CN117020567B - 具有还原功能的在线式热压压接设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及压接设备技术领域，提供一种具有还原功能的在线式热压压接设备。该热压压接设备包括：上料装置，用于将工件从入口处输送上料；预烘工位，用于对工件进行预烘；热压压接工位，用于对工件进行压接；还原工位，用于对工件进行还原；冷却工位，用于对工件进行冷却；下料装置，用于将工件从出口处输送下料；预烘工位和还原工位均包括：真空腔室，真空腔室设有真空抽口和/或进气管路，真空抽口用于对真空腔室进行抽真空，进气管路用于向真空腔室内输入还原性气体和/或惰性气体，避免工件在预烘过程中和压接过程后氧化；各个工位作业不冲突，可同时多个工件进行不同工位工序的加工处理，大大缩短了产品生产周期，提高加工效率。
Description
技术领域
本发明涉及压接设备技术领域，尤其涉及一种具有还原功能的在线式热压压接设备。
背景技术
现有压力压接设备大多是开放式或半开放式的结构，多采用人工进行上下料，工件的加热、压接及后续的冷却等工艺流程在同一个腔室内完成，压接时的压力无法监测。
现有技术中的压力压接设备的存在以下缺点：
（1）炉腔体不是完全封闭的结构，预烘区和压接区氧含量不可控，工件预烘或压接过程中容易氧化或掺杂其他杂质，炉腔内部介质易泄露。
（2）效率低下，需要人工取放治具（含工件），加热、压接及后续的冷却等都在一个腔室完成，工件加工周期太长。
（3）压接的压力无法检测。
发明内容
本发明提供一种具有还原功能的在线式热压压接设备，旨在解决上述描述的现有技术中的压力压接设备存在的至少一个技术问题。
本发明提供一种具有还原功能的在线式热压压接设备，包括：
上料装置，用于将工件从入口处输送上料；
预烘工位，所述预烘工位设于所述上料装置的出口处，用于对工件进行预烘；
热压压接工位，所述热压压接工位设于所述预烘工位的出口处，用于对工件进行压接；
至少一个还原工位，所述还原工位设于所述热压压接工位的进口处和/或出口处，用于对工件进行还原；
冷却工位，所述冷却工位设于所述还原工位的出口处，用于对工件进行冷却；
下料装置，所述下料装置设于所述冷却工位的出口处，用于将工件从出口处输送下料；其中，
所述预烘工位包括：
第一真空腔室，所述第一真空腔室设有第一真空抽口和/或第一进气管路，所述第一真空抽口用于对所述第一真空腔室进行抽真空，所述第一进气管路用于向所述第一真空腔室内输入还原性气体和/或惰性气体；
所述还原工位包括：
第二真空腔室，所述第二真空腔室设有第二真空抽口和/或第二进气管路，所述第二真空抽口用于对所述第二真空腔室进行抽真空，所述第二进气管路用于向所述第二真空腔室内输入还原性气体和/或惰性气体。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述热压压接工位还包括：
压力装置；
压接装置，所述压接装置设置在所述压力装置的中间板上；压接装置含有至少一个热压头；
覆膜装置，所述覆膜装置设置在所述压力装置的中间板上；其中，所述覆膜装置包括：
放卷端和收卷端，薄膜由放卷端引出后，经过所述压接装置的下表面，再进入收卷端。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述第二真空腔室包括：
升降装置；
侧板、顶板和底板，所述顶板固定在所述升降装置的升降端，所述侧板围设在所述顶板的边缘处；
柔性密封圈，所述柔性密封圈设于所述侧板的底端；其中，
当升降装置的升降端向下移动到位后，所述侧板通过所述柔性密封圈与所述底板密封连接，以使所述顶板、所述侧板和所述底板形成所述第二真空腔室。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述热压压接工位还包括：压力传感器，所述压力传感器设于所述压力装置上，用于监测所述压力装置的输出压力。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，还包括：
第一搬运机构，所述第一搬运机构沿所述上料装置、所述预烘工位、所述热压压接工位和所述还原工位的加工顺序设置，用于将位于所述上料装置的出口处的工件搬运至所述预烘工位的入口处、将位于所述预烘工位的出口处的工件搬运至所述热压压接工位的入口处、将位于所述热压压接工位的出口处的工件搬运至所述还原工位的入口处；
第二搬运机构，所述第二搬运机构沿所述还原工位、所述冷却工位和所述下料装置的加工顺序设置，用于将设于所述还原工位的出口处的工件搬运至所述冷却工位的入口处、将设于所述冷却工位的出口处的工件搬运至所述下料装置的入口处。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述第一搬运机构包括：
第一轨道，所述第一轨道沿所述上料装置、所述预烘工位、所述热压压接工位和所述还原工位的加工顺序设置；
第一移动部，所述第一移动部沿所述第一轨道可移动设置；
第一升降部，所述第一升降部的一端设于所述第一移动部上；
第一旋转部，所述第一旋转部的一端设于所述第一升降部的另一端；
第一搬运杆，所述第一搬运杆设于所述第一旋转部的另一端，用于工件搬运。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述第二搬运机构包括：
第二轨道，所述第二轨道沿所述还原工位、所述冷却工位和所述下料装置的加工顺序设置；
第二移动部，所述第二移动部沿所述第二轨道可移动设置；
第二升降部，所述第二升降部的一端设于所述第二移动部上；
第二旋转部，所述第二旋转部的一端设于所述第二升降部的另一端；
第二搬运杆，所述第二搬运杆设于所述第二旋转部的另一端，用于工件搬运。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述上料装置包括：
第一驱动电机；
第一滚轮，所述第一驱动电机与所述第一滚轮驱动连接；
第一输送带，所述第一输送带张紧设置在所述第一滚轮上；
第一挡停板，所述第一挡停板设置在所述第一输送带的靠近所述预烘工位的一端。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述下料装置包括：
第二驱动电机；
第二滚轮，所述第二驱动电机与所述第二滚轮驱动连接；
第二输送带，所述第二输送带张紧设置在所述第二滚轮上；
第二挡停板，所述第二挡停板设置在所述第二输送带的远离所述冷却工位的一端。
根据本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，所述预烘工位包括：
加热载台，所述加热载台设置于所述第一真空腔室内；
所述冷却工位包括：
第一腔室，所述第一腔室设有第一进气口；
水冷平台，所述水冷平台设置于所述第一腔室内。
本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，通过在热压压接工位和冷却工位之间设置还原工位，预烘工位和还原工位均包含了真空腔室，并利用真空腔室上的真空抽口和/或进气管路，可以对真空腔室进行抽真空或置换空气添加其他气氛，密封环境内也可以添加还原性介质，防止介质外溢，可以将芯片在预烘过程和压接过程产生的氧化物有效还原；在预烘过程中，先抽真空，注入还原性气氛从而还原氧化物，之后再进行预烘；并且，本系统是一种在线式压接设备，通过上料装置和下料装置实现自动上下料，且具备治具回流功能，预烘、热压、还原和冷却分工位进行，各个工位作业不冲突，可同时多个工件进行不同工位工序的加工处理，大大缩短了产品生产周期，提高加工效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明提供的具有还原功能的在线式热压压接设备的结构示意图；
图2是本发明提供的热压压接工位的结构示意图；
图3是本发明提供的还原工位的结构示意图。
附图标记：
1：上料装置；2：预烘工位；3：热压压接工位；31：压力装置；32：覆膜装置；33：压接装置；34：加热载体；4：还原工位；41：第二真空腔室；411：侧板；412：顶板；413：底板；414：柔性密封圈；42：升降装置；5：冷却工位；6：下料装置；7：第一搬运机构；71：第一轨道；72：第一搬运杆；8：第二搬运机构；81：第二轨道；82：第二搬运杆。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合图1-图3描述本发明的一种具有还原功能的在线式热压压接设备。该具有还原功能的在线式热压压接设备包括：上料装置1、预烘工位2、热压压接工位3、至少一个还原工位4、冷却工位5、下料装置6和搬运机构等。
其中，上料装置1用于将工件从热压压接设备入口处输送上料；预烘工位2设于上料装置1的出口处，用于对工件进行预烘；热压压接工位3设于预烘工位2的出口处，用于对工件进行压接；还原工位4设于热压压接工位3的进口处和/或出口处（以下实施例以还原工位4设于热压压接工位3的出口处进行说明），用于对工件进行还原；冷却工位5设于还原工位4的出口处，用于对工件进行冷却；下料装置6设于冷却工位5的出口处，用于将工件从热压压接设备出口处输送下料。
在该具有还原功能的在线式热压压接设备中，上料装置1、预烘工位2、热压压接工位3、还原工位4、冷却工位5和下料装置6依次连接形成在线式热压压接设备。其中，预烘工位2和冷却工位5根据实际加工条件可以设置一个也可以依次设置多个（本实施例中设置了两个预烘工位2和两个冷却工位5），工件沿上述装置和工位的连接顺序进行流转，并在各个工位上进行相应加工流程，保证在还原工位和预烘工位为真空条件，以及其他工位为惰性气氛条件或还原性气氛条件。
进一步地，预烘工位2包括：第一真空腔室，所述第一真空腔室设有第一真空抽口和/或第一进气管路，所述第一真空抽口用于对所述第一真空腔室进行抽真空，所述第一进气管路用于向所述第一真空腔室内输入还原性气体和/或惰性气体。在预烘过程中，需要先利用第一真空抽口将第一真空腔室抽真空，达到预定真空度后，然后利用第一进气管路注入还原性气氛，从而还原氧化物，之后再进行预烘，避免工件在预烘过程中氧化。进一步地，本实施例中串联设置了多个预烘工位2，其中，可以根据实际条件在对应地预烘工位2设置第一真空抽口和/或第一进气管路，在本实施例中，依次串联设置两个预烘工位2。
还原工位4包括：第二真空腔室41，第二真空腔室41设有第二真空抽口和/或第二进气管路，第二真空抽口用于对第二真空腔室41进行抽真空，第二进气管路用于向第二真空腔室41内输入还原性气体和/或惰性气体。上述还原性气体可以是甲酸气体或氢气等，其通过第二进气管路进入第二真空腔室41。在本实施例中，通过利用第二真空抽口和/或第二进气管路对还原工位4的加工条件进行限制，从而保证样品在压接完毕后，样品在真空条件、还原性气氛条件或惰性气氛条件下进行还原。另外，在第二真空腔室41内部装有独立温度控制的加热器。
在预烘工位2、热压压接工位3、还原工位4和冷却工位5中均设置了主腔室，第二真空腔室41由侧板411和顶板412围设而成，工位的进口和出口分别设置在相对的两个侧板411上，第二真空腔室41的底部敞口能够与主腔室的底板413进行密封连接，从而形成与外部环境隔绝的加工环境，通过抽气管路和/或第二进气管路实现对腔室内部的抽真空或在腔室内部填充还原性气氛、惰性气氛。同理地，第一真空腔室与第二真空腔室41的结构相同，不再赘述。
本发明提供的一种具有还原功能的在线式热压压接设备，通过在热压压接工位3和冷却工位5之间设置还原工位4，预烘工位2和还原工位4均包含了真空腔室，并利用真空腔室上的真空抽口和/或进气管路，可以对真空腔室进行抽真空或置换空气添加其他气氛，密封环境内也可以添加还原性介质，防止介质外溢，可以将芯片在预烘过程和压接过程产生的氧化物有效还原；在预烘过程中，先抽真空，注入还原性气氛从而还原氧化物，之后再进行预烘；并且，本系统是一种在线式压接设备，通过上料装置1和下料装置6实现自动上下料，且具备治具回流功能，预烘、热压、还原和冷却分工位进行，各个工位作业不冲突，可同时多个工件进行不同工位工序的加工处理，大大缩短了产品生产周期，提高加工效率。
在本发明的其中一个实施例中，热压压接工位3还包括：压力装置31、压接装置33和覆膜装置32，其中，压力装置31采用三板四柱式液压机。压接装置33设置在压力装置31的中间板上，压接装置33含有至少一个热压头，压接装置33上附带独立温度控制的加热装置，装置底部的装有单个压头或多个分体压头，可以实现1-80Mpa的压力控制，在压力装置31的底部设置加热载体34，与压接装置33配合使用；覆膜装置32设置在压力装置31的中间板上；其中，覆膜装置32包括：放卷端和收卷端，薄膜由放卷端引出后，经过压接装置33的下表面，再进入收卷端。在本实施例中，通过压力装置31驱动压接装置33和覆膜装置32下降，压接装置33与工件接触开始加压，压力达到设定值时，保持设定压力，保压达到预设时间后抬起，热压过程中可以添加工艺气体或还原性介质；薄膜从放卷端引出后，经过压接装置33的下表面，再进入收卷端，热压过的薄膜会被收卷端收起，薄膜的作用是保护热压时的芯片表面不被划伤。
进一步地，压力装置31可采用油缸驱动的液压装置，也可以采用电缸或气缸等代替提供压力。
在本发明的其中一个实施例中，第二真空腔室41包括：升降装置42、侧板411、顶板412和底板413以及柔性密封圈414。其中，顶板412固定在升降装置42的升降端，侧板411围设在顶板412的边缘处；柔性密封圈414设于侧板411的底端，且可采用环形密封圈的形式；在本实施例中，第二真空腔室41由侧板411、顶板412、侧板411上的柔性密封圈414以及底板413围设形成，在第二真空腔室41内设置加热器。具体来说，当压力装置31的中间板向下移动，并带动侧板411、顶板412和柔性密封圈414到位后，侧板411通过柔性密封圈414与底板413密封连接，以使顶板412、侧板411和底板413形成第二真空腔室41的密封环境。当升降装置42的升降端向下移动到位后，侧板411通过柔性密封圈414与底板413密封连接，以使顶板412、侧板411和底板413形成第二真空腔室41。当压力装置31的中间板向上升起时，侧板411与底板413分离，第二真空腔室41底部敞口打开，可以将工件放置到底板413上；之后，压力装置31驱动中间板下降，使得侧板411、顶板412与底板413通过柔性密封密封圈形成密封空间，通过第二真空抽口抽真空到预设真空值，也可以通过第二进气管路向第二真空腔室41内通入还原性气体或惰性气体等，将芯片在压接过程产生的氧化物有效还原，还原完成后释放真空，随后压力装置31的中间板向上抬起。
进一步地，上述的升降装置42中使用的是运动机构，其可以是气缸、电缸、油缸等结构。
在本发明的其中一个实施例中，热压压接工位3还包括：压力传感器，压力传感器设于压力装置31上，用于监测压力装置31的输出压力。
在本发明的其中一个实施例中，该具有还原功能的在线式热压压接设备还包括：第一搬运机构7和第二搬运机构8。其中，第一搬运机构7沿上料装置1、预烘工位2、热压压接工位3和还原工位4的加工顺序设置，用于将位于上料装置1的出口处的工件搬运至预烘工位2的入口处、将位于预烘工位2的出口处的工件搬运至热压压接工位3的入口处、将位于热压压接工位3的出口处的工件搬运至还原工位4的入口处；第二搬运机构8沿还原工位4、冷却工位5和下料装置6的加工顺序设置，用于将设于还原工位4的出口处的工件搬运至冷却工位5的入口处、将设于冷却工位5的出口处的工件搬运至下料装置6的入口处。
进一步地，第一搬运机构7包括：第一轨道71、第一移动部、第一升降部、第一旋转部和第一搬运杆72。其中，第一轨道71沿上料装置1、预烘工位2、热压压接工位3和还原工位4的加工顺序设置；第一移动部沿第一轨道71可移动设置；第一升降部的一端设于第一移动部上；第一旋转部的一端设于第一升降部的另一端；第一搬运杆72设于第一旋转部的另一端，用于工件搬运。具体来说，本实施例中的第一移动部、第一升降部、第一旋转部和第一搬运杆72构成了搬运机械手的结构，其中第一移动部作为机械手的水平移动单元沿第一轨道71移动，第一升降部作为机械手的竖直移动单元，第一旋转部作为机械手的旋转单元，能够驱动第一搬运杆72进行水平、高度和旋转调节，以将工件从上料装置1搬运至预烘工位2上。
同理地，第二搬运机构8包括：第二轨道81、第二移动部、第二升降部、第二旋转部和第二搬运杆82。其中，第二轨道81沿还原工位4、冷却工位5和下料装置6的加工顺序设置；第二移动部沿第二轨道81可移动设置；第二升降部的一端设于第二移动部上；第二旋转部的一端设于第二升降部的另一端；第二搬运杆82设于第二旋转部的另一端，用于工件搬运。具体来说，本实施例中的第二移动部、第二升降部、第二旋转部和第二搬运杆82构成了搬运机械手的结构，其中第二移动部作为机械手的水平移动单元沿第二轨道81移动，第二升降部作为机械手的竖直移动单元，第二旋转部作为机械手的旋转单元，能够驱动第二搬运杆82进行水平、高度和旋转调节，以将工件从冷却工位5搬运至下料装置6上。
在本发明的其中一个实施例中，上料装置1包括：第一驱动电机、第一滚轮、第一输送带和第一挡停板。其中，第一驱动电机与第一滚轮驱动连接；第一输送带张紧设置在第一滚轮上；第一挡停板设置在第一输送带的靠近预烘工位2的一端。在本实施例中，通过第一驱动电机带动第一滚轮转动，从而带动第一输送带运动，从而输送工件，当工件输送至第一输送带的末端（也即上料装置1的出口处）时，可通过第一挡停板限制工件的移动。
在本发明的其中一个实施例中，下料装置6包括：第二驱动电机、第二滚轮、第二输送带和第二挡停板。其中，第二驱动电机与第二滚轮驱动连接；第二输送带张紧设置在第二滚轮上；第二挡停板设置在第二输送带的远离冷却工位5的一端。在本实施例中，通过第二驱动电机带动第二滚轮转动，从而带动第二输送带运动，从而输送工件；当工件输送至第二输送带的末端（也即下料装置6的出口处）时，可通过第二挡停板限制工件的移动。
在本发明的其中一个实施例中，预烘工位2包括：加热载台。其中，加热载台设置于第一真空腔室内。冷却工位5包括：第一腔室和水冷平台。其中，第一腔室设有第一进气口；水冷平台设置于第一腔室内。在本实施例中，第一腔室可采用上述的第二真空腔室41的形式，并分别通过第一进气口向第一腔室内添加氮气或空气。具体来说，第一腔室属于长方体容器，容器的上下和前后四个面全部封闭，左右侧板上留有出、入口用来工件的进出；在加热载台和水冷平台上设有定位销轴，以保证放置工件或治具时可以精准定位。
基于以上实施例中的具有还原功能的在线式热压压接设备，其工作过程如下：
1. 上料：第一搬运机构7使用第一搬运杆72将上料装置1上的第一个工件搬运到预烘工位2的加热载台上，就完成了设备上料动作。
2. 工件预烘：第一个工件进入预烘工位2后，经过一段时间的加热后，上升到设定的温度，预烘过程中可以加入保护性气体或者工艺气体减少工件的氧化。
3. 工件压接：完成工件预烘后，第一搬运机构7将第一个工件搬运到热压压接工位，热压压接工位温度在200℃-400℃之间，此时覆膜装置32已完成覆膜动作，液压装置的中板带动压接装置33下压工件，压力达到设定值时，保持设定压力，保压达到预设时间后抬起，热压过程中可以添加工艺气体。
4. 工件还原：完成工件压接后，第二搬运机构8将第一个工件搬运到还原工位4，工位上的第二真空腔室41落下，第二真空腔室41抽真空，加入还原性气体，经过一段时间后排气抽真空，或启动水冷机构同时加入氮气冷却到预设温度后第二真空腔室41抬起。
5. 工件冷却：完成工件还原后，第二搬运机构8将第一个工件搬运到冷却工位5，需要在冷却工位5放置一段时间，冷却过程中可以添加空气、氮气或其它惰性气体。
6. 下料：完成工件冷却后，第二搬运机构8将第一个工件搬运到下料装置6，第一个工件的整个压接周期完成。
整个设备是在线式压接设备，在第一个工件从预烘工位进入热压压接工位时，第二个工件也同步从上料装置进入到了预烘工位，以此类推。此外，设备还可配置治具回流功能，当工件装在治具上时，还可以将治具从设备下料位置回流到上料位置。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (9)
1.一种具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，包括：
上料装置，用于将工件从入口处输送上料；
预烘工位，所述预烘工位设于所述上料装置的出口处，用于对工件进行预烘；
热压压接工位，所述热压压接工位设于所述预烘工位的出口处，用于对工件进行压接；
至少一个还原工位，所述还原工位设于所述热压压接工位的进口处和/或出口处，用于对工件进行还原；
冷却工位，所述冷却工位设于所述还原工位的出口处，用于对工件进行冷却；
下料装置，所述下料装置设于所述冷却工位的出口处，用于将工件从出口处输送下料；其中，
所述预烘工位包括：
第一真空腔室，所述第一真空腔室设有第一真空抽口和/或第一进气管路，所述第一真空抽口用于对所述第一真空腔室进行抽真空，所述第一进气管路用于向所述第一真空腔室内输入还原性气体和/或惰性气体；
所述还原工位包括：
第二真空腔室，所述第二真空腔室设有第二真空抽口和/或第二进气管路，所述第二真空抽口用于对所述第二真空腔室进行抽真空，所述第二进气管路用于向所述第二真空腔室内输入还原性气体和/或惰性气体；
所述热压压接工位还包括：
压力装置；
压接装置，所述压接装置设置在所述压力装置的中间板上；压接装置含有至少一个热压头；
覆膜装置，所述覆膜装置设置在所述压力装置的中间板上；其中，所述覆膜装置包括：
放卷端和收卷端，薄膜由放卷端引出后，经过所述压接装置的下表面，再进入收卷端。
2.根据权利要求1所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述第二真空腔室包括：
升降装置；
侧板、顶板和底板，所述顶板固定在所述升降装置的升降端，所述侧板围设在所述顶板的边缘处；
柔性密封圈，所述柔性密封圈设于所述侧板的底端；其中，
当升降装置的升降端向下移动到位后，所述侧板通过所述柔性密封圈与所述底板密封连接，以使所述顶板、所述侧板和所述底板形成所述第二真空腔室。
3.根据权利要求1或2所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述热压压接工位还包括：压力传感器，所述压力传感器设于所述压力装置上，用于监测所述压力装置的输出压力。
4.根据权利要求1所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，还包括：
第一搬运机构，所述第一搬运机构沿所述上料装置、所述预烘工位、所述热压压接工位和所述还原工位的加工顺序设置，用于将位于所述上料装置的出口处的工件搬运至所述预烘工位的入口处、将位于所述预烘工位的出口处的工件搬运至所述热压压接工位的入口处、将位于所述热压压接工位的出口处的工件搬运至所述还原工位的入口处；
第二搬运机构，所述第二搬运机构沿所述还原工位、所述冷却工位和所述下料装置的加工顺序设置，用于将设于所述还原工位的出口处的工件搬运至所述冷却工位的入口处、将设于所述冷却工位的出口处的工件搬运至所述下料装置的入口处。
5.根据权利要求4所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述第一搬运机构包括：
第一轨道，所述第一轨道沿所述上料装置、所述预烘工位、所述热压压接工位和所述还原工位的加工顺序设置；
第一移动部，所述第一移动部沿所述第一轨道可移动设置；
第一升降部，所述第一升降部的一端设于所述第一移动部上；
第一旋转部，所述第一旋转部的一端设于所述第一升降部的另一端；
第一搬运杆，所述第一搬运杆设于所述第一旋转部的另一端，用于工件搬运。
6.根据权利要求4所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述第二搬运机构包括：
第二轨道，所述第二轨道沿所述还原工位、所述冷却工位和所述下料装置的加工顺序设置；
第二移动部，所述第二移动部沿所述第二轨道可移动设置；
第二升降部，所述第二升降部的一端设于所述第二移动部上；
第二旋转部，所述第二旋转部的一端设于所述第二升降部的另一端；
第二搬运杆，所述第二搬运杆设于所述第二旋转部的另一端，用于工件搬运。
7.根据权利要求1所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述上料装置包括：
第一驱动电机；
第一滚轮，所述第一驱动电机与所述第一滚轮驱动连接；
第一输送带，所述第一输送带张紧设置在所述第一滚轮上；
第一挡停板，所述第一挡停板设置在所述第一输送带的靠近所述预烘工位的一端。
8.根据权利要求1所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述下料装置包括：
第二驱动电机；
第二滚轮，所述第二驱动电机与所述第二滚轮驱动连接；
第二输送带，所述第二输送带张紧设置在所述第二滚轮上；
第二挡停板，所述第二挡停板设置在所述第二输送带的远离所述冷却工位的一端。
9.根据权利要求1所述的具有还原功能的在线式热压压接设备，其特征在于，所述预烘工位包括：
加热载台，所述加热载台设置于所述第一真空腔室内；
所述冷却工位包括：
第一腔室，所述第一腔室设有第一进气口；
水冷平台，所述水冷平台设置于所述第一腔室内。
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