CN117250468B - 一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体检验技术领域，具体为一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有多个对称设置的支撑杆，且支撑杆的上端固定连接有加热罩。该种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，能够对加热后的热量进行回收再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保，在检测前，能够将防护板自动转动打开，同时，对等静压石墨板的表面进行自动吹气清理，在检测完成后，能够将防护板自动转动关闭，同时，能够对等静压石墨板的表面进行再次吹气清理，从而能够避免其表面附着杂质和损伤，保证检测效果。
Description
技术领域
本发明涉及半导体检验技术领域，具体为一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台。
背景技术
等静压石墨衬底检验台，也称为等静压石墨衬底测试平台，是用于测试或检验半导体器件的一种设备，它通常用于对三代半导体器件进行测试和评估，等静压石墨衬底检验台的主要功能是提供一个平稳且可控的温度和环境条件，以确保器件在不同温度和环境条件下的性能表现，这对于三代半导体器件特别重要，因为它们在高温、高功率和高频率应用中表现出优异的性能。该检验台通常由一个具有高热导率的石墨衬底组成，石墨衬底可以有效地分散器件产生的热量，确保器件在测试过程中保持稳定的温度，它还包括温度控制系统，以精确控制和维持测试平台的温度，在等静压石墨衬底检验台上，测试人员可以对三代半导体器件进行各种性能评估，这包括电性能测试，如电流-电压特性曲线测量、开关特性测量等，还包括功率性能测试和高频特性测试等，通过使用等静压石墨衬底检验台，可以更好地了解三代半导体器件在实际工作条件下的性能，为器件的设计和优化提供重要的数据和反馈。这有助于进一步推动三代半导体技术的发展和应用。
然而，现有的等静压石墨衬底检验台在使用时，待检测完成后，加热后的热量不便于回收再利用，不仅会造成热量的浪费，不够节能环保，而且，使得加热的效率较低，同时，在使用过程中，等静压石墨衬底缺少有效的防护，容易产生损伤和附着杂质，进而影响检测的效果。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的技术问题，提供一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台来解决现有的等静压石墨衬底检验台在使用时，待检测完成后，加热后的热量不便于回收再利用，不仅会造成热量的浪费，不够节能环保，而且，使得加热的效率较低，同时，在使用过程中，等静压石墨衬底缺少有效的防护，容易产生损伤和附着杂质，进而影响检测的效果的问题。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有多个对称设置的支撑杆，且支撑杆的上端固定连接有加热罩，所述加热罩的底部固定连接有电加热板，且加热罩的顶部固定连接有等静压石墨板，所述加热罩内填充有液体，且加热罩内通过移动机构滑动连接有活塞板，所述工作台的顶部固定连接有保温箱，且加热罩和保温箱之间固定连接有连接管，所述加热罩的侧壁通过转动机构转动连接有防护板，且防护板的底部设置有用于对等静压石墨板的表面进行吹气清洁的清洁机构。
本发明的有益效果是：
1）通过设置移动机构等，在进行检测前，启动电机，电机的转动带动螺纹杆的转动，进而带动套管和螺纹管进行移动，从而使得活塞板向靠近支撑板的方向移动，此时，加热罩内产生负压，从而将保温箱内的液体抽入加热罩内，并启动电加热板进行加热，并将热量传导至等静压石墨板，并将三代半导体器件放置在等静压石墨板上进行检验即可，待检测完成后，使得电机反转，此时，使得活塞板向远离支撑板的方向移动，从而将加热罩内加热后的液体推入保温箱内暂存，能够在下次检验时再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保。
2）通过设置转动机构等，在进行检测前，套管的移动带动推动杆的同步移动，当推动杆与推动板相抵时，推动齿条进行移动，同时，第一弹簧被压缩，齿条的移动推动齿轮和转轴进行顺时针转动，从而将防护板转动打开，待检测完成后，套管移动复位，使得推动杆与推动板脱离，此时，防护板能够在第一弹簧的作用下向下转动复位，从而将等静压石墨板进行防护，避免其表面附着杂质和损伤，保证检测效果。
3）通过设置清洁机构等，在进行检测前，螺纹杆205的转动带动固定环1001的同步转动，当凸起与移动块的底部相抵时，推动移动块向上移动，同时，第二弹簧被压缩，当凸起越过移动块的底部时，移动块能够在第二弹簧的作用下向下移动复位，使得移动块在固定罩内上下往复移动，当移动块向下移动时，使得固定罩内产生负压，同时，第一单向阀打开，第二单向阀关闭，此时，外部的空气通过进气管进入固定罩中，当移动块向上移动时，对固定罩内的空气进行挤压，同时，第一单向阀关闭，第二单向阀打开，此时，固定罩内的空气被挤压后通过供气管、软管和固定管进入中空管中，并经吹气孔吹出，与此同时，随着防护板向上转动打开，从而使得吹气孔吹出的空气能够对等静压石墨板的表面进行清理，保证检测的效果。
在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
进一步，所述移动机构包括固定连接在工作台顶部的支撑板，且加热罩的侧壁插设有套管和螺纹管，所述套管的一端与活塞板的侧壁固定，且套管内插设有套杆，所述套杆的另一端与支撑板的侧壁固定，且螺纹管的一端与活塞板的侧壁固定，所述螺纹管内螺纹连接有螺纹杆，且螺纹杆的另一端与支撑板的侧壁转动连接，所述支撑板的侧壁固定连接有电机，且电机的输出端与螺纹杆的端部固定。
采用上述进一步方案的有益效果是，启动电机，电机的转动带动螺纹杆的转动，进而带动套管和螺纹管进行移动，从而使得活塞板进行移动。
进一步，所述转动机构包括固定连接在加热罩侧壁的两个对称设置的固定板，且防护板通过转轴与固定板的侧壁转动连接，所述固定板的侧壁设置有用于对转轴进行复位的复位机构。
采用上述进一步方案的有益效果是，保证防护板的正常转动。
进一步，所述复位机构包括固定套设在转轴侧壁的齿轮，且固定板的侧壁通过复位组件连接有齿条，所述齿条与齿轮啮合设置，且齿条通过推动机构进行推动。
采用上述进一步方案的有益效果是，通过推动机构推动齿条进行移动，齿条的移动带动推动齿轮和转轴进行顺时针转动，从而将防护板转动打开。
进一步，所述复位组件包括固定连接在固定板的顶部的L形板，且L形板的侧壁固定连接有连接板，所述连接板的侧壁固定连接有两个对称设置的第一T形导杆，且第一T形导杆的侧壁套设有两个对称设置的滑块，所述滑块与齿条的侧壁固定，且第一T形导杆的侧壁套设有第一弹簧。
采用上述进一步方案的有益效果是，对齿条的移动起到导向与复位作用。
进一步，所述推动机构包括固定连接在齿条侧壁的呈L形设置的推动板，且套管的侧壁固定连接有推动杆。
采用上述进一步方案的有益效果是，在进行检测前，套管的移动带动推动杆的同步移动，当推动杆与推动板相抵时，推动齿条进行移动。
进一步，所述清洁机构包括开设在防护板底部的安装槽，且安装槽内固定连接有中空管，所述中空管的底部开设有多个阵列设置的吹气孔，且支撑板的侧壁设置有用于驱动吹气孔进行吹气的供气机构。
采用上述进一步方案的有益效果是，在进行检测前，通过供气机构使得外部的空气通过供气管、软管和固定管进入中空管中，并经吹气孔吹出，与此同时，随着防护板向上转动打开，从而使得吹气孔吹出的空气能够对等静压石墨板的表面进行清理，保证检测的效果。
进一步，所述供气机构包括固定插设在防护板顶部的固定管，且固定管的下端与中空管连通，所述支撑板的侧壁固定连接有固定罩，且固定罩内通过复位组件滑动连接有移动块，所述固定罩的顶部固定连接有进气管和供气管，且进气管内设置有第一单向阀，所述供气管内设置有第二单向阀，且供气管的上端固定连接有软管，所述软管的另一端与固定管的上端固定，且移动块通过推动机构进行推动。
采用上述进一步方案的有益效果是，通过推动机构和复位组件推动移动块上下往复移动，当移动块向下移动时，使得固定罩内产生负压，同时，第一单向阀打开，第二单向阀关闭，此时，外部的空气通过进气管进入固定罩中，当移动块向上移动时，对固定罩内的空气进行挤压，同时，第一单向阀关闭，第二单向阀打开，此时，固定罩内的空气被挤压后通过供气管、软管和固定管进入中空管中，并经吹气孔吹出。
进一步，所述复位组件包括固定连接在移动块侧壁的两个对称设置的第一连接块，且第一连接块的上端固定连接有两个对称设置的第二T形导杆，所述第二T形导杆的侧壁套设有第二连接块，且第二连接块与固定罩的侧壁固定，且第二T形导杆的侧壁套设有第二弹簧。
采用上述进一步方案的有益效果是，对移动块的移动起到导向与复位作用。
进一步，所述推动机构包括固定套设在螺纹杆侧壁的固定环，且固定环的侧壁固定连接有多个阵列设置的凸起。
采用上述进一步方案的有益效果是，在进行检测前，螺纹杆的转动带动固定环的同步转动，当凸起与移动块的底部相抵时，推动移动块向上移动。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图；
图2为本发明中转动机构的位置示意图；
图3为本发明的局部剖视结构示意图；
图4为图1中A处的放大结构示意图；
图5为图2中B处的放大结构示意图；
图6为图3中C处的放大结构示意图；
图7为图3中D处的放大结构示意图；
图8为图5中E处的放大结构示意图；
图9为图7中F处的放大结构示意图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、工作台；201、支撑板；202、套管；203、套杆；204、螺纹管；205、螺纹杆；206、电机；301、固定板；302、转轴；401、齿轮；402、齿条；501、L形板；502、连接板；503、第一T形导杆；504、滑块；505、第一弹簧；601、推动板；602、推动杆；701、安装槽；702、中空管；703、吹气孔；801、固定罩；802、移动块；803、进气管；804、第一单向阀；805、供气管；806、第二单向阀；807、固定管；808、软管；901、第一连接块；902、第二T形导杆；903、第二连接块；904、第二弹簧；1001、固定环；1002、凸起；11、支撑杆；12、加热罩；13、电加热板；14、活塞板；15、保温箱；16、连接管；17、防护板；18、等静压石墨板。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
如图1-图9所示，一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，包括工作台1，工作台1的顶部固定连接有多个对称设置的支撑杆11，且支撑杆11的上端固定连接有加热罩12，加热罩12的底部固定连接有电加热板13，且加热罩12的顶部固定连接有等静压石墨板18，加热罩12内填充有液体，且加热罩12内通过移动机构滑动连接有活塞板14，工作台1的顶部固定连接有保温箱15，且加热罩12和保温箱15之间固定连接有连接管16，加热罩12的侧壁通过转动机构转动连接有防护板17，且防护板17的底部设置有用于对等静压石墨板18的表面进行吹气清洁的清洁机构，能够对加热后的热量进行回收再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保，在检测前，能够将防护板17自动转动打开，同时，对等静压石墨板18的表面进行自动吹气清理，在检测完成后，能够将防护板17自动转动关闭，同时，能够对等静压石墨板18的表面进行再次吹气清理，从而能够避免其表面附着杂质和损伤，保证检测效果。
本实施例中，如图3-图5所示，移动机构包括固定连接在工作台1顶部的支撑板201，且加热罩12的侧壁插设有套管202和螺纹管204，套管202的一端与活塞板14的侧壁固定，且套管202内插设有套杆203，套杆203的另一端与支撑板201的侧壁固定，且螺纹管204的一端与活塞板14的侧壁固定，螺纹管204内螺纹连接有螺纹杆205，且螺纹杆205的另一端与支撑板201的侧壁转动连接，支撑板201的侧壁固定连接有电机206，且电机206的输出端与螺纹杆205的端部固定，启动电机206，电机206的转动带动螺纹杆205的转动，进而带动套管202和螺纹管204进行移动，从而使得活塞板14进行移动。
本实施例中，如图5和图8所示，转动机构包括固定连接在加热罩12侧壁的两个对称设置的固定板301，且防护板17通过转轴302与固定板301的侧壁转动连接，固定板301的侧壁设置有用于对转轴302进行复位的复位机构，保证防护板17的正常转动。
本实施例中，如图8所示，复位机构包括固定套设在转轴302侧壁的齿轮401，且固定板301的侧壁通过复位组件连接有齿条402，齿条402与齿轮401啮合设置，且齿条402通过推动机构进行推动，通过推动机构推动齿条402进行移动，齿条402的移动带动推动齿轮401和转轴302进行顺时针转动，从而将防护板17转动打开。
本实施例中，如图8所示，复位组件包括固定连接在固定板301的顶部的L形板501，且L形板501的侧壁固定连接有连接板502，连接板502的侧壁固定连接有两个对称设置的第一T形导杆503，且第一T形导杆503的侧壁套设有两个对称设置的滑块504，滑块504与齿条402的侧壁固定，且第一T形导杆503的侧壁套设有第一弹簧505，对齿条402的移动起到导向与复位作用。
本实施例中，如图5和图8所示，推动机构包括固定连接在齿条402侧壁的呈L形设置的推动板601，且套管202的侧壁固定连接有推动杆602，在进行检测前，套管202的移动带动推动杆602的同步移动，当推动杆602与推动板601相抵时，推动齿条402进行移动。
本实施例中，如图4和图6所示，清洁机构包括开设在防护板17底部的安装槽701，且安装槽701内固定连接有中空管702，中空管702的底部开设有多个阵列设置的吹气孔703，且支撑板201的侧壁设置有用于驱动吹气孔703进行吹气的供气机构，在进行检测前，通过供气机构使得外部的空气通过供气管805、软管808和固定管807进入中空管702中，并经吹气孔703吹出，与此同时，随着防护板17向上转动打开，从而使得吹气孔703吹出的空气能够对等静压石墨板18的表面进行清理，保证检测的效果。
本实施例中，如图4和图7所示，供气机构包括固定插设在防护板17顶部的固定管807，且固定管807的下端与中空管702连通，支撑板201的侧壁固定连接有固定罩801，且固定罩801内通过复位组件滑动连接有移动块802，固定罩801的顶部固定连接有进气管803和供气管805，且进气管803内设置有第一单向阀804，供气管805内设置有第二单向阀806，且供气管805的上端固定连接有软管808，软管808的另一端与固定管807的上端固定，且移动块802的移动通过推动机构进行推动，通过推动机构和复位组件推动移动块802上下往复移动，当移动块802向下移动时，使得固定罩801内产生负压，同时，第一单向阀804打开，第二单向阀806关闭，此时，外部的空气通过进气管803进入固定罩801中，当移动块802向上移动时，对固定罩801内的空气进行挤压，同时，第一单向阀804关闭，第二单向阀806打开，此时，固定罩801内的空气被挤压后通过供气管805、软管808和固定管807进入中空管702中，并经吹气孔703吹出。
本实施例中，如图7所示，复位组件包括固定连接在移动块802侧壁的两个对称设置的第一连接块901，且第一连接块901的上端固定连接有两个对称设置的第二T形导杆902，第二T形导杆902的侧壁套设有第二连接块903，且第二连接块903与固定罩801的侧壁固定，且第二T形导杆902的侧壁套设有第二弹簧904，对移动块802的移动起到导向与复位作用。
本实施例中，如图7所示，推动机构包括固定套设在螺纹杆205侧壁的固定环1001，且固定环1001的侧壁固定连接有多个阵列设置的凸起1002，在进行检测前，螺纹杆205的转动带动固定环1001的同步转动，当凸起1002与移动块802的底部相抵时，推动移动块802向上移动。
本发明的具体使用方法步骤如下：
在使用时，首先，在进行检测前，启动电机206，电机206的转动带动螺纹杆205的转动，进而带动套管202和螺纹管204进行移动，从而使得活塞板14向靠近支撑板201的方向移动，此时，加热罩12内产生负压，从而将保温箱15内的液体抽入加热罩12内，并启动电加热板13进行加热，并将热量传导至等静压石墨板18；
与此同时，套管202的移动带动推动杆602的同步移动，当推动杆602与推动板601相抵时，推动齿条402进行移动，同时，第一弹簧505被压缩，齿条402的移动推动齿轮401和转轴302进行顺时针转动，从而将防护板17转动打开；
并且，螺纹杆205的转动带动固定环1001的同步转动，当凸起1002与移动块802的底部相抵时，推动移动块802向上移动，同时，第二弹簧904被压缩，当凸起1002越过移动块802的底部时，移动块802能够在第二弹簧904的作用下向下移动复位，使得移动块802在固定罩801内上下往复移动，当移动块802向下移动时，使得固定罩801内产生负压，同时，第一单向阀804打开，第二单向阀806关闭，此时，外部的空气通过进气管803进入固定罩801中，当移动块802向上移动时，对固定罩801内的空气进行挤压，同时，第一单向阀804关闭，第二单向阀806打开，此时，固定罩801内的空气被挤压后通过供气管805、软管808和固定管807进入中空管702中，并经吹气孔703吹出，与此同时，随着防护板17向上转动打开，从而使得吹气孔703吹出的空气能够对等静压石墨板18的表面进行清理，保证检测的效果；
接着，即可将三代半导体器件放置在等静压石墨板18上进行检验即可，待检测完成后，使得电机206反转，此时，使得活塞板14向远离支撑板201的方向移动，从而将加热罩12内加热后的液体推入保温箱15内暂存，能够在下次检验时再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保，与此同时，套管202移动复位时，使得推动杆602与推动板601脱离，此时，防护板17能够在第一弹簧505的作用下向下转动复位，从而将等静压石墨板18进行防护，避免其表面附着杂质和损伤，保证检测效果。
综上：本发明的有益效果具体体现在能够对加热后的热量进行回收再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保，在检测前，能够将防护板17自动转动打开，同时，对等静压石墨板18的表面进行自动吹气清理，在检测完成后，能够将防护板17自动转动关闭，同时，能够对等静压石墨板18的表面进行再次吹气清理，从而能够避免其表面附着杂质和损伤，保证检测效果。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的顶部固定连接有多个对称设置的支撑杆（11），且支撑杆（11）的上端固定连接有加热罩（12），所述加热罩（12）的底部固定连接有电加热板（13），且加热罩（12）的顶部固定连接有等静压石墨板（18），所述加热罩（12）内填充有液体，且加热罩（12）内通过移动机构滑动连接有活塞板（14），所述工作台（1）的顶部固定连接有保温箱（15），且加热罩（12）和保温箱（15）之间固定连接有连接管（16），所述加热罩（12）的侧壁通过转动机构转动连接有防护板（17），且防护板（17）的底部设置有用于对等静压石墨板（18）的表面进行吹气清洁的清洁机构；
所述移动机构包括固定连接在工作台（1）顶部的支撑板（201），且加热罩（12）的侧壁插设有套管（202）和螺纹管（204），所述套管（202）的一端与活塞板（14）的侧壁固定，且套管（202）内插设有套杆（203），所述套杆（203）的另一端与支撑板（201）的侧壁固定，且螺纹管（204）的一端与活塞板（14）的侧壁固定，所述螺纹管（204）内螺纹连接有螺纹杆（205），且螺纹杆（205）的另一端与支撑板（201）的侧壁转动连接，所述支撑板（201）的侧壁固定连接有电机（206），且电机（206）的输出端与螺纹杆（205）的端部固定。
2.根据权利要求1所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述转动机构包括固定连接在加热罩（12）侧壁的两个对称设置的固定板（301），且防护板（17）通过转轴（302）与固定板（301）的侧壁转动连接，所述固定板（301）的侧壁设置有用于对转轴（302）进行复位的复位机构。
3.根据权利要求2所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述复位机构包括固定套设在转轴（302）侧壁的齿轮（401），且固定板（301）的侧壁通过复位组件连接有齿条（402），所述齿条（402）与齿轮（401）啮合设置，且齿条（402）的移动通过推动机构进行推动。
4.根据权利要求3所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述复位组件包括固定连接在固定板（301）的顶部的L形板（501），且L形板（501）的侧壁固定连接有连接板（502），所述连接板（502）的侧壁固定连接有两个对称设置的第一T形导杆（503），且第一T形导杆（503）的侧壁套设有两个对称设置的滑块（504），所述滑块（504）与齿条（402）的侧壁固定，且第一T形导杆（503）的侧壁套设有第一弹簧（505）。
5.根据权利要求4所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述推动机构包括固定连接在齿条（402）侧壁的呈L形设置的推动板（601），且套管（202）的侧壁固定连接有推动杆（602）。
6.根据权利要求1所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述清洁机构包括开设在防护板（17）底部的安装槽（701），且安装槽（701）内固定连接有中空管（702），所述中空管（702）的底部开设有多个阵列设置的吹气孔（703），且支撑板（201）的侧壁设置有用于驱动吹气孔（703）进行吹气的供气机构。
7.根据权利要求6所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述供气机构包括固定插设在防护板（17）顶部的固定管（807），且固定管（807）的下端与中空管（702）连通，所述支撑板（201）的侧壁固定连接有固定罩（801），且固定罩（801）内通过复位组件滑动连接有移动块（802），所述固定罩（801）的顶部固定连接有进气管（803）和供气管（805），且进气管（803）内设置有第一单向阀（804），所述供气管（805）内设置有第二单向阀（806），且供气管（805）的上端固定连接有软管（808），所述软管（808）的另一端与固定管（807）的上端固定，且移动块（802）通过推动机构进行推动。
8.根据权利要求7所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述复位组件包括固定连接在移动块（802）侧壁的两个对称设置的第一连接块（901），且第一连接块（901）的上端固定连接有两个对称设置的第二T形导杆（902），所述第二T形导杆（902）的侧壁套设有第二连接块（903），且第二连接块（903）与固定罩（801）的侧壁固定，且第二T形导杆（902）的侧壁套设有第二弹簧（904）。
9.根据权利要求7所述的一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，其特征在于，所述推动机构包括固定套设在螺纹杆（205）侧壁的固定环（1001），且固定环（1001）的侧壁固定连接有多个阵列设置的凸起（1002）。
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