CN117006930A - 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法 - Google Patents
一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117006930A CN117006930A CN202311146939.4A CN202311146939A CN117006930A CN 117006930 A CN117006930 A CN 117006930A CN 202311146939 A CN202311146939 A CN 202311146939A CN 117006930 A CN117006930 A CN 117006930A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- observation
- deposition
- lump
- quartz
- spreading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 56
- 238000003892 spreading Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 230000007480 spreading Effects 0.000 title claims abstract description 56
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 36
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 77
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 12
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000012494 Quartz wool Substances 0.000 description 1
- 241000973497 Siphonognathus argyrophanes Species 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/28—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring areas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/26—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring areas, e.g. planimeters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，涉及观测技术领域。该cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。在融石英玻璃的坨料的生产过程中，沉积炉内的观测点温度高达800摄氏度以上，现有的观测一般是采用直筒形状的观测装置进行观测，存在观测筒的筒口处温度过高不利于使用者观测的问题。因此，本发明采用反射观测的方式对坨料的摊开情况进行观测，在观测过程中进行多次反射，降低温度对观察者的影响。
Description
技术领域
本发明涉及观测技术领域，尤其是涉及一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法。
背景技术
在运用cvd沉积工艺生产石英毛坨料的过程中，毛坨料随着沉积生长会缓慢地摊开。为实现通过温度调节准确控制其摊开量，需要对毛坨料的摊开量进行观测，以作为调节温度的节点依据。现有的观测装置为直筒状，观测装置的观测筒口处温度高，不便于使用者观测坨料的摊开情况。
发明内容
本发明为解决融石英玻璃在沉积时不便于观测的问题，提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，通过多次反射，观测坨料的摊开情况，降低观测过程中温度对观测的影响。
本发明采用的技术方案是：
一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，包括：
采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。
可选地，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，具体包括以下步骤：
S01、通过设置在观测筒内的反射镜将坨料的摊开情况进行实时反射；
S02、通过肉眼观测或基于机器视觉进行观测；
S03、根据观测结果判断坨料的摊开情况是否达到要求，如果是，则调整参数停止坨料的摊开；如果否，则继续控制坨料的摊开，直至其满足生产要求。
可选地，所述步骤S01中的观测筒内至少具有三个反射点，且相邻两反射点的反射镜面相对设置。
可选地，在步骤S01中的观测筒具有热交换功能。
可选地，在步骤S01中的观测筒内设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片的两侧均设置用于清理粉尘的气吹装置。
可选地，在步骤S01中的观测筒的观测端设置有降低强光的避光装置。
可选地，步骤S02中的肉眼观测的步骤包括：
S021、根据反射镜中的图像信息进行肉眼结合经验判断坨料的摊开情况。
可选地，步骤S02中的机器视觉进行观测的步骤包括：
S022、通过图像采集装置采集反射镜内的图像信息；
S023、将图像信息传输给数据处理中心，并通过数据处理中心进行图像信息比对。
可选地，在对石英坨料沉积面进行观测前，在支撑柱的顶部同轴安装同心环标准尺；通过图像采集装置采集同心环标准尺的图像信息，并生成比对图像；比对图像采集完成后，取出同心环标准尺。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、采用反射镜和图像采集装置的配合可解决因可视空间小不便于观测的问题。
2、将观测信号直接接入中控电脑系统，操作人员可远程对毛坨料沉积摊开量进行实时定量监测。
3、通过中控电脑进行对比降低观测误差。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法的流程示意图。
图2为cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法的观测装置安装在沉积炉内的结构示意图。
图3为cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法的观测装置的整体结构示意图。
图4为cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法的局部结构示意图。
附图标记：
1、观测筒；2、反射镜；3、图像采集装置；4、数据处理中心；5、沉积炉；51、升降台；52、支撑柱；6、同心环标准尺；7、控温组件；71、介质通道；72、介质进管；73、介质出管；8、气吹装置；9、玻璃镜片；10、绿光镜片。
具体实施方式
在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是本发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
下面结合附图对本发明的实施例进行详细说明。
本发明实施例提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，包括：采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉5的生产工艺。
在融石英玻璃的坨料的生产过程中，沉积炉5内的观测点温度高达800摄氏度以上，现有的观测一般是采用直筒形状的观测装置进行观测，存在观测筒1的筒口处温度高，不利于使用者观测的问题。因此，在原有沉积炉5的基础上将直筒观测装置改进为反射观测装置，通过光线多次反射对坨料的摊开情况进行观测，降低温度对观察者的影响。
如图1所示，具体的观测过程包括：
S01、通过设置在观测筒1内的反射镜2将坨料的摊开情况进行实时反射；其中为了进一步降低沉积炉5内的高温对观测点的影响，观测筒1内至少具有三个反射点，且相邻两反射点的反射镜2面相对设置。同时该观测筒1具有热交换功能。
为了提高观测时的图像清晰度，在观测筒1内设置有玻璃镜片9，玻璃镜片9的两侧均设置用于清理粉尘的气吹装置8。
在坨料的摊开过程中沉积炉5内会产生强光，为了避免强光影响使用者观测坨料的摊开情况，在观测筒1的观测端设置有降低强光的避光装置。该避光装置为绿光镜片10。
S02、通过肉眼观测或基于机器视觉进行观测；
S03、根据观测结果判断坨料的摊开情况是否达到要求，如果是，则调整参数停止坨料的摊开；如果否，则继续控制坨料的摊开，直至其满足生产要求。
在其中一种实施方式中，在观测过程中，为了降低高温对图像观测点的影响，在观测筒1内的反射镜2至少具有三个反射点，且相邻两反射点的反射镜2面相对设置，便于观测者通过反射镜2查看坨料的摊开情况。
在另外一种实施方式中，为了降低高温对图像观测点的影响，观测筒1具有五个反射点，每个反射点处均安装有反射镜2。
更具体的是，如图2和图3所示，观测筒1具有六段结构，相邻两段结构之间呈90度夹角。反射镜2安装在两段结构之间的转角处，反射镜2的镜片相对设置，方便将采集到的图像信息反馈给观测点的观测者。
将观测筒1设置为六段结构可有效避免沉积炉5内的热气通过观测筒1传递到观测点，对观测点的观测者造成影响。
在其中一个实施例中，为了进一步降低对观测点的热辐射影响，在观测筒1的侧壁内设置有介质通道71与介质通道71连通的介质进管72和介质出管73；介质进管72和介质出管73均与介质储存箱连通，通过泵将介质储存箱内的介质泵入介质进管72内，介质在通过介质进管72进入介质通道71内，然后通过介质出管73回到介质储存箱内。介质在循环流动的过程中将传递到观测筒1上的温度带走，降低传递到观测点的温度。需要进行说明的是，介质进管72位于观测点处，介质出管73位于靠近制坨机的一端。
在其中一个实施例中，如图4所示，为了避免坨料在摊开过程中粉尘落入观测筒1内，并附着在观测筒1内的反射镜2上，影响观测时的图像清晰度。因此在观测筒1内设置有玻璃镜片9，通过玻璃镜片9物理隔绝粉尘，
在玻璃镜片9的两端设置有用于清理粉尘的气吹装置8，通过气吹装置8将粉尘从玻璃镜片9上吹走。需要进行说明的是，由于沉积炉5内的温度在800摄氏度以上一般的玻璃无法满足其使用需求，因此该玻璃镜片9为石英玻璃。
在其中一个实施例中，步骤S02中的肉眼观测的步骤包括：
S021、根据反射镜2中的图像信息进行肉眼结合经验判断坨料的摊开情况。
在使用时通过绿光镜片10观测反射镜2内的图像信息，根据观测到的图像信息结合实际的生产工作经验判断坨料的摊开情况，根据坨料的摊开情况控制沉积炉5的生产工艺。
在其中一个实施例中，步骤S02中的机器视觉进行观测的步骤包括：
S022、通过图像采集装置3采集反射镜2内的图像信息；该图像采集装置3为工业摄像机。
S023、将图像信息传输给数据处理中心4，并通过数据处理中心4进行图像信息比对。
在采用机器视觉进行观测时，一般的电子检测设备无法直接观测坨料的实时生长情况。因此我们为了避免图像采集设备直接处于高温环境中，造成图像采集设备的损坏，我们采用反射镜2将图像反射至高温环境区域外进行采集，提高图像采集设备的使用寿命。
图像采集装置3采集的图像信息与数据处理中心4的标准图像信息进行对比，有效降低了观测误差。在观测过程中通过多段的观测筒1，以及设置在观测筒1侧壁内的介质通道71，降低沉积炉5内的热气对图像采集装置3的影响。在采集过程中通过石英镜片和设置在石英晶片两侧的气吹装置8降低粉尘对图像清晰度的影响。
在坨料的摊开过程中，沉积炉5内会产生强光，为了降低强光对图像信息的影响在图像采集装置3的采集部一端设置了绿光镜片10，通过绿光镜片10降低强光对图像采集装置3的影响。
根据图像信息对比的结果调整沉积炉5的生产工艺，当坨料达到预设要求，沉积炉5停止坨料的生产；坨料的摊开情况不满足预设要求，则沉积炉5继续生产，使其达到预设要求后再控制其停机。
需要进行进一步限定的是，为了避免在坨料的摊开过程中观测筒1与支撑柱52发生干涉，将观测筒1设置在升降台51上，使得支撑柱52在升降台51上转动时不会与观测筒1发生干涉。将图像采集装置3设置在升降台51的底部，是为了使得该图像采集装置3远离观测筒1的采集点入口，降低沉积炉5内的温度对其的影响。
其中一个实施例中，在对石英坨料沉积面进行观测前，在支撑柱52的顶部同轴安装同心环标准尺6；通过图像采集装置3采集同心环标准尺6的图像信息，并生成比对图像；比对图像采集完成后，取出同心环标准尺6。
避免同心环标准尺6在观测过程中影响观测视线，在通过图像采集装置3采集图像后将其取下，中控电脑根据图像采集装置3采集到的图像信息生成对比图像。当在进行坨料摊开时，在支撑柱52的顶部放置有隔离垫片，坨料在隔离垫片上摊开，最后坨料的直径大于隔离垫片的尺寸（坨料摊开后的直径大于支撑柱的直径）。设置隔离垫片是为了避免摊开的坨料粘结在支撑柱52上，导致后续无法将坨料从支撑柱52上取下。
由于坨料的摊开直径大于支撑柱52的直径，因此可通过设置在支撑柱52一侧的观测装置进行观测。观测过程中通过图像采集装置3采集摊开过程中的图像，然后与对比图像进行对比，通过对比判断摊开是否符合要求。
具体的观测方法：
将观测筒1和图像采集装置3安装在升降台51上，此时图像采集装置3的采集端设置有绿光镜片10，该绿光镜片10安装后朝向观测筒1设置。观测筒1具有六段且依次连接，其中第一段、第三段和第五段水平设置，第二段、第四段和第六端竖直设置，第一段设置在升降台51的底部，第六段竖直设置在支撑柱52的一侧。相邻两段之间的拐角处均设置有反射镜2。在观测前安装同心环标准尺6至支撑柱上，然后通过图像采集装置3进行图像的采集，中控电脑根据采集的图像信息生成对比图像，生成对比对图像后将安装在支撑柱52上的同心环标准尺6取下。
在观测过程中，通过设置在第六段和第五段拐角处的反射镜2将制坨机上的坨料图像信息进行反射，最后反射至第一段和第二段拐角处的反射镜2内。图像采集装置3通过该反射镜2将图形信息进行采集，采集后将信息传输给中控电脑系统进行数据对比（坨料摊开的实时图像和对比图像进行对比），对比后可知坨料目前的生长状态是否已经满足需求，如果是，则调整参数停止坨料的摊开；如果否，则继续控制坨料的摊开，直至其满足生产要求。
需要进行说明的是，本实施例中所记载的观测方法便于观测者实时了解坨料的生长情况，而肉眼观测主要为定时观测，且定时观测需要操作人员通过肉眼进行判断坨料的生长情况，因此在观测过程中依赖于工作经验，同时不同的人观测也会观测出不同的生长情况来，存在一定的误差。因此，本实施例的技术方案通过图像信息进行对比，减少观测过程中因人为所造成的误差。
在观测过程中为了提高图像采集的清晰度，在观测筒1的第六段内设置了玻璃镜片9，通过玻璃镜片9物理隔离沉积炉5内的粉尘。同时在玻璃镜片9的两侧设置了气吹装置8，通过气吹装置8将玻璃镜片9上的粉尘吹走，进一步提高反射镜2反射的图像的清晰度。
该气吹装置8包括设置在玻璃镜片9两面的气吹管，气吹管与外部供气装置连接即可。
在观测过程中，由于沉积炉5内的温度可达800摄氏度以上，为了避免大量的热量顺着观测筒1传递至图像采集装置3处，对图像采集装置3造成热辐射。因此在观测筒1的侧壁内设置有介质通道71，介质通道71连接有介质进管72和介质出管73，介质储存箱内的冷却介质通过泵进入介质进管72内，然后在进入介质通道71，最后通过介质出管73回到介质储存箱内，完成冷却介质的循环。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。
2.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，具体包括以下步骤：
S01、通过设置在观测筒内的反射镜将坨料的摊开情况进行实时反射；
S02、通过肉眼观测或基于机器视觉进行观测；
S03、根据观测结果判断坨料的摊开情况是否达到要求，如果是，则调整参数停止坨料的摊开；如果否，则继续控制坨料的摊开，直至其满足生产要求。
3.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，所述步骤S01中的观测筒内至少具有三个反射点，且相邻两反射点的反射镜面相对设置。
4.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在步骤S01中的观测筒具有热交换功能。
5.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在步骤S01中的观测筒内设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片的两侧均设置用于清理粉尘的气吹装置。
6.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在步骤S01中的观测筒的观测端设置有降低强光的避光装置。
7.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，步骤S02中的肉眼观测的步骤包括：
S021、根据反射镜中的图像信息进行肉眼结合经验判断坨料的摊开情况。
8.根据权利要求2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，步骤S02中的机器视觉进行观测的步骤包括：
S022、通过图像采集装置采集反射镜内的图像信息；
S023、将图像信息传输给数据处理中心，并通过数据处理中心进行图像信息比对。
9.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，在对石英坨料沉积面进行观测前，在支撑柱的顶部同轴安装同心环标准尺；通过图像采集装置采集同心环标准尺的图像信息，并生成比对图像；比对图像采集完成后，取出同心环标准尺。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311146939.4A CN117006930B (zh) | 2023-09-07 | 2023-09-07 | 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311146939.4A CN117006930B (zh) | 2023-09-07 | 2023-09-07 | 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117006930A true CN117006930A (zh) | 2023-11-07 |
| CN117006930B CN117006930B (zh) | 2023-12-08 |
Family
ID=88569230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311146939.4A Active CN117006930B (zh) | 2023-09-07 | 2023-09-07 | 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117006930B (zh) |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101443898A (zh) * | 2006-03-16 | 2009-05-27 | 能源变换设备有限公司 | 带有磁性支承的高吞吐量沉积设备 |
| CN101868072A (zh) * | 2009-04-20 | 2010-10-20 | 清华大学 | 线热源的制备方法 |
| CN201626968U (zh) * | 2010-02-10 | 2010-11-10 | 北京神网创新科技有限公司 | 带有侧视分光器的高炉风口观察装置 |
| CN107478175A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-12-15 | 东南大学 | 一种原子层沉积薄膜原位监测控制系统 |
| TWM571688U (zh) * | 2018-12-21 | Comb and comb assembly assembly | ||
| CN113387550A (zh) * | 2021-07-03 | 2021-09-14 | 四川神光石英科技有限公司 | 一种提高石英玻璃均匀性的方法 |
| CN115219556A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-10-21 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种用于燃烧特性实验装置的长时观测系统 |
| CN115353277A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-11-18 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种合成石英的沉积窑炉及制备方法 |
| CN115655404A (zh) * | 2022-09-07 | 2023-01-31 | 江油神光石英科技有限公司 | 沉积炉观测装置 |
| CN116446004A (zh) * | 2023-04-28 | 2023-07-18 | 西北工业大学 | 一种基于超快激光表面改性的定域电化学沉积方法 |
-
2023
- 2023-09-07 CN CN202311146939.4A patent/CN117006930B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWM571688U (zh) * | 2018-12-21 | Comb and comb assembly assembly | ||
| CN101443898A (zh) * | 2006-03-16 | 2009-05-27 | 能源变换设备有限公司 | 带有磁性支承的高吞吐量沉积设备 |
| CN101868072A (zh) * | 2009-04-20 | 2010-10-20 | 清华大学 | 线热源的制备方法 |
| CN201626968U (zh) * | 2010-02-10 | 2010-11-10 | 北京神网创新科技有限公司 | 带有侧视分光器的高炉风口观察装置 |
| CN107478175A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-12-15 | 东南大学 | 一种原子层沉积薄膜原位监测控制系统 |
| CN113387550A (zh) * | 2021-07-03 | 2021-09-14 | 四川神光石英科技有限公司 | 一种提高石英玻璃均匀性的方法 |
| CN115219556A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-10-21 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种用于燃烧特性实验装置的长时观测系统 |
| CN115353277A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-11-18 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种合成石英的沉积窑炉及制备方法 |
| CN115655404A (zh) * | 2022-09-07 | 2023-01-31 | 江油神光石英科技有限公司 | 沉积炉观测装置 |
| CN116446004A (zh) * | 2023-04-28 | 2023-07-18 | 西北工业大学 | 一种基于超快激光表面改性的定域电化学沉积方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117006930B (zh) | 2023-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6584356B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理装置の処理方法 | |
| JP2017183496A (ja) | 基板処理装置の管理方法、及び基板処理システム | |
| TWI635922B (zh) | 雷射照射設備 | |
| CN117006930B (zh) | 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法 | |
| US20150131698A1 (en) | Low temperature rtp control using ir camera | |
| CN107340305A (zh) | 一种用于移液吸头的检测机构及检测方法 | |
| CN110526573A (zh) | 一种ovd制造光纤预制棒的智能控制系统及方法 | |
| JP2018100195A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
| CN108627956A (zh) | 一种宽工作距离线扫机器视觉镜头 | |
| CN206074990U (zh) | 镜头测试系统 | |
| JP6562864B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理装置の調整方法 | |
| KR20230157477A (ko) | 개별 램프들을 광학적으로 모니터링하기 위한 방법들, 시스템들, 및 장치 | |
| CN108957705A (zh) | 一种无热化超广角高清车载镜头 | |
| US11340440B2 (en) | Real-time monitoring microscopic imaging system for nitride MOCVD epitaxial growth mode | |
| CN116294664A (zh) | 一种工业炉窑体数据监测装置 | |
| CN211438700U (zh) | 一种激光跟踪模块及焊接设备 | |
| CN103454769A (zh) | 光学系统、曝光装置以及制造器件的方法 | |
| CN205484118U (zh) | 一种玻璃瓶缺陷暗室检测装置 | |
| CN220820362U (zh) | 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置 | |
| CN209823899U (zh) | 一种蒸汽发生器水室环境图像采集系统 | |
| JP2017183498A (ja) | 基板処理装置、及び基板処理装置の撮像方法 | |
| JP5445499B2 (ja) | 観察装置 | |
| CN206832191U (zh) | 一种胶阀针头标定系统 | |
| US10563935B2 (en) | Aseptic high temperature heat exchanger inspection system | |
| CN218362562U (zh) | 基于机器视觉深度学习技术的高频感应钎焊系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |