括：
检测模块，用于检测振镜是否需要校正；
移动模块，用于当所述振镜需要校正时，移动标定板至工作台；
目标起始点确定模块，用于通过相机采集工作台上的所述标定板的标定板图像，并基于所述标定板图像确定打标的目标起始点；
第一打标位置确定模块，用于基于所述目标起始点进行打标，并确定参考点的第一打标位置；
第二打标位置确定模块，用于基于振镜理论以及所述目标起始点计算得到所述参考点对应的第二打标位置；
校正模块，用于根据所述第一打标位置和第二打标位置的偏差，对所述振镜进行校正；
其中，所述目标起始点确定模块还用于通过相机遍历所述标定板对应的标定区域得到标定板图像，识别所述标定板图像中的标记图像，并基于所述标记图像得到初始起始点；基于所述初始起始点，将所述相机的视野移动至标定区域的中心；基于所述振镜和所述相机的位置关系，将所述标定区域的中心移动至所述振镜下；控制所述振镜进行打标得到打标图案；当基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点为目标光栅值处时，将所述初始起始点作为目标起始点；当基于所述初始起始点与所述打标图案确定所述初始起始点不为目标光栅值处时，则基于所述打标图案确定目标起始点；
所述目标起始点确定模块还用于：将所述相机的视野移动至所述初始起始点，并在所述初始起始点处按照预设幅度移动所述相机；当所述相机的视野中出现所述打标图案的线的端点，则判定所述初始起始点为目标光栅值处，否则判定所述初始起始点不为目标光栅值处。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述目标起始点确定模块还用于基于所述打标图案中各点的光栅值确定目标起始点。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述目标起始点确定模块还用于获取标定区域的尺寸信息；基于所述初始起始点以及所述尺寸信息计算得到标定区域的中心；将所述相机的视野移动至标定区域的中心。
8.根据权利要求5或6所述的装置，其特征在于，所述校正模块还用于计算各所述参考点的第一打标位置和第二打标位置的偏差；当各所述偏差均小于预设值时，判断所述振镜校正成功；当存在至少一个偏差大于或等于所述预设值时，将各所述偏差导入所述振镜，并控制所述振镜基于所述偏差重新进行打标后，继续执行确定参考点的第一打标位置的步骤，直至所述振镜校正成功。
9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至4中任一项所述的方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至4中任一项所述的方法的步骤。
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