CN116538090A - 一种真空泵温度控制系统及温度控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空泵温度控制系统及温度控制方法，真空泵温度控制系统包括第一温度传感器、第二温度传感器、控制单元和温度调控装置。第一温度传感器和第二传感器监测的温度实时传输到控制单元，控制单元根据第一温度信号和第二温度信号对真空泵的运行温度进行确认，并根据确认情况发出相应的温度调控指令，从而对真空泵的运行温度实现动态调控。相较于现有技术，本发明通过在真空泵内外均设置温度传感器，利用多个测量温度进行参考，提高对真空泵运行温度的监测准确性，从而保证控制指令能够基于实际的真空泵温度发出，提高真空泵温度动态调节的及时性和准确性，从而保证真空泵在一个合适的运行温度中工作，提高真空泵的工作效率。

Description

一种真空泵温度控制系统及温度控制方法

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，特别涉及一种真空泵温度控制系统及温度控制方法。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。即真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置，在泵腔内转子旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终将吸入的气体排出泵外。

真空泵的工作结构包括主要包括定子以及设置于定子中的转子，转子在定子中偏心转动，在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外。

真空泵工作时，真空泵的温度过高或者过低都会影响设备的运行，并影响设备的操作。现有的真空泵工作时，无法准确测量真空泵的温度，因此无法实现对真空泵的动态温度调控，导致真空泵的工作效率过低。

发明内容

本发明实施例的主要目的是提供一种真空泵温度控制系统及温度控制方法，旨在改善现有技术中真空泵温度监测不准确的技术问题。

本发明的实施例提出了一种真空泵温度控制系统，用于对真空泵进行温度控制，所述真空泵温度控制系统包括：

第一温度传感器，设置于所述真空泵的内壁上，所述第一温度传感器用于实时测量所述真空泵内的温度，并输出第一温度信号；

第二温度传感器，设置于所述真空泵的外壁上，所述第二温度传感器用于实时测量所述真空泵的外壁上的温度，并输出第二温度信号；

控制单元，与所述第一温度传感器连接并接收所述第一温度信号，与所述第二温度传感器连接并接收第二温度信号，并根据所述第一温度信号和所述第二温度信号发出相应的温度调控指令；

温度调控装置，与所述控制单元连接，用于接收所述第一调控指令和所述第二调控指令，并根据所述温度调控指令调节所述真空泵的温度。

在本发明的部分实施例中，所述真空被包括下体部以及盖合于所述下体部的上体部，所述上体部与所述下体部围合形成容置腔，所述容置腔用于容纳转子，所述转子靠近所述下体部设置，所述第二温度传感器设置于所述下体部的外壁上。

在本发明的部分实施例中，所述真空泵温度控制系统包括至少两个所述第二温度传感器，至少一个所述第二温度传感器设置于所述真空泵的一端，至少一个所述第二温度传感器设置于所述真空泵的另一端。

在本发明的部分实施例中，所述真空泵温度控制系统包括至少三个所述第二温度传感器，至少一个所述第二温度传感器设置于所述真空泵的两端之间。

在本发明的部分实施例中，所述温度调控装置包括：

冷却装置，与所述控制单元连接，所述冷却装置用于接收并执行所述温度调控指令，对所述真空泵进行冷却或停止冷却；

加热装置，与所述控制单元连接，所述加热装置用于接收并执行所述温度调控指令，对所述真空泵进行加热或停止加热。

在本发明的部分实施例中，所述真空泵温度控制系统还包括：

第一放大电路，所述第一放大电路的输入端与所述第一温度传感器连接，所述第一放大电路的输出端与所述控制单元连接，所述第一放大电路用于在所述第二温度信号输入所述控制单元之前，对所述第一温度信号进行放大处理；

第二放大电路，所述第二放大电路的输入端与所述第二温度传感器连接，所述第二放大电路的输出端与所述控制单元连接，所述第二放大电路用于在所述第二温度信号输入所述控制单元之前，对所述第二温度信号进行放大处理。

在本发明的部分实施例中，所述控制单元为单片机，所述单片机具有第一输入端子和第二输入端子，所述真空泵温度控制系统还包括第一A/D转换电路和第二A/D转换电路，所述第一A/D转换电路的输入端与所述第一放大电路的输出端连接，所述第一A/D转换电路的输出端与所述单片机的第一输入端子连接；

所述第二A/D转换电路的输入端与所述第二放大电路的输出端连接，所述第二A/D转换电路的输出端与所述单片机的第二输入端子连接。

本发明的实施例还提供了一种真空泵温度控制方法，应用于上述的真空泵控制系统的控制单元，所述真空泵温度控制方法包括：

接收所述第一温度传感器和所述第二温度传感器分别测得第一测量温度和第二测量温度；

根据所述第一测量温度和所述第二测量温度得出对比温度；

将所述对比温度与第一预设温度和第二预设温度分别进行比较，所述第一预设温度小于所述第二预设温度；

若所述对比温度低于所述第一预设温度时，向所述温度调控装置发出所述第二控制指令，用于控制所述温度调控装置对所述真空泵进行加热升温；

若所述对比温度高于所述第二预设温度时，向所述温度调控装置发出所述第一控制指令，用于控制所述温度调控装置对所述真空泵进行冷却降温。

在本发明的部分实施例中，所述根据所述第一测量温度和所述第二测量温度得出对比温度，包括：

计算所述第一测量温度与所述第二测量温度的差值，并记为第一差值；

将所述第一差值与第一预设差值范围进行比较；

若所述第一差值处于所述第一预设差值范围内，则取所述第一测量温度与所述第二测量温度中的最小值作为所述对比温度；

若所述第一差值大于所述第一预设差值范围，则控制所述真空泵报警。

在本发明的部分实施例中，所述真空泵温度控制系统包括多个第二温度传感器，所述根据所述第一测量温度和所述第二测量温度得出对比温度包括：

计算多个所述第二测量温度中最大值与最小值的差值，记为第二差值；

将所述第二差值与所述第二预设差值范围进行比较；

若第二差值处于所述第二预设差值范围内，将所述第一测量温度与多个第二测量温度分别计算差值，取多个所述差值中的最大值作为第一差值；

若第二差值大于所述第二预设差值范围，则控制所述真空泵报警；

将所述第一差值与所述第一预设差值范围进行比较；

若所述第一差值处于所述第一预设差值范围内，则取所述第一测量温度与多个所述第二测量温度中的最小值作为所述对比温度；

若所述第一差值大于所述第一预设差值范围，则控制所述真空泵报警。

本发明的实施例提出了一种真空泵温度控制系统，通过在真空泵的内壁上设置第一温度传感器，在真空泵的外壁上设置第二温度传感器，从而实时对真空泵内的温度和真空泵外壁的温度进行监测，并将第一温度传感器和第二传感器监测的温度实时传输到控制单元，控制单元根据第一温度信号和第二温度信号对真空泵的运行温度进行确认，并根据确认情况发出相应的温度调控指令，从而对真空泵的运行温度实现动态调控。相较于现有技术，本发明通过在真空泵内外均设置温度传感器，利用多个测量温度进行参考，提高对真空泵运行温度的监测准确性，从而保证控制指令能够基于实际的真空泵温度发出，提高真空泵温度动态调节的及时性和准确性，从而保证真空泵在一个合适的运行温度中工作，提高真空泵的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明的一种实施例的真空泵温度控制系统的示意图；

图2为本发明的一种实施例的真空泵温度控制方法的步骤示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

如图1所示，本发明的实施例提供了一种真空泵温度控制系统，用于对真空泵进行温度控制，该真空泵温度控制系统包括第一温度传感器、第二温度传感器、控制单元以及温度调控装置。

第一温度传感器设置于真空泵的内壁上，用于实时测量真空泵内温度，并输出第一温度信号。

第二温度传感器设置于真空泵的外壁上，第二温度传感器用于实时测量真空泵的外壁上的温度，并输出第二温度信号。

控制单元与第一温度传感器连接并接收第一温度信号，控制单元还与第二温度传感器连接并接收第二温度信号，控制单元根据接收到的第一温度信号和第二温度信号发出相应的温度调控指令。

温度调控装置与控制单元连接，用于温度调控指令，并根据温度调控指令调整真空泵的温度。

需要说明的是，第一温度信号具有第一温度传感器测量的真空泵内的实时温度信息，第二温度信号具有第二温度传感器测量的真空泵外壁的实时温度信息。控制单元根据第一温度信号和第二温度信号所携带的真空泵实时温度信息，通过预设程序对真空泵的实时温度进行处理，并根据处理结果发出温度调控指令。

预设程序对第一温度信号和第二温度信号所携带的真空泵实时温度信息进行处理方法包括但不限于：对第一温度信号和第二温度信号所携带的温度信息进行取平均值；或对第一温度信号和第二温度信号所携带的真空泵实时温度信息根据预设程序中的筛选方法进行取舍；或根据第一温度信号和第二温度信号所携带的真空泵实时温度信息的两个温度的差异值，依照预设程序中的筛选方法进行取舍等。

可以理解的是，通过对真空泵的多个位置(如真空泵内、真空泵外)的温度进行实时检测，进而依据多个位置的实时温度判断真空泵的实际运行温度，相对于单个温度测量点测量温度，能够提高对真空泵温度监测的准确性，保证控制单元能够根据准确的温度信息发出合适且正确的温度调控指令。

因此，本领域的技术人员能够理解的是，通过在真空泵的内壁上设置第一温度传感器，在真空泵的外壁上设置第二温度传感器，从而实时对真空泵内的温度和真空泵外壁的温度进行监测，并将第一温度传感器和第二传感器监测的温度实时传输到控制单元，控制单元根据第一温度信号和第二温度信号对真空泵的运行温度进行确认，并根据确认情况发出相应的调控指令，从而对真空泵的运行温度实现动态调控。相较于现有技术，本发明通过在真空泵内外均设置温度传感器，利用多个测量温度进行参考，提高对真空泵运行温度的监测准确性，从而保证控制指令能够基于实际的真空泵温度发出，提高真空泵温度动态调节的及时性和准确性，从而保证真空泵在一个合适的运行温度中工作，提高真空泵的工作效率。

在一些实施例中，真空泵包括下体部以及盖合于下体部的上体部，上体部与下体部围合形成容置腔，容置腔用于容纳转子，转子靠近下体部设置，第二温度传感器设置于下体部的外壁上。

需要说明的是，由于转子设置于容置腔中且靠近下体部，因此，真空泵的主要工作环境位于下体部区域，为了更准确的监测真空泵的运行温度，故将第二温度传感器设置于下体部的外壁上。

在一些可能的实施方式中，将第一温度传感器设置于下体部的内壁上，进而更靠近转子，提高对真空泵运行温度监测的准确性。

在一些实施例中，真空泵温度控制系统包括至少两个第二温度传感器，其中，至少一个第二温度传感器设置于真空泵的一端，至少一个第二温度传感器设置于真空泵的另一端。

需要说明的是，一般地，转子靠近真空泵的一端设置，因此，真空泵的温度一般会出现不同位置温度不同的情况。

通过将两个第二温度传感器分别设置于真空泵的两端，分别对靠近转子一端的外壁温度和远离转子的一端的外壁温度进行监测，获取真空泵泵体上两个相聚较远的两个位置的实时温度信息，进而能够根据真空泵外壁的两个极端位置的温度情况判断真空泵的运行状态。

如，在第一端(靠近转子的真空泵端部)的第二温度传感器测得的温度即为第一端温度，在第二端(远离转子的真空泵端部)的第二温度传感器测得的温度即为第二端温度。两个第二温度传感器并联与控制单元连接，将第一端温度和第二端温度传输至控制单元中。控制单元对输入的第一端温度和第二端温度进行处理，从而对真空泵的运行状态进行判断。

控制单元对输入的第一端温度和第二端温度进行处理，从而对真空泵的运行状态进行判断包括但不限于：

计算第一端温度和第二端温度的差值，并将其差值与标准差值范围进行比较，若第一端温度和第二端温度的差值处于标准差值范围内，则判断真空泵处于正常工作状态，若第一温度和第二端温度的差值未处于标准差值范围内，则判断真空泵工作异常。

或，根据实际测得的第二端温度在第二端温度表中找到与其对应的第一端标准温度(或第一端标准温度范围)，将实际测得的第一端温度与第一端标准温度(第一端标准温度范围)进行对比，若实际测得的第一端温度与第一端标准温度对应(或实际测得的第一端温度处于第一端标准温度范围内)，则判断真空泵处于正常工作状态，反之则判断真空泵工作异常。

在一些实施例中，真空泵温度控制系统包括至少三个第二温度传感器，至少一个第二温度传感器设置于真空泵的两端之间，至少一个第二温度传感器设置于真空泵的一端，至少一个第二温度传感器设置于真空泵的另一端。

可以理解的是，基于上述实施例的技术方案，本实施在此基础上至少增设了一个第二温度传感器，因此，相对上述实施例，本实施例可测得真空泵两端之间的实时温度，即为中部温度。

需要说明的是，设置于真空泵两端之间的第二温度传感器与其余第二温度传感器以及第一温度传感器同时并联与控制单元连接，并向控制单元传输相应的温度信号。控制单元根据输入的第一端温度、第二端温度以及中部温度判断真空泵的工作状态是否异常。

控制单元根据输入的第一端温度、第二端温度以及中部温度判断真空泵的工作状态是否异常包括但不限于：

根据实际测得的中部温度，在中部温度对应表中找到该中部温度对应的第一端标准温度(或第一端标准温度范围)和第二端标准温度(或第二端标准温度范围)；

将实际测得的第一端温度与第一端标准温度(或第一端标准温度范围)进行对比，将实际测得的第二端温度与第二端标准温度(或第而端标准温度范围)进行对比；

若第一端温度与第一端标准温度相同(或第一端温度处于第一端标准温度范围内)，且第二端温度与第二端标准温度相同(或第二端温度处于第二端标准温度范围内)，则判断真空泵工作正常；

若第一端温度与第一端标准温度不同(或第一端温度未处于第一端标准温度范围内)，则判断真空泵工作异常；

若第二端温度与第二端标准温度不同(或第二端温度未处于第二端标准温度范围内)，则判断真空泵工作异常。

或，将实际测得的第一端温度、第二端温度以及中部温度分别与第一端温度范围、第二端温度范围以及中部温度范围进行比对；

若第一端温度处于第一端温度范围内、第二端温度处于第二端范围内、中部温度处于中部温度范围内，则判断真空泵工作正常；

若第一端温度未处于第一端温度范围内，则判断真空泵工作异常；

若第二端温度未处于第二端温度范围内，则判断真空泵工作异常；

若中部温度未处于中部温度范围内，则判断真空泵工作异常。

在一些实施例中，温度调控装置包括冷却装置和加热装置，冷却装置与控制单元连接，冷却装置用于接收并执行温度调控指令，对真空泵进行冷却或停止冷却真空泵。加热装置与控制单元连接，加热装置用于接收并执行温度调控指令，对真空泵进行加热或停止加热真空泵。

需要说明的是，冷却装置可以是缠绕在真空泵外壁上的冷却管，通过控制冷却管的开启或关闭，从而控制冷却装置的开启和关闭。

加热装置可以是设置于真空泵内壁与外壁之间的加热丝，通过控制加热丝的通电与断电，从而控制加热装置的开启和关闭。

在一些实施例中，真空泵控制系统还包括第一放大电路和第二放大电路。第一放大电路的输入端与第一温度传感器连接，第一放大电路的输出端与控制单元连接，第一放大电路用于在第二温度信号输入控制单元之前，对第一温度信号进行放大处理。

第二放大电路的输入端与第二温度传感器连接，第二放大电路的输出端与控制单元连接，第二放大电路用于在第二温度信号输入控制单元之前，对第二温度信号进行放大处理。

可以理解的是，通过在第一温度传感器、第二温度传感器与控制单元之间分别设置设置相应的放大电路，从而对第一温度传感器测得的温度信号、第二温度传感器测得的温度信号进行增益，从而提高温度信号在传输过程中的可识别性和温度性。

在一些实施例中，控制单元为单片机，单片机具有第一输入端子和第二输入端子，真空泵系统还包括第一A/D转换电路和第二A/D转换电路。第一A/D转换电路的输入端与第一放大电路的输出端连接，第一A/D转换电路的输出端与单片机的第一输入端子连接。第二A/D转换电路的输入端与第二放大电路的输出端连接，第二A/D转换电路的输出端与单片机的第二输入端子连接。

可以理解的是，通过设置转换电路，使连接放大电路的第一温度传感器以及第二温度传感器能够与单片机连接。

需要说明的是，上述实例的单片机中的预设程序、预设参数等都可在真空泵的运行过程中进行修改。

如图2所示，本发明的实施例还提供了一种真空泵温度控制方法，应用于上述的真空泵控制系统的控制单元，该真空泵温度控制方法包括：

接收第一温度传感器和第二温度传感器分别测得第一测量温度和第二测量温度；

根据第一测量温度和第二测量温度得出对比温度；

将对比温度与第一预设温度和第二预设温度分别进行比较，其中，第一预设温度小于第二预设温度；

若对比温度低于第一预设温度时，向温度调控装置发出第二控制指令，用于控制温度调控装置对真空泵进行加热升温；

若对比温度高于第二预设温度时，温度调控装置发出第一控制指令，用于控制温度调控装置对真空泵进行冷却降温。

需要说明的是，上述的第一预设温度和第二预设温度形成了一个温度范围，该温度范围为真空泵正常运行且高效工作时的温度范围，因此，通过将真空泵的对比温度控制在该温度范围内，可以保证真空泵正常且高效工作。

其中，控制单元可以接收第一温度传感器和第二温度传感器测量耳朵温度，也可主动获取第一温度传感器和第二温度传感器测得的温度。

在一些实施例中，控制单元中预设有第三预设温度，第三预设温度小于第二预设温度且大于第一预设温度，真空泵的温度控制方法包括：

若对比温度低于第一预设温度时，控制单元向温度调控装置发出第二控制指令，用于控制温度调控装置对真空泵进行加热升温第三预设温度，当对比温度升温至第三预设温度时，控制单元向温度调控装置发出指令停止加热；

若对比温度高于第二预设温度时，控制单元向温度调控装置发出第一控制指令，用于控制温度调控装置对真空泵进行冷却降温至第三预设温度，当对比温度降温至第三预设温度时，控制单元向温度调控装置发出指令停止冷却。

通过将对比温度控制在第一预设温度和第二预设温度之间，实现真空泵动态温度调节，设置第三预设温度来作为温度调控装置的工作边界，从而能够明确温度调控装置的工作时间，避免温度调控装置长时间工作。

在一些实施例中，控制单元根据第一测量温度和第二测量温度得出对比温度包括：

计算第一测量温度与第二测量温度的差值，并记为第一差值；

将第一差值与第一预设差值范围进行比较；

若第一差值处于第一预设差值范围内，则取第一测量温度与第二测量温度中的最小值作为对比温度；

若第一差值大于第一预设差值范围，则控制真空泵报警。

需要说明的是，第一预设差值范围为真空泵正常工作时第一测量温度和第二测量温度的正常差值范围。

在一些实施方式中，第一预设差值范围为0℃-4℃。

在一些实施例中，真空泵温度控制系统包括多个第二温度传感器，根据第一测量温度和第二测量温度得出对比温度，包括：

计算多个第二测量温度中最大值与最小值的差值，记为第二差值；

将第二差值与第二预设差值范围进行比较；

若第二差值处于第二预设差值范围内，将第一测量温度与多个第二测量温度分别计算差值，取多个差值中的最大值作为第一差值；

若第二差值大于第二预设差值范围，则控制真空泵报警；

将第一差值与第一预设差值范围进行比较；

若第一差值处于第一预设差值范围内，则取第一测量温度与多个第二测量温度中的最小值作为对比温度；

若第一差值大于第一预设差值范围，则控制真空泵报警。

需要说明的是，第二预设差值范围为真空泵正常工作时多个第二测量温度中最大值与最小值的差值范围。

在一些实施方式中，第二预设差值范围为0℃-10℃。

以上所述仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的申请构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空泵温度控制系统，用于对真空泵进行温度控制，其特征在于，所述真空泵温度控制系统包括：

第一温度传感器，设置于所述真空泵的内壁上，所述第一温度传感器用于实时测量所述真空泵内的温度，并输出第一温度信号；

第二温度传感器，设置于所述真空泵的外壁上，所述第二温度传感器用于实时测量所述真空泵的外壁上的温度，并输出第二温度信号；

控制单元，与所述第一温度传感器连接并接收所述第一温度信号，与所述第二温度传感器连接并接收第二温度信号，并根据所述第一温度信号和所述第二温度信号发出相应的温度调控指令；

温度调控装置，与所述控制单元连接，用于接收所述第一调控指令和所述第二调控指令，并根据所述温度调控指令调节所述真空泵的温度。

2.根据权利要求1所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述真空泵包括下体部以及盖合于所述下体部的上体部，所述上体部与所述下体部围合形成容置腔，所述容置腔用于容纳转子，所述转子靠近所述下体部设置，所述第二温度传感器设置于所述下体部的外壁上。

3.根据权利要求1所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述真空泵温度控制系统包括至少两个所述第二温度传感器，至少一个所述第二温度传感器设置于所述真空泵的一端，至少一个所述第二温度传感器设置于所述真空泵的另一端。

4.根据权利要求3所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述真空泵温度控制系统包括至少三个所述第二温度传感器，至少一个所述第二温度传感器设置于所述真空泵的两端之间。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述温度调控装置包括：

冷却装置，与所述控制单元连接，所述冷却装置用于接收并执行所述温度调控指令，对所述真空泵进行冷却或停止冷却；

加热装置，与所述控制单元连接，所述加热装置用于接收并执行所述温度调控指令，对所述真空泵进行加热或停止加热。

6.根据权利要求1所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述真空泵温度控制系统还包括：

第一放大电路，所述第一放大电路的输入端与所述第一温度传感器连接，所述第一放大电路的输出端与所述控制单元连接，所述第一放大电路用于在所述第二温度信号输入所述控制单元之前，对所述第一温度信号进行放大处理；

第二放大电路，所述第二放大电路的输入端与所述第二温度传感器连接，所述第二放大电路的输出端与所述控制单元连接，所述第二放大电路用于在所述第二温度信号输入所述控制单元之前，对所述第二温度信号进行放大处理。

7.根据权利要求6所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述控制单元为单片机，所述单片机具有第一输入端子和第二输入端子，所述真空泵温度控制系统还包括第一A/D转换电路和第二A/D转换电路，所述第一A/D转换电路的输入端与所述第一放大电路的输出端连接，所述第一A/D转换电路的输出端与所述单片机的第一输入端子连接；

所述第二A/D转换电路的输入端与所述第二放大电路的输出端连接，所述第二A/D转换电路的输出端与所述单片机的第二输入端子连接。

8.一种真空泵温度控制方法，其特征在于，应用于权利要求1-7任意一项所述的真空泵温度控制系统的控制单元，所述真空泵温度控制方法包括：

接收所述第一温度传感器和所述第二温度传感器分别测得第一测量温度和第二测量温度；

根据所述第一测量温度和所述第二测量温度得出对比温度；

将所述对比温度与第一预设温度和第二预设温度分别进行比较，所述第一预设温度小于所述第二预设温度；

若所述对比温度低于所述第一预设温度时，向所述温度调控装置发出所述第二控制指令，用于控制所述温度调控装置对所述真空泵进行加热升温；

若所述对比温度高于所述第二预设温度时，向所述温度调控装置发出所述第一控制指令，用于控制所述温度调控装置对所述真空泵进行冷却降温。

9.根据权利要求8所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述根据所述第一测量温度和所述第二测量温度得出对比温度，包括：

计算所述第一测量温度与所述第二测量温度的差值，并记为第一差值；

将所述第一差值与第一预设差值范围进行比较；

若所述第一差值处于所述第一预设差值范围内，则取所述第一测量温度与所述第二测量温度中的最小值作为所述对比温度；

若所述第一差值大于所述第一预设差值范围，则控制所述真空泵报警。

10.根据权利要求8所述的真空泵温度控制系统，其特征在于，所述真空泵温度控制系统包括多个第二温度传感器，所述根据所述第一测量温度和所述第二测量温度得出对比温度包括：

计算多个所述第二测量温度中最大值与最小值的差值，记为第二差值；

将所述第二差值与所述第二预设差值范围进行比较；

若第二差值处于所述第二预设差值范围内，将所述第一测量温度与多个第二测量温度分别计算差值，取多个所述差值中的最大值作为第一差值；

若第二差值大于所述第二预设差值范围，则控制所述真空泵报警；

将所述第一差值与所述第一预设差值范围进行比较；

若所述第一差值处于所述第一预设差值范围内，则取所述第一测量温度与多个所述第二测量温度中的最小值作为所述对比温度；

若所述第一差值大于所述第一预设差值范围，则控制所述真空泵报警。