CN117170183A - 一种纳米压印定位夹具及流转装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种纳米压印定位夹具及流转装置，至少包括机架机构、流转机构、定位机构及夹具，机架机构包括第一支撑板和支撑梁，流转机构包括第二支撑板、上流转单元和下流转单元，下流转单元与上流转单元上下对齐布置；定位机构包括第三支撑板、导向轴、定位安装板、定位流转单元以及顶板，导向轴穿过第三支撑板，定位安装板与导向轴的一端固定连接，定位流转单元固定连接在定位安装板上；夹具包括第四支撑板和托板，第四支撑板布置在流转机构或定位机构上，托板固定在第四支撑板上，且托板布置有凹槽。本申请能快速准确地实现纳米压印自动化生产所需的基板或模板的流转、定位及上下料。

Description

一种纳米压印定位夹具及流转装置

技术领域

本发明涉及微纳加工领域，具体涉及一种纳米压印基板或带纳米结构的模板的定位夹具及流转装置。

背景技术

纳米压印技术是一种以纳米尺度级别的模板为基础的纳米结构制造技术，具体来说，是将通过电子束光刻、X射线光刻或极紫外光刻等技术刻写的模板结构，通过机械接触的方式，转移至基板上，转移的介质通常是一层很薄的压印胶，经加热后冷却或辐照等方法使压印胶固化，然后采用等离子刻蚀等工艺完成转移结构的复制。相对于传统的光刻技术，纳米压印技术结构尺度不受光波波长的限制，分辨率高；相对于电子束光刻、X射线光刻或极紫外光刻等技术，纳米压印技术的设备成本低、生产效率高。纳米压印技术已广泛应用在生物医学、高密度存储、光子晶体、太阳能电池、高精度印刷电路板及其它半导体器件的制作等。

纳米压印技术多采用人工搬运物料的方式，将基板与带纳米结构的模板叠放在工作台上，然后对基板及模板施加压力载荷完成纳米结构的转移。随着纳米压印技术的逐步成熟，纳米压印的产业化需求逐步明显，纳米压印自动化生产的需求也逐步提高，这就需要一套运载纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具，以及相应夹具的定位装置和相应夹具的流转装置，实现基板或模板的定位及自动化上下料。目前的应用研究中，纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具及相应的定位装置及相应的流转装置尚处于空缺。

现有纳米压印技术一般采用人工的方式将已贴合好的基板及模板放置在压印台，完成压印后取出，生产效率低。

本发明提出的一种纳米压印自动化生产时运载纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具及相应夹具的定位装置及相应夹具的流转装置，结构简单，定位精度及定位效率高，并能兼容多种尺寸规格的产品。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出了一种纳米压印定位夹具及流转装置，该装置至少包括机架机构、流转机构、定位机构及夹具，流转机构和定位机构固定连接在机架机构，其中，

机架机构包括第一支撑板和支撑梁，第一支撑板与支撑梁固定连接；

流转机构包括第二支撑板、上流转单元和下流转单元，第二支撑板布置在第一支撑板上且与第一支撑板固定连接，上流转单元布置在第二支撑板的上部，下流转单元布置在第二支撑板的下部，下流转单元与上流转单元上下对齐，且上流转单元和下流转单元均与第二支撑板固定连接；

定位机构包括第三支撑板、导向轴、定位安装板、流转单元以及顶板，第三支撑板固定连接在第一支撑板上，导向轴穿过第三支撑板，且安装板与导向轴的一端固定连接，流转单元固定连接在安装板上；

夹具包括第四支撑板和托板，第四支撑板布置在流转机构或定位机构上，托板固定在第四支撑板上，且托板布置有凹槽。

在一个实施例中，流转机构还包括支架和流转传感器，支架固定连接在第二支撑板上，一个或多个传感器均匀分布在支架上。

在一个实施例中，上流转单元和下流转单元均至少包括两个连接板、流转安装板、支撑轮、传动轮、电机和皮带；两个连接板平行对称的固定在第二支撑板上，多个支撑轮对称布置在每个连接板上，且与连接板铰接安装，每个支撑轮相对连接板进行旋转运动；传动轮铰接布置在第二支撑板上，且与电机的电机轴固定连接，电机驱动传动轮进行旋转运动，电机固定连接在电机安装板上，流转安装板与第二支撑板固定连接，皮带布置在支撑轮和传动轮上，由支撑轮和传动轮的旋转运动牵引做平移运动。

在一个实施例中，定位机构还包括一个或多个导向套，导向套布置在第三支撑板上，导向轴布置在导向套内，且相对导向套上下滑动。

在一个实施例中，定位机构还包括升降气缸和顶板气缸，升降气缸布置在第三支撑板上，升降气缸的固定块与第三支撑板固定连接，升降气缸的活动块与定位安装板固定连接，定位安装板由升降气缸驱动做升降运动；顶板气缸布置在定位安装板上，顶板气缸的固定块与定位安装板固定连接,顶板气缸的活动块与顶板固定连接，顶板由顶板气缸驱动做升降运动。

在一个实施例中，顶板上还布置有定位一个或多个定位杆，定位安装板上还固定连接有前安装块、上安装块和支架，两个前安装块分别布置在定位安装板的前端两侧，四个上安装块对称布置在定位安装板的上端两侧，定位传感器固定在支架上。

在一个实施例中，定位流转单元的多个支撑轮分别对称布置在定位安装板的两侧，且与定位安装板铰接，定位流转单元的两个传动轮分别对称布置在定位安装板的两侧，且与定位安装板铰接，定位流转单元的电机固定在定位安装板上，且该电机的电机轴与流转单元的传动轮固定连接，驱动该传动轮做旋转运动，定位流转单元的两条皮带布置在支撑轮和传动轮上，由定位流转单元的支撑轮和传动轮的旋转运动牵引做平移运动。

在一个实施例中，夹具布置在皮带上，随皮带的移动做平移运动，夹具还包括夹具支撑轮，多个夹具支撑轮布置在第四支撑板上，且夹具支撑轮与流转机构的连接板的内侧或定位机构的定位安装板的内侧接触或具有间隙，确保夹具的平移运动轨迹不偏移。

在一个实施例中，夹具还包括布置在第四支撑板上的一个或多个定位孔，定位孔与定位机构的定位杆一一对应配合定位。

在一个实施例中，上流转单元和下流转单元改变夹具的运载方向，改变夹具的上下料方向。

本发明的运载纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具及相应夹具的定位装置及相应夹具的流转装置，具有上流转单元及下流转单元的流转机构、具有升降功能的定位机构、具有定位杆的定位机构、具有定位孔的夹具、具有支撑轮的夹具，结构简单，定位精度及定位效率高，并能兼容多种尺寸规格的产品。

附图说明

图1为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的结构示意图；

图2为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的流转机构结构示意图；

图3为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的定位机构结构示意图；

图4为一个实施例中纳米压印定位夹具及流转装置的夹具结构示意图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。本发明的说明书和权利要求书以及附图中的术语“第一”“第二”“第三”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解，这样描述的对象在适当情况下可以互换。此外，术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排它的包含。本发明所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前、后、内、外、侧面等，仅是参考附图的方向。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。此外，本发明在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用。

本发明提出了一种纳米压印定位夹具及流转装置1，如图1至图4所示，该装置至少包括机架机构10、流转机构20、定位机构30及夹具40，流转机构20和定位机构30固定连接在机架机构10，夹具40布置在流转机构20上。其中，

机架机构10包括第一支撑板11和支撑梁12，第一支撑板11与支撑梁12固定连接。机架机构10还包括支座13，支座13与支撑梁12固定连接。

进一步地，机架机构10包括多根支撑梁12，多根支撑梁12组成框架，多个支座13固定在框架底部，第一支撑板11固定在框架的顶部。优选地，四个支座13分别安装固定在多根支撑梁12组成的框架的四个角，每个支座13都可以调节高度，支座13的底部还设置有橡胶垫。

流转机构20至少包括第二支撑板21、上流转单元和下流转单元，如图2所示，第二支撑板21布置在机架机构10的第一支撑板11上且第二支撑板21与第一支撑板11固定连接。上流转单元布置在第二支撑板21的上部，下流转单元布置在第二支撑板21的下部，下流转单元与上流转单元上下对齐，且上流转单元和下流转单元均与第二支撑板21固定连接。

在一个实施例中，上流转单元和下流转单元均至少包括两个流转连接板22、流转安装板23、流转支撑轮24、流转传动轮25、流转电机26和流转皮带27。两个流转连接板22平行对称的固定在第二支撑板21上，多个流转支撑轮24对称布置在每个流转连接板22上，且与流转连接板22铰接安装，每个流转支撑轮24相对流转连接板22进行旋转运动。流转传动轮25铰接布置在第二支撑板21上，且与流转电机26的流转电机26轴固定连接，流转电机26驱动流转传动轮25进行旋转运动，流转电机26固定连接在流转电机26安装板上，流转安装板23与第二支撑板21固定连接，流转皮带27布置在流转支撑轮24和流转传动轮25上，由流转支撑轮24和流转传动轮25的旋转运动牵引做平移运动。

进一步地，上流转单元的两个流转连接板22布置在第二支撑板21的上部两侧，两个流转连接板22平行相对设置，且处于同一个水平面。上流转单元的多个流转支撑轮24均匀的布置在上流转单元的两个流转连接板22上，且每个流转支撑轮24与上流转单元的流转连接板22均铰接固定，可相对上流转单元的流转连接板22做旋转运动。优选地，上流转单元有八个流转支撑轮24，每个流转连接板22上对称分布四个流转支撑轮24。上流转单元的流转安装板23固定在第二支撑板21上。上流转单元的流转电机26固定在上流转单元的流转安装板23上。上流转单元的流转传动轮25布置在第二支撑板21的上部两侧，并且上流转单元的流转传动轮25与上流转单元的流转电机26轴固定连接，可由上流转单元的流转电机26驱动做旋转运动。优选地，上流转单元的两个流转传动轮25分别铰接在第二支撑板21的上部两侧，相对第二支撑板21做旋转运动。上流转单元的流转皮带27布置在上流转单元的流转传动轮25及上流转单元的流转支撑轮24上，优选地，流转皮带27为两个，流转皮带27可由上流转单元的流转传动轮25及上流转单元的流转支撑轮24的旋转运动牵引做平移运动。

进一步地，下流转单元的两个流转连接板22布置在第二支撑板21的下部两侧，两个流转连接板22平行相对设置，且处于同一个水平面。下流转单元的多个流转支撑轮24均匀的布置在下流转单元的两个流转连接板22上，且每个流转支撑轮24与下流转单元的流转连接板22均铰接固定，可相对下流转单元的流转连接板22做旋转运动。优选地，下流转单元有八个流转支撑轮24，每个流转连接板22上对称分布四个流转支撑轮24。下流转单元的流转安装板23固定在第二支撑板21上。下流转单元的流转电机26固定在下流转单元的流转安装板23上。下流转单元的流转传动轮25布置在第二支撑板21的下部两侧，并且下流转单元的流转传动轮25与下流转单元的流转电机26轴固定连接，可由下流转单元的流转电机26驱动做旋转运动。优选地，下流转单元的两个流转传动轮25分别铰接在第二支撑板21的下部两侧，相对第二支撑板21做旋转运动。下流转单元的流转皮带27布置在下流转单元的流转传动轮25及下流转单元的流转支撑轮24上，优选地，流转皮带27为两个，流转皮带27可由下流转单元的流转传动轮25及下流转单元的流转支撑轮24的旋转运动牵引做平移运动。

进一步地，流转机构20的上流转单元和下流转单元，不限于单向运载夹具40，可改变夹具40的运载方向从而改变夹具40的上下料方向。

进一步地，流转机构20还包括流转支架28和流转传感器29，流转支架28固定连接在第二支撑板21上，一个或多个流转传感器29均匀分布在流转支架28上。优选地，五个流转传感器29分布在流转支架28上。

定位机构30包括第三支撑板31、导向轴32、定位安装板33、定位流转单元以及顶板35，如图3所示，第三支撑板31固定连接在第一支撑板11上，导向轴32穿过第三支撑板31，且定位安装板33与导向轴32的一端固定连接，定位流转单元固定连接在定位安装板33上。

进一步地，定位流转单元的多个定位支撑轮341分别对称布置在定位安装板33的两侧，且与定位安装板33铰接。优选地，八个定位支撑轮341等分为两组，分别均匀铰接分布在定位安装板33的两侧上部，可相对定位安装板33做旋转运动。定位流转单元的两个定位传动轮342分别对称布置在定位安装板33的两侧，且与定位安装板33铰接，可相对定位安装板33做旋转运动。定位流转单元的定位电机343固定在定位安装板33上，且该定位电机343的电机轴与定位流转单元的两个定位传动轮342均固定连接，驱动该定位传动轮342做旋转运动。定位流转单元的两个定位皮带344布置分别在定位安装板33两侧的定位支撑轮341和定位传动轮342上，由定位流转单元的定位支撑轮341和定位传动轮342的旋转运动牵引做平移运动。

进一步地，定位机构30还包括一个或多个导向套36和对应的导向轴32，导向套36布置在第三支撑板31上，且与第三支撑板31固定连接。定位机构30的导向轴32布置在导向套36内，且导向轴32相对导向套36上下滑动。优选地，定位机构30有四个导向套36和对应的四个导向轴32。第三支撑板31上对称分布的四个通孔，一个定位套固定在对应的一个通孔内，导向轴32穿过导向套36，与定位流转单元的定位安装板33固定连接。

进一步地，定位机构30还包括升降气缸371和顶板气缸372，升降气缸371布置在第三支撑板31上，升降气缸371的固定块与第三支撑板31固定连接，升降气缸371的活动块与定位安装板33固定连接，定位安装板33由升降气缸371的伸缩驱动做升降运动。顶板气缸372布置在定位安装板33上，顶板气缸372的固定块与定位安装板33固定连接,顶板气缸372的活动块与顶板35固定连接，顶板35由顶板气缸372的伸缩驱动做升降运动。

进一步地，也可以使用升降电机驱动代替升降气缸371驱动，使用顶板35电机驱动代替顶板气缸372驱动。

进一步地，顶板35上还布置有定位一个或多个定位杆351，优选地，四个定位杆351固定连接在顶板35上。定位安装板33上还固定连接有多个前安装块381、多个上安装块382和定位支架391，优选地，两个前安装块381分别布置在定位安装板33的前端两侧，四个上安装块382均匀对称布置在定位安装板33的上端两侧，定位传感器392固定在定位支架391上，定位支架391固定在定位安装板33上。

夹具40至少包括第四支撑板41和托板43，如图4所示，夹具40的第四支撑板41布置在流转机构20或定位机构30上，托板43固定在第四支撑板41上，且托板43布置有凹槽。优选地，托板43布置有放置纳米压印基板或带纳米结构的模板的凹槽，以保证纳米压印基板或带纳米结构的模板在夹具40流转过程中的位置不发生偏移。

进一步地，纳米压印定位夹具及流转装置1的夹具40有多个，每个夹具40均可运载一个纳米压印基板或带纳米结构的模板。夹具40通过第四支撑板41布置在流转机构20的流转皮带27或定位机构30的定位皮带344上，具体地，布置在上流转单元的流转皮带27上和/或下流转单元的流转皮带27上和/或定位流转单元的定位皮带344上，夹具40可随流转皮带27和/或定位皮带344的平移运动而做平移运动。

夹具40还包括夹具支撑轮42，多个夹具支撑轮42布置在第四支撑板41上，优选地，四个夹具支撑轮42分别布置在第四支撑板41的四个角上，并与第四支撑板41铰接，可相对第四支撑板41做旋转运动。此外，夹具支撑轮42与流转机构20的流转连接板22的内侧或定位机构30的定位安装板33的内侧接触或具有很小的间隙，从而能够确保夹具40的平移运动轨迹不偏移。

进一步地，夹具40还包括布置在第四支撑板41上的一个或多个定位孔44，优选地，第四支撑板41上布置有四个定位孔44，定位孔44与定位机构30的定位杆351一一对应配合定位，当夹具40流转至定位机构30上时，夹具40可通过定位孔44与定位机构30的定位杆351相配合。

进一步地，流转支撑轮24、定位支撑轮341以及夹具支撑轮42，可以是两个、六个或多个的成对布置。

进一步地，纳米压印定位夹具及流转装置1还包括搬运机构(图未示)，搬运机构可以为机械手、机器人等搬运设备。

在一个实施例中，本发明的纳米压印定位夹具及流转装置1的工作状态如下：

工作步骤一，流转机构20的上流转单元的流转电机26启动，驱动流转机构20的上流转单元的流转皮带27上的夹具40从前工序运载至定位机构30上。流转机构20的流转传感器29可以检测夹具40的位置及数量，并控制流转电机26的启停及运转速度。

工作步骤二，定位机构30的定位电机343启动，驱动定位机构30的定位皮带344上的夹具40继续往前运载，直到夹具40与定位机构30的前安装块381接触，定位机构30的定位传感器392检测到夹具40到位。此时定位机构30的升降气缸371处于伸出状态，定位机构30处于上位，定位机构30的顶板气缸372处于缩回状态，定位机构30的顶板35处于下位。

工作步骤三，定位机构30的顶板气缸372伸出，定位机构30的顶板35上升，定位机构30的定位杆351与夹具40的定位孔44配合，夹具40与定位机构30的定位皮带344分离，且夹具40与定位机构30的上安装块382接触，此时夹具40完成定位，也即夹具40上的纳米压印基板或带纳米结构的模板完成定位。

工作步骤四，搬运机构将夹具40上的纳米压印基板或带纳米结构的模板搬运并进行操作，完成操作后将基板或带纳米结构的模板再搬运至夹具40上。

工作步骤五，定位机构30的顶板气缸372缩回，定位机构30的顶板35下降，夹具40与定位机构30的上安装块382分离，且夹具40与定位机构30的定位皮带344接触，定位机构30的定位杆351与夹具40的定位孔44分离。同时，定位机构30的升降气缸371缩回，定位机构30下降至下位。

工作步骤六，定位机构30的定位电机343反向启动，驱动定位机构30的定位皮带344上的夹具40往后运载，夹具40与定位机构30的前安装块381分离，直到定位夹具40到达流转机构20的下流转单元的流转皮带27上。

工作步骤七，流转机构20的下流转单元的流转电机26启动，驱动流转机构20的下流转单元的流转皮带27上的夹具40从本工序运载至下工序。

进一步地，流转机构20上有多个夹具40，每个夹具40的流程过程相同，对具有纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具40的流转及定位。

本发明提出了一种纳米压印定位夹具及流转装置，通过具有上流转单元及下流转单元的流转机构，快速地实现具有纳米压印基板或带纳米结构的模板的夹具的流转。通过定位机构的升降功能，快速地实现夹具的回流。通过定位机构的顶升功能、定位机构的定位杆、夹具的定位孔、夹具的支撑轮，快速准确地实现夹具的定位。整个装置结构简单，定位精度及定位效率高，且通过更换夹具的托板，可兼容不同形状及不同尺寸规格的纳米压印基板或带纳米结构的模板。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种纳米压印定位夹具及流转装置，其特征在于，所述装置至少包括机架机构、流转机构、定位机构及夹具，所述流转机构和定位机构固定连接在机架机构，其中，

所述机架机构包括第一支撑板和支撑梁，所述第一支撑板与支撑梁固定连接；

所述流转机构包括第二支撑板、上流转单元和下流转单元，所述第二支撑板布置在第一支撑板上且与第一支撑板固定连接，所述上流转单元布置在第二支撑板的上部，所述下流转单元布置在第二支撑板的下部，所述下流转单元与上流转单元上下对齐，且所述上流转单元和下流转单元均与第二支撑板固定连接；

所述定位机构包括第三支撑板、导向轴、定位安装板、定位流转单元以及顶板，所述第三支撑板固定连接在第一支撑板上，所述导向轴穿过第三支撑板，且定位安装板与导向轴的一端固定连接，所述定位流转单元固定连接在定位安装板上；

所述夹具包括第四支撑板和托板，所述第四支撑板布置在流转机构或定位机构上，所述托板固定在第四支撑板上，且所述托板布置有凹槽。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述流转机构还包括流转支架和流转传感器，所述流转支架固定连接在第二支撑板上，一个或多个所述流转传感器均匀分布在流转支架上。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述上流转单元和下流转单元均至少包括两个流转连接板、流转安装板、流转支撑轮、流转传动轮、流转电机和流转皮带；所述两个流转连接板平行对称的固定在第二支撑板上，多个所述流转支撑轮对称布置在每个流转连接板上，且与流转连接板铰接安装，每个所述流转支撑轮相对流转连接板进行旋转运动；所述流转传动轮铰接布置在第二支撑板上，且与所述流转电机的流转电机轴固定连接，所述流转电机驱动流转传动轮进行旋转运动，所述流转电机固定连接在流转电机安装板上，所述流转安装板与第二支撑板固定连接，所述流转皮带布置在流转支撑轮和流转传动轮上，由流转支撑轮和流转传动轮的旋转运动牵引做平移运动。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述定位机构还包括一个或多个导向套，所述导向套布置在第三支撑板上，所述导向轴布置在导向套内，且相对导向套上下滑动。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述定位机构还包括升降气缸和顶板气缸，所述升降气缸布置在第三支撑板上，所述升降气缸的固定块与第三支撑板固定连接，所述升降气缸的活动块与定位安装板固定连接，所述定位安装板由升降气缸驱动做升降运动；所述顶板气缸布置在定位安装板上，顶板气缸的固定块与定位安装板固定连接,顶板气缸的活动块与顶板固定连接，所述顶板由顶板气缸驱动做升降运动。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述顶板上还布置有定位一个或多个定位杆，所述定位安装板上还固定连接有前安装块、上安装块和支架，两个所述前安装块分别布置在定位安装板的前端两侧，四个所述上安装块对称布置在定位安装板的上端两侧，定位传感器固定在定位支架上。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述定位流转单元的多个定位支撑轮分别对称布置在定位安装板的两侧，且与定位安装板铰接，所述定位流转单元的两个定位传动轮分别对称布置在定位安装板的两侧，且与定位安装板铰接，所述定位流转单元的定位电机固定在定位安装板上，且该定位电机的定位电机轴与流转单元的定位传动轮固定连接，驱动该定位传动轮做旋转运动，所述定位流转单元的两条定位皮带布置在定位支撑轮和定位传动轮上，由定位流转单元的定位支撑轮和定位传动轮的旋转运动牵引做平移运动。

8.根据权利要求1-7任一项所述的装置，其特征在于，所述夹具布置在流转皮带和/或定位皮带上，随流转皮带和/或定位皮带的移动做平移运动，所述夹具还包括夹具支撑轮，多个所述夹具支撑轮布置在第四支撑板上，且夹具支撑轮与流转机构的流转连接板的内侧或定位机构的定位安装板的内侧接触或具有间隙，确保夹具的平移运动轨迹不偏移。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述夹具还包括布置在第四支撑板上的一个或多个定位孔，所述定位孔与定位机构的定位杆一一对应配合定位。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述上流转单元和下流转单元改变夹具的运载方向，改变夹具的上下料方向。