CN117248215A - 蚀刻处理液、铝或铝合金的表面处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种即使是酸性也能得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性的蚀刻处理液、使用该蚀刻处理液的铝或铝合金的表面处理方法。一种蚀刻处理液，其含有锌化合物、氟化合物，pH为4.5～6.5。

Description

蚀刻处理液、铝或铝合金的表面处理方法

技术领域

本发明涉及蚀刻处理液、铝或铝合金的表面处理方法。

背景技术

铝在大气中、水中容易形成氧化膜。已知由于该氧化膜，在对铝或铝合金实施镀敷处理时，镀膜的附着性低。因此，在铝或铝合金上镀敷的工艺中，作为锌置换处理(锌酸盐处理)工序的前阶段，为了调整铝或铝合金的表面状态，进行除去在铝或铝合金表面形成的自然氧化膜的蚀刻处理工序(例如专利文献1～2、非专利文献1～2)。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2021-143422号公报

【专利文献2】日本特开2012-62528号公报

【非专利文献】

【非专利文献1】表面技术Vol.69(2018)，No.9，p.380-383

【非专利文献2】表面技术Vol.45(1994)，No.7，p.720-725

发明内容

【发明所要解决的课题】

本发明人进行了深入研究，结果明确了以下内容。

蚀刻处理液中大致有碱性和酸性两种类型。碱性的蚀刻处理液虽然容易被含有的碱成分蚀刻，但有可能侵蚀对碱成分弱的阻焊剂等原材料。另一方面，酸性的蚀刻处理液与碱性的蚀刻处理液相比，由于蚀刻效果弱，因此有时不能充分除去氧化膜，后工序的无电解镀镍的析出性与用碱性蚀刻处理液处理的情况相比差。

如上所述，在现有技术中，判明了在蚀刻处理液为酸性的情况时镀镍等金属镀敷的析出性有改善的余地。

本发明的目的在于解决本发明人新发现的上述课题，提供一种即使是酸性也能得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性的蚀刻处理液、及使用该蚀刻处理液的铝或铝合金的表面处理方法。

【用以解决课题的手段】

本发明人进行了深入研究，结果发现，通过使用特定组成的蚀刻处理液，即使是酸性，也能够得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性，完成了本发明。

即，本发明(1)涉及一种蚀刻处理液，其含有锌化合物、氟化合物，pH为4.5～6.5。

本发明(2)涉及本发明(1)所述的蚀刻处理液，含有作为锌浓度为1.0～10g/L的锌化合物。

本发明(3)涉及本发明(1)或(2)所述的蚀刻处理液，含有作为氟浓度为1.0～20.5g/L的氟化合物。

本发明(4)涉及本发明(1)～(3)中任一项所述的蚀刻处理液，用于铝或铝合金。

本发明(5)涉及一种铝或铝合金的表面处理方法，包括使表面具有铝或铝合金的被处理物与本发明(1)～(4)中任一项所述的蚀刻处理液接触，进行蚀刻处理后进行酸洗的处理工序。

本发明(6)涉及本发明(5)所述的铝或铝合金的表面处理方法，将所述处理工序重复进行2次以上。

本发明(7)涉及本发明(6)所述的铝或铝合金的表面处理方法，在多次进行的所述处理工序中，均使用相同组成的蚀刻处理液。

本发明(8)涉及本发明(5)～(7)中任一项所述的铝或铝合金的表面处理方法，在进行所述处理工序后，进行锌置换处理。

本发明(9)涉及本发明(8)所述的铝或铝合金的表面处理方法，在进行所述锌置换处理后，形成金属镀膜。

【发明的效果】

根据本发明，由于是含有锌化合物、氟化合物、pH为4.5～6.5的蚀刻处理液，因此即使是酸性，也能够得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性。

附图说明

【图1】是示出了镀膜的典型的一例的图。

具体实施方式

本发明的蚀刻处理液含有锌化合物、氟化合物，pH为4.5～6.5。通过利用本发明的蚀刻处理液进行蚀刻处理，在后工序的镀镍等形成金属镀膜的工序中，可以得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性。如此地，在本发明中，即使蚀刻处理液为酸性，也能够得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性。另外，由于本发明的蚀刻处理液为酸性，因此能够抑制碱成分对原材料的腐蚀。

用上述蚀刻处理液得到上述效果的理由如下推测。

通过使表面具有铝或铝合金的被处理物与所述蚀刻处理液接触，除去所述铝或铝合金上的氧化膜，通过将所述铝的一部分置换为所述蚀刻处理液中含有的锌，可以在锌置换处理的前阶段调整铝表面状态，可以将铝表面调整为适于锌置换处理的表面。

而且，本发明的蚀刻处理液除了锌化合物以外还含有氟化合物，因此即使是酸性也能够溶解铝，溶解铝或铝合金表面的氧化膜中的铝，使与锌的置换顺利进行，因此可以更适宜地将铝表面调整为适于锌置换处理的表面。

如上所述，本发明的蚀刻处理液通过锌化合物、氟化合物的协同作用，可以将铝表面调整为适于锌置换处理的表面。

然后，对调整为这样的表面的铝或铝合金进行锌置换处理，然后进行镀敷处理，形成镀膜(金属镀膜，例如镀镍膜)时，可以得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性。

<蚀刻处理液>

本发明的蚀刻处理液含有锌化合物、氟化合物，pH为4.5～6.5。

＜＜锌化合物＞＞

锌化合物使锌立即在除去了氧化膜的铝表面析出，将铝表面调整为适于锌置换处理的表面。

锌化合物只要是水溶性的锌化合物就没有特别限定。作为其具体例子，例如可以例示硫酸锌、硝酸锌、氯化锌、乙酸锌、氧化锌、葡萄糖酸锌等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。其中，优选硫酸锌。

蚀刻处理液优选含有作为锌(金属锌(Zn))浓度为1.0～20g/L的锌化合物，更优选含有1.0～10g/L，进一步优选含有2.0～10g/L，特别优选含有3.0～8.0g/L。如果在上述范围内，则Zn析出量成为适度的量，有能够将铝表面调整为适于锌置换处理的表面的倾向。

＜＜氟化合物＞＞

由于氟化合物即使是酸性也能溶解铝，因此溶解铝或铝合金表面的氧化膜中的铝，使其顺利地进行与锌等金属的置换。

作为氟化合物的具体例子，例如可以例示氢氟硼酸、氟化钠、氟化钾、氟化氢铵、氟化铵、氟化氢、氟化锂等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。其中，优选氢氟硼酸、氟化钠、氟化钾、氟化氢铵、氟化铵、氟化氢，更优选氟化钠、氟化钾、氟化氢铵、氟化铵、氟化氢，进一步优选氟化钠、氟化钾、氟化氢铵、氟化铵。

蚀刻处理液优选含有作为氟(F)浓度为0.5～40g/L的氟化合物，更优选含有1.0～20.5g/L，进一步优选含有2.0～15g/L，特别优选含有3.0～10g/L，最优选包含4.0～8.0g/L。如果在上述范围内，则使氧化铝溶解的作用为适度，有能够将铝表面调整为适于锌置换处理的表面的倾向。

＜＜镍化合物＞＞

镍化合物只要是水溶性的镍化合物就没有特别限定。作为其具体例子，例如可以例示硫酸镍、硝酸镍、氯化镍、乙酸镍、葡糖酸镍等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻处理液中，镍化合物的含量作为镍(金属镍(Ni))浓度，优选小于0.1g/L，更优选为0.05g/L以下，进一步优选为0.01g/L以下。由此，有更良好地得到本发明的效果的倾向。

＜＜锗化合物＞＞

锗化合物只要是水溶性的锗化合物就没有特别限定。作为其具体例子，例如可例示二氧化锗、硫酸锗、硫化锗、氟化锗、氯化锗、碘化锗等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻处理液中，锗化合物的含量作为锗(金属锗(Ge))浓度，优选小于0.1g/L，更优选为0.05g/L以下，进一步优选为0.01g/L以下。由此，有更良好地得到本发明的效果的倾向。

＜＜铁化合物＞＞

铁化合物只要是水溶性的铁化合物就没有特别限定。作为其具体例子，例如可以例示硫酸铁、硝酸铁、氯化铁、乙酸铁、葡糖酸铁等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻液中，铁化合物的含量作为铁(金属铁(Fe))浓度，优选小于0.1g/L，更优选为0.05g/L以下，进一步优选为0.01g/L以下。由此，有更良好地得到本发明的效果的倾向。

蚀刻处理液中，锌化合物以外的金属化合物的含量，作为金属浓度，优选小于0.1g/L，更优选为0.05g/L以下，进一步优选为0.01g/L以下。由此，有更良好地得到本发明的效果的倾向。

在此，含有多种锌以外的金属时，上述金属浓度表示合计浓度。其他成分的浓度也相同。

另外，在本说明书中，蚀刻处理液中的锌(金属锌(Zn))浓度、镍(金属镍(Ni)浓度、锗(金属锗(Ge)浓度、铁(金属铁(Fe)浓度等金属浓度通过ICP(堀场制作所社制)测定。

另外，在本说明书中，蚀刻处理液中的氟(F)浓度使用氟离子电极测定。

另外，在本说明书中，当氟化锗等既属于锗化合物也属于氟化合物的情况时，当作锗化合物处理。关于锌化合物、镍化合物、铁化合物也同样，同样地当作锌化合物、镍化合物、铁化合物处理。

＜＜pH＞＞

蚀刻处理液的pH优选为4.5～6.5，更优选为5.0～6.5，进一步优选为5.5～6.5，特别优选为6.0～6.5。如果pH为4.5以上，则有能够抑制铝过度溶解、能够将铝表面调整为适于锌置换处理的表面的倾向。如果pH为6.5以下，则有能够抑制锌的不溶解、能够将铝表面调整为适于锌置换处理的表面的倾向。

另外，在本说明书中，蚀刻处理液的pH是在25℃下测定的值。

蚀刻处理液的pH的调整也可以通过锌化合物、氟化合物的种类的选择来进行。另外，根据需要，也可以添加碱成分、酸成分。

碱成分没有特别限定，例如可以举出氢氧化钠、铵等。酸成分没有特别限定，例如可以举出硫酸、磷酸等。这些碱成分、酸成分可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻处理液为了提高pH缓冲性，可以含有缓冲剂。

作为缓冲剂，只要有缓冲性就没有特别限定，例如，作为在pH4.5～6.5附近具有缓冲性的化合物，例如可以举出乙酸、苹果酸、琥珀酸、柠檬酸、丙二酸、乳酸、草酸、戊二酸、己二酸、甲酸等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻处理液中的缓冲剂浓度优选为1.0～50g/L，更优选为5.0～30g/L。

＜＜其他＞＞

蚀刻处理液可以在含有所述成分的同时含有蚀刻处理液中通用的成分，例如表面活性剂、光泽剂等。另外，也可以含有上述以外的金属，例如铜、银、钯、铅、铋、铊等金属的水溶性盐类。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻处理液可通过用溶剂(优选水)将各成分适当混合来制造。从操作的安全性的观点出发，蚀刻处理液优选作为水溶液制备，但也可以使用其他溶剂，例如甲醇、乙醇、乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、甘油、IPA等，或者也可做成与水混合的溶剂。另外，这些溶剂可以单独使用，也可以并用2种以上。

蚀刻处理液可以优选用作铝或铝合金用的蚀刻处理液。

＜铝或铝合金的表面处理方法＞

接着，对使用本发明的蚀刻处理液的本发明的铝或铝合金的表面处理方法进行说明。

本发明的铝或铝合金的表面处理方法，只要使表面具有铝或铝合金的被处理物与本发明的蚀刻处理液接触并进行蚀刻处理，就没有特别限定，但优选包括使表面具有铝或铝合金的被处理物与本发明的蚀刻处理液接触、进行蚀刻处理后进行酸洗的处理工序。

通过使表面具有铝或铝合金的被处理物与本发明的蚀刻处理液接触并进行蚀刻处理，可以除去上述铝或铝合金上的氧化膜。此时，一部分的铝被上述蚀刻处理液中含有的锌置换，在上述被处理物的表面形成含有锌的置换锌膜。通过对形成有该置换锌膜的上述被处理物的表面进行酸洗，蚀刻残渣(smut)被除去，可以将铝表面调整为更适于锌置换处理的表面，得到在铝上形成的镀镍等金属镀敷的良好的析出性。通过进行该酸洗，有更适宜地得到本发明的效果的倾向。

＜＜处理工序＞＞

在处理工序中，使表面具有铝或铝合金的被处理物(以下也记载为铝基板)与本发明的蚀刻处理液接触，进行蚀刻处理后，进行酸洗。

作为镀敷被处理物的铝基板，只要至少在其表面具有铝或铝合金即可。铝基板例如除了以铝或铝合金为材质的各种物品之外，可使用在非铝材(例如陶瓷、晶圆等各种基材)上形成铝或铝合金膜而成的物品，实施了熔融铝镀敷处理的物品、铸件、压铸物等。铝基板的形状也没有特别限定，可以是成形为通常的板状物(包括膜、片等薄膜状物)、各种形状的成形品中的任意成形品。此外，上述板状物不限于单独铝或铝合金的板状物，也包括例如在陶瓷、晶圆等基板上通过溅射法、真空蒸镀法、离子镀法等通常方法成形的铝膜(与基板一体化的膜)。

作为铝合金没有特别限定，例如可以使用以铝为主要金属成分的各种合金。例如，A1000系准铝、A2000系含铜及锰的铝合金、A3000系铝-锰合金、A4000系铝-硅合金、A5000系铝-镁合金、A6000系的铝-镁-硅合金、A7000系的铝-锌-镁合金、A8000系的铝-锂系合金等可以作为适用对象。

从镀敷平滑性的观点出发，铝或铝合金的铝纯度优选为98％以上，更优选为98.5％以上，进一步优选为99％以上。

作为镀敷被处理物的铝基板，可以通过公知的方法制作，例如通过溅射法等在非铝材、例如硅板上包覆铝层来制作。铝层的包覆可以是对全部非铝材的包覆，也可以是仅对其一部分的包覆，通常包覆具有0.5μm以上、优选1μm以上的厚度的铝层。另外，该铝基板的形成方法也不限于溅射法，可以使用真空蒸镀法、离子镀法等制作。

首先，也可以用公知的方法对该铝基板实施脱脂处理等清洁剂处理，适当水洗。具体而言，脱脂处理可以根据需要浸渍在铝用脱脂液中或进行电解脱脂来进行。

蚀刻处理只要使表面具有铝或铝合金的被处理物与本发明的蚀刻处理液接触就没有特别限定，除了使用本发明的蚀刻处理液这一点以外，只要与以往同样地实施即可。

具体而言，将表面具有铝或铝合金的被处理物浸渍在本发明的蚀刻处理液中，实施蚀刻处理。更具体而言，例如在液温优选为25～60℃、更优选为30～55℃、进一步优选为35～50℃的本发明的蚀刻处理液中浸渍铝基板。如果本发明的蚀刻处理液的温度在上述温度范围内，则可以更适宜地将铝表面调整为适合于锌置换处理的表面。另外，如果处理温度过高，则对玻璃部件等的腐蚀性有可能增加。

关于浸渍时间的条件也没有特别限制，可以鉴于应除去的铝氧化膜的厚度等适当设定，例如通常为约5秒以上，优选为10秒以上，更优选为20秒以上，上限通常为5分钟以下，优选为2分钟以下，更优选为1分钟以下。

通过如此地在本发明蚀刻处理液中浸渍铝基板，能够除去附着在该基板表面的氧化膜，且通过进一步包覆含有Zn的置换金属膜而使铝表面活性化，由此可以更适宜地将铝表面调整为适于锌置换处理的表面。

在蚀刻处理中，只要是本发明的蚀刻处理液能够与铝基板的表面接触的方式，就没有特别限制。作为该接触方法，除了浸渍以外，例如也可以采用涂布、喷涂等方法。

接着，以除去蚀刻残渣(smut)为目的，例如通过使蚀刻处理后的铝基板在酸性溶液中浸渍规定时间来进行酸洗。作为酸洗，与以往同样地实施即可。具体而言，例如在具有10～80质量％、优选为20～50质量％的浓度范围、液温为15～35℃的酸水溶液中，将实施了蚀刻处理的铝基板浸渍20秒钟～2分钟，除去残渣。

作为酸洗中使用的酸，例如可以举出硝酸、盐酸、硫酸、磷酸等。它们可以单独使用，也可以并用2种以上。其中，优选硝酸。

作为酸洗的一例，对将铝基板浸渍在酸性溶液中的情况进行了说明，但除了浸渍以外，例如也可以采用使酸性溶液连续地通过铝基板的方法、涂布、喷涂等方法。

在处理工序中，使表面具有铝或铝合金的被处理物与本发明的蚀刻处理液接触，进行蚀刻处理后，进行酸洗，由此能够将铝表面更适宜地调整为适合于锌置换处理的表面。

在处理工序中，优选重复进行2次以上该处理工序，更优选重复进行2次该处理工序。由此，具有生产率良好、能够更良好地得到本发明的效果的倾向。

另外，在多次进行的上述处理工序中，优选均使用相同组成的蚀刻处理液。由此，具有生产率良好、能够更良好地得到本发明的效果的倾向。

在此，反复进行上述处理工序是指多次进行“蚀刻处理、酸洗”这一系列的工序，在反复进行两次上述处理工序的情况时，是指在进行了“蚀刻处理、酸洗”之后进行“蚀刻处理、酸洗”。另外，也可以在反复进行的“蚀刻处理、酸洗”期间加入其他工序(例如水洗)。另外，也可以在“蚀刻处理”、“酸洗”之间加入其他工序(例如水洗)。

在本发明的铝或铝合金的表面处理方法中，优选进行上述处理工序后进行锌置换处理。

该锌置换处理是用于对被处理物实施金属镀膜、例如镍镀膜或钯镀膜的前处理，通过使锌酸盐处理液与至少表面具有铝或铝合金的被处理物接触而形成锌膜，可以更加提高之后进行处理的镀镍等金属镀敷膜等的附着性。

通常，在使用锌酸盐处理液的对铝基板的镀敷前处理中，以实施2次锌置换处理的二次锌酸盐处理工艺进行。即，是(1)对铝基板实施第1锌置换处理，(2)酸洗后，(3)接着实施第2锌置换处理这样的工艺，在该二次锌酸盐处理后，进行(4)无电解镀镍等金属镀敷处理。

另一方面，在使用了本发明的蚀刻处理液的本发明的铝或铝合金的表面处理方法中，由于能够更适宜地将铝表面调整为适合于锌置换处理的表面，因此不需要进行二次锌酸盐处理，通过单次锌酸盐处理就能够赋予之后进行处理的镀镍等金属镀敷膜的良好的附着性。因此，在本发明的铝或铝合金的表面处理方法中，优选(1)对铝基板实施金属置换处理，在该单次酸盐处理后，进行(4)无电解镀镍等金属镀敷处理。即，优选在金属置换处理和金属镀敷处理之间不进行(2)酸洗处理、(3)酸洗处理后的第2金属置换处理。

＜＜(1)金属置换处理＞＞

将通过上述处理工序处理后的铝基板浸渍在锌酸盐处理液中，实施金属置换处理。使用锌酸盐处理液的金属置换处理与以往同样地实施即可。例如，在液温为10～50℃、优选为15～30℃的锌酸盐处理液中浸渍铝基板。如果锌酸盐处理液的温度为10℃以上，则置换反应不会变得过慢，不会产生不均，能够形成金属膜，另外，如果为50℃以下，则置换反应不会过度增大，也能够防止置换金属膜表面变粗，因此优选上述温度。

浸渍时间的条件也没有特别限制，例如通常为约5秒以上，优选为10秒以上，上限为5分钟以下。

如上所述地通过在锌酸盐处理液中浸渍铝基板，包覆含有Zn的置换金属膜而使铝表面活性化，从而能够形成对被处理物具有良好的附着性的镀膜。

在金属置换处理中，只要是锌酸盐处理液能够与铝基板的表面接触的方式，就没有特别限制。作为该接触方法，除了浸渍以外，例如也可以采用涂布、喷涂等方法。

用于金属置换处理的锌酸盐处理液可以是酸性也可以是碱性。酸性的锌酸盐处理液优选含有氟化合物。酸性的锌酸盐处理液除了锌以外还可以含有镍、锗等各种金属。碱性的锌酸盐处理液除了锌以外还可以含有铁、钴等各种金属。从对材料的影响少的理由出发，优选酸性的锌酸盐处理液。

＜＜(4)镀敷处理＞＞

在该镀敷处理(金属镀敷处理)中，对于实施了锌酸盐处理的铝基板，通过无电解镀敷或电解镀敷来形成金属镀膜。例如用无电解镍、无电解钯或镀铜浴这样的适当的金属镀敷浴(金属镀敷液)镀成所希望的最终膜厚，形成金属镀膜。作为通过镀敷处理形成的金属镀膜，从有更良好地得到本发明的效果的倾向的理由出发，优选无电解金属镀膜，更优选无电解镍镀膜。

具体地，作为一例，对无电解镀镍进行说明。无电解镀镍浴是例如通过使用硫酸镍、氯化镍、乙酸镍等水溶性的镍盐而提供镍离子，作为该镍离子的浓度，例如为约1～10g/L。另外，在无电解镀镍浴中含有例如具有约20～80g/L的浓度范围的乙酸盐、琥珀酸盐、柠檬酸盐等有机酸盐、铵盐、胺盐等镍的络合剂，还作为还原剂含有具有约10～40g/L的浓度范围的次亚磷酸或次亚磷酸钠等次亚磷酸盐。通过含有次磷酸盐等作为还原剂，可以提高镀敷浴的稳定性，形成成本廉价的镍-磷的合金膜。而且，由这些化合物构成的镀敷浴被配制成pH为约4～7而使用，还将该镀敷浴配制为60～95℃的液温，作为镀敷处理液中浸渍铝基板的时间，浸渍约15秒～120分钟，由此进行镀敷处理。此外，通过适当地改变该镀敷处理时间，可改变镀膜的厚度。

另外，如上所述，作为镀敷处理，不限于无电解镀敷处理，也可以通过电解镀敷进行。另外，镀敷金属的种类除了以上例示的以外，也可以使用Cu、Au等镀敷金属进行，还可以通过置换镀敷法等进行镀敷处理以形成2层以上的层。

关于以上说明的处理中的处理条件、各种浓度设定，不限于以上的条件，当然可以根据形成的膜的厚度等适当变更。

通过本发明获得的镀膜(金属膜)的铝或铝合金可用于各种电子部件。作为电子部件，例如可以举出在家电机器、车载机器、供电系统、运输机器、通信机器等中使用的电子部件，具体而言，可以举出空调、电梯、电动汽车、混合动力汽车、电车、发电装置用的功率控制单元等功率模块、一般家电、个人电脑等。

【实施例】

根据实施例具体说明本发明，但本发明不受限于这些。

按照表1、2所示的条件，对铝基板实施各处理而形成镀膜。在此，作为铝基板使用了1cm×2cm的Al-Si TEG wafer。对于得到的镀膜，用下述方法进行评价。评价结果如表1、2所示。

另外，在表1、2中，表中的数值(浓度)是除去琥珀酸、活性剂、pH调节剂的换算为氟(F)或各金属元素的浓度(g/L)。

另外，在表1中，从上面的工序开始依次进行处理。这里，表中记载为EPiTaS的化学品液体全部为上村工业株式会社制。

＜镀镍的析出性＞

测定基材：1cm×2cm的Al-Si TEG wafer

表面SEM：日立高新技术公司制的SU3500、2000倍

截面SEM：日立高新技术公司制的XVision 210DB，11000倍

评价方法：用SEM观察被Ni镀敷处理后的表面，估算被Ni覆盖的面积率。对于100％的条件，进行截面观察，确认是否被Ni膜完全覆盖，平滑的条件设为100％，凹陷的条件设为100％(-)。

图1示出了各评价结果的典型一例。

【表1】

【表2】

由表1、2可知，含有锌化合物、氟化合物、pH为4.5～6.5的实施例的蚀刻处理液，即使是酸性，也能够得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性。另外，表1、2是使用Al-Si TEGwafer作为铝基板时的结果，但使用Al-Cu TEG wafer作为铝基板时也是同样的结果。另外，比较例1、2虽然得到镀镍等金属镀敷的良好的析出性，但由于蚀刻处理液为碱性，因此存在侵蚀对于碱成分弱的阻焊剂等原材料的可能性。

Claims (11)

1.一种蚀刻处理液，其含有锌化合物、氟化合物，pH为4.5～6.5。

2.根据权利要求1所述的蚀刻处理液，含有作为锌浓度为1.0～10g/L的锌化合物。

3.根据权利要求1所述的蚀刻处理液，含有作为氟浓度为1.0～20.5g/L的氟化合物。

4.根据权利要求1所述的蚀刻处理液，用于铝或铝合金。

5.一种铝或铝合金的表面处理方法，包括使表面具有铝或铝合金的被处理物与权利要求1～4中任一项所述的蚀刻处理液接触，进行蚀刻处理后进行酸洗的处理工序。

6.根据权利要求5所述的铝或铝合金的表面处理方法，将所述处理工序重复进行2次以上。

7.根据权利要求6所述的铝或铝合金的表面处理方法，在多次进行的所述处理工序中，均使用相同组成的蚀刻处理液。

8.根据权利要求5所述的铝或铝合金的表面处理方法，在进行所述处理工序后，进行锌置换处理。

9.根据权利要求6所述的铝或铝合金的表面处理方法，在进行所述处理工序后，进行锌置换处理。

10.根据权利要求8所述的铝或铝合金的表面处理方法，在进行所述锌置换处理后，形成金属镀膜。

11.根据权利要求9所述的铝或铝合金的表面处理方法，在进行所述锌置换处理后，形成金属镀膜。