CN117345631A - 真空泵转子运动间隙的监测方法、控制方法及真空泵 - Google Patents

真空泵转子运动间隙的监测方法、控制方法及真空泵 Download PDF

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Abstract

本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种能够监测真空泵转子运动间隙的方法。第一测温液通入真空泵的壳体中，第二测温液通入转子中，通过获取第一测温液的通入温度和流出温度，获取第二测温液的通入温度和流出温度，获知第一测温液和第二测温液的温度变化情况，根据测温液温度变化能够获取到真空泵中转子和壳体的温度变化，进而监测真空泵转子运动间隙的变化。

Description

真空泵转子运动间隙的监测方法、控制方法及真空泵
技术领域
本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种能够监测真空泵转子运动间隙的方法。
背景技术
真空泵的转子运动间隙包括转子与转子之间的间隙和转子与壳体之间的间隙。转子运动间隙设置过大，会导致真空泵的工作效率下降，转子运动间隙过小，又会增加出现摩擦或者卡死的风险。为保证真空泵的稳定运行，需要监测转子运动间隙的变化情况，而转子运动间隙又是处于真空泵的内部，且在真空泵运行时，转子还处于高速旋转状态，很难对转子运动间隙进行获取或者测量。
发明内容
本发明提供一种真空泵转子运动间隙的监测方法，用于监测转子运动间隙变化。
另外，本发明的目的还在于提供过一种真空泵转子运动间隙的控制方法。本发明的目的还在于提供过一种真空泵。
第一方面，一种实施例中提供一种真空泵转子运动间隙的监测方法，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，构建所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度关于时间t的函数W(t)，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t0)，其中t0为第一测温液单元在所述壳体流道中通过的时间；
向所述真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，构建所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度关于时间t的函数w(t)，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t1)，其中t1为所述第二测温液单元在所述转子流道中通过的时间；
计算F(t+t0)与W(t)的差值A，A＝F(t+t0)-W(t)，计算f(t+t1)与w(t)的差值a，a＝f(t+t1)-w(t)；
判断转子运动间隙变化情况：当所述差值A和所述差值a中一个增大，另一个保持稳定或者增大，则判定转子运动间隙减小；当所述差值A和所述差值a均保持稳定，则判定转子运动间隙未变化；当所述差值A和所述差值a中一个减小，另一个保持稳定或减小，则判定转子运动间隙增大。
进一步的，一种实施例中，获取所述差值A变化情况的方法是：对差值A求导，A'＝F'(t+t0)-W'(t),如果A'＞0，则所述差值A增大，如果A'＜0，则所述差值A减小，如果A'＝0，则所述差值A保持稳定；
和/或获取所述差值A变化情况的方法是：对差值a求导，a'＝f'(t+t1)-w'(t)，如果a'＞0，则所述差值a增大，如果a'＜0，则所述差值a减小，如果a'＝0，则所述差值a保持稳定。
一种实施例中，提供一种真空泵转子运动间隙的监测方法，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度为W，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t)；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度为w，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t)；W和w为均固定值；
判断转子运动间隙变化情况：当F(t)和f(t)中一个增大，另一个保持稳定或者增大，则判定转子运动间隙减小；当F(t)和f(t)均保持稳定，则判定转子运动间隙未变化；当F(t)和f(t)中一个减小，另一个保持稳定或减小，则判定转子运动间隙增大。
进一步的，一种实施例中，获取F(t)变化情况的方法是：对F(t)求导，如果F'(t)＞0，则F(t)增大，如果F'(t)＜0，则F(t)减小，如果F'(t)＝0，则F(t)保持稳定。
和/或获取f(t)变化情况的方法是：对f(t)求导，如果f'(t)＞0，则f(t)增大，如果f'(t)＜0，则f(t)减小，如果f'(t)＝0，则f(t)保持稳定。
一种实施例中，提供一种真空泵转子运动间隙的监测方法，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，构建所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度关于时间t的函数W(t)，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t0)，其中t0为第一测温液单元在所述壳体流道中通过的时间；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，构建所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度关于时间t的函数w(t)，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t1)，其中t1为所述第二测温液单元在所述转子流道中通过的时间；
计算F(t+t0)与W(t)的差值A，A＝F(t+t0)-W(t)，计算f(t+t1)与w(t)的差值a，a＝f(t+t1)-w(t)；
判断转子运动间隙变化情况：当所述差值A大于设定目标值B，且所述差值a不小于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当所述差值A等于设定目标值B，且所述差值a大于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当所述差值A等于设定目标值B，且所述差值a等于设定目标值b，则判定转子运动间隙未变化；当所述差值A小于设定目标值B，且所述差值a不大于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大；当所述差值A等于设定目标值B，且所述差值a小于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大。
一种实施例中，提供一种真空泵转子运动间隙的监测方法，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度为W，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t)；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度为w，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t)；W和w为均固定值；
计算F(t)与W的差值A，A＝F(t)-W，计算f(t)与w的差值a，a＝f(t)-w；
当差值A大于设定目标值B，且差值a不小于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a大于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a等于设定目标值b，则判定转子运动间隙未变化；当差值A小于设定目标值B，且差值a不大于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大；当差值A等于设定目标值B，且差值a小于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大。
进一步的，在上述任一种实施例的基础上，所述第一测温液的通入流量Q和所述第二测温液的通入流量q均为固定值。
进一步的，一种实施例中，构建向所述壳体流道中通入所述第一测温液的流量Q的函数Q(t)，所述壳体中供所述第一测温液流动的壳体流道的长度为L，所述壳体流道的截面积为S，则t0＝LS/Q(t)；构建向所述转子流道中通入第二测温液的流量q的函数q(t)，所述转子中供第二测温液流动的转子流道的长度为l，所述转子流道的截面积为s，t1＝l s/q(t)。
第二方面，一种实施例中提供一种真空泵转子运动间隙的控制方法，包括第一方面中任意一种实施例中所述的真空泵转子运动间隙的监测方法，在转子运动间隙减小时，增大通入流量Q和/或增大通入流量q；在转子运动间隙稳定时，保持通入流量Q和通入流量q；在转子运动间隙增大时，减小通入流量Q和/或减小通入流量q。
第三方面，一种实施例中提供一种真空泵，包括壳体和处于所述壳体内的转子，所述转子具有转子流道，所述转子流道用于通入第一测温液；所述壳体具有壳体流道，所述壳体流道用于通入第二测温液；所述真空泵还包括用于获取所述第一测温液流出所述转子时温度的第一温度传感器和用于获取所述第二测温液流出所述壳体时温度的第二温度传感器；所述真空泵还包括调节所述第一测温液通入流量的第一调节装置和调节所述第二测温液通入流量的第二调节装置，所述真空泵还包括控制器，所述控制器与所述第一调节装置连接且与第二调节装置连接，所述第一温度传感器与所述控制器通讯连接，所述第二温度传感器与所述控制器通讯连接，以使所述控制器能够根据获取到的第一温度传感器的温度数据控制第一调节装置，且能够根据获取到的第二温度传感器的温度数据控制第二控制器。
根据上述实施例的真空泵转子运动间隙的监测方法，第一测温液通入真空泵的壳体中，第二测温液通入转子中，通过获取第一测温液的通入温度和流出温度，获取第二测温液的通入温度和流出温度，获知第一测温液和第二测温液的温度变化情况，根据测温液温度变化能够获取到真空泵中转子和壳体的温度变化，进而监测真空泵转子运动间隙的变化。
附图说明
图1为第一种实施方式中真空泵转子运动间隙的监测方法的流程图；
图2为第二种实施方式中真空泵转子运动间隙的监测方法的流程图；
图3为第三种实施方式中真空泵转子运动间隙的监测方法的流程图；
图4为第四种实施方式中真空泵转子运动间隙的监测方法的流程图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。
另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。
本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。
实施方式1，请参考图1，真空泵转子运动间隙的监测方法包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，构建第一测温液的第一测温液单元通入壳体流道的温度关于时间t的函数W(t)，构建第一测温液单元从壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t0)，其中t0为第一测温液单元在壳体流道中通过的时间；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，构建第二测温液的第二测温单元通入转子流道的温度关于时间t的函数w(t)，构建第二测温单元从转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t1)，其中t1为第二测温液单元在转子流道中通过的时间；
计算F(t+t0)与W(t)的差值A，A＝F(t+t0)-W(t)，计算f(t+t1)与w(t)的差值a，a＝f(t+t1)-w(t)；
判断转子运动间隙变化情况：当差值A和差值a中一个增大，另一个保持稳定或者增大，则判定转子运动间隙减小；当差值A和差值a均保持稳定，则判定转子运动间隙未变化；当差值A和差值a中一个减小，另一个保持稳定或减小，则判定转子运动间隙增大。
本申请中第一测温液和第二测温液可以采用任意可行的方式，由于测温液在通过流道的过程中，能够与真空泵进行热交换，对真空泵的壳体和转子起到冷却的作用，基于此，测温液可以使用现有技术中常用的冷媒，比如冷却水、油液等。
本申请中第一测温液单元和第二测温液单元是为了方便描述定义的理想单元，流道中的测温液可以理解为在流道长度方向上前后排列的无数个测温液单元，一种实施例中，测温液单元的截面积与流道的截面积保持一致，测温液单元的厚度趋近于0。
关于通入流量Q和通入流量q的形式，一些实施例中，第一测温液的通入流量Q和第二测温液的通入流量q均为固定值。需要说明的是，通入流量Q和通入流量q为固定值是指在没有主动调整通入流量Q和通入流量q时，通入流量Q和通入流量q是不变的，根据需要，在需要调整通入流量Q和通入流量q时，也可以对通入流量Q和通入流量q的大小进行调整。
进一步的，一些实施例中，通入流量Q和通入流量q为随时间t变化的变量。构建向壳体流道中通入第一测温液的流量Q的函数Q(t)，壳体中共第一测温液流动的壳体流道的长度为L，壳体流道的截面积为S，则t0＝LS/Q(t)；构建向转子流道中通入第二测温液的流量q的函数q(t)，转子中供第二测温液流动的转子流道的长度为l，转子流道的截面积为s，t1＝l s/q(t)。Q(t)和/或q(t)也可以是常数。
通过将第一测温液通入壳体流道中，获取第一测温液经过壳体流道后的温度变化，第一测温液温度的变化能够反应壳体的温度变化，第一测温液的通入温度与流出温度差值增大，表示壳体的温度升高，第一测温液的通入温度与流出温度差值减小，表示壳体自身的温度降低，第一测温液的通入温度与流出温度差值稳定时，表示壳体的温度稳定，此时第一测温液吸收的热量与壳体自身接收的热量平衡。
同理，将第二测温液通入转子流道中，获取第二测温液的温度变化，能够反应转子的温度变化，第二测温液的通入温度与流出温度差值增大，表示转子的温度升高，第二测温液的通入温度与流出温度差值减小，表示转子自身的温度降低，第二测温液的通入温度与流出温度差值稳定时，表示转子的温度稳定，此时第二测温液吸收的热量与转子自身接收的热量平衡。
根据热胀冷缩的原理，在转子和壳体的温度均升高时，转子与壳体之间的转子运动间隙必然减小，在转子和壳体的温度均下降时，转子与壳体之间的转子运动间隙必然增大。同理，在转子和壳体的温度稳定时，转子与壳体之间的转子运动间隙保持不变，在转子的温度和壳体的温度其中一个稳定，另一个升高时，转子与壳体之间的转子运动间隙必然减小，在转子的温度和壳体的温度其中一个稳定，另一个下降时，转子与壳体之间的转子运动间隙必然增大。
综上分析，通过监测第一测温液和第二测温液的温度变化情况，能够实现监测真空泵转子运动间隙的变化。
相比在真空泵中布置温度传感器采集转子与壳体的温度，温度传感器数量有限，分布不均，采集的温度数据不全面，本申请通过第一测温液和第二测温液的温度变化情况反映真空泵的壳体和转子温度变化，结果更全面准确，更为准确的监测真空泵转子运动间隙的变化。
本申请中真空泵的转子运动间隙包括转子与转子之间的间隙和转子与壳体之间的间隙。
进一步的，一些实施例中，请参考图1，获取差值A变化情况的方法是：对差值A求导，A'＝F'(t+t0)-W'(t),如果A'＞0，则差值A增大，如果A'＜0，则差值A减小，如果A'＝0，则差值A保持稳定；
还有一些实施例中，请参考图1，获取差值A变化情况的方法是：对差值a求导，a'＝f'(t+t1)-w'(t)，如果a'＞0，则差值a增大，如果a'＜0，则差值a减小，如果a'＝0，则差值a保持稳定。
通过对函数求导的方式，方便判断差值A和差值a的变化趋势判断。
一些其他的实施例中，W(t)和/或w(t)也可以是常数。
实施方式2，请参考图2，真空泵转子运动间隙的监测方法包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，第一测温液的第一测温液单元通入壳体流道的温度为W，构建第一测温液单元从壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t)；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，第二测温液的第二测温单元通入转子流道的温度为w，构建第二测温单元从转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t)；
与上述实施方式1不同之处在于，该实施例中，W和w为均固定值。W和w为均固定值的情况下能够减少需要处理的数据，简化判断过程。需要说明的是，W和w为均固定值是指在没有主动调整温度W和温度w时，温度W和温度w是不变的，根据需要，在需要调整温度W和温度w时，也可以对温度W和温度w的大小进行调整。
在此基础上判断转子运动间隙变化情况：当F(t)和f(t)中一个增大，另一个保持稳定或者增大，则判定转子运动间隙减小；当F(t)和f(t)均保持稳定，则判定转子运动间隙未变化；当F(t)和f(t)中一个减小，另一个保持稳定或减小，则判定转子运动间隙增大。
进一步的，一些实施例中，请参考图2，获取F(t)变化情况的方法是：对F(t)求导，如果F'(t)＞0，则F(t)增大，如果F'(t)＜0，则F(t)减小，如果F'(t)＝0，则F(t)保持稳定。
进一步的，一些实施例中，获取f(t)变化情况的方法是：对f(t)求导，如果f'(t)＞0，则f(t)增大，如果f'(t)＜0，则f(t)减小，如果f'(t)＝0，则f(t)保持稳定。
实施方式3，请参考图3，真空泵转子运动间隙的监测方法包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，构建第一测温液的第一测温液单元通入壳体流道的温度关于时间t的函数W(t)，构建第一测温液单元从壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t0)，其中t0为第一测温液单元在壳体流道中通过的时间；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，构建第二测温液的第二测温单元通入转子流道的温度关于时间t的函数w(t)，构建第二测温单元从转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t1)，其中t1为第二测温液单元在转子流道中通过的时间；
计算F(t+t0)与W(t)的差值A，A＝F(t+t0)-W(t)，计算f(t+t1)与w(t)的差值a，a＝f(t+t1)-w(t)；
与实施方式1不同之处在于，判断转子运动间隙变化情况的方式是：当差值A大于设定目标值B，且差值a不小于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a大于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a等于设定目标值b，则判定转子运动间隙未变化；当差值A小于设定目标值B，且差值a不大于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大；当差值A等于设定目标值B，且差值a小于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大。
实施方式4，请参考图4，真空泵转子运动间隙的监测方法包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，第一测温液的第一测温液单元通入壳体流道的温度为W，构建第一测温液单元从壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t)；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，第二测温液的第二测温单元通入转子流道的温度为w，构建第二测温单元从转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t)；
与实施方式3不同之处在于，W和w为均固定值。
计算F(t)与W的差值A，A＝F(t)-W，计算f(t)与w的差值a，a＝f(t)-w；
当差值A大于设定目标值B，且差值a不小于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a大于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a等于设定目标值b，则判定转子运动间隙未变化；当差值A小于设定目标值B，且差值a不大于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大；当差值A等于设定目标值B，且差值a小于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大。
需要说明的是，上述实施例中真空泵转子运动间隙的监测方法的基本原理类似，根据测温液温度变化情况判断转子运动间隙的基本原理已经在实施方式1中详细介绍，相同的内容在实施方式2至实施方式4中未再赘述，实施方式2至实施方式4仅对区别部分进行了详细说明。
一些真空泵转子运动间隙的控制方法的实施例中，真空泵转子运动间隙的控制方法包括如上述任意一种实施例中的真空泵转子运动间隙的监测方法。
一种实施例中，在转子运动间隙减小时，增大通入流量Q和/或增大通入流量q。
一种实施例中，在转子运动间隙稳定时，保持通入流量Q和通入流量q。
还有一种实施例中，在转子运动间隙增大时，减小通入流量Q和/或减小通入流量q。
通过调节第一测温液和/或第二测温液的流量，使转子与壳体的温度保持稳定。转子与壳体的温度保持稳定可使转子与壳体的热变形量保持稳定，转子与壳体的热变形量保持稳定又使得转子运动间隙保持稳定，使转子运动间隙得到有效控制。
一些真空泵的实施例中，真空泵包括壳体和处于壳体内的转子，转子具有转子流道，转子流道用于通入第一测温液；壳体具有壳体流道，壳体流道用于通入第二测温液；真空泵还包括用于获取第一测温液流出转子时温度的第一温度传感器和用于获取第二测温液流出壳体时温度的第二温度传感器；真空泵还包括调节第一测温液通入流量的第一调节装置和调节第二测温液通入流量的第二调节装置，真空泵还包括控制器，控制器与第一调节装置连接且与第二调节装置连接，第一温度传感器与控制器通讯连接，第二温度传感器与控制器通讯连接，以使控制器能够根据获取到的第一温度传感器的温度数据控制第一调节装置，且能够根据获取到的第二温度传感器的温度数据控制第二控制器。
具体的，真空泵用于实现上述任一实施例中介绍的真空泵转子运动间隙的监测方法，同时也用于实现上述任一实施例中介绍的真空泵转子运动间隙的控制方法。真空泵中转子和壳体的结构可以采用现有技术中任意可行的方式，不再赘述。第一温度传感器和第二温度传感器具体可以采用热敏传感器、红外传感器等等。第一调节装置和第二调节装置可以采用调节阀。
以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，构建所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度关于时间t的函数W(t)，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t0)，其中t0为第一测温液单元在所述壳体流道中通过的时间；
向所述真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，构建所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度关于时间t的函数w(t)，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t1)，其中t1为所述第二测温液单元在所述转子流道中通过的时间；
计算F(t+t0)与W(t)的差值A，A＝F(t+t0)-W(t)，计算f(t+t1)与w(t)的差值a，a＝f(t+t1)-w(t)；
判断转子运动间隙变化情况：当所述差值A和所述差值a中一个增大，另一个保持稳定或者增大，则判定转子运动间隙减小；当所述差值A和所述差值a均保持稳定，则判定转子运动间隙未变化；当所述差值A和所述差值a中一个减小，另一个保持稳定或减小，则判定转子运动间隙增大。
2.如权利要求1所述的真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，获取所述差值A变化情况的方法是：对差值A求导，A'＝F'(t+t0)-W'(t),如果A'＞0，则所述差值A增大，如果A'＜0，则所述差值A减小，
如果A'＝0，则所述差值A保持稳定；
和/或获取所述差值a变化情况的方法是：对差值a求导，a'＝f'(t+t1)-w'(t)，如果a'＞0，则所述差值a增大，如果a'＜0，则所述差值a减小，如果a'＝0，则所述差值a保持稳定。
3.一种真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度为W，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t)；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度为w，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t)；W和w为均固定值；
判断转子运动间隙变化情况：当F(t)和f(t)中一个增大，另一个保持稳定或者增大，则判定转子运动间隙减小；当F(t)和f(t)均保持稳定，则判定转子运动间隙未变化；当F(t)和f(t)中一个减小，另一个保持稳定或减小，则判定转子运动间隙增大。
4.如权利要求1所述的真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，获取F(t)变化情况的方法是：对F(t)求导，如果F'(t)＞0，则F(t)增大，如果F'(t)＜0，则F(t)减小，如果F'(t)＝0，则F(t)保持稳定；
和/或获取f(t)变化情况的方法是：对f(t)求导，如果f'(t)＞0，则f(t)增大，如果f'(t)＜0，则f(t)减小，如果f'(t)＝0，则f(t)保持稳定。
5.一种真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，构建所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度关于时间t的函数W(t)，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t0)，其中t0为第一测温液单元在所述壳体流道中通过的时间；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，构建所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度关于时间t的函数w(t)，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t1)，其中t1为所述第二测温液单元在所述转子流道中通过的时间；
计算F(t+t0)与W(t)的差值A，A＝F(t+t0)-W(t)，计算f(t+t1)与w(t)的差值a，a＝f(t+t1)-w(t)；
判断转子运动间隙变化情况：当所述差值A大于设定目标值B，且所述差值a不小于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当所述差值A等于设定目标值B，且所述差值a大于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当所述差值A等于设定目标值B，且所述差值a等于设定目标值b，则判定转子运动间隙未变化；当所述差值A小于设定目标值B，且所述差值a不大于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大；当所述差值A等于设定目标值B，且所述差值a小于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大。
6.一种真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，包括：
向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液，所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度为W，构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t)；
向真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液，所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度为w，构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t)；W和w为均固定值；
计算F(t)与W的差值A，A＝F(t)-W，计算f(t)与w的差值a，a＝f(t)-w；
当差值A大于设定目标值B，且差值a不小于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a大于设定目标值b，则判定转子运动间隙减小；当差值A等于设定目标值B，且差值a等于设定目标值b，则判定转子运动间隙未变化；当差值A小于设定目标值B，且差值a不大于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大；当差值A等于设定目标值B，且差值a小于设定目标值b，则判定转子运动间隙增大。
7.如权利要求1-6任意一项所述的真空泵转子运动间隙的监测方法，
其特征在于，所述第一测温液的通入流量Q和所述第二测温液的通入流量q均为固定值。
8.如权利要求1或6所述的真空泵转子运动间隙的监测方法，其特征在于，构建向所述壳体流道中通入所述第一测温液的流量Q的函数Q(t)，
所述壳体中供所述第一测温液流动的壳体流道的长度为L，所述壳体流道的截面积为S，则t0＝LS/Q(t)；构建向所述转子流道中通入第二测温液的流量q的函数q(t)，所述转子中供第二测温液流动的转子流道的长度为l，
所述转子流道的截面积为s，t1＝ls/q(t)。
9.一种真空泵转子运动间隙的控制方法，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的真空泵转子运动间隙的监测方法；
在转子运动间隙减小时，增大通入流量Q和/或增大通入流量q，和/或在转子运动间隙增大时，减小通入流量Q和/或减小通入流量q。
10.一种真空泵，其特征在于，包括壳体和处于所述壳体内的转子，
所述转子具有转子流道，所述转子流道用于通入第一测温液；所述壳体具有壳体流道，所述壳体流道用于通入第二测温液；所述真空泵还包括用于获取所述第一测温液流出所述转子时温度的第一温度传感器和用于获取所述第二测温液流出所述壳体时温度的第二温度传感器；所述真空泵还包括调节所述第一测温液通入流量的第一调节装置和调节所述第二测温液通入流量的第二调节装置，所述真空泵还包括控制器，所述控制器与所述第一调节装置连接且与第二调节装置连接，所述第一温度传感器与所述控制器通讯连接，所述第二温度传感器与所述控制器通讯连接，以使所述控制器能够根据获取到的第一温度传感器的温度数据控制第一调节装置，且能够根据获取到的第二温度传感器的温度数据控制第二控制器。
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