CN116907953A - 一种氯硅烷化学分析前处理系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及化学品杂质检测技术领域，具体为一种氯硅烷化学分析前处理系统，包括取样瓶，取样瓶的顶端上依次设置有接瓶器、加料器以及用于收集并净化水解氯硅烷溢出气体的集气部；集气部为采用水或氢氧化钠溶液过滤气体的浸液式集气器；集气部为采用排气过滤气体的排气式集气器；加料器包括可分开储放水和盐酸的储料盒以及用于先后排放水和盐酸的卸料块。本发明通过在取样瓶上设置的加料器和集气部的集合，利用加料器储存水和盐酸备用，并利用卸料块定角旋转而先后释放水和盐酸与氯硅烷反应；同时利用集气部对混合气体的氯化氢气体过滤消解处理，对氢气收集处理，达到防止有害气体扩散和资源回收利用的效果。
Description
技术领域
本发明涉及化学品杂质检测技术领域，具体为一种氯硅烷化学分析前处理系统。
背景技术
氯硅烷是由硅粉和甲基氯化物气体通过直接合成反应制备的化合物。所产生的甲基氯硅烷是各种有机硅物质的构建基块。在合成氯硅烷的过程中，使用的原料或催化剂中含有硼磷杂质，或者合成过程中发生副反应生成的硼磷杂质。硼磷杂质的存在可能会影响氯硅烷的性能和应用，因此需要对其进行检测和控制。通过确定硼磷杂质的准确浓度，可以了解其对氯硅烷的影响程度，进而采取相应的措施进行控制和调整，以保证氯硅烷产品的质量和性能。
然而确定硼磷杂质浓度一般通过先水解氯硅烷再加酸生成硼酸和磷酸，再测量溶液中酸的浓度，即可确定其含量；在此过程中，水解氯硅烷会产生氯化氢气体和氢气，氯化氢气体为有害气体，需要过滤处理掉，防止扩散至室内危害工作人员的健康，而氢气则可回收利用，因此提供一种氯硅烷化学分析前的处理系统。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷，本发明的目的在于提供一种氯硅烷化学分析前处理系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供一种氯硅烷化学分析前处理系统，包括取样瓶，所述取样瓶的顶端上依次设置有接瓶器、用于水解取样瓶内放置的氯硅烷的加料器以及用于收集并净化水解氯硅烷溢出气体的集气部；所述接瓶器套接于取样瓶和加料器之间；所述加料器包括可分开储放水和盐酸的储料盒以及用于先后排放水和盐酸的卸料块；
所述集气部为采用水或氢氧化钠溶液过滤气体的浸液式集气器，所述浸液式集气器包括与储料盒中心紧密套接的浸液筒、套设于浸液筒内壁的储气阀、设置于浸液筒底端中心内的进气管和罩设于进气管外部的浸液罩；所述进气管与浸液筒之间的空腔储放有水或氢氧化钠溶液，所述浸液罩呈倒置的圆筒状且其外径小于浸液筒的内径，所述储气阀的中心可打开可封闭；过滤后的气体通过上顶储气阀而充满浸液筒上半部；
所述集气部为采用排气过滤气体的排气式集气器，所述排气式集气器包括与储料盒中心紧密套接的排气筒、套设于排气筒内壁的排气阀、设置于排气筒底端中心内并延伸至其顶部的通气管和与排气筒顶端中心连接的密封塞；所述排气阀的中心与通气管套接并可滑动，所述排气筒的下半部内壁呈环形开设有贯穿的排气孔，所述排气筒的内壁且位于排气孔下方设有限位台；从通气管排出的混合气体通过下压排气阀而充满排气筒上半部，再经排气孔和其连通的软管排入加料器中过滤。
作为本技术方案的进一步改进，所述储料盒的顶面中心开设有插口，且其底面中心开设有集气口，所述储料盒的内侧壁等间距设有用于将其内部均匀分隔为若干空腔的若干隔板，且隔板的上下端与储料盒上顶面和下底面呈一体连接，所述储料盒的顶面开设有若干呈交替间隔设置的注水口和注酸口，若干注水口和注酸口对应设置于储料盒内部的若干空腔上方。
作为本技术方案的进一步改进，所述储料盒的底面且位于若干注水口和注酸口的下方均开设有卸料口。
作为本技术方案的进一步改进，所述储料盒的底面设有呈圆筒状的卸料嘴，所述卸料嘴的内径大于若干卸料口围成圆形的直径，所述卸料块套设于卸料嘴的顶部内，所述卸料块的中心设有与集气口插接的集气嘴，所述卸料块的顶面对称开设有卸料孔，旋转卸料块可使卸料孔只与其中一对卸料口对应。
作为本技术方案的进一步改进，所述卸料块的外侧径向对称嵌设有拨条，所述卸料嘴的顶侧壁对称开设有与一对拨条对应插接的避让槽。
作为本技术方案的进一步改进，所述接瓶器包括呈台阶轴套结构的套瓶件、与套瓶件底部转动连接的若干夹瓶板以及粘接于夹瓶板外侧面并抵接于套瓶件外壁的弹片，所述夹瓶板的内侧面粘接有板垫，所述套瓶件内部套设有密封套且密封套与取样瓶瓶嘴套接。
作为本技术方案的进一步改进，所述浸液筒的顶面开设有泄压口，所述浸液筒的底面开设有用于与集气嘴套接的进气口，所述储气阀的顶面中心设有排气嘴且排气嘴内螺纹连接有旋块。
作为本技术方案的进一步改进，所述浸液罩的顶部呈圆锥顶结构且其外壁与浸液筒内壁通过螺栓固定连接，所述储气阀的外壁套接有密封圈。
作为本技术方案的进一步改进，所述排气筒的顶面卡接有密封盖且密封盖与密封塞紧密套接配合，所述排气筒的底面中心开设有用于与集气嘴套接的通气口。
作为本技术方案的进一步改进，所述排气阀的中心开设有套孔，且套孔的顶边倒有斜角，所述排气阀的外壁套接有密封圈，此密封圈的底面粘接有用于接触限位台的弹簧，其中排气孔与限位台之间的高度差大于排气阀的厚度。
与现有技术相比，本发明的有益效果：
1、该氯硅烷化学分析前处理系统，通过在取样瓶上设置的加料器和集气部的集合，利用加料器储存水和盐酸备用，并利用卸料块定角旋转而先后释放水和盐酸与氯硅烷反应；同时利用集气部对混合气体的氯化氢气体过滤消解处理，对氢气收集处理，达到防止有害气体扩散和资源回收利用的效果。
2、该氯硅烷化学分析前处理系统，通过设置的集气部为浸液式集气器，通过进气管引入混合气体经浸液罩内的溶液过滤掉氯化氢气体后，氢气则上顶储气阀而充满浸液筒上半部；由于氢气密度小于空气，则向上排放；进而上顶储气阀储存起来待收集。
3、该氯硅烷化学分析前处理系统，通过设置的集气部为排气式集气器，从通气管排出的混合气体下压排气阀而充满排气筒上半部，再经排气孔和其连通的软管排入加料器中过滤掉氯化氢气体；直至水中冒出气泡则说明氯化氢气体已排完，冒出的气泡则为充满排气筒的氢气，以待收集。
4、该氯硅烷化学分析前处理系统，通过设置的接瓶器，利用套瓶件连通取样瓶和加料器，利用若干夹瓶板在弹片的反弹施压作用下，稳定夹持和支撑在取样瓶顶部，保证加料器和集气部稳定直立使用。
附图说明
在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本发明公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本发明的理解，并不是具体限定本发明各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本发明的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本发明。
图1为本发明的整体装配结构示意图之一；
图2为本发明的加料器结构示意图；
图3为本发明的接瓶器拆分图；
图4为本发明的储料盒全剖结构图之一；
图5为本发明的储料盒全剖结构图之二；
图6为本发明中图1的主视全剖图；
图7为本发明中图1的储气状态的全剖图；
图8为本发明中图1的全剖结构示意图；
图9为本发明的浸液筒结构示意图；
图10为本发明的浸液筒内部结构示意图；
图11为本发明的储气阀全剖图；
图12为本发明的整体装配结构示意图之二；
图13为本发明中图12的主视全剖图；
图14为本发明中图12的排气状态的全剖图；
图15为本发明中图12的全剖结构示意图；
图16为本发明的排气筒结构示意图；
图17为本发明的排气筒内部结构示意图；
图18为本发明的排气阀局部拆分图。
图中各个标号意义为：
100、取样瓶；
200、接瓶器；210、套瓶件；220、夹瓶板；221、板垫；230、弹片；
300、加料器；310、储料盒；311、插口；312、隔板；313、注水口；314、注酸口；315、集气口；316、卸料口；320、卸料嘴；321、避让槽；
330、卸料块；331、卸料孔；332、集气嘴；333、拨条；
400、浸液式集气器；410、浸液筒；411、泄压口；412、进气口；420、储气阀；421、排气嘴；422、密封圈；430、进气管；440、浸液罩；
500、排气式集气器；510、排气筒；511、密封盖；512、通气口；513、排气孔；514、限位台；520、排气阀；521、套孔；530、通气管；540、密封塞。
具体实施方式
结合附图和本发明具体实施方式的描述，能够更加清楚地了解本发明的细节。但是，在此描述的本发明的具体实施方式，仅用于解释本发明的目的，而不能以任何方式理解成是对本发明的限制。在本发明的教导下，技术人员可以构想基于本发明的任意可能的变形，这些都应被视为属于本发明的范围。术语“安装”、“连接”应作广义理解，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。
本文所使用的术语“中心轴”、“竖向”、“水平”、“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，在本发明的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1-图18所示，本发明提供一种氯硅烷化学分析前处理系统，包括取样瓶100，取样瓶100的顶端上依次设置有接瓶器200、用于水解取样瓶100内放置的氯硅烷的加料器300以及用于收集并净化水解氯硅烷溢出气体的集气部；由于氯硅烷水解会生成氯化氢气体和氢气，而氯化氢气体对人体有害，需要消除防止扩散到室内，而氢气可以收集利用，因此通过设置集气部过滤氯化氢气体并收集氢气，达到防止有害气体扩散和资源回收利用的效果；接瓶器200套接于取样瓶100和加料器300之间；加料器300包括可分开储放水和盐酸的储料盒310以及用于先后排放水和盐酸的卸料块330；
氯硅烷会进行水解和缩聚反应，得到基本有机硅产品，然而其中含有的硼、磷杂质，其浓度越大则会影响其电性能、耐候性、耐腐蚀性等方面的性能。因此需要对氯硅烷进行制硅前的分析处理；本发明通过取样瓶放置氯硅烷并加水水解，再加酸生成硼酸和磷酸，再利用原子吸收光谱法或等离子体原子发射光谱法等，对硼、磷杂质进行测量和分析，以确定硼磷杂质的准确浓度。例如，如果硼磷杂质超出了规定的浓度范围，可以通过调整生产工艺、更换原材料等方式来降低杂质含量。
具体的，集气部为采用水或氢氧化钠溶液过滤气体的浸液式集气器400，氯化氢气体溶于水而生成盐酸，溶于氢氧化钠溶液而生成氯化钠、次氯酸钠和水，而实现酸碱中和反应；以此过滤掉氯化氢气体，而氢气则顺利通过水或氢氧化钠溶液被收集；浸液式集气器400包括与储料盒310中心紧密套接的浸液筒410、套设于浸液筒410内壁的储气阀420、设置于浸液筒410底端中心内的进气管430和罩设于进气管430外部的浸液罩440；
进气管430与浸液筒410之间的空腔储放有水或氢氧化钠溶液，过滤后的气体通过上顶储气阀420而充满浸液筒410上半部；浸液罩440呈倒置的圆筒状且其外径小于浸液筒410的内径，使得取样瓶100内水解产生的气体从进气管430进入，经浸液罩440顶部遮挡而引导氯化氢气体和氢气混合气体溶入水或氢氧化钠溶液，过滤掉氯化氢气体，再从浸液罩440外壁与浸液筒410内壁之间的空腔排出，由于氢气密度小于空气，则向上排放；进而上顶储气阀420储存起来；
储气阀420的中心可打开可封闭，以便释放而收集氢气。
此外，集气部为采用排气过滤气体的排气式集气器500，排气式集气器500包括与储料盒310中心紧密套接的排气筒510、套设于排气筒510内壁的排气阀520、设置于排气筒510底端中心内并延伸至其顶部的通气管530和与排气筒510顶端中心连接的密封塞540；排气阀520的中心与通气管530套接并可滑动，以此隔开排气筒510内腔分成上下部分；
排气筒510的下半部内壁呈环形开设有贯穿的排气孔513，用于排散空气和氯化氢气体；排气筒510的内壁且位于排气孔513下方设有限位台514，用于限制排气阀520被气体压到此处停下；从通气管530排出的混合气体下压排气阀520而充满排气筒510上半部，再经排气孔513和其连通的软管排入加料器300中过滤；由于氢气密度小于空气和氯化氢气体，则空气和氯化氢气体在下方先被排至加料器300中溶入水中而生成盐酸，直至水中冒出气泡则说明氯化氢气体已排完，冒出的气泡则为充满排气筒510的氢气；
此时，从储料盒310中拿出软管，同时打开密封塞540即可收集氢气；排气阀520的外壁套接有密封圈422，此密封圈422的底面粘接有用于接触限位台514的弹簧，其中排气孔513与限位台514之间的高度差大于排气阀520的厚度；以便排气阀520被气体压到排气孔513下方释放出去；
由于氢气的排放形成负压，则在大气压的压力下，从软管排入空气经排气孔513进入排气阀520下方而充满排气阀520空腔内；由于氢气的减少，则排气阀520失去压力，则在弹簧回弹力作用下弹至排气孔513上方，则外界空气便能被大气压压入排气阀520下方而上顶至排气筒510顶部，再塞上密封塞540避免排气阀520上方进入空气，同时利用密封圈422与排气筒510内壁的摩擦力，使得排气阀520不下坠。
进一步的，储料盒310的顶面中心开设有插口311，且其底面中心开设有集气口315，储料盒310的内侧壁等间距设有用于将其内部均匀分隔为若干空腔的若干隔板312，且隔板312的上下端与储料盒310上顶面和下底面呈一体连接，使得浸液筒410或排气筒510均与若干隔板312紧贴并粘接而使储料盒310内形成若干储料的空腔；储料盒310的顶面开设有若干注水口313和注酸口314，且呈交替间隔设置，并对应设置于储料盒310内部的若干空腔上方；
优选的，隔板312的数量为4个，注水口313和注酸口314各为两个；储料盒310的底面且位于若干注水口313和注酸口314的下方均开设有卸料口316；卸料口316的数量为4个，每两个卸料口316靠在一起且位于其中一个隔板312两侧，使得开启和关闭卸料口316的范围缩小，以便控制。
储料盒310的底面设有呈圆筒状的卸料嘴320，卸料嘴320的内径大于若干卸料口316围成圆形的直径，卸料块330套设于卸料嘴320的顶部内，使得卸料块330能遮盖若干卸料口316；卸料块330的中心设有与集气口315插接的集气嘴332，以便引排取样瓶100中的混合气体进入浸液筒410中；卸料块330的顶面对称开设有卸料孔331，旋转卸料块330可使卸料孔331只与其中一对卸料口316对应，这样便可控制注水口313或注酸口314所对应的空腔中的水或盐酸而先后释放，进而进行水解和析出杂质的反应。
进一步的，卸料块330的外侧径向对称嵌设有拨条333，以便工作人员在外部操作拨条333而控制卸料块330旋转；卸料嘴320的顶侧壁对称开设有与拨条333插接的避让槽321，以便拨条333有一定的旋转范围，而完成对卸料口316的交替打开和全部封闭。
具体的，接瓶器200包括呈台阶轴套结构的套瓶件210、与套瓶件210底部转动连接的若干夹瓶板220以及粘接于夹瓶板220外侧面并抵接于套瓶件210外壁的弹片230，弹片230采用弹簧钢制成折弯型薄片结构；卸料嘴320与套瓶件210顶端套接配合；利用套瓶件210底端套住取样瓶100瓶嘴，利用若干夹瓶板220在弹片230的反弹力作用下，而夹在取样瓶100顶部，而适应不同外径的瓶身；
同时，夹瓶板220的内侧面粘接有板垫221，板垫221采用硅胶制成，以增加摩擦力，形成稳定夹持和支撑作用；套瓶件210内部套设有密封套且密封套与取样瓶100瓶嘴套接，密封套也采用硅胶制成，使得套瓶件210能与不同口径的瓶嘴密封套接。
值得说明的是，浸液筒410的顶面开设有泄压口411，以便储气阀420上顶时，通过泄压口411排掉储气阀420上方的空气，避免阻碍储气阀420下方过滤后的气体上升；浸液筒410的底面开设有与集气嘴332套接的进气口412，也与进气管430相连通；储气阀420的顶面中心设有排气嘴421且排气嘴421内螺纹连接有旋块，以便打开和封闭储气阀420。
具体的，浸液罩440的顶部呈圆锥顶结构且其外壁与浸液筒410内壁通过螺栓固定连接，使得浸液罩440悬置于浸液筒410内部且位于进气管430上方以及外部，而形成通气的通道；储气阀420的外壁套接有密封圈422，起到密封作用，保证储气阀420滑动时不泄气。
除此之外，排气筒510的顶面卡接有密封盖511且密封盖511与密封塞540紧密套接配合，排气筒510的底面中心开设有通气口512集气嘴332套接的通气口512，也与通气管530相连通；排气阀520的中心开设有套孔521，且套孔521的顶边倒有斜角，套孔521与通气管530套接，且套孔521内壁粘接有橡胶圈，起到密封防滑的作用；套孔521的斜角使得通气管530排上来的气体能渗入到斜角空腔内而下压排气阀520排走排气筒510内的空气，以便排气阀520上方充满混合气体。
本发明的氯硅烷化学分析前处理系统在使用时，先将氯硅烷放置取样瓶100内，并依次套上接瓶器200、加料器300和集气部，再向加料器300的四个空腔中交替注入水和盐酸备用；
若集气部是浸液式集气器400，则旋转卸料块330使得卸料孔331先对准注水口313下方的卸料口316，而释放水至取样瓶100内，使得氯硅烷水解反应而释放氯化氢气体和氢气，再从进气管430进入，经浸液罩440顶部遮挡而引导氯化氢气体和氢气混合气体溶入水或氢氧化钠溶液，过滤掉氯化氢气体，再从浸液罩440外壁与浸液筒410内壁之间的空腔排出；由于氢气密度小于空气，则向上排放，进而上顶储气阀420储存起来；再打开储气阀420释放而收集氢气；
若集气部是排气式集气器500，则旋转卸料块330使得卸料孔331先对准注水口313下方的卸料口316，而释放水至取样瓶100内，使得氯硅烷水解反应而释放氯化氢气体和氢气，从通气管530排出的混合气体下压排气阀520而充满排气筒510上半部，再经排气孔513和其连通的软管排入加料器300中过滤；由于氢气密度小于空气和氯化氢气体，则空气和氯化氢气体在下方先被排至加料器300中溶入水中而生成盐酸，直至水中冒出气泡则说明氯化氢气体已排完，冒出的气泡则为充满排气筒510的氢气；再从储料盒310中拿出软管，同时打开密封塞540即可释放而收集氢气；
再旋转卸料块330使得卸料孔331对准注酸口314下方的卸料口316，而释放盐酸至取样瓶100内，与硼、磷杂质反应生成硼酸和磷酸，待混合气体处理后再利用原子吸收光谱法或等离子体原子发射光谱法等，对硼、磷杂质进行测量和分析，以确定硼磷杂质的准确浓度，进而确定此批氯硅烷的质量是否能用以及是否需要调整氯硅烷生产工艺。
需要说明的是，上述实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种氯硅烷化学分析前处理系统，包括取样瓶（100），其特征在于：所述取样瓶（100）的顶端上依次设置有接瓶器（200）、用于水解取样瓶（100）内放置的氯硅烷的加料器（300）以及用于收集并净化水解氯硅烷溢出气体的集气部；所述接瓶器（200）套接于取样瓶（100）和加料器（300）之间；所述加料器（300）包括可分开储放水和盐酸的储料盒（310）以及用于先后排放水和盐酸的卸料块（330）；
所述集气部为采用水或氢氧化钠溶液过滤气体的浸液式集气器（400），所述浸液式集气器（400）包括与储料盒（310）中心紧密套接的浸液筒（410）、套设于浸液筒（410）内壁的储气阀（420）、设置于浸液筒（410）底端中心内的进气管（430）和罩设于进气管（430）外部的浸液罩（440）；所述进气管（430）与浸液筒（410）之间的空腔储放有水或氢氧化钠溶液，所述浸液罩（440）呈倒置的圆筒状且其外径小于浸液筒（410）的内径，所述储气阀（420）的中心可打开、可封闭；过滤后的气体通过上顶储气阀（420）而充满浸液筒（410）上半部；
所述集气部为采用排气过滤气体的排气式集气器（500），所述排气式集气器（500）包括与储料盒（310）中心紧密套接的排气筒（510）、套设于排气筒（510）内壁的排气阀（520）、设置于排气筒（510）底端中心内并延伸至其顶部的通气管（530）和与排气筒（510）顶端中心连接的密封塞（540）；所述排气阀（520）的中心与通气管（530）套接并可滑动，所述排气筒（510）的下半部内壁呈环形开设有贯穿的排气孔（513），所述排气筒（510）的内壁且位于排气孔（513）下方设有限位台（514）；从通气管（530）排出的混合气体通过下压排气阀（520）而充满排气筒（510）上半部，再经排气孔（513）和与排气孔（513）连通的软管排入加料器（300）中过滤。
2.根据权利要求1所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述储料盒（310）的顶面中心开设有插口（311），且其底面中心开设有集气口（315），所述储料盒（310）的内侧壁等间距设有用于将其内部均匀分隔为若干空腔的若干隔板（312），且隔板（312）的上下端与储料盒（310）上顶面和下底面呈一体连接，所述储料盒（310）的顶面开设有若干呈交替间隔设置的注水口（313）和注酸口（314），若干注水口（313）和注酸口（314）对应设置于储料盒（310）内部的若干空腔上方。
3.根据权利要求2所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述储料盒（310）的底面且位于若干注水口（313）和注酸口（314）的下方均开设有卸料口（316）。
4.根据权利要求3所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述储料盒（310）的底面设有呈圆筒状的卸料嘴（320），所述卸料嘴（320）的内径大于若干卸料口（316）围成圆形的直径，所述卸料块（330）套设于卸料嘴（320）的顶部内，所述卸料块（330）的中心设有与集气口（315）插接的集气嘴（332），所述卸料块（330）的顶面对称开设有卸料孔（331），旋转卸料块（330）可使卸料孔（331）只与其中一对卸料口（316）对应。
5.根据权利要求4所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述卸料块（330）的外侧径向对称嵌设有拨条（333），所述卸料嘴（320）的顶侧壁对称开设有与一对拨条（333）对应插接的避让槽（321）。
6.根据权利要求5所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述接瓶器（200）包括呈台阶轴套结构的套瓶件（210）、与套瓶件（210）底部转动连接的若干夹瓶板（220）以及粘接于夹瓶板（220）外侧面并抵接于套瓶件（210）外壁的弹片（230），所述夹瓶板（220）的内侧面粘接有板垫（221），所述套瓶件（210）内部套设有密封套且密封套与取样瓶（100）瓶嘴套接。
7.根据权利要求6所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述浸液筒（410）的顶面开设有泄压口（411），所述浸液筒（410）的底面开设有用于与集气嘴（332）套接的进气口（412），所述储气阀（420）的顶面中心设有排气嘴（421）且排气嘴（421）内螺纹连接有旋块。
8.根据权利要求7所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述浸液罩（440）的顶部呈圆锥顶结构且其外壁与浸液筒（410）内壁通过螺栓固定连接，所述储气阀（420）的外壁套接有密封圈（422）。
9.根据权利要求8所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述排气筒（510）的顶面卡接有密封盖（511）且密封盖（511）与密封塞（540）紧密套接配合，所述排气筒（510）的底面中心开设有用于与集气嘴（332）套接的通气口（512）。
10.根据权利要求9所述的氯硅烷化学分析前处理系统，其特征在于：所述排气阀（520）的中心开设有套孔（521），且套孔（521）的顶边倒有斜角，所述排气阀（520）的外壁也套接有密封圈（422），此密封圈（422）的底面粘接有用于接触限位台（514）的弹簧，其中排气孔（513）与限位台（514）之间的高度差大于排气阀（520）的厚度。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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