CN117286475A - 一种延长cvd加热基座寿命的装置及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种延长CVD加热基座寿命的装置及其使用方法，只需通过模具方式对与滚子衬套配合的扩孔套进行浇铸成型获得，使外支撑孔套和扩孔套之间能够进行固定即可，减少对精度铣刀的设备要求；外支撑孔套的尺寸磨损不会对滚子衬套的稳定安装产生影响，进一步延长了加热基座的使用寿命，同时弹片体在顶压弧块的挤压下呈八字型弯曲后将外支撑孔套进行稳固安装，同时顶球的翻转会在顶推杆组、顶杆回弹组的配合下依次使扩孔套和顶固弧板对滚子衬套进行压固，在扩孔套和滚子衬套后续具有松动趋势时，弹片体随着加热基座周边环境温度的上升发生进一步弯曲，进一步提高滚子衬套、扩孔套和外支撑孔套之间在加热基座工作状态下的固定效果。
Description
技术领域
本发明属于CVD技术领域，具体涉及一种延长CVD加热基座寿命的装置及其使用方法。
背景技术
Susceptor(加热基座，以下简称SUSC)是CVD相关设备中最重要的设备之一，目前在腔室(chamber)内的Glass交换基本采用升降pin的方式，通过升降pin的托举将Glass从机械设备(robot)上放置于基座(susceptor)上，继而进行反应所以避免不了会在基座(susceptor)上进行开孔，以便于升降pin的上下活动，对其进行加热，Roller Bushing孔(以下简称安装孔)是SUSC上重要的一个孔，其主要作用是固定Bushing，放置Bushing在使用过程中摆动幅度大，Golf Tee无法准确定位支撑Glass；一般SUSC再生方式采用化学药水(氢氧化钠+硝酸)浸泡+研磨的方式，该方式不足之处在于：氢氧化钠+研磨对RollerBushing(滚子衬套)有0.07轻微扩孔，产品再生8回后，滚子衬套孔无法正常使用；滚子衬套孔超出27.5mm，Bushing会发生晃动Golf Tee无法准确定位客户复机会造成Glass破碎及Mura异常风险；
如公告号为CN103469300A的中国专利，其叙述了加热基座的基本构成，具体公开了一种碳化硅外延炉加热基座，包括大圆盘基座和至少一个小圆盘基座，所述大圆盘基座的上表面上凹设有数个圆形安装槽，所述安装槽的数量与所述小圆盘基座的数量相等，每个安装槽的底部均开设有进气口，每个小圆盘基座对应气浮于一个安装槽内；所述小圆盘基座包括碳化硅制成的碳化硅基座和涂覆于碳化硅基座外表面的TaC涂层；
现有解决滚子衬套在安装孔使用过程中存在较大的摆动幅度采用衬套：在滚子衬套孔内部，添加一个扩孔套，以增加对滚子衬套的固定效果，扩孔套通常是一个环形或管状的结构，与扩孔后的直径相匹配，使滚子衬套插入扩孔套内，从而减小滚子衬套的摆动幅度，提供更稳定的支撑
但是上述方案存在以下不足，采用扩孔套方式会对加热基座产生如下问题：
削弱基底结构：扩大孔径会削弱原始基底结构的强度和刚度，改变孔的尺寸和形状可能会降低整体结构的稳定性；
需要精确的加工：扩孔过程需要精确的加工和控制，如果孔的扩大不均匀或孔径尺寸不准确，可能会导致扩孔套安装不稳定或无法契合，这需要专业的加工设备和技术来保证孔的质量和准确性，扩孔使用成本较高；
扩孔套固定问题：扩孔套安装后，必须进行合适的固定，以确保其位置和配合的稳定性，如果扩孔套无法正确地固定在孔内，可能会导致扩孔套松动或偏移，从而无法提供所需的支撑效果，同时对于滚子衬套与扩孔套之间的配合只是采用简单的过盈配合，扩孔套与滚子衬套后期的使用容易松动；
如何设计一种基于加热基座扩孔后，通过扩孔套的安装用于延长CVD加热基座寿命的装置，使其具备减少对精度铣刀的设备要求；提高安装孔、滚子衬套和扩孔套之间的固定效果；对扩孔所在加热基板区域进行结构填充、加强是当下需要改进的方向。
发明内容
本发明的目的在于提供一种延长CVD加热基座寿命的装置及其使用方法，以解决上述背景技术中存在的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种延长CVD加热基座寿命的装置，包括用于配合设置在加热基座上安装孔内的外支撑孔套和扩孔套，扩孔套内配合设置有滚子衬套，所述外支撑孔套上设置有可向两侧延伸弯曲的弹片体，外支撑孔套与滚子衬套之间通过扩孔套进行固定，所述外支撑孔套上环向设置有可升降调节的升降杆并接触延伸至弹片体下方之间，所述扩孔套内孔壁上环向布设有凹槽部，凹槽部内活动设置有顶固弧板，所述弹片体单侧延伸弯曲处设置有顶推杆组并可延伸至扩孔套上；
所述升降杆的升降运动使弹片体向两侧延伸弯曲并用于将外支撑孔套固定在安装面上，同时所述弹片体的弯曲侧带动顶推杆组与扩孔套固定连接，在所述顶固弧板内侧壁上贯穿设置有可水平活动的顶杆回弹组，顶推杆组末端会推动顶杆回弹组使顶固弧板和滚子衬套外表面紧密贴合。
优选的，所述外支撑孔套外环底端面设置有定位凸起环，所述定位凸起环上设有具有内螺纹部的台阶孔并贯穿至外支撑孔套上面壁，所述升降杆上具有外螺纹部并与台阶孔上的内螺纹部相配合。
优选的，所述弹片体对称设置在台阶孔两侧，且所述升降杆底端设置有顶压弧块并位于两侧弹片体之间。
优选的，所述弹片体由热膨胀系数不同的低膨胀层和高膨胀层构成，且靠近顶推杆组的低膨胀层为相对设置。
优选的，所述外支撑孔套上具有容纳扩孔套的台阶状腔槽，所述顶固弧板由顶板和弧形顶弹片构成，且所述扩孔套侧壁上分别设有主槽孔和副槽孔并与凹槽部相连通，主槽孔所在扩孔套侧壁为斜边结构，所述顶杆回弹组由顶杆和回弹片构成，顶杆滑动贯穿于主槽孔和副槽孔，且回弹片安装在顶杆末端并分别固定于主槽孔和副槽孔端口部。
优选的，所述顶推杆组包括设置在弹片体弯曲侧的顶球，所述外支撑孔套上设有竖孔，顶球上方与侧部分别设置有主复位弹簧顶杆和副复位弹簧，主复位弹簧顶杆滑动贯穿于竖孔，主复位弹簧顶杆底端可拆卸设置有与顶球相接触滑移配合的弧形球，所述扩孔套内侧壁上设有副台阶穿孔，副台阶穿孔内滑动贯穿有副复位弹簧顶杆，副复位弹簧顶杆伸出端能够收纳于副台阶穿孔内，副复位弹簧顶杆内端设置有锁固球，当弹片体弯曲延伸时，顶球会依次推动锁固球和弧形球上移，进而依次使副复位弹簧顶杆与主复位弹簧顶杆插入至副槽孔和主槽孔内进行固定。
一种使用方法，用于上述所述的延长CVD加热基座寿命的装置，包括如下步骤：
S1.产品先使用挂具，使用行车把产品放进氢氧化钠槽去除基准面及Back面阳极膜，放进硝酸槽去除阳极膜残留浮灰；
S2.拆除挂具，产品吊装至大理石平台进行平坦度测量，根据测量结果使用液压机进行平坦度矫正至1mm以内；
S3.使用游标卡尺测量Bushing孔直径及深度并绘图，预测扩张孔直径后制作外支撑孔套和扩孔套；
S4.产品吊装至CNC加工中心使用治具把产品固定住后，使用3D扫边器或激光测量仪测量产品三坐标，测量完成后确认加热基座中心坐标点，装夹定制的铣削刀具，使用对刀仪测量刀具至产品基准面高度数据并记录；
S5.CNC加工中心对产品安装孔进行扩孔加工形成具有高、低双台阶面的扩张孔，对扩张孔上高、低台阶面相邻的侧壁上环向加工出四个活动槽，在扩张孔高台阶面上加工有定位环槽，且在定位环槽底端面上环向加工有四个与活动槽相连通的锁固孔，锁固孔的尺寸可以容纳弹片体的伸入滑动即可，在活动槽内壁顶端加工有主台阶穿孔并和外支撑孔套上的竖孔相对连通，用于主复位弹簧顶杆下部的滑动贯穿，扩孔加工尺寸只需便于对外支撑孔套进行安装即可，精度上允许有1mm误差；
S6.扩张孔加工完成后，将定制扩孔套8配件放进液氮桶中，极速降温维持10—15min，使扩孔套8配件尺寸进行收缩；
S7.首先将外支撑孔套上的定位凸起环插入至定位环槽内，并使弹片体通过锁固孔插入至活动槽内，保障副复位弹簧顶杆收纳于副槽孔内，从液氮桶中取出扩孔套配件后将顶杆回弹组中的顶杆分别穿入主槽孔和副槽孔，并在分别安装回弹片和对应的顶固弧板上的弧形顶弹片，最后将安装完毕后的扩孔套快速放置外支撑孔套中的腔槽，常温条件下S使扩孔套配件恢复至原尺寸；
S8.拧动旋转升降杆使其上升，进而带动弹片体上顶球依次对锁固球和弧形球顶推，锁固球带动副复位弹簧顶杆延伸端插入至副槽孔内实现对扩孔套的预固定，之后弧形球带动主复位弹簧顶杆延伸端插入至斜边侧主槽孔内的回弹片上，在副槽孔和副复位弹簧顶杆的限定下，使主复位弹簧顶杆辅助推动扩孔套和滚子衬套紧密贴合，同时主槽孔与副槽孔内回弹片受到的推力会通过顶杆传递给顶固弧板，顶固弧板再对滚子衬套进行持续性压固；
S9.按照同样方法对其余需要冷镶的Bushing孔进行作业，全部加工完成后，使用脱脂剂对产品表面残留切削液进行脱脂处理。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
一、外支撑孔套与扩张孔之间的安装对尺寸上没有过高要求，只需通过模具方式对与滚子衬套配合的扩孔套进行浇铸成型获得，使外支撑孔套和扩孔套之间能够进行固定即可，减少对精度铣刀的设备要求；
二、外支撑孔套的尺寸磨损不会对滚子衬套的稳定安装产生影响，当扩孔套后期发生磨损时，只需对其进行更换即可，进一步延长了加热基座的使用寿命，同时弹片体在顶压弧块的挤压下呈八字型弯曲后将外支撑孔套进行稳固安装，同时顶球的翻转会在顶推杆组、顶杆回弹组的配合下依次使扩孔套和顶固弧板对滚子衬套进行压固，在扩孔套和滚子衬套后续具有松动趋势时，弹片体随着加热基座周边环境温度的上升发生进一步弯曲，进一步提高滚子衬套、扩孔套和外支撑孔套之间在加热基座工作状态下的固定效果；
三、通过外支撑孔套和扩孔套的配合，对扩张孔所在加热基座区域进行结构填充、加强。
附图说明
图1为本发明的外支撑孔套与扩孔套对半剖视状态下的配合示意图；
图2为图1的外支撑孔套与扩孔套分离状态示意图；
图3为本发明的外支撑孔套与扩孔套运用在加热基座上安装孔区域局部示意图；
图4为图3的扩张孔区域局部示意图；
图5为图4的弹片体未弯曲状态位置示意图；
图6为图4的外支撑孔套与扩孔套配合状态局部区域示意图；
图7为本发明的加热基座局部剖视状态下的安装孔、扩张孔区域示意图；
图8为图7中扩张孔放置剖切状态的外支撑孔套结构示意图；
图9为图7的外支撑孔套内部腔槽放置扩孔套示意图；
图10为图9的活动槽区域局部示意图；
图11为图10中本发明的顶推杆组配合区域局部剖视状态示意图；
图12为图11的主复位弹簧顶杆与弧形球拆卸分离状态示意图。
图中：1、加热基座；2、安装孔；3、滚子衬套；4、扩张孔；5、活动槽；6、弹片体；7、外支撑孔套；8、扩孔套；9、升降杆；10、凹槽部；11、顶固弧板；12、定位环槽；13、定位凸起环；14、锁固孔；15、台阶孔；16、顶压弧块；17、主槽孔；18、副槽孔；19、顶球；20、主台阶穿孔；21、主复位弹簧顶杆；22、弧形球；23、副台阶穿孔；24、副复位弹簧顶杆；25、锁固球；26、旋转基盘；27、冷却液道；101、顶杆回弹组；201、顶推杆组；301、顶板；302、弧形顶弹片；401、顶杆；402、回弹片；601、低膨胀层；602、高膨胀层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-12，本发明提供一种技术方案：
实施例一：一种延长CVD加热基座寿命的装置，包括用于配合设置在加热基座1上安装孔2内的外支撑孔套7和扩孔套8，加热基座1上预设安装孔2，安装孔2内配合设置有滚子衬套3，安装孔2上开设有扩张孔4，扩张孔4内侧壁上环向设有四个活动槽5，活动槽5内设置有可向两侧延伸弯曲的弹片体6，弹片体6采用不锈钢、钼合金或弹簧钢中的任意一种，需要保证弹片体6的耐热工作范围高于加热基座1上加热件的工作温度，扩张孔4内插入有外支撑孔套7，外支撑孔套7与滚子衬套3之间通过扩孔套8进行固定，外支撑孔套7上环向设置有可升降调节的升降杆9并延伸至活动槽5内，扩孔套8内孔壁上环向布设有凹槽部10，凹槽部10内活动设置有顶固弧板11，活动槽5内设置有顶推杆组201并可延伸至扩孔套8上；
升降杆9的升降运动使弹片体6向两侧延伸弯曲并用于将外支撑孔套7固定在扩张孔4上，同时弹片体6的弯曲侧带动顶推杆组201与扩孔套8固定连接，在顶固弧板11内侧壁上贯穿设置有可水平活动的顶杆回弹组101，顶推杆组201末端会推动顶杆回弹组101使顶固弧板11和滚子衬套3外表面紧密贴合；
在滚子衬套3顶部旋转端连接有旋转基盘26，加热基座1内位于安装孔2周边设有冷却液道27，设定安装孔2内构件最大耐热温度阈值为A，冷却液道27用于避免安装孔2内温度超过阈值A。
实施例二：
在实施例一的基础上进一步说明，扩张孔4内部具有高、低双台阶面段，活动槽5设置在高、低双台阶面之间的相邻衔接侧壁上，扩张孔4高台阶面上开设有定位环槽12，外支撑孔套7外环底端面设置有与定位环槽12相配合的定位凸起环13，便于对外支撑孔套7进行快速定位安装，同时在加热基座1使用的过程中，定位凸起环13会发生热膨胀，从而使其紧密的固定在扩张孔4上，且定位环槽12底端面上环向布设有四个与对应位置活动槽5相连通的锁固孔14，定位凸起环13上设有具有内螺纹部的台阶孔15并贯穿至外支撑孔套7上面壁，升降杆9上具有外螺纹部并与台阶孔15上的内螺纹部相配合，升降杆9顶部为T型结构并开十字槽，便于后续通过外界十字起子对其进行旋转；
弹片体6对称设置在台阶孔15两侧并贯穿于锁固孔14，且升降杆9底端设置有顶压弧块16并位于两侧弹片体6之间，顶压弧块16上端面为弧形面并和上方两侧弹片体6内侧面相接触；
弹片体6由热膨胀系数不同的低膨胀层601和高膨胀层602构成，具体选择奥氏体不锈钢、铁素体不锈钢复合，又或者奥氏体不锈钢、因瓦合金复合，具体复合步骤为现有技术，不作赘述，且靠近顶推杆组201的低膨胀层601为相对设置，当弹片体6受热时，膨胀系数较低的一侧会膨胀较少，而膨胀系数较高的一侧则膨胀较多，从而导致弹片体6发生定向弯曲，因此在加热基座1后续使用时，弹片体6产生的弯曲形变会持续性通过顶推杆组201使顶固弧板11对滚子衬套3侧表面进行压固。
实施例三：
在实施例一的基础上进一步说明，外支撑孔套7上具有容纳扩孔套8的台阶状腔槽，顶固弧板11由顶板301和弧形顶弹片302构成，弧形顶弹片302的耐热工作范围高于加热基座1上加热件的工作温度，且扩孔套8侧壁上分别设有主槽孔17和副槽孔18并与凹槽部10相连通，主槽孔17所在扩孔套8侧壁为斜边结构，顶杆回弹组101由顶杆401和回弹片402构成，顶杆401滑动贯穿于主槽孔17和副槽孔18，且回弹片402安装在顶杆401末端并分别固定于主槽孔17和副槽孔18端口部，回弹片402的设置用于受到外界挤压力时通过顶杆401推动顶固弧板11对滚子衬套3进行辅助压固，同时用于外支撑孔套7与扩孔套8之间连接部的弹性顶压固定；同时还具备以下特点：
缓冲和减震能力：弹性顶压固定的回弹片402能够吸收和减少振动和冲击的传递，从而降低结构或系统受到的动态负载，它可以帮助减小振动的幅度，提供更好的稳定性和舒适性；
热膨胀补偿：弹性顶压固定的回弹片402具有一定的伸缩和变形能力，对应用中的热膨胀或收缩提供补偿，避免由于温度变化引起的应力集中和损坏；从而减少了外支撑孔套7与扩孔套8之间连接处发生热膨胀损坏的概率；
紧固点间的位移补偿：弹性顶压固定的回弹片402可以在连接点之间提供一定的位移补偿能力，使得外支撑孔套7与扩孔套8之间能够适应尺寸变化或形状不一致的情况，适用范围更广；
顶推杆组201包括设置在弹片体6弯曲侧的顶球19，外支撑孔套上设有竖孔，活动槽5内壁顶端设有主台阶穿孔20，主台阶穿孔20与竖孔相连通对齐，主台阶穿孔20内滑动贯穿有主复位弹簧顶杆21，主复位弹簧顶杆21底端可拆卸设置有与顶球19相配合的弧形球22，弧形球22顶端预置有螺纹柱，主复位弹簧顶杆21底端面对应配合有螺纹槽，便于拆卸式安装，且主复位弹簧顶杆21顶部具有半球体凸起，半球体凸起位于扩孔套8斜边部的主槽孔17正下方，扩孔套8内侧壁上设有副台阶穿孔23，副台阶穿孔23内滑动贯穿有副复位弹簧顶杆24，副复位弹簧顶杆24伸出端能够收纳于副台阶穿孔23内，且副复位弹簧顶杆24伸出端同样具有凸起部，副复位弹簧顶杆24内端设置有锁固球25，当弹片体6弯曲延伸时，顶球19会依次推动锁固球25和弧形球22上移，进而依次使副复位弹簧顶杆24与主复位弹簧顶杆21插入至副槽孔18和主槽孔17内进行固定。
弧形球22呈现具有斜度逐渐增大水滴造型，通过选择不同规格斜度的弧形球22，能够使主复位弹簧顶杆21对顶杆回弹组101产生不同推力，从而对不同规格的滚子衬套3进行适应性使用。
一种使用方法，用于上述所述的延长CVD加热基座寿命的装置，包括如下步骤：
S1.产品先使用挂具，使用行车把产品放进氢氧化钠槽去除基准面及Back面阳极膜，放进硝酸槽去除阳极膜残留浮灰；
S2.拆除挂具，产品吊装至大理石平台进行平坦度测量，根据测量结果使用液压机进行平坦度矫正至1mm以内；
S3.使用游标卡尺测量Bushing孔直径及深度并绘图，预测扩张孔4直径后制作外支撑孔套7和扩孔套8；
S4.产品吊装至CNC加工中心使用治具把产品固定住后，使用3D扫边器或激光测量仪测量产品三坐标，测量完成后确认加热基座1中心坐标点，装夹定制的铣削刀具，使用对刀仪测量刀具至产品基准面高度数据并记录；
S5.CNC加工中心对产品Bushing孔扩孔加工形成具有高、低双台阶面的扩张孔4，扩孔加工尺寸只需便于对外支撑孔套7进行安装即可，精度上允许有1mm误差；
S6.扩张孔4加工完成后，将定制扩孔套8配件放进液氮桶中，极速降温维持10—15min，使扩孔套8配件尺寸进行收缩；
S7.首先将外支撑孔套7上的定位凸起环13插入至定位环槽12内，并使弹片体6通过锁固孔14插入至活动槽5内，保障副复位弹簧顶杆24收纳于副槽孔18内，从液氮桶中取出扩孔套8配件后将顶杆回弹组101中的顶杆401分别穿入主槽孔17和副槽孔18，并在分别安装回弹片402和对应的顶固弧板11上的弧形顶弹片302，最后将安装完毕后的扩孔套8快速放置外支撑孔套7中的腔槽，常温条件下30S使扩孔套8配件恢复至原尺寸；
S8.拧动旋转升降杆9使其上升，进而带动弹片体6上顶球19依次对锁固球25和弧形球22顶推，锁固球22带动副复位弹簧顶杆24延伸端插入至副槽孔18内实现对扩孔套8的预固定，之后弧形球22带动主复位弹簧顶杆21延伸端插入至斜边侧主槽孔17内的回弹片402上，在副槽孔18和副复位弹簧顶杆24的限定下，使主复位弹簧顶杆21辅助推动扩孔套8和滚子衬套3紧密贴合，同时主槽孔17与副槽孔18内回弹片402受到的推力会通过顶杆401传递给顶固弧板11，顶固弧板11再对滚子衬套3进行持续性压固，在后续使用中，加热基座1的升温会使弹片体6在低膨胀层601和高膨胀层602作用下进行定向弯曲，从而进一步使顶球19对弧形球22和锁固球25产生持续性推力；
S9.按照同样方法对其余需要冷镶的Bushing孔进行作业，全部加工完成后，使用脱脂剂对产品表面残留切削液进行脱脂处理。
结：
外支撑孔套7与扩张孔4之间的安装对尺寸上没有过高要求，只需通过模具方式对与滚子衬套3配合的扩孔套8进行浇铸成型获得，使外支撑孔套7和扩孔套8之间能够进行固定即可，减少对精度铣刀的设备要求；
外支撑孔套7的尺寸磨损不会对滚子衬套3的稳定安装产生影响，当扩孔套8后期发生磨损时，只需对其进行更换即可，进一步延长了加热基座1的使用寿命，同时弹片体6在顶压弧块16的挤压下呈八字型弯曲后将外支撑孔套7进行稳固安装，同时顶球19的翻转会在顶推杆组201、顶杆回弹组101的配合下依次使扩孔套8和顶固弧板11对滚子衬套3进行压固，在扩孔套8和滚子衬套3后续具有松动趋势时，弹片体6随着加热基座1周边环境温度的上升发生进一步弯曲，进一步提高滚子衬套3、扩孔套8和外支撑孔套7之间在加热基座1工作状态下的固定效果；
通过外支撑孔套7和扩孔套8的配合，对扩张孔4所在加热基座1区域进行结构填充、加强。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种延长CVD加热基座寿命的装置，包括用于配合设置在加热基座上安装孔内的外支撑孔套和扩孔套，扩孔套内配合设置有滚子衬套，其特征在于：所述外支撑孔套上设置有可向两侧延伸弯曲的弹片体，外支撑孔套与滚子衬套之间通过扩孔套进行固定，所述外支撑孔套上环向设置有可升降调节的升降杆并接触延伸至弹片体下方之间，所述扩孔套内孔壁上环向布设有凹槽部，凹槽部内活动设置有顶固弧板，所述弹片体单侧延伸弯曲处设置有顶推杆组并可延伸至扩孔套上；
所述升降杆的升降运动使弹片体向两侧延伸弯曲并用于将外支撑孔套固定在安装面上，同时所述弹片体的弯曲侧带动顶推杆组与扩孔套固定连接，在所述顶固弧板内侧壁上贯穿设置有可水平活动的顶杆回弹组，顶推杆组末端会推动顶杆回弹组使顶固弧板和滚子衬套外表面紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的一种延长CVD加热基座寿命的装置，其特征在于：所述外支撑孔套外环底端面设置有定位凸起环，所述定位凸起环上设有具有内螺纹部的台阶孔并贯穿至外支撑孔套上面壁，所述升降杆上具有外螺纹部并与台阶孔上的内螺纹部相配合。
3.根据权利要求2所述的一种延长CVD加热基座寿命的装置，其特征在于：所述弹片体对称设置在台阶孔两侧，且所述升降杆底端设置有顶压弧块并位于两侧弹片体之间。
4.根据权利要求3所述的一种延长CVD加热基座寿命的装置，其特征在于：所述弹片体由热膨胀系数不同的低膨胀层和高膨胀层构成，且靠近顶推杆组的低膨胀层为相对设置。
5.根据权利要求1所述的一种延长CVD加热基座寿命的装置，其特征在于：所述外支撑孔套上具有容纳扩孔套的台阶状腔槽，所述顶固弧板由顶板和弧形顶弹片构成，且所述扩孔套侧壁上分别设有主槽孔和副槽孔并与凹槽部相连通，主槽孔所在扩孔套侧壁为斜边结构，所述顶杆回弹组由顶杆和回弹片构成，顶杆滑动贯穿于主槽孔和副槽孔，且回弹片安装在顶杆末端并分别固定于主槽孔和副槽孔端口部。
6.根据权利要求5所述的一种延长CVD加热基座寿命的装置，其特征在于：所述顶推杆组包括设置在弹片体弯曲侧的顶球，所述外支撑孔套上设有竖孔，顶球上方与侧部分别设置有主复位弹簧顶杆和副复位弹簧，主复位弹簧顶杆滑动贯穿于竖孔，主复位弹簧顶杆底端可拆卸设置有与顶球相接触滑移配合的弧形球，所述扩孔套内侧壁上设有副台阶穿孔，副台阶穿孔内滑动贯穿有副复位弹簧顶杆，副复位弹簧顶杆伸出端能够收纳于副台阶穿孔内，副复位弹簧顶杆内端设置有锁固球，当弹片体弯曲延伸时，顶球会依次推动锁固球和弧形球上移，进而依次使副复位弹簧顶杆与主复位弹簧顶杆插入至副槽孔和主槽孔内进行固定。
7.一种使用方法，用于上述权利要求1-6任意一项所述的延长CVD加热基座寿命的装置，其特征在于，包括如下步骤：
S1.产品先使用挂具，使用行车把产品放进氢氧化钠槽去除基准面及Back面阳极膜，放进硝酸槽去除阳极膜残留浮灰；
S2.拆除挂具，产品吊装至大理石平台进行平坦度测量，根据测量结果使用液压机进行平坦度矫正至1mm以内；
S3.使用游标卡尺测量Bushing孔直径及深度并绘图，预测扩张孔直径后制作外支撑孔套和扩孔套；
S4.产品吊装至CNC加工中心使用治具把产品固定住后，使用3D扫边器或激光测量仪测量产品三坐标，测量完成后确认加热基座中心坐标点，装夹定制的铣削刀具，使用对刀仪测量刀具至产品基准面高度数据并记录；
S5.CNC加工中心对产品安装孔进行扩孔加工形成具有高、低双台阶面的扩张孔，对扩张孔上高、低台阶面相邻的侧壁上环向加工出四个活动槽，在扩张孔高台阶面上加工有定位环槽，且在定位环槽底端面上环向加工有四个与活动槽相连通的锁固孔，锁固孔的尺寸可以容纳弹片体的伸入滑动即可，在活动槽内壁顶端加工有主台阶穿孔并和外支撑孔套上的竖孔相对连通，用于主复位弹簧顶杆下部的滑动贯穿，扩孔加工尺寸只需便于对外支撑孔套进行安装即可，精度上允许有1mm误差；
S6.扩张孔加工完成后，将定制扩孔套配件放进液氮桶中，极速降温维持10—15min，使扩孔套配件尺寸进行收缩；
S7.首先将外支撑孔套上的定位凸起环插入至定位环槽内，并使弹片体通过锁固孔插入至活动槽内，保障副复位弹簧顶杆收纳于副槽孔内，从液氮桶中取出扩孔套配件后将顶杆回弹组中的顶杆分别穿入主槽孔和副槽孔，并在分别安装回弹片和对应的顶固弧板上的弧形顶弹片，最后将安装完毕后的扩孔套快速放置外支撑孔套中的腔槽，常温条件下使扩孔套配件恢复至原尺寸；
S8.拧动旋转升降杆使其上升，进而带动弹片体上顶球依次对锁固球和弧形球顶推，锁固球带动副复位弹簧顶杆延伸端插入至副槽孔内实现对扩孔套的预固定，之后弧形球带动主复位弹簧顶杆延伸端插入至斜边侧主槽孔内的回弹片上，在副槽孔和副复位弹簧顶杆的限定下，使主复位弹簧顶杆辅助推动扩孔套和滚子衬套紧密贴合，同时主槽孔与副槽孔内回弹片受到的推力会通过顶杆传递给顶固弧板，顶固弧板再对滚子衬套进行持续性压固；
S9.按照同样方法对其余需要冷镶的Bushing孔进行作业，全部加工完成后，使用脱脂剂对产品表面残留切削液进行脱脂处理。
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| CN117504504A (zh) * | 2024-01-04 | 2024-02-06 | 北华航天工业学院 | 一种便于安装的多管式除尘除雾器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6118100A (en) * | 1997-11-26 | 2000-09-12 | Mattson Technology, Inc. | Susceptor hold-down mechanism |
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| CN219342280U (zh) * | 2022-09-23 | 2023-07-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体腔室 |
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2023
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| CN117504504B (zh) * | 2024-01-04 | 2024-03-12 | 北华航天工业学院 | 一种便于安装的多管式除尘除雾器 |
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