CN117329994A - 平行度测试系统及其平行度测试方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统及其平行度测试方法，涉及光学测试技术领域。所述平行度测试系统包括：自准直仪；至少两个待测平面，以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪；光路转变件，能够分别贴合于两个所述待测平面上，以改变两个所述待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置；其中通过比对贴合所述光路转变件前、后的所述自准直仪上的光斑位置信息，能够得出两个所述待测平面之间的平行度，解决了十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷，提高了平行度测试的范围和精度。
Description
技术领域
本申请涉及光学测试技术领域，具体涉及一种平行度测试系统及其平行度测试方法。
背景技术
自准直仪测量两块镜片平行度时，通过测量两个十字光斑的位置偏差，得到两块镜片的平行度，由于十字光斑本身有宽度，当十字光斑有部分重合时(实际两块镜片并没有平行)，自准直仪便没有读数，不能识别此时两块镜片的平行度。而对于双面反射平板的平行度有借助自准直仪进行平行度测试的方式，但在平行度接近时，也不能消除十字光斑重合的影响，从而影响测试范围和测试准确度，无法满足预期的平行度测试需求。
发明内容
有鉴于此，本说明书实施例提供一种平行度测试系统及其平行度测试方法，解决了十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷，提高了平行度测试的范围和精度。
本说明书实施例提供以下技术方案：
一方面，提供了一种平行度测试系统，包括：
自准直仪；
至少两个待测平面，以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪；
光路转变件，能够分别贴合于两个所述待测平面上，以改变两个所述待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置；其中
通过比对贴合所述光路转变件前、后的所述自准直仪上的光斑位置信息，能够得出两个所述待测平面之间的平行度。
在一些实施例中，所述光路转变件包括楔板；
所述楔板包括两个相对设置的第一表面与第二表面，所述第二表面相对于所述第一表面倾斜；其中
所述第一表面能够分别贴合于两个所述待测平面上，所述第二表面设置有反射膜。
在一些实施例中，两个所述待测平面包括第一待测平面与第二待测平面；其中
所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置；或
所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置，且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置。
在一些实施例中，当所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置时，所述平行度测试系统还包括第一透镜与第二透镜；
所述第一待测平面为所述第一透镜的一个表面，所述第二待测平面为所述第二透镜的一个表面。
在一些实施例中，所述平行度测试系统还包括挡光件，设置于所述第一透镜与第二透镜之间。
在一些实施例中，当所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置，且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置时，所述平行度测试系统还包括双面反射镜；
所述第一待测平面与所述第二待测平面分别为所述双面反射镜的两个相对的表面。
在一些实施例中，所述平行度测试系统还包括光路调整件，能够将光路进行转向和位移。
在一些实施例中，所述光路调整件包括角隅棱镜。
另一方面，提供了一种平行度测试系统的平行度测试方法，包括如下步骤：
通过自准直仪记录一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将所述待测平面贴合有光路转变件前、后的所述角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将所述自准直仪同时对准两个所述待测平面，并将所述光路转变件贴合于距离所述自准直仪较远的所述待测平面上，通过所述自准直仪记录距离所述自准直仪较近的所述待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，然后将所述平行度信息与所述标定角度偏差信息取差值，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
在一些实施例中，包括如下步骤：
将所述第一透镜的第一待测平面朝向所述自准直仪，调节所述自准直仪的角度，令所述第一待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置位于所述自准直仪的视场中心，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面的角度偏差信息；
将所述光路转变件贴合于所述第一待测平面上，记录此时所述自准直仪上的所述光路转变件的角度偏差信息，并将所述光路转变件的角度偏差信息与所述第一待测平面的角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将第二透镜放置于所述第一透镜与所述自准直仪之间，令所述第二透镜的第二待测平面朝向所述自准直仪，记录此时所述自准直仪上所述第二待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，并将该平行度信息与所述光路转变件的标定角度偏差信息取差值，得出所述第一待测平面与所述第二待测平面之间的平行度信息。
在一些实施例中，所述方法包括如下步骤：
将第一透镜的第一待测平面、以及第二透镜的第二待测平面分别朝向所述自准直仪，并在所述第一透镜与所述第二透镜之间设置挡光件，令所述第一待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置位于所述自准直仪的视场中心，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面的角度偏差信息；
移除所述挡光件，将所述光路转变件贴合于所述第一待测平面上，记录此时所述自准直仪上的所述光路转变件的角度偏差信息，并将所述光路转变件的角度偏差信息与所述第一待测平面的角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将所述光路转变件贴合于所述第二待测平面上，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，并将该平行度信息与所述光路转变件的标定角度偏差信息取差值，得出所述第一待测平面与所述第二待测平面之间的平行度信息。
又一方面，提供了一种平行度测试系统的平行度测试方法，包括如下步骤：
通过自准直仪记录置于所述自准直仪与所述光路调整件之间的至少一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将所述待测平面贴合有光路转变件前、后的所述角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将所述自准直仪分别对准两个所述待测平面，并将所述光路转变件贴合于距离所述自准直仪较近的所述待测平面上，通过所述自准直仪记录距离所述自准直仪较的所述待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，然后将所述平行度信息与所述标定角度偏差信息取差值，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
在一些实施例中，所述方法包括如下步骤：
调整所述光路调整件使其反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述第一待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，将所述第二待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，令所述第一待测平面、所述第二待测平面的反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述光路转变件贴合于所述第二待测表面，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第一平行度信息；
调整方向使得所述第一待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，所述第二待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，记录此时所述自准直仪上所述第二待测平面与所述光路转变件之间的第二平行度信息，将所述第二平行度信息与所述第一平行度信息取差值后平均，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
在一些实施例中，所述方法包括如下步骤：
调整所述光路调整件使其反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述第一待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，将所述第二待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，令所述第一待测平面、所述第二待测平面的反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述光路转变件贴合于所述第二待测表面，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第一平行度信息；
移除所述光路调整件，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第二平行度信息，将所述第二平行度信息与所述第一平行度信息取差值后平均，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
通过测试过程中在待测试镜片上设置楔板，借助楔板在空间上使自准直仪上的两个十字光斑分开，以此消除十字光斑重合影响，从而能够获得准确的平行度测试结果，从而避免以往测试方式十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷，无论是两块平板之间的平行度测量场景，还是双面反射平板的平行度精确测试，均能良好适用，最终提高了平行度测试的范围和精度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本申请实施例一提供的平行度测试系统及测试方法过程演示图；
图2是本申请实施例二提供的平行度测试系统及测试方法过程演示图；
图3是本申请实施例三提供的平行度测试系统及测试方法过程演示图；
图4是本申请实施例四提供的平行度测试系统及测试方法过程演示图。
具体实施方式
下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。
还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
本申请实施例提供的消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试装置，主要通过借助楔板，通过调节自准直仪以及待测试平行度的镜片，使得最终测试得到的镜片平行度。
本申请实施例提供的平行度测试系统包括自准直仪、至少两个待测平面以及光路转变件，至少两个待测平面用以将所述自准直仪发出的光反射回自准直仪，光路转变件能够分别贴合于两个待测平面上，以改变两个待测平面反射回自准直仪上的光斑位置，从而通过比对贴合所述光路转变件前、后的所述自准直仪上的光斑位置信息，能够得出至少两个待测平面之间的平行度。
在一些实施例中，可以通过自准直仪记录一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息取差值，得出光路转变件的标定角度偏差信息；将自准直仪同时对准两个待测平面，并将光路转变件贴合于距离自准直仪较远的待测平面上，通过自准直仪记录距离自准直仪较近的待测平面与光路转变件之间的平行度信息，然后将平行度信息与标定角度偏差信息取差值，得出两个待测平面之间的平行度信息。
在另一些实施例中，可以通过自准直仪记录置于自准直仪与光路调整件之间的至少一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息取差值，得出光路转变件的标定角度偏差信息；将自准直仪分别对准两个待测平面，并将光路转变件贴合于距离自准直仪较近的待测平面上，通过自准直仪记录距离自准直仪较的待测平面与光路转变件之间的平行度信息，然后将平行度信息与标定角度偏差信息取差值，得出两个待测平面之间的平行度信息。
在一些实施例中，至少两个待测平面可以分别是两个透镜的一个表面，也可以是分布于同一个双面反射镜的两个表面，光路转变件包括楔板，所述楔板包括两个相对设置的第一表面与第二表面，第二表面相对于第一表面倾斜，第一表面能够分别贴合于两个待测平面上，第二表面设置有反射膜。另外，平行度测试系统还包括挡光件，挡光件设置于第一透镜与第二透镜之间，另外还可以设置能够将光路进行转向和位移的光路调整件，如角隅棱镜，并且根据需要透镜、双面反射镜挡光件或光路调整件可以设置为多个，本申请实施例对此不作限定。
下面结合几个具体实施例，对能够消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统及其平行度测试方法进行详细说明。
实施例一
如图1所示，在本实施例中，消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统包括两块待精确测试平行度的第一透镜102、第二透镜103、自准直仪101以及楔面镀反射膜的楔板104以及挡光件105。以往测试方式中，自准直仪101由于第一透镜102和第二透镜103反射的十字光斑重合，使得不能直接显示第一透镜102和第二透镜103之间的平行度，直接影响平行度的精确测试。这里，自准直仪101、第二透镜103、第一透镜102按图1所示由左至右依次放置。具体地，精确测试已调整好透镜之间平行度的操作步骤如下：
第一步，将第二透镜102的第二待测平面102a、以及第一透镜103的第一待测平面103a分别朝向自准直仪101，并在第一透镜103与第二透镜102之间设置挡光件105，令第一待测平面103a反射回自准直仪101上的光斑位置位于自准直仪101的视场中心，记录此时自准直仪101上第一待测平面103a的角度偏差信息(x1,y1)；
第二步，移除挡光件105，将楔板104贴合于第一待测平面103a上，记录此时自准直仪101上的楔板104的角度偏差信息(x2,y2)，并将楔板104的角度偏差信息(x2,y2)与第一待测平面103a的角度偏差信息(x1,y1)取差值，得出楔板104的标定角度偏差信息(△x,△y)，其中△x＝x2-x1，△y＝y2-y1；
第三步，将楔板104贴合于第二待测平面102a上，记录此时自准直仪101上第一待测平面103a与楔板104之间的平行度信息(x3,y3)，并将该平行度信息与楔板104的标定角度偏差信息(△x,△y)取差值，得出第一待测平面103a与第二待测平面102a之间的平行度信息(x3-△x,y3-△y)。
实施例二
如图2所示，本实施例中，消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统包括两块待测试平行度的第一透镜202和第二透镜204、自准直仪201以及楔面镀反射膜的楔板203。这里，如图3所示，第二透镜204可以置于自准直仪201与第一透镜202之间的相应位置。具体地，精确测试已调整好透镜之间平行度的操作步骤如下：
第一步，将第一透镜202的第一待测平面202a朝向自准直仪201，调节自准直仪201的角度，令第一待测平面202a反射回自准直仪201上的光斑位置位于自准直仪201的视场中心，记录此时自准直仪201上第一待测平面202a的角度偏差信息(x1,y1)；
第二步，将楔板203贴合于第一待测平面202a上，记录此时自准直仪201上的楔板204的角度偏差信息(x2,y2)，并将楔板204的角度偏差信息(x2,y2)与第一待测平面202a的角度偏差信息(x1,y1)取差值，得出楔板204的标定角度偏差信息(△x,△y),其中△x＝x2-x1，△y＝y2-y1；
第三步，将第二透镜204放置于第一透镜202与自准直仪201之间，令第二透镜204的第二待测平面204a朝向自准直仪201，记录此时自准直仪201上第二待测平面204a与楔板204之间的平行度信息(x3,y3)，并将该平行度信息(x3,y3)与楔板204的标定角度偏差信息(△x,△y)取差值，得出第一待测平面202a与第二待测平面204a之间的平行度信息(x3-△x,y3-△y)。
实施例三
如图3所示，本实施例中，消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统包括待测试平行度双面反射镜303、自准直仪301、角隅棱镜302及楔面镀反射膜的楔板304。这里，自准直仪301、双面反射镜303、角隅棱镜302，如图3所示的由左至右按顺序依次放置于相应位置。具体平行度精确测试的操作步骤如下：
第一步，调整角隅棱镜302使其反射十字光斑位置位于自准直仪301的视场中心；
第二步，将双面反射镜303的第一待测平面303-b背向自准直仪301且朝向角隅棱镜302，将双面反射镜303的第二待测平面303-a朝向自准直仪301且背向角隅棱镜302，令第一待测平面303-b、第二待测平面303-a的反射十字光斑位置位于自准直仪301的视场中心；
第三步，将楔板304贴合于第二待测表面303-a，记录此时自准直仪301上第一待测平面303-a与楔板304之间的第一平行度信息(x4,y4)；
第四步，调整方向(例如旋转双面反射镜303)使得第一待测平面303-b朝向自准直仪301且背向角隅棱镜302，第二待测平面303-a背向自准直仪301且朝向角隅棱镜302，记录此时自准直仪301上第二待测平面303-a与楔板304之间的第二平行度信息(x5,y5)，将第二平行度信息(x5,y5)与第一平行度信息(x4,y4)取差值后平均，得出两个待测平面之间的平行度信息((x5-x4)/2，(y5-y4)/2)。
实施例四
如图4所示，本实施例中，消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统包括待测试平行度双面反射镜403、自准直仪401、角隅棱镜402及楔面镀反射膜的楔板404。这里，自准直仪401、双面反射镜403、角隅棱镜402，如图4所示的由左至右按顺序依次放置于相应位置。具体平行度精确测试的操作步骤如下：
第一步，调整角隅棱镜402使其反射十字光斑位置位于自准直仪401的视场中心；
第二步，将第一待测平面403-b背向自准直仪401且朝向角隅棱镜402，将第二待测平面403-a朝向自准直仪401且背向角隅棱镜402，令第一待测平面403-b、第二待测平面403-a的反射十字光斑位置位于自准直仪401的视场中心；
第三步，将楔板404贴合于第二待测表面403-a，记录此时自准直仪401上第一待测平面403-b与楔板404之间的第一平行度信息(x4,y4)；
第四步，移除角隅棱镜402，记录此时自准直仪401上第一待测平面403-b与楔板404之间的第二平行度信息(x5,y5)，将第二平行度信息(x5,y5)与第一平行度信息(x4,y4)取差值后平均，得出两个待测平面之间的平行度信息((x5-x4)/2，(y5-y4)/2)。
综上所述，由于本申请实施提供的平行度测试方案，测试过程中在待测试镜片上设置楔板，通过借助楔板，在空间上使自准直仪上的两个十字光斑分开，以此消除十字光斑重合影响，从而能够获得准确的平行度测试结果，从而避免以往测试方式十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷，无论是两块平板之间的平行度测量场景，还是双面反射平板的平行度精确测试，均能良好适用，最终提高了平行度测试的范围和精度。
本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。
Claims (14)
1.一种平行度测试系统，其特征在于，包括：
自准直仪；
至少两个待测平面，以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪；
光路转变件，能够分别贴合于两个所述待测平面上，以改变两个所述待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置；其中
通过比对贴合所述光路转变件前、后的所述自准直仪上的光斑位置信息，能够得出两个所述待测平面之间的平行度。
2.根据权利要求1所述的平行度测试系统，其特征在于，所述光路转变件包括楔板；
所述楔板包括两个相对设置的第一表面与第二表面，所述第二表面相对于所述第一表面倾斜；其中
所述第一表面能够分别贴合于两个所述待测平面上，所述第二表面设置有反射膜。
3.根据权利要求1所述的平行度测试系统，其特征在于，两个所述待测平面包括第一待测平面与第二待测平面；其中
所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置；或
所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置，且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置。
4.根据权利要求3所述的平行度测试系统，其特征在于，当所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置时，所述平行度测试系统还包括第一透镜与第二透镜；
所述第一待测平面为所述第一透镜的一个表面，所述第二待测平面为所述第二透镜的一个表面。
5.根据权利要求4所述的平行度测试系统，其特征在于，所述平行度测试系统还包括挡光件，设置于所述第一透镜与第二透镜之间。
6.根据权利要求3所述的平行度测试系统，其特征在于，当所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置，且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置时，所述平行度测试系统还包括双面反射镜；
所述第一待测平面与所述第二待测平面分别为所述双面反射镜的两个相对的表面。
7.根据权利要求6所述的平行度测试系统，其特征在于，所述平行度测试系统还包括光路调整件，能够将光路进行转向和位移。
8.根据权利要求7所述的平行度测试系统，其特征在于，所述光路调整件包括角隅棱镜。
9.一种基于权利要求1-5中任一项所述的平行度测试系统的平行度测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
通过自准直仪记录一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将所述待测平面贴合有光路转变件前、后的所述角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将所述自准直仪同时对准两个所述待测平面，并将所述光路转变件贴合于距离所述自准直仪较远的所述待测平面上，通过所述自准直仪记录距离所述自准直仪较近的所述待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，然后将所述平行度信息与所述标定角度偏差信息取差值，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
10.根据权利要求9所述的平行度测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
将所述第一透镜的第一待测平面朝向所述自准直仪，调节所述自准直仪的角度，令所述第一待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置位于所述自准直仪的视场中心，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面的角度偏差信息；
将所述光路转变件贴合于所述第一待测平面上，记录此时所述自准直仪上的所述光路转变件的角度偏差信息，并将所述光路转变件的角度偏差信息与所述第一待测平面的角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将第二透镜放置于所述第一透镜与所述自准直仪之间，令所述第二透镜的第二待测平面朝向所述自准直仪，记录此时所述自准直仪上所述第二待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，并将该平行度信息与所述光路转变件的标定角度偏差信息取差值，得出所述第一待测平面与所述第二待测平面之间的平行度信息。
11.根据权利要求9所述的平行度测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
将第一透镜的第一待测平面、以及第二透镜的第二待测平面分别朝向所述自准直仪，并在所述第一透镜与所述第二透镜之间设置挡光件，令所述第一待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置位于所述自准直仪的视场中心，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面的角度偏差信息；
移除所述挡光件，将所述光路转变件贴合于所述第一待测平面上，记录此时所述自准直仪上的所述光路转变件的角度偏差信息，并将所述光路转变件的角度偏差信息与所述第一待测平面的角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将所述光路转变件贴合于所述第二待测平面上，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，并将该平行度信息与所述光路转变件的标定角度偏差信息取差值，得出所述第一待测平面与所述第二待测平面之间的平行度信息。
12.一种基于权利要求1-3、以及6-8中任一项所述的平行度测试系统的平行度测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
通过自准直仪记录置于所述自准直仪与所述光路调整件之间的至少一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将所述待测平面贴合有光路转变件前、后的所述角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；
将所述自准直仪分别对准两个所述待测平面，并将所述光路转变件贴合于距离所述自准直仪较近的所述待测平面上，通过所述自准直仪记录距离所述自准直仪较的所述待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，然后将所述平行度信息与所述标定角度偏差信息取差值，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
13.根据权利要求12所述的平行度测试系统的平行度测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
调整所述光路调整件使其反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述第一待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，将所述第二待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，令所述第一待测平面、所述第二待测平面的反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述光路转变件贴合于所述第二待测表面，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第一平行度信息；
调整方向使得所述第一待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，所述第二待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，记录此时所述自准直仪上所述第二待测平面与所述光路转变件之间的第二平行度信息，将所述第二平行度信息与所述第一平行度信息取差值后平均，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
14.根据权利要求12所述的平行度测试系统的平行度测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
调整所述光路调整件使其反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述第一待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，将所述第二待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，令所述第一待测平面、所述第二待测平面的反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；
将所述光路转变件贴合于所述第二待测表面，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第一平行度信息；
移除所述光路调整件，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第二平行度信息，将所述第二平行度信息与所述第一平行度信息取差值后平均，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。
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