CN116961619A - 一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，属于声表面波滤波器技术领域，其包括压电基板和叉指换能器，叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条、第一叉指电极和第二叉指电极；叉指换能器的表面覆盖有钝化层，钝化层上设置有第一横模抑制结构和第二横模抑制结构，第一横模抑制结构与第二横模抑制结构相邻的一侧为第一临近侧面，第二横模抑制结构与第一横模抑制结构的相邻的一侧为第二临近侧面，第一临近侧面和/或第二临近侧面具有导出斜面结构。该声表面波谐振器结构不但能够抑制横向杂波，而且还能将横向杂波的能量向纵向两侧导出，从而实现双重横模抑制的效果。
Description
技术领域
本发明涉及声表滤波器技术领域，尤其涉及一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构。
背景技术
随着移动通信技术的快速发展，声表面波滤波器（Surface Acoustic Wave,SAW）由于其尺寸小，性能优异等特点，在射频前端中占有越来越重要的地位。而由于声表面波滤波器的结构限制，其滤波器的谐振器的叉指电极不可避免会产生高阶的横向杂波，反应到导纳曲线可以发现，谐振频率往高频方向会出现很多尖刺，导致谐振器或者滤波器的性能恶化。
专利公布号为CN115296642A的公开文件中公开了一种可以抑制横模的谐振器结构，该谐振器结构包括压电基板、叉指换能器、温度补偿层、第一保护层和杂波抑制结构，该杂波抑制结构包括第一杂波抑制层和第二杂波抑制层，并且从CN115296642A的公开文件中可以发现，第一杂波抑制层和第二杂波抑制层为宽度一致的金属条，这种结构虽然具有一定的横模抑制的作用，但是抑制后依旧还会残留一些横模能量，这些横模能量依旧会影响谐振器或滤波器的性能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，该声表面波谐振器结构不但能够抑制横向杂波，而且还能将横向杂波的能量沿第一汇流条的延伸方向导出，从而实现双重横模抑制的效果。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，包括压电基板，所述压电基板的一侧表面设置有叉指换能器，所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；所述第一叉指电极自第一汇流条引出并向第二汇流条延伸，所述第二叉指电极自第二汇流条引出并向第一汇流条延伸，所述叉指换能器的表面覆盖有钝化层，所述钝化层上设置有金属材质的第一横模抑制结构和第二横模抑制结构，所述第一横模抑制结构和第二横模抑制结构沿第一叉指电极或第二叉指电极的排布方向延伸，所述第一横模抑制结构横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第一叉指电极的端部位置对应，所述第二横模抑制结构横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第二叉指电极的端部位置对应，所述第一横模抑制结构与第二横模抑制结构相邻的一侧为第一临近侧面，所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构的相邻的一侧为第二临近侧面，所述第一临近侧面和/或第二临近侧面具有将横向杂波纵向导出的导出斜面结构。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面倾斜设置并构成了所述的导出斜面结构，第一横模抑制金属条的第一临近侧面与第二横模抑制金属条的第二临近侧面相互平行，因此，相互平行的第一临近侧面和第二临近侧面可以改变声速场，并且可以第一叉指电极和第二叉指电极的首位声速不同，并且倾斜设置的导出斜面结构将横向杂波进行纵向传导向两侧，通过这种声速场变化来更好的抑制横模。
作为一种优选的方案，所述第一临近侧面第二汇流条的延伸方向之间的夹角为0.5°-10°。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面包括顺次相连的第一倾斜面、第一连接面和第二倾斜面，所述第一倾斜面和第二倾斜面的倾斜方向相反，所述第一倾斜面、第一连接面和第二倾斜面构成了所述的导出斜面结构；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置，这种导出斜面结构可以对横模进行抑制，同时残留的横模能量可以从第一连接面向第一倾斜面和第二倾斜面由中部向两侧导出，同样实现了双重横模抑制的效果。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面包括第一倾斜面和第二倾斜面，所述第一倾斜面和第二倾斜面的倾斜方向相反并形成朝向第二横模抑制结构突出的尖端，所述第一倾斜面和第二倾斜面构成了所述的导出斜面结构；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置，因此，采用上述的结构后，也能够方便残留的横模能量沿第一倾斜面和第二倾斜面导出，从而实现双重横模抑制的效果。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面的轮廓线为中间高两侧低的曲线，所述曲线的中部向第二横模抑制金属条凸伸；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置，该曲线的中间高两侧低，因此同样可实现横模能量的导出效果，例如，该曲线可以为四分之一椭圆线、抛物线等。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制结构还包括至少一条第一辅助抑制金属条，所述第一辅助抑制金属条与第二汇流条平行且位于第一横模抑制金属条和第二汇流条之间，所述第二横模抑制结构还包括至少一条第二辅助抑制金属条，所述第二辅助抑制金属条与第一汇流条平行且位于第二横模抑制金属条和第一汇流条之间，通过第一辅助抑制金属条和第二辅助抑制金属条，可以进一步抑制声波在该区域的横向传播，从而进一步达到横模抑制的效果。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制金属条上设置有至少一个第一纵向分隔间隙，所述第一纵向分隔间隙将所述第一横模抑制金属条分隔成至少两条间隔的第一横模抑制金属条纵向单体；所述第二横模抑制金属条上设置有至少一个第二纵向分隔间隙，所述第二纵向分隔间隙将所述第二横模抑制金属条分隔成至少两条间隔的第二横模抑制金属条纵向单体，同理，利用间隔的第一横模抑制金属条纵向单体和第二横模抑制金属条纵向单体，可以进一步抑制声波在该区域的横向传播，从而进一步达到横模抑制的效果。
作为一种优选的方案，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一横模抑制金属条上设置有若干个第一横向分隔间隙，所述第一横向分隔间隙与第一叉指电极平行，所述第一横向分隔间隙将所述第一横模抑制金属条分隔成若干个间隔的第一横模抑制金属条横向单体；所述第二横模抑制金属条上设置有若干个第二横向分隔间隙，所述第二横向分隔间隙与第二叉指电极平行，所述第二横向分隔间隙将所述第二横模抑制金属条分隔成若干个间隔的第二横模抑制金属条横向单体；各第一横模抑制金属条横向单体一一对应覆盖于第一叉指电极和第二叉指电极的上方，各第二横模抑制金属条横向单体一一对应覆盖于第一叉指电极和第二叉指电极的上方，第一横模抑制金属条横向单体和第二横模抑制金属条横向单体的横向宽度不同，所以也可以将残留的横模能量导出，也能实现双重横模抑制的效果。
作为一种优选的方案，所述声表面波谐振器结构还包括位于叉指换能器两侧的反射栅，所述第二横模抑制结构和第一横模抑制结构两端延伸并覆盖所述反射栅，这样第二横模抑制结构和第一横模抑制结构可以快速的将残留的横模能量经过反射栅传导向两侧，横模抑制的效果好。
采用了上述技术方案后，本发明的效果是：由于双重横模抑制的声表面波谐振器结构，包括压电基板，所述压电基板的一侧表面设置有叉指换能器，所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；所述第一叉指电极自第一汇流条引出并向第二汇流条延伸，所述第二叉指电极自第二汇流条引出并向第一汇流条延伸，所述叉指换能器的表面覆盖有钝化层，所述钝化层上设置有金属材质的第一横模抑制结构和第二横模抑制结构，所述第一横模抑制结构和第二横模抑制结构沿第一叉指电极或第二叉指电极的排布方向延伸，所述第一横模抑制结构横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第一叉指电极的端部位置对应，所述第二横模抑制结构横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第二叉指电极的端部位置对应，所述第一横模抑制结构与第二横模抑制结构相邻的一侧为第一临近侧面，所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构的相邻的一侧为第二临近侧面，所述第一临近侧面和/或第二临近侧面具有将横向杂波纵向导出的导出斜面结构，因此，通过第一横模抑制结构和第二横模抑制结构可以影响叉指换能器区域的声速，能够改变横向传播的声速场，从而抑制高次模，并且利用了导出斜面结构，可以将剩余的横模能量纵向引导向两侧，这样实现了双重横模抑制的作用，最终的横模抑制效果更好，导纳曲线更平滑。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明实施例一的结构示意图；
图2是图1在A-A处的剖视图；
图3是实施例二的结构示意图；
图4是实施例三的结构示意图；
图5是实施例四的第一种结构示意图；
图6是实施例四的第二种结构示意图；
图7是实施例五的第一种结构示意图；
图8是实施例五的第二种结构示意图；
图9是实施例五的第三种结构示意图；
图10实施例六的结构示意图；
图11是实施例七的第一种结构的示意图；
图12是实施例七的第二种结构示意图；
图13是实施例七的第三种结构示意图；
图14是实施例一的叉指换能器与声速的分布对应图；
图15是图14中声速的分布放大图；
图16是实施例一与现有谐振器的导纳曲线对比图；
图17是实施例一与现有谐振器的电导曲线对比图；
附图中：100、叉指换能器；1、第一汇流条；2、第二汇流条；3、第一叉指电极；4、第一假指；5、第二叉指电极；6、第二假指；7、第一横模抑制金属条；71、第一横模抑制金属条纵向单体；72、第一横模抑制金属条横向单体；8、第二横模抑制金属条；81、第二横模抑制金属条纵向单体；82、第二横模抑制金属条横向单体；9、第一临近侧面；91、第一倾斜面；92、第一连接面；93、第二倾斜面；94、曲线；10、第二临近侧面；11、压电基板；12、钝化层；13、保护层；14、第一纵向分隔间隙；15、第二纵向分隔间隙；16、第一横向分隔间隙；17、第二横向分隔间隙；18、第一辅助抑制金属条；19、第二辅助抑制金属条；20、反射栅。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明作进一步的详细描述。
实施例一
如图1和图2所示，一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，包括压电基板11，其中压电基板11可包括压电晶体、压电陶瓷等合适的压电材料。例如压电基板11的材料可为氮化铝（AlN）、经掺杂的氮化铝、氧化锌（ZnO）、锆钛酸铅（PZT）、铌酸锂、（LiNbO3）、石英（Quartz）、铌酸钾（KNbO3）、钽酸锂（LiTaO3）、其类似物或其组合。而压电基板11可为单层结构或多层结构，例如该压电基板11为多层基底时可以为POI基板，也可以为是压电薄膜、二氧化硅和硅衬底的复合结构。
所述压电基板11的一侧表面设置有叉指换能器100，所述叉指换能器100包括第一汇流条1和第二汇流条2；第一汇流条1和第二汇流条2之间交替间隔设置有多个第一叉指电极3和多个第二叉指电极5；所述第一叉指电极3自第一汇流条1引出并向第二汇流条2延伸，所述第二叉指电极5自第二汇流条2引出并向第一汇流条1延伸，一般本领域技术人员定义第一汇流条1和第二汇流条2延伸的方向为纵向，该纵向也是第一叉指电极3、第二叉指电极5排列的方向，而第一叉指电极3延伸的方向则为横向。第一叉指电极3和第二叉指电极5为金属材料。叉指换能器100的材料包括金属或金属合金，例如包括金、银、钨、钛、铂、铝、铜、钼、或者各成分的组合。
如图1所示，本实施例中的第一叉指电极3和第二叉指电极5均为真指，本实施例中叉指换能器100还包括第一假指4和第二假指6，第一假指4和第一叉指电极3相互交错且等间距设置，第二叉指电极5和第二假指6相互交错且等间距设置，第一假指4与第二叉指电极5位置对应，第二假指6与第一叉指电极3位置对应。当然，叉指换能器100也可以不包含假指。
所述叉指换能器100的表面覆盖有钝化层12，其中，该钝化层12主要可以保护叉指换能器100的同时也能避免第一横模抑制结构和第二横模抑制结构与叉指换能器100接触而发生短路。所述钝化层12可以为Si3N4或者SiO2，该钝化层12的厚度范围为5-50nm之间，
所述钝化层12上设置有金属材质的第一横模抑制结构和第二横模抑制结构，所述第一横模抑制结构和第二横模抑制结构沿第一叉指电极3或第二叉指电极5的排布方向延伸，所述第一横模抑制结构横跨第一叉指电极3和第二叉指电极5且与第一叉指电极3的端部位置对应，所述第二横模抑制结构横跨第一叉指电极3和第二叉指电极5且与第二叉指电极5的端部位置对应，所述第一横模抑制结构与第二横模抑制结构相邻的一侧为第一临近侧面9，所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构的相邻的一侧为第二临近侧面10，所述第一临近侧面9和/或第二临近侧面10具有将横向杂波纵向导出的导出斜面结构。
如图1所示，本实施例中，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条7，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条8，所述第一临近侧面9整体倾斜设置并构成了所述的导出斜面结构，第一横模抑制金属条7的第一临近侧面9与第二横模抑制金属条8的第二临近侧面10相互平行，因此，相互平行的第一临近侧面9和第二临近侧面10可以改变声速场，并且可以使第一叉指电极3和第二叉指电极5的收尾的声速不同，并且倾斜设置的导出斜面结构将横向杂波进行纵向传导向两侧导出，通过这种声速场变化来更好的抑制横模。所述第一临近侧面9与第二汇流条的延伸方向之间的夹角为0.5°-10°。第一横模抑制金属条7和第二横模抑制金属条8厚度范围为5-100nm。
如图14和图15所示，图14和图15是本发明的叉指换能器100与声速的分布对应图；附图中的声速的分布坐标中表示了图14中叉指换能器100处于图纸上方的两条叉指电极和处于图纸最下方的一条叉指电极的声速分布图。其中，声速在汇流条区域声速最低，在间隙区域声速最高，在第一叉指电极3、第二叉指电极5、第一假指4和第二假指6上由于质量载荷相同，因此声速相同，而对于每一根第一叉指电极3和第二叉指电极5而言，相邻的第一叉指电极3和第二叉指电极5上的第一横模抑制金属条7和第二横模抑制金属条8的质量不同，成递增或递减的趋势，每一根第一叉指电极3和第二叉指电极5的声速都会变化且变化状态并不同，可以从附图15中明显看出，第一叉指电极3和第二叉指电极5的首尾区域的声速都不相同，通过这种声速场变化，来抑制横模，并且传导横向杂波的能量，杂波能量会引导至两侧，实现双重的横模抑制。
再如图1所示，所述第一横模抑制金属条7远离第二横模抑制金属条8的一侧为第一远离侧面；所述第二横模抑制金属条8远离第一横模抑制金属条7的一侧为第二远离侧面；本实施例中优选的，第一远离侧面与第一叉指电极3的端面平齐，第二远离侧面与第二叉指电极5的端面平齐。
如图16所示，本实施例中的导纳曲线与常规的采用相同的压电基板的谐振器比较，曲线更加光滑，如图17所示，图中的电导曲线中，本实施例中的方案曲线在-60dB以上的区域内高次模数量几乎没有，反观常规的谐振器，存在大量高次模，因此，本发明的谐振器结构的横模抑制效果明显。
本实施例还可以在所述第一横模抑制结构和第二横模抑制结构的上方在覆盖一层保护层13，当然，该保护层13也可以为单纯的钝化层，保护层13也可以为温度补偿层，例如SiO2层，从而进一步调整和改善温漂性能。
实施例二
如图3所示，本实施例中的谐振器结构与实施例一的结构基本相同，所述第一横模抑制金属条7上设置有至少一个第一纵向分隔间隙14，所述第一纵向分隔间隙14与第二汇流条2平行，所述第一纵向分隔间隙14将所述第一横模抑制金属条7分隔成至少两条间隔的第一横模抑制金属条纵向单体71；所述第二横模抑制金属条8上设置有至少一个第二纵向分隔间隙15，所述第二纵向分隔间隙15与第一汇流条1平行，所述第二纵向分隔间隙15将所述第二横模抑制金属条8分隔成至少两条间隔的第二横模抑制金属条纵向单体81，同理，利用间隔的第一横模抑制金属条纵向单体71和第二横模抑制金属条纵向单体81，可以进一步抑制声波在该区域的横向传播，从而进一步达到横模抑制的效果。
实施例三
如图4所示，本实施例中的结构与实施例1的结构基本相同，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条7，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条8，所述第一横模抑制金属条7上设置有若干个第一横向分隔间隙16，所述第一横向分隔间隙16与第一叉指电极3平行，所述第一横向分隔间隙16将所述第一横模抑制金属条7分隔成若干个间隔的第一横模抑制金属条横向单体72；所述第二横模抑制金属条8上设置有若干个第二横向分隔间隙17，所述第二横向分隔间隙17与第二叉指电极5平行，所述第二横向分隔间隙17将所述第二横模抑制金属条8分隔成若干个间隔的第二横模抑制金属条横向单体82；各第一横模抑制金属条横向单体72一一对应覆盖于第一叉指电极3和第二叉指电极5的上方，各第二横模抑制金属条横向单体82一一对应覆盖于第一叉指电极3和第二叉指电极5的上方，第一横模抑制金属条横向单体72和第二横模抑制金属条横向单体82的横向宽度不同，优选的，每个第一叉指电极3和第二叉指电极5上方的各横模抑制金属条横向单体质量均相等。其中，第一横模抑制金属条横向单体72和第二横模抑制金属条横向单体82的相对的侧面为倾斜面从而整体构成一个倾斜面，该倾斜面就形成了导出斜面结构；当然，第一横模抑制金属条横向单体72和第二横模抑制金属条横向单体82的相对的侧面也可以与第一汇流条1或第二汇流条2平行，这样依靠不同长度的第一横模抑制金属条横向单体72和第二横模抑制金属条8也可以组成一个倾斜的导出斜面结构，因此也可以将残留的横模能量导出，也能实现双重横模抑制的效果。
实施例四
如图5和图6所示，本实施例中的结构与实施例1的结构基本相同，所述第一横模抑制结构还包括至少一条第一辅助抑制金属条18，所述第一辅助抑制金属条18与第二汇流条2平行且位于第一横模抑制金属条7和第二汇流条2之间，所述第二横模抑制结构还包括至少一条第二辅助抑制金属条19，第二辅助抑制金属条19与第一汇流条1平行且位于第二横模抑制金属条8和第一汇流条1之间，通过第一辅助抑制金属条18和第二辅助抑制金属条19，可以进一步抑制声波在该区域的横向传播，从而进一步达到横模抑制的效果。而如图5所示，图5中的谐振器包含了第一假指4和第二假指6，因此，该第一辅助抑制金属条18和第二辅助抑制金属条19分别覆盖所述第一假指4和第二假指6，而如图6所示，图6中的谐振器不包含假指结构，因此，该第一辅助抑制金属条18和第二辅助抑制金属条19分别覆盖所述第一叉指电极3和第二叉指电极5。
实施例五
如图7至图9所示，本实施例的结构与实施例1的结构基本相同，只是，导出斜面结构的轮廓不同，如图7所示，图中，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条7，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条8，所述第一临近侧面9包括顺次相连的第一倾斜面91、第一连接面92和第二倾斜面93，所述第一倾斜面91和第二倾斜面93的倾斜方向相反，所述第一倾斜面91、第一连接面和第二倾斜面93构成了所述的导出斜面结构；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置。
如图8所示，所述第一临近侧面9包括第一倾斜面91和第二倾斜面93，所述第一倾斜面91和第二倾斜面93的倾斜方向相反并形成朝向第二横模抑制结构突出的尖端，所述第一倾斜面91和第二倾斜面93构成了所述的导出斜面结构；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置。
如图9所示，所述第一临近侧面9的轮廓线为中间高两侧低的曲线94，所述曲线94的中部向第二横模抑制金属条8凸伸；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置，该曲线94中间高两侧低，因此同样可实现横模能量的导出效果，该曲线94可以为椭圆线或抛物线。
实施例六
如图10所示，本实施例在实施例1的基础上变化，所述声表面波谐振器结构还包括位于叉指换能器100两侧的反射栅20，所述第二横模抑制结构和第一横模抑制结构两端延伸并覆盖所述反射栅20，这样第二横模抑制结构和第一横模抑制结构可以快速的将残留的横模能量经过给反射栅20传导向两侧，从而对横模抑制的效果更好。
实施例七
如图11至图13所示，本实施例中采用另外一种结构实现导出斜面结构，本实施例中，所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条7，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条8，第一横模抑制金属条7和第二横模抑制金属条8的横向宽度均一致，并且第一横模抑制金属条7和第二横模抑制金属条8是整体倾斜，最终使第一临近侧面9和第二临近侧面10倾斜形成导出斜面结构，同样也可实现双重的横模抑制效果。当然，这种结构的第一横模抑制金属条7和第二横模抑制金属条8也可以延伸到反射栅20。
如图12所示，第一横模抑制金属条7和第二横模抑制金属条8上分别设置了至少一个第一纵向分隔间隙14和第二纵向分隔间隙15，第一纵向分隔间隙14的延伸方向与第一横模抑制金属条7的长度方向平行，第二纵向分隔间隙15的延伸方向也与第二横模抑制金属条8的长度方向平行，当然，第一纵向分隔间隙14的延伸方向也可以与第二汇流条2平行，第二纵向分隔间隙15的延伸方向与第一汇流条1平行，所述第二纵向分隔间隙15将所述第二横模抑制金属条8分隔成至少两条间隔的第二横模抑制金属条纵向单体81，所述第一纵向分隔间隙14将所述第一横模抑制金属条7分隔成至少两条间隔的第一横模抑制金属条纵向单体71。
如图13所示，图13中的结构与实施例三的结构相似，其中，第一横模抑制金属条7上设置有若干个第一横向分隔间隙16，所述第一横向分隔间隙16与第一叉指电极3平行，所述第一横向分隔间隙16将所述第一横模抑制金属条7分隔成若干个间隔的第一横模抑制金属条横向单体72；所述第二横模抑制金属条8上设置有若干个第二横向分隔间隙17，所述第二横向分隔间隙17与第二叉指电极5平行，所述第二横向分隔间隙17将所述第二横模抑制金属条8分隔成若干个间隔的第二横模抑制金属条横向单体82；各第一横模抑制金属条横向单体72一一对应覆盖于第一叉指电极3和第二叉指电极5的上方，各第二横模抑制金属条横向单体82一一对应覆盖于第一叉指电极3和第二叉指电极5的上方，而本实施例中，第一横模抑制金属条横向单体72和第二横模抑制金属条横向单体82的横向宽度均相同，只是第一横模抑制金属条横向单体72和第二横模抑制金属条横向单体82分别相对于第一叉指电极3和第二叉指电极5的端部位置发生了改变从而形成了导出斜面结构。
以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。
Claims (10)
1.一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，包括压电基板，所述压电基板的一侧表面设置有叉指换能器，所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；所述第一叉指电极自第一汇流条引出并向第二汇流条延伸，所述第二叉指电极自第二汇流条引出并向第一汇流条延伸，其特征在于：所述叉指换能器的表面覆盖有钝化层，所述钝化层上设置有金属材质的第一横模抑制结构和第二横模抑制结构，所述第一横模抑制结构和第二横模抑制结构沿第一叉指电极或第二叉指电极的排布方向延伸，所述第一横模抑制结构横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第一叉指电极的端部位置对应，所述第二横模抑制结构横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第二叉指电极的端部位置对应，所述第一横模抑制结构与第二横模抑制结构相邻的一侧为第一临近侧面，所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构的相邻的一侧为第二临近侧面，所述第一临近侧面和/或第二临近侧面具有将横向杂波纵向导出的导出斜面结构。
2.如权利要求1所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面倾斜设置并构成了所述的导出斜面结构，第一横模抑制金属条的第一临近侧面与第二横模抑制金属条的第二临近侧面相互平行。
3.如权利要求2所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一临近侧面第二汇流条的延伸方向之间的夹角为0.5°-10°。
4.如权利要求1所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面包括顺次相连的第一倾斜面、第一连接面和第二倾斜面，所述第一倾斜面和第二倾斜面的倾斜方向相反，所述第一倾斜面、第一连接面和第二倾斜面构成了所述的导出斜面结构；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置。
5.如权利要求1所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面包括第一倾斜面和第二倾斜面，所述第一倾斜面和第二倾斜面的倾斜方向相反并形成朝向第二横模抑制结构突出的尖端，所述第一倾斜面和第二倾斜面构成了所述的导出斜面结构；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置。
6.如权利要求1所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一临近侧面的轮廓线为中间高两侧低的曲线，所述曲线的中部向第二横模抑制金属条凸伸；所述第二横模抑制结构与第一横模抑制结构成镜像设置。
7.如权利要求2至6任一项所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制结构还包括至少一条第一辅助抑制金属条，所述第一辅助抑制金属条与第二汇流条平行且位于第一横模抑制金属条和第二汇流条之间，所述第二横模抑制结构还包括至少一条第二辅助抑制金属条，所述第二辅助抑制金属条与第一汇流条平行且位于第二横模抑制金属条和第一汇流条之间。
8.如权利要求2至6任一项所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制金属条上设置有至少一个第一纵向分隔间隙，所述第一纵向分隔间隙将所述第一横模抑制金属条分隔成至少两条间隔的第一横模抑制金属条纵向单体；所述第二横模抑制金属条上设置有至少一个第二纵向分隔间隙，所述第二纵向分隔间隙将所述第二横模抑制金属条分隔成至少两条间隔的第二横模抑制金属条纵向单体。
9.如权利要求2至6任一项所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述第一横模抑制结构包括第一横模抑制金属条，所述第二横模抑制结构包括第二横模抑制金属条，所述第一横模抑制金属条上设置有若干个第一横向分隔间隙，所述第一横向分隔间隙与第一叉指电极平行，所述第一横向分隔间隙将所述第一横模抑制金属条分隔成若干个间隔的第一横模抑制金属条横向单体；所述第二横模抑制金属条上设置有若干个第二横向分隔间隙，所述第二横向分隔间隙与第二叉指电极平行，所述第二横向分隔间隙将所述第二横模抑制金属条分隔成若干个间隔的第二横模抑制金属条横向单体；各第一横模抑制金属条横向单体一一对应覆盖于第一叉指电极和第二叉指电极的上方，各第二横模抑制金属条横向单体一一对应覆盖于第一叉指电极和第二叉指电极的上方。
10.如权利要求2至6任一项所述的一种双重横模抑制的声表面波谐振器结构，其特征在于：所述声表面波谐振器结构还包括位于叉指换能器两侧的反射栅，所述第二横模抑制结构和第一横模抑制结构两端延伸并覆盖所述反射栅。
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