CN117339321A - 粉尘捕捉系统及其工作方法、泛半导体制造系统 - Google Patents

粉尘捕捉系统及其工作方法、泛半导体制造系统 Download PDF

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CN117339321A CN202311662051.6A CN202311662051A CN117339321A CN 117339321 A CN117339321 A CN 117339321A CN 202311662051 A CN202311662051 A CN 202311662051A CN 117339321 A CN117339321 A CN 117339321A
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Abstract

本申请提出一种粉尘捕捉系统及其工作方法、泛半导体制造系统，涉及泛半导体加工领域，包括：三通阀，其第一通口用于连接进气管路，第三通口用于连接后处理组件；粉尘捕捉组件，其粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc；延时控制单元，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀，使得三通阀的第一通口和第三通口相连通。能够避免更换周期不确定导致的过滤部件的浪费或者处理效率的降低。

Description

粉尘捕捉系统及其工作方法、泛半导体制造系统
技术领域
本申请涉及泛半导体加工装备中尾气处理设备领域，具体涉及一种粉尘捕捉系统及其工作方法。
背景技术
在泛半导体产业的各种生产制程中，常会产生大量的尾气，并且有些尾气是有毒的，因此需要尾气处理器处理尾气中的有毒有害物质。并且尾气中还常含有大量粉尘颗粒（如二氧化硅），粉尘会随尾气进入尾气处理器中，并堆积在尾气处理器的排气管道中。当粉尘太多，或处理时间过长，粉尘就可能会堵塞排气管道，影响外延设备稳定生产。因此常常在工艺腔体和尾气处理器之间设置粉尘捕捉装置，通过使用粉尘捕捉装置去除尾气中的粉尘颗粒，处理后的尾气再进入尾气处理器，就不易造成尾气处理器中的排气管道的堵塞。具体的，可参阅图1所示的现有技术的泛半导体系统结构示意图，粉尘捕捉装置110连接在工艺腔体120和尾气处理器130之间，用于捕捉尾气中的粉尘颗粒。图1中的尾气处理器130处还可为真空泵。可将尾气处理器130和真空泵统称为后处理组件。
现有的粉尘捕捉装置详见专利文本CN2182107028U，粉尘捕捉装置运行一定时间后，粉尘捕捉装置中的过滤部件会吸附大量粉尘颗粒，需要更换过滤部件才能够保证粉尘捕捉装置对尾气的处理效率。但是，现有的粉尘捕捉装置常常是靠工作人员的经验来判断是否更换过滤部件或更换过滤部件的周期。因此现有技术存在的问题在于：更换周期过短的话，过滤部件尚能保证尾气处理效率的时候就被更换掉，增大了粉尘捕捉装置的运行成本；更换周期过长的话，过滤部件已经无法保证尾气处理效率的时候才被更换掉，影响粉尘捕捉装置对尾气的处理效率。
发明内容
本发明需要解决的技术问题是：如何准确的获得过滤部件粘附的粉尘颗粒是否达到设计的容许值，并且能够自动切换为中间工作模式，避免更换周期不确定导致的过滤部件的浪费或者处理效率的降低。
为了解决以上技术问题，本发明提供一种粉尘捕捉系统，其目的在于，能够具备自动准确判断粉尘捕捉装置是否需要更换过滤部件，并且能够切换为中间工作模式，保证尾气处理效率且过滤部件利用率最大化。包括：
三通阀，包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；
粉尘捕捉组件，包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc；
延时控制单元，延时控制单元连接捕捉量测量装置，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时一延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀，控制信号Sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，并且在此期间，工作人员更换粉尘捕捉装置中的过滤部件，当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态。
更进一步的，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号Sc时，报警装置还发出报警信号。
更进一步的，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
更进一步的，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，并比较粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后导通，并输出继电器控制信号S1给保持继电器，使得保持继电器也导通，并且保持继电器输出控制信号Sc给三通阀。
更进一步的，时间继电器集成报警装置，当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后发出报警信号。
更进一步的，捕捉量测量装置为重量测量装置，用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的指示信号TRc1。
更进一步的，捕捉量测量装置为压力测量装置，用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2。
更进一步的，捕捉量测量装置为重量测量装置和压力测量装置，重量测量装置用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，压力测量装置用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2和代表重量的指示信号TRc1。
本申请还提出一种粉尘捕捉系统的工作方法，应用于一粉尘捕捉系统，其中粉尘捕捉系统包括：三通阀、粉尘捕捉组件、时间继电器和保持继电器，三通阀包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；粉尘捕捉组件包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc，保持继电器连接时间继电器，用于输出控制信号Sc给三通阀，包括：
时间继电器和保持继电器工作在默认的断开状态，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态，以实现粉尘捕集，随着粉尘捕捉装置捕集的粉尘量增加，捕捉量测量装置输出的粉尘捕集量指示信号TRc逐渐增大；
当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后，输出继电器控制信号S1并发出报警信号，并且继电器控制信号S1控制保持继电器导通，并且输出控制信号Sc给三通阀，控制信号Sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，并且在此期间，更换粉尘捕捉装置中的过滤部件；
在更换过滤部件后，按下时间继电器、保持继电器和三通阀的复位按钮，则时间继电器和保持继电器恢复到未导通的状态，三通阀恢复到工作在第一通口和第二通口相连通的状态，以实现粉尘捕集。
更进一步的，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1、代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2或代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1和代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2。
本申请还提出一种泛半导体制造系统，包括：
工艺腔体，用于执行泛半导体的制造工艺，并输出包括粉尘颗粒的尾气；
三通阀，包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口通过进气管路连接工艺腔体，以接收包括粉尘颗粒的尾气，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；
粉尘捕捉组件，包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc；
延时控制单元，延时控制单元连接捕捉量测量装置，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时一延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀，控制信号Sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态；
后处理组件，三通阀的第三通口和粉尘捕捉组件的出口连接后处理组件。
更进一步的，后处理组件为尾气处理器或真空泵。
更进一步的，当三通阀的第一通口和第二通口相连通，工艺腔体输出的包括粉尘颗粒的尾气进入粉尘捕捉组件，通过粉尘捕捉装置捕捉尾气中的粉尘颗粒；
当三通阀的第一通口和第三通口相连通，工艺腔体输出的包括粉尘颗粒的尾气输出到后处理组件，并在此期间工作人员更换粉尘捕捉装置中的过滤部件。
更进一步的，三通阀的第三通口连通后处理组件的管路、以及粉尘捕捉装置连通后处理组件的管路上均设置有单向阀，单向阀阻止气流从后处理组件流向三通阀或粉尘捕捉装置。
与现有技术相比，本发明能够达到的技术效果在于，能够准确判断捕捉粉尘的量是否超过容许值，也就是准确判断粉尘捕捉装置的过滤部件的吸附功能是否达到了极限，确保了不过早或过晚更换过滤部件，既不会造成过滤部件的浪费，也不会造成吸附效率的降低；而且能够实现在正常捕捉模式和中间工作模式之间切换；提升了泛半导体加工经济性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1展示了现有技术的泛半导体系统结构示意图。
图2展示了本发明第一实施例提供的粉尘捕捉系统示意图。
图3展示了本发明第二实施例提供的粉尘捕捉系统示意图。
图4展示了本发明第三实施例提供的粉尘捕捉系统示意图。
图5所示的本发明第四实施例提供的粉尘捕捉系统示意图。
图6所示的本发明第五实施例提供的粉尘捕捉系统示意图。
图7所示的本发明一实施例提供的泛半导体制造系统示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应当理解，本申请的权利要求、说明书及附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。本申请的说明书和权利要求书中使用的术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
请参阅图2所示的本发明第一实施例提供的粉尘捕捉系统示意图，粉尘捕捉系统包括：三通阀240、粉尘捕捉组件210及延时控制单元250。
如图2所示，三通阀240包括第一通口241、第二通口242及第三通口243。第一通口241用于连接进气管路10，进气管路10用来连接泛半导体制造过程中的工艺腔体，以接收工艺腔体排出的包括粉尘的尾气，第三通口243用于连接后处理组件，三通阀240工作在第一通口242与第二通口242相连通的状态，或者三通阀240工作在第一通口241与第三通口243相连通的状态。
如图2所示，粉尘捕捉组件210包括粉尘捕捉装置211和捕捉量测量装置212。粉尘捕捉装置211的进口连接第二通口242，粉尘捕捉装置211的出口用于连接后处理组件，其中的粉尘捕捉装置211用以捕捉尾气中的粉尘，捕捉量测量装置212用以检测粉尘捕捉装置211的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc。
如图2所示，延时控制单元250连接捕捉量测量装置212，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时一延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀240，控制信号Sc控制使得三通阀240工作在第一通口241和第三通口243相连通的状态，并且在此期间，工作人员更换粉尘捕捉装置中的过滤部件，当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，三通阀240工作在默认的第一通口241和第二通口242相连通的状态。
具体的，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，说明粉尘捕捉装置211捕捉的粉尘颗粒的量已经达到可以接受的上限，不能再满足粉尘捕集的需求，此时将第一通口241和第三通口243相连通。如上所述，由于第三通口243用于连接后处理组件，则此时从工艺腔体排出的尾气经进气管路10、三通阀240后直接进入后处理组件。此期间工作人员可迅速的将粉尘捕捉装置211中的过滤部件更换，使粉尘捕捉装置211恢复捕捉粉尘颗粒的能力。更换过滤部件的时间通常很短，此期间即使将工艺腔体排出的尾气直接流入后处理组件，也不会导致后处理组件（如尾气处理器）的排气管道的堵塞。当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，说明粉尘捕捉装置211满足粉尘捕集的需求，此时三通阀240工作在默认的第一通口241和第二通口242相连通的状态，实现通过粉尘捕捉装置211捕捉尾气中的粉尘颗粒。
如此通过增加捕捉量测量装置212、三通阀240和延时控制单元250，延时控制单元250对粉尘捕集量指示信号TRc与粉尘捕集量阈值信号TRref进行比较，来决定是否更换粉尘捕捉装置211中的过滤部件，避免了靠工作人员的经验来判断是否更换过滤部件或更换过滤部件的周期，存在的更换过早或过晚的问题。实现了更换过滤部件的智能化，降低了对工作人员的要求，因此降低了人工成本；同时还提高了粉尘捕捉装置对尾气的处理效率，并且可保证外延设备稳定生产。
在一具体实施例中，在延时控制单元250中还集成有报警装置（图中未示出），当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref的时间达到延时时间Ts时（也即在输出控制信号Sc时），报警装置发出报警信号，以提供工作人员更换粉尘捕捉装置211中的过滤部件。如此，工作人员接收到报警信号后更换过滤部件即可，对经验无任何要求，这大大降低了用人成本。
当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时延时时间Ts后，才输出控制信号Sc和报警信号，则可保证控制的可靠性，以及保证在合适的时间更换过滤部件。
三通阀240可工作在上述的第一通口241与第三通口243相连通的工作状态，还可工作在第一通口241与第二通口242相连通的工作状态。并且在默认状态下，三通阀240工作在第一通口241与第二通口242相连通的工作状态。
更进一步的，在默认状态下，在此期间从工艺腔体排出的尾气经进气管路10、三通阀240后进入粉尘捕捉组件210，则由粉尘捕捉装置211捕捉尾气中的粉尘颗粒，也即工作在正常粉尘捕集模式，并且随着捕集的粉尘颗粒的增多，粉尘捕集量指示信号TRc逐渐增大。当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时延时时间Ts后，控制信号Sc再控制使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通，并发出报警信号，以更换过滤部件。
请参阅图3所示的本发明第二实施例提供的粉尘捕捉系统示意图，延时控制单元250包括时间继电器251和保持继电器252，时间继电器251用于接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，并比较粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器251延时延时时间Ts后导通，并输出继电器控制信号S1给保持继电器252，使得保持继电器252也导通，并且保持继电器252输出控制信号Sc给三通阀240，控制信号Sc控制使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通。如此实现当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀240，控制信号Sc控制使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通。
更进一步的，在常规工作模式下，也即工作在正常粉尘捕集模式，时间继电器251和保持继电器252工作在默认的断开状态，则三通阀240接收不到控制信号Sc，也工作在第一通口241和第二通口242相连通的常规工作模式，从工艺腔体排出的尾气经进气管路10、三通阀240后进入粉尘捕捉组件210，则由粉尘捕捉装置211捕捉尾气中的粉尘颗粒，并且随着捕集的粉尘颗粒的增多，粉尘捕集量指示信号TRc逐渐增大。当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，如上所述，时间继电器251延时延时时间Ts后导通，输出继电器控制信号S1使得保持继电器252也导通，则保持继电器252输出控制信号Sc给三通阀240，使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通以更换过滤部件。
在一具体实施例中，时间继电器251集成上述的报警装置，当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器251延时延时时间Ts后发出报警信号，也即在输出继电器控制信号S1时同时发出报警信号，以提醒工作人员更换过滤部件。
在具体实施时，时间继电器251、保持继电器252和三通阀240均包括复位按钮。在时间继电器251、保持继电器252和三通阀240动作之后，并且更换过滤部件之后，按下时间继电器251、保持继电器252和三通阀240的复位按钮，时间继电器251和保持继电器252恢复到未导通的状态，三通阀240恢复到第一通口241和第二通口242相连通，则从工艺腔体排出的尾气经进气管路10、三通阀240后进入粉尘捕捉组件210，则由粉尘捕捉装置211捕捉尾气中的粉尘颗粒，也即工作在正常粉尘捕集模式。
在具体实施时，请参阅图4所示的本发明第三实施例提供的粉尘捕捉系统示意图，捕捉量测量装置212为重量测量装置2121，粉尘捕捉装置211在重力方向上浮动地布置在重量测量装置2121上，以测量粉尘捕捉装置211的总体重量，总体重量包括粉尘捕捉装置211本体的重量和捕捉的粉尘的重量，因此随着捕集的粉尘颗粒的增多，总体重量也逐渐增大，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的指示信号TRc1，则粉尘捕集量指示信号TRc1也逐渐增大。
在更换过滤部件后，代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1的重量值归零，随后，随着粉尘捕捉装置211吸附的粉尘增多，代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1的重量值增加，当增大至粉尘捕集量阈值信号TRref，延时控制单元250输出控制信号Sc给三通阀240并发出报警信号，使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通，并提醒更换过滤部件。
在具体实施时，请参阅图5所示的本发明第四实施例提供的粉尘捕捉系统示意图，捕捉量测量装置212为压力测量装置2122，压力测量装置2122设置在粉尘捕捉装置211连接三通阀240的进口处，用以测量进入粉尘捕捉装置211的气体在进口的压力，随着捕集的粉尘颗粒的增多，进口压力也逐渐增大，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2，则粉尘捕集量指示信号TRc2也逐渐增大。
在更换过滤部件后，代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2的压力值归为负，例如，可以设计进口的正常压力值为小于-10毫米水柱，随后，随着粉尘捕捉装置211吸附的粉尘增多，代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2的压力值增加，当增大至粉尘捕集量阈值信号TRref，需要更换过滤部件，延时控制单元250输出的控制信号Sc给三通阀240并发出报警信号，使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通，并提醒更换过滤部件。
在具体实施时，请参阅图6所示的本发明第五实施例提供的粉尘捕捉系统示意图，捕捉量测量装置212同时包括重量测量装置2121和压力测量装置2122。粉尘捕捉装置211在重力方向上浮动地布置在重量测量装置2121上，以测量粉尘捕捉装置211的总体重量，总体重量包括粉尘捕捉装置211本体的重量和捕捉的粉尘的重量；同时压力测量装置2122设置在粉尘捕捉装置211连接三通阀240的进口处，用以测量进入粉尘捕捉装置211气体的进口压力。随着捕集的粉尘颗粒的增多，总体重量逐渐增大，进口压力也逐渐增大，则此时粉尘捕集量指示信号TRc包括代表重量的指示信号TRc1和进口压力的指示信号TRc2，则粉尘捕集量指示信号TRc1和TRc2也逐渐增大。当代表重量的指示信号TRc1和进口压力的指示信号TRc2中的任一者大于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时控制单元250均输出的控制信号Sc给三通阀240并发出报警信号，使得三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通，并提醒更换过滤部件。
捕捉量测量装置212同时包括重量测量装置2121和压力测量装置2122，可增加控制的可靠性。
在具体实施时，捕捉量测量装置212还包括信号转换电路，用于将上述的压力值或重量值转换为电信号的粉尘捕集量指示信号TRc，以使得延时控制单元250可根据粉尘捕集量指示信号TRc控制。
在具体实施时，报警装置可实施为发光部件或发声部件。
在具体实施时，延时控制单元250或延时控制单元250中的时间继电器251还包括比较元件（图中未示出），比较元件接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，并将粉尘捕集量指示信号TRc与粉尘捕集量阈值信号TRref进行比较，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，比较元件输出的信号使得时间继电器251延时延时时间Ts后导通并发出报警信号。
本发明还提供一种粉尘捕捉系统的工作方法，可应用于图3至图6的粉尘捕捉系统，具体的，粉尘捕捉系统包括：三通阀240、粉尘捕捉组件210、时间继电器251和保持继电器252，三通阀240包括第一通口241、第二通口242及第三通口24，第一通口241用于连接进气管路10，进气管路10用于接收包括粉尘的尾气，第三通口243用于连接后处理组件，三通阀240工作在第一通口241与第二通口242相连通的状态，或者三通阀240工作在第一通口241与第三通口243相连通的状态；粉尘捕捉组件210包括粉尘捕捉装置211和捕捉量测量装置212，粉尘捕捉装置211的进口连接三通阀的第二通口242，粉尘捕捉装置211的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置212用以检测粉尘捕捉装置211的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc，时间继电器251用于接收粉尘捕集量指示信号TRc，保持继电器252连接时间继电器251，用于输出控制信号Sc给三通阀240，该方法包括：
时间继电器251和保持继电器252工作在默认的断开状态，三通阀240工作在默认的第一通口241和第二通口242相连通的状态，以实现粉尘捕集，随着粉尘捕捉装置211捕集的粉尘量增加，捕捉量测量装置212输出的粉尘捕集量指示信号TRc逐渐增大；
当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器251延时延时时间Ts后，输出继电器控制信号S1并发出报警信号，并且继电器控制信号S1控制保持继电器252导通，并且输出控制信号Sc给三通阀240，控制信号Sc控制使得三通阀240工作在第一通口241和第三通口243相连通的状态，并且在此期间，更换粉尘捕捉装置211中的过滤部件；
在更换过滤部件后，按下时间继电器251、保持继电器252和三通阀240的复位按钮，则时间继电器251和保持继电器252恢复到未导通的状态，三通阀240恢复到工作在第一通口241和第二通口242相连通的状态，以实现粉尘捕集。
其中，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1、代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2或代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1和代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2。
请参阅图7所示的本发明一实施例提供的泛半导体制造系统示意图，泛半导体制造系统包括：
工艺腔体220，用于执行泛半导体的制造工艺，并输出包括粉尘颗粒的尾气；
三通阀240，三通阀240包括第一通口241、第二通口242及第三通口243，三通阀240的第一通口241通过进气管路10连接工艺腔体220，以接收包括粉尘颗粒的尾气，三通阀240工作在第一通口242与第二通口242相连通的状态，或者三通阀240工作在第一通口241与第三通口243相连通的状态；
粉尘捕捉组件210，粉尘捕捉组件210包括粉尘捕捉装置211和捕捉量测量装置212，捕捉量测量装置212用以检测粉尘捕捉装置211的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc，三通阀240的第二通口242连接粉尘捕捉装置211的进口；
延时控制单元250，延时控制单元250连接捕捉量测量装置212，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时一延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀240，控制信号Sc控制使得三通阀240工作在第一通口241和第三通口243相连通的状态，当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，三通阀240工作在默认的第一通口241和第二通口242相连通的状态；
后处理组件230，三通阀240的第三通口243和粉尘捕捉装置211的出口连接后处理组件230。
在一具体实施例中，后处理组件230为尾气处理器或真空泵。
当三通阀240的第一通口241和第三通口243相连通，工艺腔体220输出的包括粉尘颗粒的尾气直接输出到后处理组件230，并在此期间更换过滤部件。
当三通阀240的第一通口241和第二通口242相连通，工艺腔体220输出的包括粉尘颗粒的尾气进入粉尘捕捉组件210，通过粉尘捕捉装置211捕捉尾气中的粉尘颗粒。
在具体实施时，泛半导体制造系统中的三通阀240、粉尘捕捉组件210和延时控制单元250即为图1至图6中的粉尘捕捉系统。其结构与原理与上述相同，在此不再赘述。
在本申请一实施例中，三通阀240的第三通口243连通后处理组件230的管路、以及粉尘捕捉组件210连通后处理组件230的管路上均设置有单向阀（图中未示出），阻止气流从后处理组件230流向三通阀240或粉尘捕捉装置211。
上述具体实施例和附图说明仅为例示性说明本发明的技术方案及其技术效果，而非用于限制本发明。任何熟于此项技术的本领域技术人员均可在不违背本发明的技术原理及精神的情况下，在权利要求保护的范围内对上述实施例进行修改或变化，均属于本发明的权利保护范围。

Claims (14)

1.一种粉尘捕捉系统，其特征在于，包括：
三通阀，包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；
粉尘捕捉组件，包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc；
延时控制单元，延时控制单元连接捕捉量测量装置，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时一延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀，控制信号Sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，并且在此期间，工作人员更换粉尘捕捉装置中的过滤部件，当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态。
2.根据权利要求1所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号Sc时，报警装置还发出报警信号。
3.根据权利要求2所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
4.根据权利要求3所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，并比较粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后导通，并输出继电器控制信号S1给保持继电器，使得保持继电器也导通，并且保持继电器输出控制信号Sc给三通阀。
5.根据权利要求4所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器集成报警装置，当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后发出报警信号。
6.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置，用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的指示信号TRc1。
7.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为压力测量装置，用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2。
8.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置和压力测量装置，重量测量装置用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，压力测量装置用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2和代表重量的指示信号TRc1。
9.一种粉尘捕捉系统的工作方法，应用于一粉尘捕捉系统，其中粉尘捕捉系统包括：三通阀、粉尘捕捉组件、时间继电器和保持继电器，三通阀包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；粉尘捕捉组件包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc，保持继电器连接时间继电器，用于输出控制信号Sc给三通阀，其特征在于，包括：
时间继电器和保持继电器工作在默认的断开状态，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态，以实现粉尘捕集，随着粉尘捕捉装置捕集的粉尘量增加，捕捉量测量装置输出的粉尘捕集量指示信号TRc逐渐增大；
当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后，输出继电器控制信号S1并发出报警信号，并且继电器控制信号S1控制保持继电器导通，并且输出控制信号Sc给三通阀，控制信号Sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，并且在此期间，更换粉尘捕捉装置中的过滤部件；
在更换过滤部件后，按下时间继电器、保持继电器和三通阀的复位按钮，则时间继电器和保持继电器恢复到未导通的状态，三通阀恢复到工作在第一通口和第二通口相连通的状态，以实现粉尘捕集。
10.根据权利要求9所述的粉尘捕捉系统的工作方法，其特征在于，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1、代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2或代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1和代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2。
11.一种泛半导体制造系统，其特征在于，包括：
工艺腔体，用于执行泛半导体的制造工艺，并输出包括粉尘颗粒的尾气；
三通阀，包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口通过进气管路连接工艺腔体，以接收包括粉尘颗粒的尾气，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；
粉尘捕捉组件，包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc；
延时控制单元，延时控制单元连接捕捉量测量装置，接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，延时一延时时间Ts后，输出控制信号Sc给三通阀，控制信号Sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，当粉尘捕集量指示信号TRc小于粉尘捕集量阈值信号TRref时，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态；
后处理组件，三通阀的第三通口和粉尘捕捉组件的出口连接后处理组件。
12.根据权利要求11所述的泛半导体制造系统，其特征在于，后处理组件为尾气处理器或真空泵。
13.根据权利要求11所述的泛半导体制造系统，其特征在于，当三通阀的第一通口和第二通口相连通，工艺腔体输出的包括粉尘颗粒的尾气进入粉尘捕捉组件，通过粉尘捕捉装置捕捉尾气中的粉尘颗粒；
当三通阀的第一通口和第三通口相连通，工艺腔体输出的包括粉尘颗粒的尾气输出到后处理组件，并在此期间工作人员更换粉尘捕捉装置中的过滤部件。
14.根据权利要求11所述的泛半导体制造系统，其特征在于，三通阀的第三通口连通后处理组件的管路、以及粉尘捕捉装置连通后处理组件的管路上均设置有单向阀，单向阀阻止气流从后处理组件流向三通阀或粉尘捕捉装置。
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