CN116981148A - 半导体螺旋电极、等离子体发生装置及空气净化器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及等离子体放电技术领域，公开了一种半导体螺旋电极、等离子体发生装置及空气净化器，其中，半导体螺旋电极，包括：内电极，其外包裹有绝缘层，内电极适于接交流电源高压端；螺旋电极，其螺旋绕设于绝缘层外周，并适于接地，螺旋电极包括螺旋绕设于绝缘层的外周的半导材料电极和金属电极，金属电极与半导材料电极相抵靠。本发明的半导体螺旋电极能够克服现有的半导体螺旋电极的起晕电压较高，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

Description

半导体螺旋电极、等离子体发生装置及空气净化器

技术领域

本发明涉及等离子体放电技术领域，具体涉及一种半导体螺旋电极、等离子体发生装置及空气净化器。

背景技术

随着社会经济的发展，居民对住宅室内装修的要求也越来越高。大规模装修材料和建筑材料的使用，使得室内空气中甲醛、TVOC等污染物的浓度超标，对人们的身体健康产生了影响。目前，室内空气污染的净化方法有通风法、植物净化法、微生物法、物理化学吸附法和等离子体法等。

由于低温等离子体中存在高能电子、激发态粒子及活性基团等，利用等离子体放电可有效地催化降解有害气体，因此，其被越来越多地应用于空气净化等领域。等离子体放电包括电晕放电和辉光放电，由于辉光放电的放电面积较大，等离子体密度较高，因此其具有很好的应用前景。在一般情况下，辉光放电等离子体多在低气压或稀有气体环境下生成。

相关现有技术利用碳纤维材料形成的半导体螺旋电极结构，可以实现在大气压条件下产生大面积的辉光放电的效果，并可实现连续稳定的大气压空气辉光放电，放电效果较好。但是起晕电压较高，放电过程中会产生大量的臭氧，且对电源的功率要求较高，不利于推广和应用。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种半导体螺旋电极、等离子体发生装置及空气净化器，以解决现有技术中的半导体螺旋电极的起晕电压较高，放电过程中会产生大量的臭氧，且对电源的功率要求较高，不利于推广和应用的问题。

第一方面，本发明提供了一种半导体螺旋电极，包括：

内电极，其外包裹有绝缘层，内电极适于接交流电源高压端；

螺旋电极，其螺旋绕设于绝缘层外周，并适于接地，螺旋电极包括螺旋绕设于绝缘层的外周的半导材料电极和金属电极，金属电极与半导材料电极相抵靠。

有益效果：

本实施例的半导体螺旋电极中，螺旋电极包括螺旋绕设于绝缘层的外周的半导材料电极和螺旋绕设于绝缘层的外周上并与半导材料电极相抵靠的金属电极。使用半导材料电极常规放电的起晕电压一般为4KV，本实施例的半导体螺旋电极采用内电极与螺旋电极的接触面进行辉光放电，由此降低了半导体螺旋电极的起晕电压。并采用了介质阻挡放电来防止放电过程中出现火花放电。

同时本实施例使用金属电极和半导材料电极相互结合放电，金属电极的起晕电压较低(一般为500-600v左右)，容易产生初始电子。金属电极产生的初始电子撞击半导材料电极，由此降低半导体螺旋电极的起晕电压(与金属电极相互混杂后，半导体螺旋电极的起晕电压约为1KV)。半导材料电极能够抑制火花放电，实现均匀稳定放电。

因此，本发明的半导体螺旋电极能够克服现有的半导体螺旋电极的起晕电压较低，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

在一种可选的实施方式中，半导材料电极包括碳纤维束；或，

半导材料电极包括支撑丝和形成在支撑丝表面上的碳层。

有益效果：

当半导材料电极选择为包括支撑丝和形成在支撑丝表面上的碳层时，相比于碳纤维束具有耐弯折强度高，不易在缠绕过程中或放电过程中产生毛刺的优势。

在一种可选的实施方式中，金属电极为与半导材料电极相抵靠的金属丝；或，

金属电极为多个丝状结构编织成的金属网，金属网包裹于半导材料电极外。

在一种可选的实施方式中，金属电极为金属丝，金属丝绕设于碳纤维束外；或，

金属丝和半导材料电极编织为一体；或，

半导材料电极螺旋绕设于金属丝外。

在一种可选的实施方式中，内电极为镀银铜丝。

在一种可选的实施方式中，半导体螺旋电极包括一根螺旋电极，螺旋电极缠绕的螺距为d2,1mm≤d2≤8mm；和/或，

半导体螺旋电极包括多根螺旋电极，多根螺旋电极均匀交替缠绕在内电极上，相邻的两根螺旋电极的间距为d3,1mm≤d3≤8mm。

有益效果：

当半导体螺旋电极设置成包括多根螺旋电极时，能够使得在螺旋电极的螺距不变的情况下，单根螺旋电极缠绕的角度较大，避免了螺旋电极缠绕弧度大导致增大半导材料电极起毛刺的风险。

在一种可选的实施方式中，碳纤维束包括n根碳纤维丝，20≤n≤1500。

在一种可选的实施方式中，绝缘层的材料为聚四氟乙烯；或，

绝缘层的材料为陶瓷；或，

绝缘层的材料为聚酰亚胺。

第二方面，本发明还提供了一种等离子体发生装置，包括本发明第一方面的半导体螺旋电极。

有益效果：

本发明第二方面的等离子体发生装置包括或使用了本发明第一方面的半导体螺旋电极，因此具有了其有益效果，即本实施例使用金属电极和半导材料电极相互结合放电，金属电极的起晕电压较低(一般为500-600v左右)，容易产生初始电子。金属电极产生的初始电子撞击半导材料电极，由此降低半导体螺旋电极的起晕电压(与金属电极相互混杂后，半导体螺旋电极的起晕电压约为1KV)。半导材料电极能够抑制火花放电，实现均匀稳定放电。

因此，本发明的等离子体发生装置能够克服现有的半导体螺旋电极的起晕电压较低，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

第三方面，本发明还提供了一种空气净化器，包括本发明第二方面的等离子体发生装置。

有益效果：

本发明第三方面的空气净化器由于包括或使用了本发明第二方面的等离子体发生装置，因此具有了其有益效果，即本实施例使用金属电极和半导材料电极相互结合放电，金属电极的起晕电压较低(一般为500-600v左右)，容易产生初始电子。金属电极产生的初始电子撞击半导材料电极，由此降低半导体螺旋电极的起晕电压(与金属电极相互混杂后，半导体螺旋电极的起晕电压约为1KV)。半导材料电极能够抑制火花放电，实现均匀稳定放电。

因此，本发明的空气净化器能够克服现有的半导体螺旋电极的起晕电压较低，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本发明第一方面的螺旋电极，在该螺旋电极中，金属电极为包裹在半导材料电极外的金属网；

图2为图1中的A处放大图；

图3为本发明第一方面的半导体电机的剖视图，该半导材料电极包括支撑丝和形成在支撑丝的外周上的碳层；

图4为本发明第一方面的半导体螺旋电极的螺旋电极，在该螺旋电极中，金属电极螺旋环绕于碳纤维束的外周；

图5示出了本发明第一方面的半导体螺旋电极的螺旋电极，在该螺旋电极中，碳纤维束和金属电极编织为一体；

图6示出了本发明第一方面的半导体螺旋电极的螺旋电极，在该螺旋电极中，碳纤维束螺旋环绕于金属电极的外周；

图7示出了本发明第一方面的半导体螺旋电极，该螺旋电极包括一根螺旋电极；

图8示出了本发明第一方面的半导体螺旋电极，该螺旋电极包括两根螺旋电极；

图9示出了本发明第二方面的等离子体发生装置。

附图标记说明：

10、半导体螺旋电极；1、内电极；2、绝缘层；3、螺旋电极；31、半导材料电极；311、支撑丝；312、碳层；32、金属电极；100、等离子体发生装置；101、限流电阻。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面结合图1至图9，描述本发明的实施例。

根据本发明的实施例，一方面，提供了一种半导体螺旋电极10，主要包括内电极1和螺旋电极3。其中，内电极1外包裹有绝缘层2，内电极1适于接交流电源高压端。螺旋电极3螺旋绕设于绝缘层2外周，并适于接地。螺旋电极3包括螺旋绕设于绝缘层2的外周的半导材料电极31和金属电极32，金属电极32与半导材料电极31相抵靠。

本实施例的半导体螺旋电极10中，螺旋电极3包括螺旋绕设于绝缘层2的外周的半导材料电极31和螺旋绕设于绝缘层2的外周上并与半导材料电极31相抵靠的金属电极32。使用半导材料电极31常规放电的起晕电压一般为4KV，本实施例的半导体螺旋电极10采用内电极1与螺旋电极3的接触面进行辉光放电，由此降低了半导体螺旋电极10的起晕电压。并采用了介质阻挡放电来防止放电过程中出现火花放电。

同时本实施例使用金属电极32和半导材料电极31相互结合放电，金属电极32的起晕电压较低(一般为500-600v左右)，容易产生初始电子。金属电极32产生的初始电子撞击半导材料电极31，由此降低半导体螺旋电极10的起晕电压(与金属电极32相互混杂后，半导体螺旋电极10的起晕电压约为1KV)。半导材料电极31能够抑制二次发生的等离子体密度，防止放电过程中出现火花放电，实现均匀稳定放电。

因此，本发明的半导体螺旋电极10能够克服现有的半导体螺旋电极10的起晕电压较低，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

其中，半导材料电极31指电阻率为ρ的电极，5Ω.cm≤ρ≤50Ω.cm。半导材料电极31与金属电极32相配合，能够提高抑制二次发生等离子体密度，确保等离子体维持在稳定的均匀放电。

在一个实施例中，半导材料电极31包括碳纤维束；或，

如图3所示，半导材料电极31包括支撑丝311和形成在支撑丝311的外周上的碳层312。

支撑丝311优选但不限于为金属丝或绝缘丝。金属丝优选但不限于为铜丝等。绝缘丝优选但不限于为聚四氟乙烯细丝或尼龙丝等。

现有的半导体螺旋电极10包括内电极1、包裹于内电极1表面上的绝缘层2以及螺旋缠绕于绝缘层2外的碳纤维束。半导体螺旋电极10工作时，放电形成在绝缘层2的表面并位于相邻的两匝碳纤维束11之间。碳纤维束11一般包括1000-6000根碳纤维丝。因此，一旦碳纤维束11呈平铺状缠绕于绝缘层2的表面，就会严重占用半导体螺旋电极10的放电面积，导致降低半导体螺旋电极10的放电效果。

本实施例的螺旋电极3包括半导材料电极31和金属电极32。当半导材料电极31的支撑丝311的直径越细越能够减小螺旋电极3占用的放电面积。在一个实施例中，支撑丝311的直径优选为d1,d1，0.01mm≤d1≤3mm。当支撑丝311的直径大于上述范围时，有可能会导致螺旋电极3的直径较大，螺旋电极3占用较大的放电面积，阻碍半导体螺旋电极10的放电效果的提升。当支撑丝311的直径小于上述范围时，有可能导致支撑丝311的强度不够，容易在缠绕过程中被拉断。当支撑丝311选择为纳米级的细丝时，由碳纤维电极能够缠绕纳米级的细丝能够制成直径更小的螺旋电极3，以使得螺旋电极3能够占用更少的放电面积，进一步提升碳纤维螺旋电极3的放电效果。

同时，纳米细丝导电性强，能在非常低的电压下产生的激发态电子，如果不采用半导材料电极31包裹压制，初始电子浓度太高，容易产生激烈的丝状放电；本发明利用半导材料电极31本身导电性特点及纤维丝单根直径非常细的特点，包裹在纳米金属细丝表面，抑制金属丝放电太强产生丝状放电的问题。

碳层312可选为由石墨、石墨烯和碳粉中至少之一通过丝印、涂覆或喷涂等方式附着在支撑丝311表面上形成。

需要注意的是，虽然石墨、石墨烯和碳粉等材料自身并不属于半导体材料，但是将其包裹在支撑丝311的外周上之后能够得到电阻率接近于碳纤维束的半导材料电极31。在支撑丝311的表面形成碳层312制成的半导材料电极31相比于碳纤维束具有耐弯折强度高，不易在缠绕过程中或放电过程中产生毛刺的优势。

作为可变换的实施方式，半导材料电极31还可选为表面有碳粉的钨丝或镍络合金丝等。

在一个实施例中，金属电极32可以是与半导材料电极31相抵靠的金属丝，也可是多个丝状结构编织成的金属网。如图1和图2所示，金属网包裹于半导材料电极31外，金属电极32还可以是采用如注塑和/或冲压和/或喷涂等特殊工艺将金属注塑或印制到绝缘层2上。

优选地，在本实施中，金属电极32为金属丝。如图4所示的实施例中，金属丝被设置成绕设于半导材料电极31外。如图5所述的实施例中，金属丝和半导材料电极31编织为一体。

当半导材料电极31选择为碳纤维束时，金属丝不但能够降低半导体螺旋电极10的起晕电压，而且能够对碳纤维束进行压制，有效地压制碳纤维束外表面的毛刺，避免毛刺尖端放电击穿现象发生，从而使得放电更均匀，避免产生异常放电，延长了半导体螺旋电极10的寿命，同时也避免了毛刺放电产生过多的无用功，影响放电能效的问题，使得所述半导体螺旋电极10始终保持良好的放电性能，从而能够满足产品长效去除甲醛等有机物的需求，还能够将碳纤维束约束成捆状，有效缩小碳纤维束的宽度，避免碳纤维束平铺在绝缘层2外导致占用半导体螺旋电极10的放电面积，能够有效提升发电效果。

此外，金属丝还能够代替碳纤维束承担缠绕过程中的拉力，以使得缠绕过程中产生的拉力不会全部作用于碳纤维束，这就大大降低了碳纤维束在缠绕过程中受到拉扯而起毛刺甚至被拉断的风险。

在如图6所示的实施例中，半导材料电极31螺旋绕设于金属丝的外周。优选地，当半导材料电极31螺旋绕设于金属丝的外周时，金属丝能够置于半导材料电极31的中央，通过如此设置，能够保证金属电极32产生的初始电子与半导材料电极31相碰撞，半导材料电极31能够有效地抑制二次发生等离子体密度，确保半导体螺旋电极10稳定的均匀放电。

在本实施例中，金属丝不但能够降低半导体螺旋电极10的起晕电压，还能够将碳纤维束约束在其表面，碳纤维束无法在绝缘层2的外周上铺开，避免了半导材料电极31占用较大的放电面积，导致影响半导体螺旋电极10的放电效果。

其中，碳纤维束优选为日本东丽的碳纤维束。

可选地，所述内电极1的直径为d4,0.1mm≤d4≤8mm。优选地，所述内电极1的直径为1.2mm。所述内电极1可以是金属实心或者空心结构。

本实施例中，所述内电极1为金属材料。可选地，所述内电极1为金属丝，所述内电极1的截面为圆形、椭圆形、长方形或者其他多边形状。优选地，所述内电极1截面呈圆形。

优选地，所述内电极1为银丝。更优地，所述内电极1为镀银铜丝，所述内电极1采用镀银铜丝导电效果更好。

作为可变换的实施方式，内电极1为涂覆有导电材料的绝缘材料。导电材料优选但不限于为金属银、铜和钨等导电金属材料。

可选地，所述绝缘层2为聚四氟乙烯，厚度为w2，0.001um≤w2≤2200um，优选地，所述绝缘层2厚度为0.2mm，可通过喷涂工艺将所述聚四氟乙烯均匀地喷涂在所述内电极1外表面以形成所述绝缘层2。

作为可变换的实施方式，绝缘层2的材料还可选为陶瓷或聚酰亚胺等。

半导体螺旋电极10可选为包括一根或多根螺旋电极3。在如图7所示的实施例中，半导体螺旋电极10包括一根螺旋电极3。螺旋电极3缠绕的螺距为d2,1mm≤d2≤8mm。在一个更优的实施例中，2.5mm≤d2≤3.5mm。内电极1的直径越大，需要的螺距越小。内电极1的直径越小，需要的螺距越大。在同等直径下，螺距越大，等离子体密度越小。在一个优选的实施例中，螺旋电极3缠绕的螺距为3mm。采用半导材料电极31紧密缠绕形成的半导体螺旋电极10结构，在整个电极表面产生了包裹性的非均匀电场，可在1.8kV交流电压下形成均匀的辉光放电。

优选地，所述半导材料电极31采用碳纤维束，碳纤维直径越细越好，半导材料电极31包括n根碳纤维丝，20≤n≤1500。

优选地，本实施例中所述半导材料电极31为50根碳纤维丝组成碳纤维束，碳纤维丝单根直径为d5,0.005mm≤d5≤0.007mm。

在如图8所示的实施例中，半导体螺旋电极10包括多根螺旋电极3，多根螺旋电极3均匀交替缠绕在内电极1上，相邻的多根螺旋电极3的间距为d3,1mm≤d3≤8mm。在一个更优的实施例中，2.5mm≤d3≤3.5mm。内电极1的直径越大，需要的螺距越小。内电极1的直径越小，需要的螺距越大。在同等直径下，螺距越大，等离子体密度越小。这使得在螺旋电极3的螺距不变的情况下，单根螺旋电极3缠绕的角度较大，避免了螺旋电极3缠绕弧度大导致增大半导材料电极31起毛刺的风险。

根据本发明的实施例，第二方面，还提供了一种离子体发生装置，包括上述实施例的半导材料电极31。

如图9所示，实施例2提供了一种等离子体发生装置100，包括上述实施例1中的半导体螺旋电极10。采用半导体螺旋电极10，能实现在小体积的条件下产生高密度的等离子体浓度，大大缩小等离子体放电设备的体积，可以在任何需要产生等离子体的空间使用。

另外，本发明实施例2的等离子体发生装置100由于包括或使用了实施例1的半导体螺旋电极10，因此具有了其有益效果，即本实施例使用金属电极32和半导材料电极31相互结合放电，金属电极32的起晕电压较低(一般为500-600v左右)，容易产生初始电子。金属电极32产生的初始电子撞击半导材料电极31，由此降低半导体螺旋电极10的起晕电压(与金属电极32相互混杂后，半导体螺旋电极10的起晕电压约为1KV)。半导材料电极31能够抑制火花放电，实现均匀稳定放电。

因此，本发明的等离子体发生装置100能够克服现有的半导体螺旋电极10的起晕电压较低，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

在如图9所示的实施例中，提供了一种等离子体发生装置100，包括上述实施例一中的半导体螺旋电极10、以及与所述半导体螺旋电极10串联的第一限流电阻101。本实施例提供的等离子体发生装置100，本发明实施例的等离子体发生装置100可以在任何小空间范围内满足杀菌消毒及去除气态污染物的效果。并且，无需增大放电电极的直径即可实现增大了放电面积，降低了放电电压，产生的臭氧低。

根据本发明的实施例，第三方面，还提供了一种空气净化器，包括上述实施例2的等离子体发生装置100。

本发明实施例的空气净化器采用半导体螺旋电极10，能实现在小体积的条件下产生高密度的等离子体浓度，大大缩小等离子体放电设备的体积，可以在任何需要产生等离子体的空间使用。

另外，实施例3的空气净化器由于包括或使用了实施例2的等离子体发生装置100，因此具有了其有益效果，即本实施例使用金属电极32和半导材料电极31相互结合放电，金属电极32的起晕电压较低(一般为500-600v左右)，容易产生初始电子。金属电极32产生的初始电子撞击半导材料电极31，由此降低半导体螺旋电极10的起晕电压(与金属电极32相互混杂后，半导体螺旋电极10的起晕电压约为1KV)。半导材料电极31能够抑制火花放电，实现均匀稳定放电。

因此，本发明的空气净化器能够克服现有的半导体螺旋电极10的起晕电压较低，不利于推广和应用的缺陷，其能够降低电源功率，且放电均匀稳定，便于推广和应用。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。

对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上所述仅为本发明的优选实施方式，但本发明保护范围并不局限于此，任何本领域的技术人员在本发明公开的技术范围内，可容易地进行改变或变化，而这种改变或变化都应涵盖在本发明的保护范围之内。

因此，本发明的保护范围应以权利要求书的保护范围为准。只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种半导体螺旋电极，其特征在于，包括：

内电极(1)，其外包裹有绝缘层(2)，所述内电极(1)适于接交流电源高压端；

螺旋电极(3)，其螺旋绕设于所述绝缘层(2)外周，并适于接地，所述螺旋电极(3)包括螺旋绕设于所述绝缘层(2)的外周的半导材料电极(31)和金属电极(32)，所述金属电极(32)与所述半导材料电极(31)相抵靠。

2.根据权利要求1所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述半导材料电极(31)包括碳纤维束；或，

所述半导材料电极(31)包括支撑丝(311)和形成在支撑丝(311)表面上的碳层(312)。

3.根据权利要求2所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述金属电极(32)为与所述半导材料电极(31)相抵靠的金属丝；或，

所述金属电极(32)为多个丝状结构编织成的金属网，所述金属网包裹于所述半导材料电极(31)外。

4.根据权利要求3所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述金属电极(32)为金属丝，所述金属丝绕设于所述碳纤维束外；或，

所述金属丝和所述半导材料电极(31)编织为一体；或，

所述半导材料电极(31)螺旋绕设于所述金属丝外。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述内电极(1)为镀银铜丝。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述半导体螺旋电极(10)包括一根螺旋电极(3)，所述螺旋电极(3)缠绕的螺距为d2,1mm≤d2≤8mm；和/或，

所述半导体螺旋电极(10)包括多根螺旋电极(3)，多根所述螺旋电极(3)均匀交替缠绕在所述内电极(1)上，相邻的两根螺旋电极(3)的间距为d3,1mm≤d3≤8mm。

7.根据权利要求2-4中任一项所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述碳纤维束包括n根碳纤维丝，20≤n≤1500。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的半导体螺旋电极，其特征在于，所述绝缘层(2)的材料为聚四氟乙烯；或，

所述绝缘层(2)的材料为陶瓷；或，

所述绝缘层(2)的材料为聚酰亚胺。

9.一种等离子体发生装置，其特征在于，包括上述权利要求1至8任一项所述的半导体螺旋电极(10)。

10.一种空气净化器，其特征在于，包括上述权利要求9所述的等离子体发生装置(100)。