CN117219548A - 晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体工艺技术领域，提供一种晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质，该方法首先确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从片盒运输至激光退火设备的对准模块，经对准模块进行对准处理后运输至激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；然后对于多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制第一搬运部件将任一晶圆从片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制第一搬运部件将完成对准处理的任一晶圆运输至空闲腔室进行退火工艺处理，控制第二搬运部件将取出的晶圆运输至激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

Description

晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质

技术领域

本发明涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术

激光退火设备，作为对晶圆进行退火工艺的设备，对片盒中的一片晶圆进行退火工艺的处理过程一般分为以下几步：1)利用机械手将晶圆从片盒取出并放到对准模块；2)利用对准模块将晶圆进行对准到指定角度；3)利用机械手从对准模块上取下晶圆并放入腔室进行退火工艺处理；4)退火完成后，利用机械手从腔室取出晶圆并放到冷却模块上进行冷却；5)冷却完成后，利用机械手取下晶圆并放回至片盒中的对应位置。

上述处理过程中，晶圆要依次经过机械手、对准模块、腔室以及冷却模块等功能模块的处理，期间所有的搬运动作都是通过机械手实现。虽然一片晶圆的处理过程是串行的，但对于激光退火设备来说，如果各晶圆之间串行处理，激光退火设备在某个时刻只有一个功能模块在工作，其他功能模块都处于闲置状态，这将大大影响产率。

发明内容

本发明提供一种晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质，用以解决现有技术中存在的缺陷。

本发明提供一种晶圆搬运调度方法，包括：

确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；

对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，所述控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理，包括：

构建所述多片晶圆的搬运任务堆栈列表；所述搬运任务堆栈列表中包括基于所述第一搬运部件将每片晶圆由所述片盒运输至所述对准模块的初始搬运任务；

激活所述搬运任务堆栈列表，依次执行每片晶圆的初始搬运任务，并在当前晶圆的初始搬运任务完成且所述当前晶圆完成对准处理后，创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至所述不同腔室中的无晶圆腔室的系列搬运任务。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，所述系列搬运任务依次包括所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务、所述第一搬运部件对准所述无晶圆腔室的第二任务、所述第一搬运部件伸入所述无晶圆腔室的第三任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务；

所述创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至无晶圆腔室的系列搬运任务，包括：

创建所述第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，并激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务；

对于所述第二任务、所述第三任务和所述第四任务中的任一任务，在所述任一任务的前一任务完成后，创建所述任一任务，将所述任一任务压入所述搬运任务堆栈列表，激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述任一任务。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，所述在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，包括：

创建所述第二搬运部件对准所述空闲腔室的第五任务，将所述第五任务压入所述搬运任务堆栈列表，并创建所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，依次激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务和所述第五任务；

所述第五任务完成且所述空闲腔室开门后，依次创建并执行所述第二搬运部件伸入所述空闲腔室的第六任务、所述第二搬运部件缩回的第七任务、所述第一搬运部件伸入所述空闲腔室的第八任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，所述搬运任务堆栈列表中的搬运任务具有优先级，且所述第六任务和所述第七任务的优先级，以及所述第三任务、所述第四任务和所述第八任务的优先级，均高于所述搬运任务堆栈列表中的其他搬运任务。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，所述控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理，包括：

实时采集所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，所述基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒，包括：

所述冷却模块完成冷却处理后，创建所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒的第九任务，并将所述第九任务压入搬运任务堆栈列表；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第九任务。

根据本发明提供的一种晶圆搬运调度方法，还包括：

若接收到任一腔室发送的预设等级的报警信号，则将所述任一腔室的状态修改为不可用，并基于所述激光退火设备的剩余腔室进行退火工艺处理。

本发明还提供一种晶圆搬运调度装置，包括：

第一调度模块，用于确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；

第二调度模块，用于对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

本发明还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上述任一种所述的晶圆搬运调度方法。

本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的晶圆搬运调度方法。

本发明还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的晶圆搬运调度方法。

本发明提供的晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质，该方法首先确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从片盒运输至激光退火设备的对准模块，经对准模块进行对准处理后运输至激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；然后对于多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制第一搬运部件将任一晶圆从片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制第一搬运部件将完成对准处理的任一晶圆运输至空闲腔室进行退火工艺处理，控制第二搬运部件将取出的晶圆运输至激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。该方法优先将预设数量的晶圆依次送入激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理，并在等待完成退火工艺处理的过程中，控制第一搬运部件继续对剩下的任一晶圆进行搬运，并在存在空闲腔室时，结合第一搬运部件以及第二搬运部件的搬运动作，可以使任一晶圆进入空闲腔室进行退火工艺操作，如此可以使多个晶圆能够并行处理，充分利用激光退火设备中各功能模块，提升各功能模块的利用率，减少各功能模块的空闲时间，不仅可以提高激光退火设备的产率，还可以节约资源，实现资源的有效利用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的晶圆搬运调度方法的流程示意图；

图2是本发明提供的晶圆搬运调度方法中激光退火设备的组成俯视图；

图3是本发明提供的晶圆搬运调度方法的时序图；

图4是本发明提供的晶圆搬运调度装置的结构示意图；

图5是本发明提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

由于现有的激光退火设备在进行晶圆搬运时，各晶圆之间串行处理，激光退火设备在某个时刻只有一个功能模块在工作，而其他功能模块则处于闲置状态，这将大大影响激光退火设备的产率，浪费资源，无法实现资源的最大化利用。基于此，本发明实施例中提供了一种晶圆搬运调度方法。

图1为本发明实施例中提供的一种晶圆搬运调度方法的流程示意图，如图1所示，该方法包括：

S1，确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；

S2，对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

具体地，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，其执行主体为计算机，该计算机可以为本地计算机或云计算机，本地计算机可以是电脑、平板等，此处不作具体限定。该计算机内可以配置有用于对第一搬运部件以及第二搬运部件进行控制的计算机程序。

该晶体搬运调度方法，可以应用于激光退火设备，该激光退火设备的腔室数量可以是多个，即大于等于2个。也就是说，该晶体搬运调度方法既可以适用于双腔室激光退火设备，也可以适用于具有大于等于三个腔室的激光退火设备。由于激光退火设备属于前道工艺设备，因此也可以称为前道激光退火设备。

正常情况下，激光退火设备对一片晶圆进行退火工艺的流程如下：用搬运器件将晶圆从片盒中取出，放到对准模块上，对准模块进行对准操作后，搬运器件会将晶圆取下并对准腔室，以等待腔室准备接收晶圆，对准的腔室准备好后开门，搬运器件伸入腔室，将晶圆放入腔室，然后搬运器件缩回；腔室开始进行退火工艺处理；完成退火工艺处理后，搬运器件对准腔室准备取下晶圆，腔室开门，搬运器件伸入腔室抓取晶圆后缩回，搬运器件将晶圆放入冷却模块进行冷却处理，冷却完成后，搬运器件将晶圆再放回至片盒中的对应位置上。其中：

1)片盒是用于存放晶圆的装置。本发明实施例中，激光退火设备中可以包括一个或多个片盒，每个片盒可以存放25片晶圆。

2)搬运器件是用于搬运晶圆的装置，该搬运器件可以包括第一搬运部件和第二搬运部件，第一搬运部件和第二搬运部件可以一个在上、一个在下地固定在同一个竖直轴上，并可以绕竖直轴进行旋转。第一搬运部件和第二搬运部件可分别位于竖直轴的下方和上方，由于第一搬运部件和第二搬运部件的结构和材料不同，其运输晶圆的要求也不同，需要第一搬运部件和第二搬运部件协同工作。

第一搬运部件可以用于从片盒中取出晶圆、将晶圆由片盒运输至对准模块以及将晶圆运输至腔室进行退火工艺处理等搬运动作，还可以用于将晶圆由冷却模块运输回片盒，即将完成冷却处理的晶圆放回至片盒。

第二搬运部件可以用于将完成退火工艺处理的晶圆从腔室取出并运输至冷却模块进行冷却处理。

第一搬运部件和第二搬运部件均可以执行取晶圆、放晶圆、旋转、伸出以及缩回等五个动作。

此处，搬运器件可以是机械手，第一搬运部件和第二搬运部件可以分别是机械手的两个手，第一搬运部件可以是下手，第二搬运部件可以是上手。

3)对准模块用于对放在其上的晶圆进行吸附，并将晶圆旋转指定角度以使晶向与目标方向重合，例如可以将晶圆边缘开设的凹槽(notch)朝向目标方向重合，完成对准操作。对准操作完成后，晶圆可以从对准模块上取下。

4)腔室可以包括多个。多个腔室的功能完全相同，且相互独立，都是用于对其内的晶圆进行退火工艺处理。每个腔室都是一个封闭式结构，由腔室门控制其封闭状态，取、放晶圆都需要打开腔室门才能进行。

5)冷却模块用于对第一搬运部件从退火工艺模块上取下的晶圆进行固定时长的冷却处理。冷却完成后，晶圆可以被第一搬运部件取下并放回片盒。冷却模块上可以有八个槽，可以同时放八片晶圆。

如图2所示，为双腔室激光退火设备的组成俯视图。图2中，双腔室激光退火设备具有腔室1和腔室2这两个腔室。双腔室激光退火设备可以对应两个片盒，分别为片盒1和片盒2，且搬运器件为机械手，机械手的两手分别为上手和下手。

计算机为实现激光退火设备的晶圆搬运调度，在计算机程序内，对片盒、第一搬运部件、第二搬运部件、对准模块、腔室以及冷却模块，都要有相关状态记录，包括晶圆存在状态、片盒ID、晶圆的位置信息以及晶圆处理状态等。晶圆存在状态即是否存在晶圆，片盒ID是指片盒标识，晶圆的位置信息用于标识晶圆在片盒中的位置，晶圆处理状态可以包括开始处理、正在处理和完成处理。

计算机首先执行步骤S1，确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆。该片盒可以是激光退火设备中的所有片盒，多片晶圆可以是所有片盒中需要进行退火工艺处理的晶圆。

片盒中每片晶圆都有对应的位置，可以从中选取预设数量的晶圆，控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序经过如下过程：从片盒中取出并运输至对准模块，取出的晶圆经对准模块进行对准处理后，第一搬运部件可以从对准模块取出，并将取出的晶圆运输至激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理。

其中，预设数量与激光退火设备中的腔室数量相同，即可以使从片盒中选取的晶圆可以一一对应于激光退火设备的各腔室，以先后通过不同腔室分别对预设数量的晶圆进行退火工艺处理。

对准模块进行对准处理大概需要3秒左右，腔室进行退火工艺处理大概需要5分钟左右，由于腔室对每片晶圆进行退火工艺处理所需的时间较长，因此在等待腔室完成对该片晶圆的退火工艺处理的过程中，可以利用第一搬运部件将下一片晶圆运输至下一个腔室进行退火工艺处理，以提升第一搬运部件的利用率，减少第一搬运部件的空闲时间。

计算机然后执行步骤S2，在步骤S1执行完成后，对准模块以及第一搬运部件均处于空闲状态，因此对于多片晶圆中剩余的任一晶圆p，即多片晶圆中除已被选出的预设数量的晶圆之外的任一晶圆，可以控制第一搬运部件将任一晶圆p从片盒运输至对准模块进行对准处理。完成对准处理的任一晶圆p可以在对准模块上停留。此后，等待某个腔室完成退火工艺处理，完成退火工艺处理的腔室可以定义为空闲腔室，其中包含有完成退火工艺处理的晶圆。

其中，在对准模块完成对准处理后，可以依次判断激光退火设备的各腔室是否是空闲腔室，如果判断出空闲腔室，则可以创建相关任务进行后续处理，如果都不是空闲腔室，则不创建任何相关任务。

此后，计算机可以先控制第一搬运部件将完成对准处理的任一晶圆p从对准模块上取下，等待运输。在运输前，由于空闲腔室内还存在晶圆，可以控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出。该过程中，第二搬运部件可以先对准空闲腔室，等待空闲腔室开门，并在空闲腔室开门后伸入空闲腔室，取下晶圆后缩回。

此时，空闲腔室变为无晶圆腔室，可以控制第一搬运部件将完成对准处理的任一晶圆p运输至空闲腔室进行退火工艺处理，由于空闲腔室在第二搬运部件缩回后并未关门，因此第一搬运部件可以直接伸入空闲腔室，将完成对准处理的任一晶圆p放入空闲腔室后缩回。

此后，由于第二搬运部件上还存在从空闲腔室内取出的晶圆，因此可以控制第二搬运部件将取出的晶圆运输至激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。冷却模块进行冷却处理，大概需要2分钟。

可以理解的是，冷却模块可以在接收到每片晶圆后就进行冷却处理，在每片晶圆完成冷却处理后，可以立即控制第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆运输至片盒中的对应位置，也可以在第一搬运部件处于空闲状态时将完成冷却处理的晶圆运输至片盒中的对应位置，此处不作具体限定。

本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，首先确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从片盒运输至激光退火设备的对准模块，经对准模块进行对准处理后运输至激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；然后对于多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制第一搬运部件将任一晶圆从片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制第一搬运部件将完成对准处理的任一晶圆运输至空闲腔室进行退火工艺处理，控制第二搬运部件将取出的晶圆运输至激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。该方法优先将预设数量的晶圆依次送入激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理，并在等待完成退火工艺处理的过程中，控制第一搬运部件继续对剩下的任一晶圆进行搬运，并在存在空闲腔室时，结合第一搬运部件以及第二搬运部件的搬运动作，可以使任一晶圆进入空闲腔室进行退火工艺操作，如此可以使多个晶圆能够并行处理，充分利用激光退火设备中各功能模块，提升各功能模块的利用率，减少各功能模块的空闲时间，不仅可以提高激光退火设备的产率，还可以节约资源，实现资源的有效利用。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，所述控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理，包括：

构建所述多片晶圆的搬运任务堆栈列表；所述搬运任务堆栈列表中包括基于所述第一搬运部件将每片晶圆由所述片盒运输至所述对准模块的初始搬运任务；

激活所述搬运任务堆栈列表，依次执行每片晶圆的初始搬运任务，并在当前晶圆的初始搬运任务完成且所述当前晶圆完成对准处理后，创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至所述不同腔室中的无晶圆腔室的系列搬运任务。

具体地，在控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从片盒运输至激光退火设备的对准模块，经对准模块进行对准处理后运输至激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理时，可以将搬运器件搬运晶圆的过程划分为一个个独立的任务，第一搬运部件和第二搬运部件和谐有序的执行这些搬运任务。

因此，先构建多片晶圆的搬运任务堆栈列表，该搬运任务堆栈列表中包括基于第一搬运部件将每片晶圆由片盒运输至对准模块的初始搬运任务。每片晶圆均对应有一个初始搬运任务，即“第一搬运部件将晶圆从片盒取出并放到对准模块上”，将所有初始搬运任务压入搬运任务堆栈列表。

该搬运任务堆栈还可以用于存储晶圆搬运调度的下一步任务，比如第一搬运部件和第二搬运部件的取、放晶圆、旋转、伸出、缩回等动作。本发明实施例中，考虑堆栈列表的“先进后出”特性，能够及时快速响应当前任务完成后的下一个任务。比如，如果当前任务是从片盒取出晶圆，取出完成后，向堆栈列表压入“将晶圆放到对准模块上”任务，那么晶圆搬运调度的下一个任务就是执行刚刚压入的“将晶圆放到对准模块上”任务，将晶圆放到对准模块上。

若执行搬运任务堆栈列表中的搬运任务，需要先激活搬运任务堆栈列表，然后可以依次执行每片晶圆的初始搬运任务，并在当前晶圆的初始搬运任务完成且当前晶圆完成对准处理后，创建并执行第一搬运部件将当前晶圆由对准模块运输至不同腔室中的无晶圆腔室的系列搬运任务。

此处，当前晶圆的初始搬运任务完成时，对准模块即接收到当前晶圆并进行对准处理，而由于对准模块进行对准处理所需的时间较短，同时也为了激光退火设备中其他功能模块的充分利用，因此并非是当前晶圆的初始搬运任务完成后立即执行下一晶圆的初始搬运任务，而是在当前晶圆的初始搬运任务完成后等待当前晶圆完成对准处理，并在当前晶圆完成对准处理后，创建并执行第一搬运部件将当前晶圆由对准模块运输至不同腔室中的无晶圆腔室的系列搬运任务。只有在第一搬运部件将当前晶圆搬运到无晶圆腔室之后才会执行下一晶圆的初始搬运任务。

上述系列搬运任务可以依次包括第一搬运部件从对准模块取晶圆的第一任务、第一搬运部件对准无晶圆腔室的第二任务、第一搬运部件伸入无晶圆腔室的第三任务以及第一搬运部件缩回的第四任务。在第二任务中，第一搬运部件可以通过旋转的方式对准无晶圆腔室。

此处，可以利用搬运任务堆栈列表“先进后出”的特性，将上述系列搬运任务中各任务按顺序创建并写入搬运任务堆栈列表，在每个任务写入搬运任务堆栈列表后，立即激活搬运任务堆栈列表，以执行该搬运任务。

每完成一个搬运任务，将完成的搬运任务从搬运任务堆栈列表中移除，然后再次激活搬运任务堆栈列表，取出下一个任务，并判断下一个任务是否可执行，如果可执行，则“退栈”并执行，如果不可执行，则不做任何动作，忽略此次任务请求。比如，当把晶圆放到对准模块后，激活下一个任务“从片盒中取出另一个晶圆放到对准模块”，此时就要判断此任务是否可执行，而此时由于对准模块上已经有晶圆，则此任务不可执行，忽略此任务，直到再次激活搬运任务堆栈列表。

本发明实施例中，借助于堆栈列表的方式执行其内的搬运任务，搬运任务可以“先进后出”，便于任务的创建及执行。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，所述系列搬运任务依次包括所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务、所述第一搬运部件对准所述无晶圆腔室的第二任务、所述第一搬运部件伸入所述无晶圆腔室的第三任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务；

所述创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至无晶圆腔室的系列搬运任务，包括：

创建所述第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，并激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务；

对于所述第二任务、所述第三任务和所述第四任务中的任一任务，在所述任一任务的前一任务完成后，创建所述任一任务，将所述任一任务压入所述搬运任务堆栈列表，激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述任一任务。

具体地，在激活搬运任务堆栈列表，当前晶圆的初始搬运任务完成后，创建并执行上述系列搬运任务时，可以先创建第一任务，即“第一搬运部件从对准模块取晶圆”，将第一任务压入搬运任务堆栈列表，并激活搬运任务堆栈列表，执行第一任务。该第一任务的执行条件是存在无晶圆腔室或空闲腔室。

第一任务完成后，会继续创建第二任务，即“第一搬运部件对准无晶圆腔室”，并将第二任务压入搬运任务堆栈列表，并激活搬运任务堆栈列表，执行第二任务。

第二任务完成后，会继续创建第三任务，即“第一搬运部件伸入无晶圆腔室”，并将第三任务压入搬运任务堆栈列表，并激活搬运任务堆栈列表，执行第三任务。

第三任务完成后，会继续创建第四任务，即“第一搬运部件缩回”，并将第四任务压入搬运任务堆栈列表，并激活搬运任务堆栈列表，执行第四任务。

第四任务完成后，不会创建新任务，可以直接再次激活搬运任务堆栈列表，执行搬运任务堆栈列表中的下一个任务。

本发明实施例中，通过实时创建并将搬运任务压入搬运任务堆栈列表，在激活搬运任务堆栈列表后执行搬运任务，可以降低搬运任务的缓存需求，可以提高内存资源的利用率。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，所述在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，包括：

创建所述第二搬运部件对准所述空闲腔室的第五任务，将所述第五任务压入所述搬运任务堆栈列表，并创建所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，依次激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务和所述第五任务；

所述第五任务完成且所述空闲腔室开门后，依次创建并执行所述第二搬运部件伸入所述空闲腔室的第六任务、所述第二搬运部件缩回的第七任务、所述第一搬运部件伸入所述空闲腔室的第八任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务。

具体地，在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制第一搬运部件将完成对准处理的任一晶圆p运输至空闲腔室进行退火工艺处理时，第一搬运部件已经将任一晶圆p从片盒运输至对准模块进行对准处理，此时任一晶圆p还保留在对准模块上。

由于完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆还未取出，因此结合搬运任务堆栈列表“先进后出”的特性，需要先创建第二搬运部件对准空闲腔室的第五任务，将第五任务压入搬运任务堆栈列表，再创建第一搬运部件从对准模块取晶圆的第一任务，将第一任务压入搬运任务堆栈列表，然后依次激活搬运任务堆栈列表，先后执行第一任务和第五任务，即第一搬运部件先从对准模块取下任一晶圆p，然后第二搬运部件对准空闲腔室。

第五任务完成后，会通知空闲腔室开门，腔室开门后，创建第二搬运部件伸入空闲腔室的第六任务，并将第六任务压入搬运任务堆栈列表，然后激活搬运任务堆栈列表，执行第六任务。

第六任务完成后，空闲腔室将任一晶圆p放到第二搬运部件上，动作完成后创建第二搬运部件缩回的第七任务，并将第七任务压入搬运任务堆栈列表，然后激活搬运任务堆栈列表，执行第七任务。

第七任务完成后，创建第一搬运部件伸入空闲腔室的第八任务，并将第八任务压入搬运任务堆栈列表，然后激活搬运任务堆栈列表，执行第八任务。

第八任务完成后，空闲腔室进行接收任一晶圆p的动作，完成动作后创建第一搬运部件缩回的第四任务，并将第四任务压入搬运任务堆栈列表，然后激活搬运任务堆栈列表，执行第四任务。

第四任务完成后，第二搬运部件将取出的晶圆还未进行搬运，因此可以创建第二搬运部件将取出的晶圆运输至冷却模块的空闲位置上的冷却搬运任务，并将该冷却搬运任务压入搬运任务堆栈列表，激活搬运任务堆栈列表，执行此前压入的冷却搬运任务，使冷却模块对刚刚运输至其上的晶圆进行冷却处理。

冷却搬运任务完成后，不会创建新任务。直接再次激活搬运任务堆栈列表，执行搬运任务堆栈列表中的下一个任务。

本发明实施例中，给出了存在空闲腔室的晶圆搬运调度情况，先通过第二搬运部件去取空闲腔室内的晶圆，然后再通过第一搬运部件将完成对准的晶圆运输至空闲腔室进行退火工艺处理，第一搬运部件与第二搬运部件协同工作，可以进一步节省晶圆搬运所需要的时长，提升晶圆搬运效率。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，所述搬运任务堆栈列表中的搬运任务具有优先级，且所述第六任务和所述第七任务的优先级，以及所述第三任务、所述第四任务和所述第八任务的优先级，均高于所述搬运任务堆栈列表中的其他搬运任务。

具体地，由于搬运任务堆栈列表中的各搬运任务在经过若干次循环之后，有可能同时创建，这就需要对压入搬运任务堆栈列表中的搬运任务进行优先级设置。在进行下一个搬运任务选择时，优先选择与腔室取、放晶圆有关的任务，而将晶圆归还至片盒的任务可以在搬运器件空闲时进行，如此可以最大化利用晶圆在腔室内进行退火工艺处理的时间。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，所述控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理，包括：

实时采集所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒。

具体地，本发明实施例中，在控制第二搬运部件将取出的晶圆运输至激光退火设备的冷却模块进行冷却处理时，可以实时采集第一搬运部件以及第二搬运部件的占用状态，该第一搬运部件以及第二搬运部件的占用状态是指其是否正在执行运输晶圆的搬运任务。

若第一搬运部件以及第二搬运部件的占用状态均为未被占用，即二者均未运输晶圆，则可以利用完成冷却处理的晶圆在片盒中的位置信息，控制第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至片盒中的对应位置。

本发明实施例中，通过同时判断第一搬运部件以及第二搬运部件是否的占用状态，可以防止第二搬运部件被占用的状态对第一搬运部件运输晶圆产生影响，使晶圆可以快速回到片盒中的对应位置。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，所述基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒，包括：

所述冷却模块完成冷却处理后，创建所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒的第九任务，并将所述第九任务压入搬运任务堆栈列表；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第九任务。

具体地，冷却模块完成冷却处理后，可以创建第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至片盒的第九任务，并将第九任务压入搬运任务堆栈列表。该第九任务的优先级最低，只有在第一搬运部件以及第二搬运部件的占用状态均为未被占用的情况下才会执行，即此时才会激活搬运任务堆栈列表，执行第九任务。

当计算机判断片盒中需要进行退火工艺处理的所有晶圆均已归还，激光退火设备本次加工任务完成。此时，搬运任务堆栈列表中的所有搬运任务均已完成，搬运任务堆栈列表清空。

对于多腔室激光退火设备来说，当一个腔室出现问题停止退火工艺并报警后，通常整个激光退火设备停机处于安全模式，无法再进行退火工艺。然而，由于各腔室是相互独立的，如果仅仅一个腔室出现问题，而导致其他腔室也停止工作，这也势必浪费资源，也对正常做退火工艺的腔室中的晶圆产生损坏，更进一步造成不良的影响。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，还包括：

若接收到任一腔室发送的预设等级的报警信号，则将所述任一腔室的状态修改为不可用，并基于所述激光退火设备的剩余腔室进行退火工艺处理。

具体地，激光退火设备的任一腔室如果报警，则会向计算机发出报警信号，计算机可以判断任一腔室发送的报警信号是否达到预设等级，如果未达到预设等级，说明该报警可以忽略，任一腔室可以正常工作，如果达到预设等级，说明该报警不可以忽略，该任一腔室无法正常工作，但是并不会影响剩余腔室的工作状态，即剩余腔室依然可以正常工作，因此激光退火设备不需要停机处于安全模式。

进而，计算机在接收到任一腔室发送的预设等级的报警信号时，可以将该任一腔室的状态修改为不可用，不会创建与该任一腔室有关的搬运任务，并利用激光退火设备的剩余腔室进行退火工艺处理。

本发明实施例中，在接收到激光退火设备中任一腔室发送的预设等级的报警信号后，直接将其状态修改为不可用，并利用剩余腔室进行退火工艺处理，可以进一步实现资源的最大化利用，避免对正常做退火工艺的腔室中的晶圆产生损坏，降低对设备产率的影响。

在上述实施例的基础上，如图3所示，为本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法的时序图，以双腔室激光退火设备中5片晶圆的搬运过程为例，图3只的流程只到第一片晶圆返回片盒为止，其余晶圆搬运过程基本相似。

下面将结合时序图，对本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法的执行过程进行详细介绍。

现场操作员创建五片晶圆的激光退火任务后，计算机会创建五片晶圆的初始搬运任务压入搬运任务堆栈列表，并激活搬运任务堆栈列表开始执行第一片晶圆的初始搬运任务。

1)执行搬运任务堆栈列表的第一个任务，即任务“第一搬运部件从片盒取出第一片晶圆并放到对准模块上”，对准模块对第一片晶圆进行对准处理。对准处理完成后，创建任务“第一搬运部件从对准模块取晶圆”，并放入搬运任务堆栈列表。

2)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从对准模块取晶圆”。任务完成后，创建任务“第一搬运部件对准腔室1”并执行。任务完成后，通知腔室1开门。腔室1开门后，创建任务“第一搬运部件伸入腔室1”并执行。任务完成后，腔室1接收第一片晶圆，并创建任务“第一搬运部件缩回”并执行，下手抽出腔室1。任务完成后，腔室1关门，并开始对第一片晶圆进行退火工艺处理。

3)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从片盒取出第二片晶圆并放到对准模块上”，对准模块对第二片晶圆进行对准处理。对准处理完成后，创建任务“第一搬运部件从对准模块取晶圆”，并放入搬运任务堆栈列表。

4)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从对准模块取晶圆”。任务完成后，创建任务“第一搬运部件对准腔室2”并执行。任务完成后，通知腔室2开门。腔室2开门后，创建任务“第一搬运部件伸入腔室2”并执行。任务完成后，腔室2接收第二片晶圆，并创建任务“第一搬运部件抽出腔室2”并执行。任务完成后，腔室2关门，并开始对第二片晶圆进行退火工艺处理。

5)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从片盒取出第三片晶圆并放到对准模块上”，对准模块对第三片晶圆进行对准处理。

6)此时对准模块、腔室1和腔室2都有晶圆，搬运任务堆栈列表中没有可以执行的下一个任务(均不符合执行条件)，第一搬运部件和第二搬运部件均空闲。

7)腔室1完成退火工艺处理后，创建任务“第一搬运部件从对准模块取晶圆”任务。第一搬运部件完成任务后，创建并执行任务“第二搬运部件对准腔室1”，任务完成后，腔室1开门，开门后，创建任务“第二搬运部件伸入腔室1”并执行，任务完成后，腔室1将第一片晶圆放到第二搬运部件上，并创建任务“第二搬运部件抽出腔室1”并执行，任务完成后，创建任务“第一搬运部件对准腔室1”并执行，任务完成后，创建任务“第一搬运部件伸入腔室1”并执行，任务完成后，腔室1接收第三片晶圆，并创建任务“第一搬运部件抽出腔室1”并执行，任务完成后，腔室1关门，并开始对第三片晶圆进行退火工艺处理。同时创建任务“第二搬运部件将第一片晶圆放入冷却模块空闲位置”并执行。

8)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从片盒取出第四片晶圆并放到对准模块上”，对第四片晶圆进行对准处理。

9)此时对准模块、腔室1、腔室2和冷却模块都有晶圆，搬运任务堆栈列表中没有可以执行的下一个任务(均不符合执行条件)，第一搬运部件和第二搬运部件均空闲。

10)腔室2完成退火工艺处理后，创建任务“第一搬运部件从对准模块取晶圆”。第一搬运部件完成任务后，创建并执行任务“第二搬运部件对准腔室2”，任务完成后，腔室2开门，开门后，创建任务“第二搬运部件伸入腔室2”并执行，任务完成后，腔室2将第二片晶圆放到第二搬运部件上，并创建任务“第二搬运部件抽出腔室2”并执行，任务完成后，创建任务“第一搬运部件对准腔室2”并执行，任务完成后，创建任务“第一搬运部件伸入腔室2”并执行，任务完成后，腔室2接收第四片晶圆，并创建任务“第一搬运部件抽出腔室2”并执行，任务完成后，腔室关门，并开始对第四片晶圆进行退火工艺处理。同时，创建任务“第二搬运部件将第二片晶圆放入冷却模块空闲位置”并执行。此时冷却模块上有两片晶圆在执行冷却任务。

11)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从片盒取出第五片晶圆并放到对准模块上”，对第五片晶圆进行对准处理。

12)此时对准模块、腔室1、腔室2和冷却模块都有晶圆，其中冷却模块有两片晶圆。第一片晶圆如果已经冷却完成，则搬运任务堆栈列表中会有任务“第一搬运部件从冷却模块取晶圆并放回片盒中的对应位置”。

13)执行搬运任务堆栈列表的下一个任务，即任务“第一搬运部件从冷却模块取第一片晶圆并放回片盒中的对应位置”，任务完成后，第一搬运部件空闲。

14)腔室1完成第三片晶圆的退火工艺处理后，重复第7)步，此时第五片晶圆会放入腔室1进行退火工艺处理，第三片晶圆放入冷却模块进行冷却处理。

15)腔室2完成第四片晶圆的退后工艺处理后，会重复第10)步后半段取出第四片晶圆放入冷却模块。

16)此时冷却模块中第二片晶圆、第三片晶圆都已完成冷却，会依次将第二片晶圆、第三片晶圆从冷却模块取出并放回片盒中的对应位置。

17)腔室1完成第五片晶圆的退后工艺处理后，重复第7)步后半段取出第五片晶圆放入冷却模块。

18)至此，只有冷却模块上有两片晶圆，待两片晶圆冷却完成，会依次执行任务“第一搬运部件从冷却模块取晶圆并放回片盒中的对应位置”。

上述过程详细描述了激光退火设备对五片晶圆加工的搬运调度过程，这个过程比较有代表性，对于其他不是五片的晶圆搬运调度过程，只是在此基础上减少某些步骤或增加某些重复步骤而已。

综上所述，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度方法，利用计算机程序，实时根据搬运任务列表中的任务状态，按照规则判断，自动选择最佳搬运任务，最大化的利用激光退火设备资源。其中腔室工艺处理任务最重要也最耗时，优先级最高，优先执行，其他任务可以在晶圆工艺处理过程中，择机执行。该方法能够使激光退火设备尽可能的多处理晶圆，大大提高激光退火设备的产率。

如图4所示，在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供了一种晶圆搬运调度装置，包括：

第一调度模块41，用于确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；

第二调度模块42，用于对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，所述第一调度模块，具体用于：

构建所述多片晶圆的搬运任务堆栈列表；所述搬运任务堆栈列表中包括基于所述第一搬运部件将每片晶圆由所述片盒运输至所述对准模块的初始搬运任务；

激活所述搬运任务堆栈列表，依次执行每片晶圆的初始搬运任务，并在当前晶圆的初始搬运任务完成且所述当前晶圆完成对准处理后，创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至所述不同腔室中的无晶圆腔室的系列搬运任务。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，所述系列搬运任务依次包括所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务、所述第一搬运部件对准所述无晶圆腔室的第二任务、所述第一搬运部件伸入所述无晶圆腔室的第三任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务；

所述第一调度模块，具体用于：

创建所述第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，并激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务；

对于所述第二任务、所述第三任务和所述第四任务中的任一任务，在所述任一任务的前一任务完成后，创建所述任一任务，将所述任一任务压入所述搬运任务堆栈列表，激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述任一任务。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，所述第二调度模块，具体用于：

创建所述第二搬运部件对准所述空闲腔室的第五任务，将所述第五任务压入所述搬运任务堆栈列表，并创建所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，依次激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务和所述第五任务；

所述第五任务完成且所述空闲腔室开门后，依次创建并执行所述第二搬运部件伸入所述空闲腔室的第六任务、所述第二搬运部件缩回的第七任务、所述第一搬运部件伸入所述空闲腔室的第八任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，所述搬运任务堆栈列表中的搬运任务具有优先级，且所述第六任务和所述第七任务的优先级，以及所述第三任务、所述第四任务和所述第八任务的优先级，均高于所述搬运任务堆栈列表中的其他搬运任务。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，所述第二调度模块，具体用于：

实时采集所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，所述第二调度模块，具体用于：

所述冷却模块完成冷却处理后，创建所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒的第九任务，并将所述第九任务压入搬运任务堆栈列表；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第九任务。

在上述实施例的基础上，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置，还包括状态修改模块，用于：

若接收到任一腔室发送的预设等级的报警信号，则将所述任一腔室的状态修改为不可用，并基于所述激光退火设备的剩余腔室进行退火工艺处理。

具体地，本发明实施例中提供的晶圆搬运调度装置中各模块的作用与上述方法类实施例中各步骤的操作流程是一一对应的，实现的效果也是一致的，具体参见上述实施例，本发明实施例中对此不再赘述。

图5示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图5所示，该电子设备可以包括：处理器(Processor)510、通信接口(Communications Interface)520、存储器(Memory)530和通信总线540，其中，处理器510，通信接口520，存储器530通过通信总线540完成相互间的通信。处理器510可以调用存储器530中的逻辑指令，以执行上述各实施例中提供的晶圆搬运调度方法，该方法包括：确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

此外，上述的存储器530中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本发明还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序可存储在非暂态计算机可读存储介质上，所述计算机程序被处理器执行时，计算机能够执行上述各实施例中提供的晶圆搬运调度方法，该方法包括：确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

又一方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各实施例中提供的晶圆搬运调度方法，该方法包括：确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (11)

1.一种晶圆搬运调度方法，其特征在于，包括：

确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；

对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理，包括：

构建所述多片晶圆的搬运任务堆栈列表；所述搬运任务堆栈列表中包括基于所述第一搬运部件将每片晶圆由所述片盒运输至所述对准模块的初始搬运任务；

激活所述搬运任务堆栈列表，依次执行每片晶圆的初始搬运任务，并在当前晶圆的初始搬运任务完成且所述当前晶圆完成对准处理后，创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至所述不同腔室中的无晶圆腔室的系列搬运任务。

3.根据权利要求2所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述系列搬运任务依次包括所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务、所述第一搬运部件对准所述无晶圆腔室的第二任务、所述第一搬运部件伸入所述无晶圆腔室的第三任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务；

所述创建并执行所述第一搬运部件将所述当前晶圆由所述对准模块运输至无晶圆腔室的系列搬运任务，包括：

创建所述第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，并激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务；

对于所述第二任务、所述第三任务和所述第四任务中的任一任务，在所述任一任务的前一任务完成后，创建所述任一任务，将所述任一任务压入所述搬运任务堆栈列表，激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述任一任务。

4.根据权利要求2所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，包括：

创建所述第二搬运部件对准所述空闲腔室的第五任务，将所述第五任务压入所述搬运任务堆栈列表，并创建所述第一搬运部件从所述对准模块取晶圆的第一任务，将所述第一任务压入所述搬运任务堆栈列表，依次激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第一任务和所述第五任务；

所述第五任务完成且所述空闲腔室开门后，依次创建并执行所述第二搬运部件伸入所述空闲腔室的第六任务、所述第二搬运部件缩回的第七任务、所述第一搬运部件伸入所述空闲腔室的第八任务以及所述第一搬运部件缩回的第四任务。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述搬运任务堆栈列表中的搬运任务具有优先级，且所述第六任务和所述第七任务的优先级，以及所述第四任务和所述第八任务的优先级，均高于所述搬运任务堆栈列表中的其他搬运任务。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理，包括：

实时采集所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒。

7.根据权利要求6所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述基于完成冷却处理的晶圆在所述片盒中的位置信息，控制所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒，包括：

所述冷却模块完成冷却处理后，创建所述第一搬运部件将完成冷却处理的晶圆放回至所述片盒的第九任务，并将所述第九任务压入搬运任务堆栈列表；

若所述第一搬运部件以及所述第二搬运部件的占用状态均为未被占用，则激活所述搬运任务堆栈列表，执行所述第九任务。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆搬运调度方法，其特征在于，还包括：

若接收到任一腔室发送的预设等级的报警信号，则将所述任一腔室的状态修改为不可用，并基于所述激光退火设备的剩余腔室进行退火工艺处理。

9.一种晶圆搬运调度装置，其特征在于，包括：

第一调度模块，用于确定片盒中需要进行退火工艺处理的多片晶圆，并控制第一搬运部件将预设数量的晶圆依次按顺序，从所述片盒运输至激光退火设备的对准模块，经所述对准模块进行对准处理后运输至所述激光退火设备的不同腔室进行退火工艺处理；

第二调度模块，用于对于所述多片晶圆中剩余的任一晶圆，控制所述第一搬运部件将所述任一晶圆从所述片盒运输至所述对准模块进行对准处理，并在控制第二搬运部件将完成退火工艺处理的空闲腔室内的晶圆取出后，控制所述第一搬运部件将完成对准处理的所述任一晶圆运输至所述空闲腔室进行退火工艺处理，控制所述第二搬运部件将取出的晶圆运输至所述激光退火设备的冷却模块进行冷却处理。

10.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1-8中任一项所述的晶圆搬运调度方法。

11.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-8中任一项所述的晶圆搬运调度方法。