CN116928590A - 进气模块与进气气嘴 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种进气模块与进气气嘴，所述进气气嘴包含一第一进气通道及一第二进气通道。所述第一进气通道具有一第一端口，所述第二进气通道具有一第二端口，并且所述第二端口的中心点至所述第一端口的中心点之间的距离定义为一偏心距离。其中，所述第一端口的内径或所述第二端口的内径相对于所述偏心距离的比例介于1/7至5/7之间。据此，所述进气气嘴设有符合特定条件的双通道结构配置(如：所述第一端口的内径或所述第二端口的内径相对于所述偏心距离的比例介于1/7至5/7之间)，据以有效地扩展所述进气气嘴应用范围。

Description

进气模块与进气气嘴

技术领域

本发明涉及一种进气气嘴，尤其涉及一种具有多个通道的进气模块与进气气嘴。

背景技术

现有的晶圆盒承载装置包含有用来承载晶圆盒的一载座，并且所述载座设置有两个进气气嘴与两个排气气嘴，用以供所述晶圆盒的内部空间充气作业与抽气作业。然而，现有的进气气嘴受限于既有的结构设计，因而使其难以被进一步地改良。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种进气模块与进气气嘴，其能有效地改善现有进气气嘴所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种进气模块，其包括：至少一进气气嘴，包含：一第一进气通道，具有一第一端口；以及一第二进气通道，具有一第二端口，第二端口的中心点至第一端口的中心点之间的距离定义为一偏心距离；其中，第一端口的内径或第二端口的内径相对于偏心距离的比例介于1/7至5/7之间。

可选地，至少一进气气嘴包括形成于其顶部的至少一气密结构，至少一气密结构围绕第一进气通道与第二进气通道，且至少一气密结构具有一外气密边界。

可选地，至少一进气气嘴的数量为两个，并且每个进气气嘴包含：一第一气密结构，形成于相对应进气气嘴的顶部且包含有一第一圆弧边界，并且第一圆弧边界具有一第一圆心与一第一半径；及一第二气密结构，形成于相对应进气气嘴的顶部且包含有一第二圆弧边界，并且第二圆弧边界具有一第二圆心与一第二半径；其中，第一圆弧边界相交于第二圆弧边界而共同构成一外气密边界，并且第一圆心与第二圆心相隔有偏心距离。

可选地，进气模块包括：两个进气阀，其中一个进气阀分别连通于两个进气气嘴的第一进气通道，并且其中另一个进气阀分别连通于两个进气气嘴的第二进气通道；其中，当两个进气气嘴的顶部压抵于一晶圆盒时，于每个进气气嘴之中，第一进气通道与第二进气通道的其中任一个与相对应的进气阀能供一气流充入晶圆盒的内部空间，而第一进气通道与第二进气通道的其中另一个搭配于相对应的进气阀及外气密边界，而能共同用来阻止气流沿其流动穿过。

可选地，于每个进气气嘴之中，第一进气通道自第一圆心延伸贯穿进气气嘴，并且第一端口的至少局部位于第二圆弧边界所延伸定义的第二外圆形区域之内；第二进气通道自第二圆心延伸贯穿进气气嘴，并且第二端口的至少局部位于第一圆弧边界所延伸定义的第一外圆形区域之内。

可选地，每个进气气嘴包含有形成于其顶部且位于外气密边界之内的一承载平台；于每个进气气嘴之中，第一端口以及第二端口皆形成于承载平台上。

可选地，于每个进气气嘴之中，第一气密结构包含有形成第一圆弧边界的一第一外C形肋，第二气密结构包含有形成第二圆弧边界的一第二外C形肋，并且第一外C形肋的两个末端与第二外C形肋的两个末端皆连接于承载平台。

可选地，于每个进气气嘴之中，第一气密结构包含有位于承载平台与第一外C形肋之间的一第一内C形肋，第一内C形肋的圆心重叠于第一圆心，并且第一内C形肋相连于第二外C形肋；于每个进气气嘴之中，第二气密结构包含有位于承载平台与第二外C形肋之间的一第二内C形肋，第二内C形肋的圆心重叠于第二圆心，并且第二内C形肋相连于第一外C形肋。

可选地，于每个进气气嘴之中，第一内C形肋的外边缘相交于第二内C形肋的外边缘而共同构成一内气密边界，第一内C形肋的外边缘定义的一第一内圆形区域，而第二内C形肋的外边缘定义的一第二内圆形区域，并且第一端口与第二端口之中的任一个的至少90％部位位于第一内圆形区域与第二内圆形区域的一重叠区域之内。

本发明实施例也公开一种进气气嘴，其为一体成型的单件式构造，并且进气气嘴包括：一第一气密结构，形成于进气气嘴的顶部且包含有一第一圆弧边界，并且第一圆弧边界具有一第一圆心与一第一半径；一第二气密结构，形成于进气气嘴的顶部且包含有一第二圆弧边界，并且第二圆弧边界具有一第二圆心与一第二半径；其中，第一圆弧边界相交于第二圆弧边界而构成一外气密边界，并且第一圆心与第二圆心相隔有一偏心距离；一第一进气通道，其具有一第一端口，并且第一进气通道自第一圆心延伸贯穿进气气嘴；以及一第二进气通道，其具有一第二端口，并且第二进气通道自第二圆心延伸贯穿进气气嘴；其中，第一端口的内径或第二端口的内径相对于偏心距离的比例介于1/7至5/7之间。

综上所述，本发明实施例所公开的进气模块，其在所述进气气嘴设有符合特定条件的双通道结构配置(如：所述第一端口的内径或所述第二端口的内径相对于所述偏心距离的比例介于1/7至5/7之间)，据以有效地扩展所述进气气嘴应用范围。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例的晶圆盒承载设备的立体示意图。

图2为图1的晶圆盒承载设备用来承载第一晶圆盒的立体示意图。

图3为图1的晶圆盒承载设备用来承载第二晶圆盒的立体示意图。

图4为图1的晶圆盒承载设备用来承载第三晶圆盒的立体示意图。

图5为图1的承载盘及设置于上的多个构件的立体示意图。

图6为图5另一视角的立体示意图。

图7为图5的俯视示意图。

图8为图5中的进气气嘴的立体示意图。

图9为图8另一视角的立体示意图。

图10为图5的平面示意图(绘示有第一外圆区域与第二外圆区域)。

图11为图5的另一平面示意图(绘示有第一内圆区域与第二内圆区域)。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“进气模块与进气气嘴”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

请参阅图1至图11所示，其为本发明的一实施例。如图1至图4所示，本实施例公开一种晶圆盒承载设备100，其用来承载彼此不同的多个晶圆盒；其中，多个所述晶圆盒于本实施例中是以包含有不同构型的一第一晶圆盒W1、一第二晶圆盒W2、及一第三晶圆盒W3来说明，但本发明不受限于此。

如图1、图5、及图6所示，所述晶圆盒承载设备100于本实施例中包含有一承载盘1、安装于所述承载盘1一侧的一进气模块2、安装于所述承载盘1另一侧的一排气模块3、连接于所述进气模块2的一充气模块4、及连接于所述排气模块3的一抽气模块5，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，所述充气模块4与所述抽气模块5可以是装配在所述晶圆盒承载设备100之外的外部构件。

所述承载盘1具有一承载侧11(如：图5中的所述承载盘1的顶面)，并且所述承载盘1可依据所述进气模块2与所述排气模块3的设计需求而进行相应的结构设计(如：所述承载盘1自所述承载侧11凹设形成有多个容置槽12及多个贯穿孔13)，所述承载盘1还可以设置有对应于多个所述晶圆盒的对位机构(图中未标示)，本发明在此不加以赘述。

所述进气模块2包含有两个进气气嘴21、一共享进气阀22、一独立进气阀23、及两条进气管线24a、24b。其中，两个所述进气气嘴21设置于所述承载盘1的所述承载侧11，并且每个所述进气气嘴21于本实施例中为一体成型的单件式构造且形成有彼此间隔配置的一共享进气通道211与一独立进气通道212。也就是说，所述进气气嘴21是采用双通道的结构设计，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，所述进气气嘴21也可以是非为一体成型的构造；或者，两个所述进气气嘴21分别具有一共享进气通道211与一独立进气通道212；又或者，所述承载盘1的一侧边具有四个进气气嘴21(包含两个所述共享进气通道211以及两个所述独立进气通道212)。

所述共享进气阀22与所述独立进气阀23位于所述承载盘1的下方且连接于所述充气模块4，并且所述共享进气阀22连通于两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211，而所述独立进气阀23连通于两个所述进气气嘴21的所述独立进气通道212。

于本实施例中，所述共享进气阀22是通过其中一条所述进气管线24a而连通于两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211，所述独立进气阀23则是通过其中另一条所述进气管线24b而连通于两个所述进气气嘴21的所述独立进气通道212。

更详细地说，每条所述进气管线24a、24b于本实施例中包含埋置于所述承载盘1的一串接段241、及连接于所述串接段241的一阀体段242。于其中一条所述进气管线24a之中，所述串接段241连接于两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211，所述阀体段242贯穿所述承载盘1而连接于所述共享进气阀22。于其中另一条所述进气管线24b之中，所述串接段241连接于两个所述进气气嘴21的所述独立进气通道212，所述阀体段242贯穿所述承载盘1而连接于所述独立进气阀23。

所述排气模块3包含有两个排气气嘴31、两个独立排气气嘴32、一第一排气阀33、一第二排气阀34、一第三排气阀35、一第一排气管线36、一第二排气管线37、及一第三排气管线38。其中，两个所述排气气嘴31与两个所述独立排气气嘴32皆设置于所述承载盘1的所述承载侧11，并且两个所述独立排气气嘴32位于两个所述排气气嘴31之间。

需先说明的是，两个所述进气气嘴21的顶缘、两个所述排气气嘴31的顶缘、及两个所述独立排气气嘴32的顶缘呈共平面设置，并且两个所述进气气嘴21与两个所述排气气嘴31分别配置于所述承载盘1的所述承载侧11的四个角落，但本发明不受限于此。

每个所述排气气嘴31于本实施例中为一体成型的单件式构造且形成有彼此间隔配置的一第一排气通道311与一第二排气通道312，并且每个所述独立排气气嘴32形成有一第三排气通道321。也就是说，所述排气气嘴31是限定双通道的结构设计但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，两个所述排气气嘴31分别具有一第一排气通道311与一第二排气通道312；或者，所述承载盘1的另一侧边具有四个排气气嘴31(包含两个第一排气通道311以及两个第二排气通道312)。

于本实施例中，为了使两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311与所述第二排气通道312能够搭配两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211，两个所述排气气嘴31较佳是以下述结构配置来实施。如图7所示，两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311沿一第一方向D1配置，而每个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311与所述第二排气通道312沿一第二方向D2配置，并且所述第一方向D1与所述第二方向D2相夹有介于10度～30度的一夹角σ。

如图1、及图5至图7所示，所述第一排气阀33、所述第二排气阀34、及所述第三排气阀35位于所述承载盘1的下方且连接于所述抽气模块5，并且所述第一排气阀33连通于两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311，所述第二排气阀34连通于两个所述排气气嘴31的所述第二排气通道312，而所述第三排气阀35连通于两个所述独立排气气嘴32的所述第三排气通道321。

于本实施例中，所述第一排气阀33通过所述第一排气管线36而连通于两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311，并且所述第二排气阀34通过所述第二排气管线37而连通于两个所述排气气嘴31的所述第二排气通道312，而所述第三排气阀35通过所述第三排气管线38而连通于两个所述独立排气气嘴32的所述第三排气通道321。换句话说，本实施例中的所述承载盘1具有六个排气通道，其包含两个所述第一排气通道311、两个所述第二排气通道312、以及两个所述第三排气通道321。

更详细地说，所述第一排气管线36与所述第二排气管线37之中的任一条于本实施例中包含埋置于所述承载盘1的一串接段361、371、及连接于相对应所述排气气嘴31的一阀体段362、372。于所述第一排气管线36之中，所述串接段361连接于两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311，所述阀体段362连接于其中一个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311、并贯穿所述承载盘1而连接于所述第一排气阀33。于所述第二排气管线37之中，所述串接段371连接于两个所述排气气嘴31的所述第二排气通道312，所述阀体段372连接于其中另一个所述排气气嘴31的所述第二排气通道312、并贯穿所述承载盘1而连接于所述第二排气阀34。

此外，所述第三排气管线38于本实施例中包含埋置于所述承载盘1的一串接段381、及连接于所述串接段381的一阀体段382。于所述第三排气管线38之中，所述串接段381连接于两个所述独立排气气嘴32的所述第三排气通道321，并且所述阀体段382贯穿所述承载盘1而连接于所述第三排气阀35。

依上所述，如图1至图3所示，两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211搭配于两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311，进而能共同用来承载所述第一晶圆盒W1、并连通于所述第一晶圆盒W1的内部空间。再者，两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211搭配于两个所述排气气嘴31的所述第二排气通道312，进而能共同用来承载所述第二晶圆盒W2、并连通于所述第二晶圆盒W2的内部空间。换句话说，设置于所述承载盘1一侧边的两个所述共享进气通道211搭配设置于所述承载盘1另一侧边的四个所述排气通道(两个所述第一排气通道311与两个所述第二排气通道312)，即可用来连通于所述第一晶圆盒W1的内部空间或是连通于所述第二晶圆盒W2的内部空间。

据此，所述晶圆盒承载设备100于本实施例中通过每个所述排气气嘴31具有双通道且为一体成型的单件式构造、并搭配于两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211，以能够应用在具有限定尺寸的所述承载盘1上，进而可以选择性地对所述第一晶圆盒W1或所述第二晶圆盒W2进行充气作业与抽气作业。

更详细地说，所述充气模块4能够通过所述共享进气阀22、相对应的所述进气管线24a、及两个所述进气气嘴21的所述共享进气通道211，来选择性地对所述第一晶圆盒W1的所述内部空间或是所述第二晶圆盒W2的所述内部空间进行充气。

再者，所述抽气模块5能够通过所述第一排气阀33、所述第一排气管线36、及两个所述排气气嘴31的所述第一排气通道311，进而来对所述第一晶圆盒W1的所述内部空间进行抽气。所述抽气模块5能够通过所述第二排气阀34、所述第二排气管线37、及两个所述排气气嘴31的所述第二排气通道312，进而来对所述第二晶圆盒W2的所述内部空间进行抽气。

此外，如图1和图4所示，两个所述进气气嘴21的所述独立进气通道212是搭配于两个所述独立排气气嘴32的所述第三排气通道321，进而能够共同用来承载所述第三晶圆盒W3、并连通于所述第三晶圆盒W3的内部空间。换句话说，设置于所述承载盘1一侧边的四个所述进气通道(两个所述共享进气通道211与两个所述独立进气通道212)搭配设置于所述承载盘1另一侧边的六个所述排气通道(包含两个所述第一排气通道311、两个所述第二排气通道312、与两个所述第三排气通道321)，即可用来连通于所述第一晶圆盒W1的内部空间、连通于所述第二晶圆盒W2的内部空间、或是连通于所述第三晶圆盒W3的内部空间。

据此，所述晶圆盒承载设备100于本实施例中可进一步通过每个所述进气气嘴21具有双通道且为一体成型的单件式构造，以使其能够在具有限定尺寸的所述承载盘1上进一步搭配两个所述进气气嘴21的所述独立进气通道212，据以适合用来进一步对所述第三晶圆盒W3进行充气作业与抽气作业，但本发明不受限于此。例如，所述进气气嘴21也可以是非一体成型的单件式构造(未图示)。

更详细地说，所述充气模块4能够通过所述独立进气阀23、相对应的所述进气管线24b、及两个所述进气气嘴21的所述独立进气通道212，来对所述第三晶圆盒W3的所述内部空间进行充气。再者，所述抽气模块5能够通过所述第三排气阀35、所述第三排气管线38、及两个所述独立排气气嘴32的所述第三排气通道321，进而来对所述第三晶圆盒W3的所述内部空间进行抽气。

需额外说明的是，所述承载盘1及配置于其上的多个气嘴(如：两个所述进气气嘴21、两个所述排气气嘴31、及两个所述独立排气气嘴32)于本实施例中可以合并称之为一复合式载座，并且于本发明未绘示的其他实施例中，所述复合式载座可以单独地被应用(如：贩卖)或是搭配其他构件使用。

再者，所述复合式载座所适用的多个所述晶圆盒的构型类型共有N种，N为大于1的正整数且于本实施例是以3来说明。

此外，所述进气模块2与所述排气模块3于本实施例中虽是以上述结构配置与搭配来说明，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，所述独立进气阀23、两条所述进气管线24a、24b、两个所述独立排气气嘴32、所述第三排气阀35、所述第一排气管线36、所述第二排气管线37、及所述第三排气管线38之中的至少一个可以依据设计需求而加以省略或以其他构件取代。

以上为本实施例的所述晶圆盒承载设备100的架构说明，但基于所述进气气嘴21在设有双流道(也就是，所述共享进气通道211与所述独立进气通道212)的情况下还需要能够符合高气密度的要求，所以所述进气气嘴21于本实施例中以下述结构设计，来使其双流道可以互相作为气密结构设计的一部分，以实现上述高气密度要求。

再者，如图8和图9所示，两个所述进气气嘴21于本实施例中是采用相同的构造，所以为便于说明，本实施例于下述仅介绍单个所述进气气嘴21的构造，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，两个所述进气气嘴21于构造上可以略有差异；或者，所述进气气嘴21也可以单独地被应用(如：贩卖)或搭配其他构造使用。

此外，于本实施例中，所述共享进气通道211可以称为第一进气通道211，所述独立进气通道212可以称为第二进气通道212，而所述共享进气阀22与所述独立进气阀23各可以称为进气阀22、23。也就是说，其中一个所述进气阀22分别连通于两个所述进气气嘴21的所述第一进气通道211，并且其中另一个所述进气阀23分别连通于两个所述进气气嘴21的所述第二进气通道212。

如图8、图10、及图11所示，所述进气气嘴21的顶部于本实施例中包含有一第一气密结构213、相交于所述第一气密结构213的一第二气密结构214、及位于所述第一气密结构213与所述第二气密结构214内侧的一承载平台215。其中，所述第一气密结构213的顶缘、所述第二气密结构214的顶缘、及所述承载平台215的顶缘于本实施例中是呈共平面设置，用以能够无间隙地顶抵于所述第一晶圆盒W1、所述第二晶圆盒W2、及所述第三晶圆盒W3中的任一个。

再者，所述进气气嘴21可是以一镜像对称构造(如：所述第一气密结构213与所述第二气密结构214彼此呈对称状)来说明，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未绘示的其他实施例中，所述进气气嘴21的所述第一气密结构213与所述第二气密结构214可以略有差异；或者，所述进气气嘴21可以省略或是以其他构造取代所述承载平台215；又或者，所述进气气嘴21也可以是形成有一个气密结构，其具有一外气密边界。

更详细地说，所述第一气密结构213包含有彼此间隔(或平行)设置的一第一外C形肋2131与一第一内C形肋2132，并且所述第一内C形肋2132位于所述第一外C形肋2131与所述承载平台215之间。其中，所述第一外C形肋2131的两个末端连接所述承载平台215，并且所述第一外C形肋2131的外边缘定义为一第一圆弧边界2131a，其具有一第一圆心C1与一第一半径R1。所述第一内C形肋2132的两个末端也连接所述承载平台215，并且所述第一内C形肋2132的圆心重叠于所述第一圆心C1。

再者，所述第二气密结构214包含有彼此间隔(或平行)设置的一第二外C形肋2141与一第二内C形肋2142，并且所述第二内C形肋2142位于所述第二外C形肋2141与所述承载平台215之间。其中，所述第二外C形肋2141的两个末端连接所述承载平台215，并且所述第二外C形肋2141的外边缘定义为一第二圆弧边界2141a，其具有一第二圆心C2与一第二半径R2。所述第二内C形肋2142的两个末端也连接所述承载平台215，并且所述第二内C形肋2142的圆心重叠于所述第二圆心C2。

进一步地说，所述第一外C形肋2131相连于(或交叉于)所述第二外C形肋2141与所述第二内C形肋2142，并且所述第一圆弧边界2131a相交于所述第二圆弧边界2141a而共同构成一外气密边界。再者，所述第一内C形肋2132相连于(或交叉于)所述第二外C形肋2141与所述第二内C形肋2142，并且所述第一内C形肋2132的外边缘2132a相交于所述第二内C形肋2142的外边缘2142a而共同构成一内气密边界。由于所述第一端口2111与所述第二端口2121是圆孔，因而相对于其他形状的设计，所述C形肋(如：所述第一外C形肋2131、所述第一内C形肋2132、所述第二外C形肋2141、与所述第二内C形肋2142)可以提供较佳的气密性。

所述第一圆心C1与所述第二圆心C2相隔有一偏心距离L，其小于所述第一半径R1、也小于所述第二半径R2，但本发明不受限于此。于本实施例中，所述第一半径R1等同于所述第二半径R2，并且所述偏心距离L较佳是介于所述第一半径R1的55％～60％。此外，在本发明未绘示的其他实施例中，所述偏心距离L可以是大于所述第一半径R1与所述第二半径R2的至少其中一个。

于本实施例中，所述承载平台215位于所述外气密边界之内与所述内气密边界之内，并且所述承载平台215(的外边缘)包含有两个直线边缘2151、一第一圆弧边缘2152、及一第二圆弧边缘2153。其中，两个所述直线边缘2151彼此平行配置，并且两个所述直线边缘2151分别相连于所述第一内C形肋2132的两个所述末端、也分别相连于所述第二内C形肋2142的两个所述末端。

所述第一圆弧边缘2152的两端分别相连于两个所述直线边缘2151的一端、并分别相连于所述第二外C形肋2141的两个所述末端(也就是，所述第二外C形肋2141的任一个所述末端是相连于所述第一圆弧边缘2152与相对应所述直线边缘2151的连接处)。更详细地说，所述第一圆弧边缘2152的圆心重叠于所述第一圆心C1，并且所述第一圆弧边缘2152、所述第一内C形肋2132的所述外边缘2132a、及所述第一圆弧边界2131a之中的任两个相邻者彼此相隔有相同的距离，但在此发明中并不予以限制，可以是相隔不同的距离。

所述第二圆弧边缘2153的两端分别相连于两个所述直线边缘2151的另一端、并分别相连于所述第一外C形肋2131的两个所述末端(也就是，所述第一外C形肋2131的任一个所述末端是相连于所述第二圆弧边缘2153与相对应所述直线边缘2151的连接处)。更详细地说，所述第二圆弧边缘2153的圆心重叠于所述第二圆心C2，并且所述第二圆弧边缘2153、所述第二内C形肋2142的所述外边缘2142a、及所述第二圆弧边界2141a之中的任两个相邻者彼此相隔有相同的距离，但在此发明中并不予以限制，可以是相隔不同的距离。

所述共享进气通道211自所述第一圆心C1延伸贯穿所述进气气嘴21，并且所述共享进气通道211的一第一端口2111形成于所述承载平台215上，而所述第一端口2111的至少局部位于所述第二圆弧边界2141a所延伸定义的第二外圆形区域A2141a之内、也位于所述第二内C形肋2142的所述外边缘2142a定义的一第二内圆形区域A2142a之内。

所述独立进气通道212自于所述第二圆心C2延伸贯穿所述进气气嘴21，并且所述独立进气通道212的一第二端口2121形成于所述承载平台215上，而所述第二端口2121的至少局部位于所述第一圆弧边界2131a所延伸定义的第一外圆形区域A2131a之内、也位于所述第一内C形肋2132的所述外边缘2132a定义的一第一内圆形区域A2132a之内。

此外，所述偏心距离L于本实施例中也可以是由所述第一端口2111的中心点与所述第二端口2121的中心点之间的距离来定义，并且所述第一端口2111的内径或所述第二端口2121的内径相对于所述偏心距离L的比例介于1/7至5/7之间。举例来说，所述第一端口2111的所述内径或所述第二端口2121的所述内径可以是介于1毫米(mm)～5毫米之间，而所述偏心距离L可以是7毫米。

更详细地说，所述第一端口2111与所述第二端口2121皆位于所述第一外圆形区域A2131a与所述第二外圆形区域A2141a的一重叠区域之内，并且所述承载平台215的两个端部(如：两个所述端部分别包含所述第一圆弧边缘2152与所述第二圆弧边缘2153的部位)分别位于所述重叠区域的相反两外侧。再者，所述第一端口2111与所述第二端口2121之中的任一个的至少90％部位是位于所述第一内圆形区域A2132a与所述第二内圆形区域A2142a的一重叠区域之内。

依上所述，如图1至图3、及图10所示，当所述进气气嘴21的所述顶部压抵于所述第一晶圆盒W1或所述第二晶圆盒W2，并且所述共享进气通道211与所述共享进气阀22供一气流充入所述第一晶圆盒W1或所述第二晶圆盒W2的所述内部空间时，所述独立进气通道212搭配于所述独立进气阀23(也就是，所述独立进气阀23于此时呈封闭状)、所述外气密边界、及所述内气密边界，而能共同用来阻止所述气流沿其流动穿过。

换个角度来说，如图1、图4、及图10所示，当所述进气气嘴21的所述顶部压抵于所述第三晶圆盒W3，并且所述独立进气通道212与所述独立进气阀23供一气流充入所述第三晶圆盒W3的所述内部空间时，所述共享进气通道211搭配于所述共享进气阀22(也就是，所述共享进气阀22于此时呈封闭状)、所述外气密边界、及所述内气密边界，而能共同用来阻止所述气流沿其流动穿过。

依上所述，如图1至图4、及图10所示，当两个所述进气气嘴21的所述顶部压抵于一个所述晶圆盒时，于每个所述进气气嘴21之中，所述第一进气通道211以及所述第二进气通道212的其中任一个与相对应的所述进气阀22、23能供一气流充入所述晶圆盒的内部空间，而所述第一进气通道211以及所述第二进气通道212的其中另一个搭配于相对应的所述进气阀22、23、所述外气密边界、及所述内气密边界，而能共同用来阻止所述气流沿其流动穿过。

据此，所述进气气嘴21于本实施例中在具有双通道的前提之下，通过其所述顶部的结构配置(如：所述第一圆弧边界2131a相交于所述第二圆弧边界2141a而共同构成所述外气密边界、所述第一端口2111的至少局部位于所述第二外圆形区域A2141a之内、及所述第二端口2121的至少局部位于所述第一外圆形区域A2131a之内)，以使得所述共享进气通道211与所述独立进气通道212能够作为彼此的气密结构，进而符合所述充气作业的高气密度要求。

本发明实施例的技术效果

综上所述，本发明实施例所公开的晶圆盒承载设备及复合式载座，其通过四个所述排气通道、并搭配于两个所述共享进气通道，以能够应用在具有限定尺寸的所述承载盘上，进而可以选择性地对所述第一晶圆盒或所述第二晶圆盒进行充气作业与抽气作业。

此外，本发明实施例所公开的晶圆盒承载设备及复合式载座，其可进一步通过两个所述独立进气通道，以能够在具有限定尺寸的所述承载盘上进一步搭配两个所述第三排气通道，据以适合用来进一步对所述第三晶圆盒进行充气作业以及抽气作业。

再者，本发明实施例所公开的进气模块，其在所述进气气嘴设有符合特定条件的双通道结构配置(如：所述第一端口的内径或所述第二端口的内径相对于所述偏心距离的比例介于1/7至5/7之间)，据以有效地扩展所述进气气嘴应用范围。进一步地说，本发明实施例所公开的进气模块，其在所述进气气嘴具有双通道的前提之下，通过所述进气气嘴的所述顶部的结构配置，以使得所述第一进气通道与所述第二进气通道能够作为彼此的气密结构，进而符合所述充气作业的高气密度要求。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种进气模块，其特征在于，所述进气模块包括：

至少一进气气嘴，包含：

一第一进气通道，具有一第一端口；以及

一第二进气通道，具有一第二端口，所述第二端口的中心点至所述第一端口的中心点之间的距离定义为一偏心距离；

其中，所述第一端口的内径或所述第二端口的内径相对于所述偏心距离的比例介于1/7至5/7之间。

2.依据权利要求1所述的进气模块，其特征在于，至少一所述进气气嘴包括形成于其顶部的至少一气密结构，至少一所述气密结构围绕所述第一进气通道与所述第二进气通道，且至少一所述气密结构具有一外气密边界。

3.依据权利要求1所述的进气模块，其特征在于，至少一所述进气气嘴的数量为两个，并且每个所述进气气嘴包含：

一第一气密结构，形成于相对应所述进气气嘴的顶部且包含有一第一圆弧边界，并且所述第一圆弧边界具有一第一圆心与一第一半径；及

一第二气密结构，形成于相对应所述进气气嘴的所述顶部且包含有一第二圆弧边界，并且所述第二圆弧边界具有一第二圆心与一第二半径；其中，所述第一圆弧边界相交于所述第二圆弧边界而共同构成一外气密边界，并且所述第一圆心与所述第二圆心相隔有所述偏心距离。

4.依据权利要求3所述的进气模块，其特征在于，所述进气模块包括：

两个进气阀，其中一个所述进气阀分别连通于两个所述进气气嘴的所述第一进气通道，并且其中另一个所述进气阀分别连通于两个所述进气气嘴的所述第二进气通道；

其中，当两个所述进气气嘴的所述顶部压抵于一晶圆盒时，于每个所述进气气嘴之中，所述第一进气通道与所述第二进气通道的其中任一个与相对应的所述进气阀能供一气流充入所述晶圆盒的内部空间，而所述第一进气通道与所述第二进气通道的其中另一个搭配于相对应的所述进气阀及所述外气密边界，而能共同用来阻止所述气流沿其流动穿过。

5.依据权利要求4所述的进气模块，其特征在于，于每个所述进气气嘴之中，所述第一进气通道自所述第一圆心延伸贯穿所述进气气嘴，并且所述第一端口的至少局部位于所述第二圆弧边界所延伸定义的第二外圆形区域之内；所述第二进气通道自所述第二圆心延伸贯穿所述进气气嘴，并且所述第二端口的至少局部位于所述第一圆弧边界所延伸定义的第一外圆形区域之内。

6.依据权利要求4所述的进气模块，其特征在于，每个所述进气气嘴包含有形成于其所述顶部且位于所述外气密边界之内的一承载平台；于每个所述进气气嘴之中，所述第一端口以及所述第二端口皆形成于所述承载平台上。

7.依据权利要求4所述的进气模块，其特征在于，于每个所述进气气嘴之中，所述第一气密结构包含有形成所述第一圆弧边界的一第一外C形肋，所述第二气密结构包含有形成所述第二圆弧边界的一第二外C形肋，并且所述第一外C形肋的两个末端与所述第二外C形肋的两个末端皆连接于所述承载平台。

8.依据权利要求7所述的进气模块，其特征在于，于每个所述进气气嘴之中，所述第一气密结构包含有位于所述承载平台与所述第一外C形肋之间的一第一内C形肋，所述第一内C形肋的圆心重叠于所述第一圆心，并且所述第一内C形肋相连于所述第二外C形肋；于每个所述进气气嘴之中，所述第二气密结构包含有位于所述承载平台与所述第二外C形肋之间的一第二内C形肋，所述第二内C形肋的圆心重叠于所述第二圆心，并且所述第二内C形肋相连于所述第一外C形肋。

9.依据权利要求8所述的进气模块，其特征在于，于每个所述进气气嘴之中，所述第一内C形肋的外边缘相交于所述第二内C形肋的外边缘而共同构成一内气密边界，所述第一内C形肋的所述外边缘定义的一第一内圆形区域，而所述第二内C形肋的所述外边缘定义的一第二内圆形区域，并且所述第一端口与所述第二端口之中的任一个的至少90％部位位于所述第一内圆形区域与所述第二内圆形区域的一重叠区域之内。

10.一种进气气嘴，其特征在于，所述进气气嘴为一体成型的单件式构造，并且所述进气气嘴包括：

一第一气密结构，形成于所述进气气嘴的顶部且包含有一第一圆弧边界，并且所述第一圆弧边界具有一第一圆心与一第一半径；

一第二气密结构，形成于所述进气气嘴的所述顶部且包含有一第二圆弧边界，并且所述第二圆弧边界具有一第二圆心与一第二半径；其中，所述第一圆弧边界相交于所述第二圆弧边界而构成一外气密边界，并且所述第一圆心与所述第二圆心相隔有一偏心距离；

一第一进气通道，其具有一第一端口，并且所述第一进气通道自所述第一圆心延伸贯穿所述进气气嘴；以及

一第二进气通道，其具有一第二端口，并且所述第二进气通道自所述第二圆心延伸贯穿所述进气气嘴；其中，所述第一端口的内径或所述第二端口的内径相对于所述偏心距离的比例介于1/7至5/7之间。