CN117145976A - 密封传输装置及半导体检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于半导体设备技术领域，尤其是涉及一种密封传输装置及半导体检测设备。该密封装置包括驱动机构、导向支撑结构以及阀板管路；阀板管路包括阀板及管路，管路连接于阀板并沿第一方向朝向驱动机构延伸；导向支撑结构连接于阀板并在第一方向上位于阀板靠近驱动机构的一侧；驱动机构连接于导向支撑结构，且驱动机构设置为能够驱动导向支撑结构沿第一方向运动，以调节阀板在第一方向上的位置。该密封传输装置既有密封功能，也有搬运晶圆的功能。因而，配置有该密封传输装置的半导体检测设备，可取消成本较高的多自由机械臂进行搬运，而改用配合成本较低的旋转臂进行搬运，降低成本。

Description

密封传输装置及半导体检测设备

技术领域

本申请属于半导体设备技术领域，尤其是涉及一种密封传输装置及半导体检测设备。

背景技术

半导体检测设备是半导体制造过程中对芯片性能与缺陷的进行检测的关键设备，其检测工艺必须处于高真空环境中，以保证检测设备的准确性和可靠性，但从设备外部将晶圆传递到样品腔室，再将检测完成的晶圆传出样品腔室将会对真空环境造成破坏，样品腔室容积一般较大，抽到目标工艺真空所需时间较长，样品腔室的真空环境反复破坏将严重影响设备产量。

目前，在晶圆盒与样品室之间增加体积较小的预抽腔室，晶圆盒中的样品能够进入预抽腔室，对预抽腔室进行抽真空后将预抽腔室与样品腔室连通，避免反复破坏样品腔室的真空环境。

然而，为了实现隔离预抽腔室与样品腔室，在抽腔室与样品腔室之间设有用于控制二者通断的真空阀门，为了实现搬运的晶圆，还需在样品腔室中设置多自由度机械手以将晶圆在预抽腔室与样品腔室之间搬运。

应理解地，在真空阀门连通预抽腔室与样品腔室的情况下，多自由度机械手才能作业以将两腔室中的样品置换，换言之，真空阀门与多自由度机械手二者联动控制。这样导致搬运过程繁琐，效率偏低。而且，还需实用机械手辅助搬运，成本较高，占用设样品腔室空间。

发明内容

本申请提供了一种密封传输装置及半导体检测设备，以解决现有搬运过程繁琐、效率低、成本高的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种密封传输装置，包括驱动机构、导向支撑结构以及阀板管路；阀板管路包括阀板及管路，管路连接于阀板并沿第一方向朝向驱动机构延伸；导向支撑结构连接于阀板并在第一方向上位于阀板靠近驱动机构的一侧；驱动机构连接于导向支撑结构，且驱动机构设置为能够驱动导向支撑结构沿第一方向运动，以调节阀板在第一方向上的位置。

在本申请可选的方案中，导向支撑结构包括多个导向支撑组件，多个导向支撑组件在管路的周向上间隔布置，各导向支撑组件位于管路外侧并连接于阀板；驱动机构连接于各导向支撑组件、用于驱动多个导向支撑组件在第一方向运动，以带动阀板及管路在第一方向运动。

在本申请可选的方案中，各导向支撑组件包括支撑杆以及导向件，支撑杆沿第一方向延伸且两端分别连接于阀板及导向件，导向件连接于驱动机构；驱动机构用于通过导向件驱动支撑杆在第一方向运动，以调节阀板在第一方向上的位置。

在本申请可选的方案中，导向支撑组件还包括第一紧固连接件、第二紧固连接件以及第三紧固连接件，第一紧固连接件、第二紧固连接件以及第三紧固连接件均穿设于导向件；第一紧固连接件在第一方向上抵接于支撑杆，第二紧固连接件位于第一紧固连接件的上方且抵接于支撑杆的周侧壁，第三紧固连接件抵接于第一紧固连接件的周侧壁。

在本申请可选的方案中，密封传输装置还包括密封组件，密封组件包括第一形变套管以及第一密封法兰；第一密封法兰与阀板在第一方向上平行间隔设置并靠近驱动机构，第一形变套管外套于管路且两端分别连接于阀板及第一密封法兰；管路及支撑杆均穿过第一密封法兰。

在本申请可选的方案中，导向支撑组件还包括第二密封法兰、第二形变套管以及固定轴套；第二密封法兰连接于第一密封法兰，固定轴套连接于阀板，支撑杆穿过第一密封法兰且一端连接于固定轴套；第二形变套管外套于支撑杆且两端分别连接于第二密封法兰及固定轴套。

在本申请可选的方案中，驱动机构包括基座、导向座及动力构件；导向座活动连接于基座并设有多个导向槽，多个导向支撑组件中的各导向件的至少部分一一对应设置于相应的导向槽内；动力构件连接于基座以驱动导向座沿第二方向运动，以使导向件在导向槽的作用下在第一方向运动。

在本申请可选的方案中，导向槽包括多个水平槽段以及多个倾斜槽段，水平槽段沿第二方向延伸，每个倾斜槽段连通相邻两个水平槽段，且相邻两个水平槽段在第一方向上间隔设置；动力构件设置为能够驱动导向座在第二方向上运动，以使导向件在对应的倾斜槽段的作用下在多个水平槽段之间切换。

在本申请可选的方案中，该密封传输装置还包括多根支撑柱，多根支撑柱连接于阀板并均位于远离驱动机构的一侧。

根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括转接腔室、检测腔室及上述的密封传输装置；

阀板位于转接腔室内且能够将转接腔室在第一方向上分隔为第一转接腔室及第二转接腔室，第二转接腔室连通于检测腔室，驱动机构位于转接腔室外并在第一方向上位于远离第一转接腔室的一侧；管路连通于第一转接腔室，阀板设置为在驱动机构的作用下运动，以使第一转接腔室及第二转接腔室连通或隔断；第一转接腔室与第二转接腔室处于隔断状态下，各支撑柱均位于第一转接腔室内；第一转接腔室与第二转接腔室处于连通状态下，各支撑柱位于第二转接腔室内。

综上所述，本申请提供的密封传输装置及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

该密封传输装置既有密封功能，也有搬运晶圆的功能。因而，配置有该密封传输装置的半导体检测设备，可取消成本较高的多自由机械臂进行搬运，而改用配合成本较低的旋转臂进行搬运，降低成本。另外，由于驱动机构与阀板之间设置有导向支撑结构，导向支撑结构能够对阀板形成支撑，可靠性更好，抗冲击能力更强，具有一定减振效果。在驱动机构通过导向支撑结构驱动阀板运动的过程中，导向支撑结构具备导向作用，能够确保阀板在第一方向上运动的稳定性更好。基于此，驱动机构驱动阀板至所允许的极限运动速度更高，搬运效率更高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图；

图2为图1中的密封传输装置及转接腔室的装配示意图；

图3为图2中密封传输装置及转接腔室配合的剖视图；

图4为图2中的密封传输装置与转接腔室在另一视角下的装配图；

图5为图3中B处的局部放大图。

附图标记如下：

100、密封传输装置；R1、转接腔室；R11、第一转接腔室；R12、第二转接腔室；R2、检测腔室；

10、驱动机构；11、基座；12、导向座；13、动力构件；14、传动机构；

20、导向支撑结构；21、导向支撑组件；211、支撑杆；212、导向件；2121、滑块；2122、滚轮；213、第一紧固连接件；214、第二紧固连接件；215、第三紧固连接件；216、第二密封法兰；217、第二形变套管；218、固定轴套；

30、阀板管路；31、阀板；32、管路；

40、密封组件；41、第一形变套管；42、第一密封法兰；

50、支撑柱；

A、导向槽；A1、水平槽段；A2、倾斜槽段；A11、第一水平槽段；A12、第二水平槽段；A13、第三水平槽段。

具体实施方式

在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语，应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图。请参阅图1，该搬到体检测设备包括转接腔室R1、检测腔室R2以及密封传输装置100。

需要说明的是，晶圆检测工艺需要处于真空环境，该半导体检测设备中的检测腔室R2能够维持真空环境并用于晶圆检测，转接腔室R1的容积远小于检测腔室R2的容积，外部的待检测晶圆可先传入至转接腔室R1中，对转接腔室R1进行抽真空后，在转接腔室R1中的真空压力达到要求的情况下，再将转接腔室R1中的待检测晶圆传入至检测腔室R2。如此仅需对容积更小的转接腔室R1进行抽真空及破真空，避免对容积更大的检测检测腔室R2进行抽真空及破真空，提高检测效率。

图2为图1中的密封传输装置100及转接腔室R1的装配示意图。图3为图2中密封传输装置100及转接腔室R1配合的剖视图。请参阅图2及图3，在一些可选的实施例中，该密封传输装置100包括驱动机构10、导向支撑结构20以及阀板管路30。阀板管路30包括阀板31及管路32，管路32连接于阀板31并沿第一方向朝向驱动机构10延伸。导向支撑结构20连接于阀板31并在第一方向上位于阀板31靠近驱动机构10的一侧。驱动机构10连接于导向支撑结构20，且驱动机构10设置为能够驱动导向支撑结构20沿第一方向运动，以调节阀板31在第一方向上的位置。

具体地，驱动机构10能够驱动导向支撑结构20沿第一方向运动，从而带动整个阀板管路30运动，进而改变阀板31在第一方向上的位置。由于驱动机构10与阀板31之间设置有导向支撑结构20，导向支撑结构20能够对阀板31形成支撑，可靠性更好，抗冲击能力更强，具有一定减振效果。在驱动机构10通过导向支撑结构20驱动阀板31运动的过程中，导向支撑结构20具备导向作用，能够确保阀板31在第一方向上运动的稳定性更好。基于此，驱动机构10驱动阀板31至所允许的极限运动速度更高。

在一些可选的实施例中，该密封传输装置100还包括多根支撑柱50，多根支撑柱50连接于阀板31并均位于远离驱动机构10的一侧。具体地，多根支撑柱50在阀板31上间隔设置，以用于承放晶圆，如此与阀板31之间形成间隙，便于搬运装置取拿晶圆。

在本实施例中，阀板31位于转接腔室R1内且能够将转接腔室R1在第一方向上分隔为第一转接腔室R11及第二转接腔室R12，驱动机构10位于转接腔室R1外并在第一方向上位于远离第一转接腔室R11的一侧。

管路32连通于第一转接腔室R11，阀板31设置为在驱动机构10的作用下运动，以使第一转接腔室R11及第二转接腔室R12连通或隔断。具体地，管路32能够用于连通抽真空装置(例如干泵、分子泵等)以对第一转接腔室R11进行抽真空，换言之，仅需对转接腔室R1的部分进行抽真空即可，所需抽真空的容积更小，效率更高。另外，阀板31在驱动机构10的作用下，从而改变在第一方向上的位置，以将第一转接腔室R11及第二转接腔室R12连通或隔断。

第一转接腔室R11与第二转接腔室R12处于隔断状态下，各支撑柱50均位于第一转接腔室R11内；第一转接腔室R11与第二转接腔室R12处于连通状态下，各支撑柱50均位于第二转接腔室R12内。

具体地，在第一转接腔室R11与第二转接腔室R12处于隔断状态下，可将外部的待检测晶圆传入至第一转接腔室R11中并放置于支撑柱50上，接着即可对第一转接腔室R11进行抽真空，在切换状态时避免第一转接腔室R11污染第二转接腔室R12。

在第一转接腔室R11与第二转接腔室R12处于连通状态下，阀板31将各支撑柱50以及支撑柱50上的晶圆带入至第二转接腔室R12，第二转接腔室R12连通于检测腔室R2，因而可将位于第二转接腔室R12中的晶圆传入至检测腔室R2内。

可见，该密封传输装置100既有密封功能，也有搬运晶圆的功能。因而，配置有该密封传输装置100的半导体检测设备，可取消成本较高的多自由机械臂进行搬运，而改用配合成本较低的旋转臂进行搬运，降低成本。应理解地，阀板31的运动速度影响搬运效率，由前述可知，该阀板31的允许极限运动速度更高，搬运效率更高。

在一些可选的实施例中，导向支撑结构20包括多个导向支撑组件21，多个导向支撑组件21在管路32的周向上间隔设置，各导向支撑组件21位于管路32外侧并连接于阀板31。驱动机构10连接于各所述导向支撑组件21、用于驱动多个导向支撑组件21在第一方向运动，以带动阀板31及管路32在第一方向上运动。

在本实施例中，该导向支撑结构20由多个导向支撑组件21构成，通过驱动机构10驱动多个导向支撑组件21同步在第一方向上运动，从而改变阀板31在第一方向上的位置，以将第一转接腔室R11与第二转接腔室R12在隔断状态与连通状态之间切换。

应理解地，为了确保阀板31能够较好地隔断第一转接腔室R11及第二转接腔室R12，对阀板31的安装水平度具有较高的要求。在本实施例中，管路32周向设置的多个导向支撑组件21以与阀板31相连，在安装过程中能够确保阀板31的水平度，另外，多个导向支撑组件21同步带动阀板31在第一方向运动，避免阀板31在运动过程中发生倾斜。

在一种优选的实施例中，多个导向支撑组件21关于管路32的轴心线中心对称设置，换言之，多个导向支撑组件21在管路32的周向上均匀间隔设置，确保导向支撑组件21对阀板31的作用力均匀分布。

在进一步可选的实施例中，各导向支撑组件21包括支撑杆211以及导向件212，支撑杆211沿第一方向延伸且两端分别连接于阀板31及导向件212，导向件212连接于驱动机构10。驱动机构10用于通过导向件212驱动支撑杆211在第一方向运动，以调节阀板31在第一方向上的位置。

具体地，驱动机构10能够作用于导向件212，以使导向件212带动支撑杆211，支撑杆211带动阀板31在第一方向运动，进而改变阀板31的位置。

在一些可选的实施例中，驱动机构10包括基座11、导向座12及动力构件13。导向座12活动连接于基座11并设有多个导向槽A，多个导向支撑组件21中的各导向件212的至少部分一一对应设置于相应的导向槽A内。动力构件13连接于基座11以驱动导向座12沿第二方向运动，以使导向件212在导向槽A的作用下在第一方向运动。

在本实施例中，导向座12及动力构件13均设置于基座11上，其中，动力构件13固定在基座11上，导向座12能够相对基座11在第二方向运动。导向座12上设有多个导向槽A以与多个导向件212一一配对，导向槽A设置为能够允许导向件212活动，通过设置导向槽A的形状，将导向座12在第二方向上的运动转换为在导向件212在第一方向上的运动，进而通过支撑杆211带动阀板31。

图4为图2中的密封传输装置100与转接腔室R1在另一视角下的装配图。请参阅图4，在进一步可选的实施例中，导向槽A包括多个水平槽段A1以及多个倾斜槽段A2，多个水平槽段A1沿第二方向延伸，每个倾斜槽段A2连通相邻两个水平槽段A1，且相邻两个水平槽段A1在第一方向上间隔设置。动力构件13设置为能够驱动导向座12在第二方向上运动，以使导向件212在对应的倾斜槽段A2的作用下在多个水平槽段A1之间切换。

在本实施例中，该导向槽A由多个水平槽段A1及多个倾斜槽段A2构成，相邻两个水平槽段A1在第一方向上间隔设置并且通过一个倾斜槽段A2连通。在动力构件13驱动导向座12在第二方向运动的过程中，导向件212处于水平槽段A1时，阀板31处于该水平槽段A1在第一方向上所对应的位置，导向件212处于倾斜槽段A2时，阀板31在第一方向上运动以改变在第一方向上的位置。

可见，各水平槽段A1均能够起到限位作用，导向件212在不同的水平槽段A1时，阀板31在第一方向上位于不同的位置。

在进一步可选的实施例中，多个水平槽段A1包括第一水平槽段A11、第二水平槽段A12以及第三水平槽段A13，第一水平槽段A11、第二水平槽段A12以及第三水平槽段A13在第一方向由上而下依次间隔设置。导向件212设置为位于第一水平槽段A11时，阀板31在第一方向上处于第一位置。导向件212设置为位于第二水平槽段A12时，阀板31在第一方向上处于第二位置。导向件212设置为位于第三水平槽段A13时，阀板31在第一方向上处于第三位置。

可见，在本实施例中，阀板31在第一方向上具备3个不同的位置，第一位置及第三位置对应为该阀板31在第一方向上所能运动到的上极限位置与下极限位置，第二位置位于第一位置及第三位置之间。阀板31位于不同的位置，对应实现不同功能。

请结合图2，图2所示实施例中的导向件212处于第一水平槽段A11，此时阀板31位于第一位置且将第一转接腔室R11及第二转接腔室R12分隔，各支撑柱50均位于第一转接腔室R12。

随着动力构件13驱动导向座12在第二方向运动，导向件212相对导向槽A移动，导向件212运动至第二水平槽段A12的过程中，带动支撑杆211在第一方向运动以使阀板31由第一位置切换至第二位置，此时第一转接腔室R11及第二转接腔室R12连通，且各支撑柱50均位于第二转接腔室R12内。

随着动力构件13继续驱动导向座12在第二方向运动，导向件212相对导向槽A继续移动，导向件212运动至第三水平槽段A13的过程中，带动支撑杆211在第一方向运动以使阀板31由第二位置切换至第三位置，当然各支撑柱50均还位于第二转接腔室R12内。

应理解地，阀板31在第一位置时，各支撑柱50均位于第一转接腔室R11，以便于承放从外部传入的待检测晶圆。阀板31在第二位置及第三位置时，各支撑柱50均位于第二转接腔室R12，以便于和位于检测腔室R2中的搬运装置(旋转臂)配合以搬运位于支撑柱50上的晶圆。

需要说明的是，水平槽段A1及倾斜槽段A2之间圆滑过渡，并且整个导向槽A的内周壁的粗糙度要求较高，以确保位置切换时导向件212运动顺畅性。

在一些可选的实施例中，该驱动机构10还包括传动机构14，导向座12及基座11通过传动机构14活动连接。应理解地，传动机构14为沿第二方向延伸设置的直线传动机构，以确保导向座12具备第二方向上的活动自由度。

在图2所示实施例中，传动机构14为设置在导向座12及基座11之间的滑轨传动机构，当然并不局限于此，例如还可为齿轮齿条传动机构、滚珠丝杆传动机构等。在本实施例中，动力构件13采用直线电机，当然并不局限于此，例如还可为电动推杆、电动缸等。

图5为图3中B处的局部放大图。请参阅图5，在一些可选的实施例中，导向支撑组件21还包括第一紧固连接件213、第二紧固连接件214以及第三紧固连接件215，第一紧固连接件213、第二紧固连接件214以及第三紧固连接件215均穿设于导向件212。

第一紧固连接件213在第一方向上抵接于支撑杆211，第二紧固连接件214位于第一紧固连接件213的上方且抵接于支撑杆211的周侧壁，第三紧固连接件215抵接于第一紧固连接件213的周侧壁。

由前述可知，该阀板31对安装水平度要求较高，在隔断第一转接腔室R11及第二转接腔室R12的状态下，以确保密封性。在本实施例中，对于各导向支撑组件21，支撑杆211的两端分别连接于阀板31及导向件212，第一紧固连接件213穿设于导向件212以抵接于支撑杆211的端部，在装配过程中调节第一紧固连接件213在第一方向上的位置，即可微调支撑杆211在第一方向上的位置。

如此，通过调节各第一紧固连接件213，使得各支撑杆211在第一方向上的位置合适，以确保阀板31的水平度达到要求。在支撑杆211的位置合适的情况下，通过第二紧固连接件214顶死支撑杆211以固定支撑杆211的位置。进一步地，通过第三紧固连接件215顶死第一紧固连接件213，以避免第一紧固连接件213松动导致支撑杆211位置改变，进而防止阀板31发生倾斜。

请结合图2至图4，在图示实施例中，导向支撑组件21的数量为4个，相应地，导向座12上的导向槽A也为4个，以与各导向件212一一配对。通过调节每个导向支撑组件21中各第一紧固连接件213，可以使得该阀板31相对水平面的倾斜角度不会超过±0.02度，以确保该阀板31的密封性能。

请结合图4及图5，在一些可选的实施例中，该导向件212包括滑块2121以及滚轮2122，滚轮2122收容于导向槽A并连接于滑块2121，支撑杆211的一端连接于滑块2121。具体地，通过滚轮2122降低摩擦，保证导向支撑组件21移动过程中的顺畅性。当然，在具体应用中，也可用辊筒、滚轴等代替滚轮2122。

由于支撑杆211的端部连接于滑块2121，因而，第一紧固连接件213、第二紧固连接件214以及第三紧固连接件215均穿设于滑块2121，以调节固定支撑杆211。在具体应用中，第一紧固连接件213、第二紧固连接件214以及第三紧固连接件215均为顶丝，当然并不局限于此，例如还可为螺钉等。

在一些可选的实施例中，该密封传输装置100还包括密封组件40，密封组件40包括第一形变套管41以及第一密封法兰42。第一密封法兰42与阀板31在第一方向上平行间隔设置并靠近驱动机构10，第一形变套管41外套于管路32且两端分别连接于阀板31及第一密封法兰42。管路32及支撑杆211均穿过第一密封法兰42。

在本实施例中，密封组件40用于密封转接腔室R1，其中第一密封法兰42安装在转接腔室R1的底壁，阀板31位于第一密封法兰42的上方并在转接腔室R1内，管路32穿过第一密封法兰42并且能够沿第一方向运动，第一形变套管41外套于管路32并位于转接腔室R1内，第一形变套管41的两端通过阀板31及第一密封法兰42进行密封，因而能够避免因管路32与第一密封法兰42相对运动产生的碎屑进入转接腔室R1内。

在具体应用中，管路32与第一密封法兰42间隙配合，以确保管路32具有第一方向上的活动自由度；或者，第一密封法兰42上设有轴承以与管路32配合连接，以确保管路32具备第一方向上的活动自由度。

在进一步可选的实施例中，导向支撑组件21还包括第二密封法兰216、第二形变套管217以及固定轴套218。第二密封法兰216连接于第一密封法兰42，固定轴套218连接于阀板31，支撑杆211穿过第一密封法兰42且一端连接于固定轴套218。第二形变套管217外套于支撑杆211且两端分别连接于第二密封法兰216及固定轴套218。

在本实施例中，支撑杆211的一端通过固定轴套218以与阀板31相连，另外，在第一密封法兰42上设有允许支撑杆211穿过的第二密封法兰216，支撑杆211能够相对第二密封法兰216在第一方向运动，第二密封法兰216对支撑杆211具有导向作用。

另外，第二形变套管217外套于支撑杆211且在转接腔室R1内，第二形变套管217的两端通过固定轴套218及第二密封法兰216进行密封，避免因支撑杆211与第二密封法兰216相对运动产生的碎屑进入转接腔室R1内。

在具体应用中，支撑杆211与第二密封法兰216间隙配合，以保证支撑杆211具备第一方向运动的自由度。应理解地，管路32及支撑杆211在第一方向运动过程中，第一形变套管41及第二形变套管217均会发生形变，第一形变套管41及第二形变套管217可采用波纹管，如此确保能够在第一方向伸缩的同时具备一定的缓振作用，当然，并不局限于波纹管，例如还可为弹性橡胶管等。

需要说明的是，在上述实施例中，均以该半导体检测设备应用于晶圆检测进行说明，当然并不局限于此。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种密封传输装置，其特征在于，包括驱动机构、导向支撑结构以及阀板管路；

所述阀板管路包括阀板及管路，所述管路连接于所述阀板并沿第一方向朝向所述驱动机构延伸；

所述导向支撑结构连接于所述阀板并在所述第一方向上位于所述阀板靠近所述驱动机构的一侧；

所述驱动机构连接于所述导向支撑结构，且所述驱动机构设置为能够驱动所述导向支撑结构沿第一方向运动，以调节所述阀板在所述第一方向上的位置。

2.根据权利要求1所述的密封传输装置，其特征在于，

所述导向支撑结构包括多个导向支撑组件，多个所述导向支撑组件在所述管路的周向上间隔布置，各所述导向支撑组件位于所述管路外侧并连接于所述阀板；

所述驱动机构连接于各所述导向支撑组件、用于驱动多个所述导向支撑组件在所述第一方向运动，以带动所述阀板及所述管路在所述第一方向运动。

3.根据权利要求2所述的密封传输装置，其特征在于，

各所述导向支撑组件包括支撑杆以及导向件，所述支撑杆沿所述第一方向延伸且两端分别连接于所述阀板及所述导向件，所述导向件连接于所述驱动机构；

所述驱动机构用于通过所述导向件驱动所述支撑杆在所述第一方向运动，以调节所述阀板在所述第一方向上的位置。

4.根据权利要求3所述的密封传输装置，其特征在于，

所述导向支撑组件还包括第一紧固连接件、第二紧固连接件以及第三紧固连接件，所述第一紧固连接件、所述第二紧固连接件以及所述第三紧固连接件均穿设于所述导向件；

所述第一紧固连接件在所述第一方向上抵接于所述支撑杆，所述第二紧固连接件位于所述第一紧固连接件的上方且抵接于所述支撑杆的周侧壁，所述第三紧固连接件抵接于所述第一紧固连接件的周侧壁。

5.根据权利要求3所述的密封传输装置，其特征在于，

所述密封传输装置还包括密封组件，所述密封组件包括第一形变套管以及第一密封法兰；

所述第一密封法兰与所述阀板在所述第一方向上平行间隔设置并靠近所述驱动机构，所述第一形变套管外套于所述管路且两端分别连接于所述阀板及所述第一密封法兰；

所述管路及所述支撑杆均穿过所述第一密封法兰。

6.根据权利要求5所述的密封传输装置，其特征在于，

所述导向支撑组件还包括第二密封法兰、第二形变套管以及固定轴套；

所述第二密封法兰连接于所述第一密封法兰，所述固定轴套连接于所述阀板，所述支撑杆穿过所述第一密封法兰且一端连接于所述固定轴套；

所述第二形变套管外套于所述支撑杆且两端分别连接于所述第二密封法兰及所述固定轴套。

7.根据权利要求3所述的密封传输装置，其特征在于，

所述驱动机构包括基座、导向座及动力构件；

所述导向座活动连接于所述基座并设有多个导向槽，多个所述导向支撑组件中的各导向件的至少部分一一对应设置于相应的所述导向槽内；

所述动力构件连接于基座以驱动所述导向座沿第二方向运动，以使所述导向件在所述导向槽的作用下在所述第一方向运动。

8.根据权利要求7所述的密封传输装置，其特征在于，

所述导向槽包括多个水平槽段以及多个倾斜槽段，所述水平槽段沿所述第二方向延伸，每个所述倾斜槽段连通相邻两个所述水平槽段，且相邻两个所述水平槽段在所述第一方向上间隔设置；

所述动力构件设置为能够驱动所述导向座在所述第二方向上运动，以使所述导向件在对应的所述倾斜槽段的作用下在多个所述水平槽段之间切换。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的密封传输装置，其特征在于，还包括多根支撑柱，多根所述支撑柱连接于所述阀板并均位于远离所述驱动机构的一侧。

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括转接腔室、检测腔室及根据权利要求9所述的密封传输装置；

所述阀板位于转接腔室内且能够将所述转接腔室在所述第一方向上分隔为第一转接腔室及第二转接腔室，所述第二转接腔室连通于所述检测腔室，所述驱动机构位于所述转接腔室外并在所述第一方向上位于远离所述第一转接腔室的一侧；

所述管路连通于所述第一转接腔室，所述阀板设置为在所述驱动机构的作用下运动，以使所述第一转接腔室及所述第二转接腔室连通或隔断；

所述第一转接腔室与所述第二转接腔室处于隔断状态下，各所述支撑柱均位于所述第一转接腔室内；所述第一转接腔室与所述第二转接腔室处于连通状态下，各所述支撑柱均位于所述第二转接腔室内。