CN116907417A - 平面度检测方法、系统及存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种平面度检测方法、系统及存储介质，涉及精密机械设备检测技术领域。其技术方案要点是：获取所述待测导轨上的测量节点的位置信息；根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度。本申请提供的平面度检测方法、系统及存储介质，具有通过提高移动基准精度、以及增强自检状态下的误差补偿，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率的优点。

Description

平面度检测方法、系统及存储介质

技术领域

本申请涉及精密机械设备检测技术领域，具体而言，涉及一种平面度检测方法、系统及存储介质。

背景技术

在精密设备的运动、定位精度等参数中，导轨自身的精度是所有运动、定位的前提。考虑到成本、空间和精度的要求，体积小、行程长且整体精度高的导轨被广泛使用，为了确保整体性能满足技术指标要求，导轨在开始安装前以及安装后都应有精度检测环节，快速精确的检测导轨安装面的平面度是实现运动精度保障的基础。

但是目前针对于细长型、超精密导轨的平面度检测，由于待检测平面比较细，而且行程较长，常规的打表法很难一次性完成整个工件平面度的误差值检测，多次分段检测则会导致引入新的误差。当前通常采用工件不动，然后在基准面上直接拉动测头表座的方式进行平面度测量，但由于表座移动的基准平台本身具有平面度误差，此误差在测量中将会叠加到精密导轨测量面的平面度数值中，进而影响精度，并且在检测过程中过于倚靠操作人员的熟练度，受外界影响过大，不利于高效且准确的完成平面度检测。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种平面度检测方法、系统及存储介质，具有通过提高移动基准精度、以及增强自检状态下的误差补偿，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率的优点。

第一方面，本申请提供了一种平面度检测方法，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，所述测量平台上设置有平行于所述待测导轨的气浮导轨，所述气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测所述待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测所述第一测量装置在所述气浮导轨上的第二高度差信息，所述方法包括以下步骤：

获取所述待测导轨上的测量节点的位置信息；

根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；

根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度。

本申请提供的平面度检测方法，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，测量平台上设置有平行于待测导轨的气浮导轨，气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨上的第二高度差信息，通过获取待测导轨上的测量节点的位置信息；根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨的平面度，实现每个测量节点的误差修正，即增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨平面度检测过程中的误差补偿，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨提高测量过程中的移动基准精度，进一步减小测量过程中产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

进一步地，在本申请中，根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息的步骤之后还包括：

判断全部的所述测量节点是否测量完毕；

当全部的所述测量节点测量完毕时，再次获取初始位置的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；

根据第一次获取的初始位置的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息、以及再次获取的初始位置的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到误差值；

当所述误差值大于预设值时，重新进行平面度检测。

本申请提供的平面度检测方法，通过判断全部的测量节点是否测量完毕；当全部的测量节点测量完毕时，再次获取初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息；根据第一次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息、以及再次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到误差值；当误差值大于预设值时，重新进行平面度检测，实现对于第一高度差信息和第二高度差信息的自检，即进一步增强自检状态下的误差补偿，通过判断误差值与预设值的区别程度，确定已测得的第一高度信息和第二高度信息是否具备准确性，当误差值大于预设值时，重新进行平面度检测，即在已测得的第一高度信息和第二高度信息不具备准确性时，放弃该组无效数据，重新进行平面度检测，以获得准确的数据，从而得出待测导轨的真实且准确的平面度。

进一步地，在本申请中，当所述误差值大于预设值时，重新进行平面度检测的步骤之前还包括：

判断每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息的逻辑性；

当所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息不符合逻辑性时，检查所述第一测量装置、以及所述第二测量装置。

本申请提供的平面度检测方法，通过判断每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息的逻辑性；当测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息不符合逻辑性时，检查第一测量装置、以及第二测量装置，以分析第一高度差信息和第二高度差信息的逻辑性，判断对应的数据是否真实且准确，进而保证后续平面度计算结果的准确性，其中，通过判断第一高度差信息和第二高度差信息是否符合逻辑性，避免误差过大的跳动性数据或其他方式的不真实数据影响平面度检测过程中的准确性。

进一步地，在本申请中，所述第一高度差信息为所述待测导轨上的每个所述测量节点相对于初始位置的所述测量节点的高度差数值；

所述第二高度差信息为所述气浮导轨上与每个所述测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值。

本申请提供的平面度检测方法，第一高度差信息为待测导轨上的每个测量节点相对于初始位置的测量节点的高度差数值；第二高度差信息为气浮导轨上与每个测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值，即通过获取待测导轨上每个测量节点相对于初始位置测量节点的高度差数值，减小待测导轨作为待测平面所产生的误差，增强第一高度差信息的准确性，增强待测导轨作为待测平面时的误差补偿；通过获取气浮导轨上与每个测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值，减小气浮导轨作为测量基准面所产生的误差，增强第二高度差信息的准确性，增强气浮导轨作为测量基准面时的误差补偿。

进一步地，在本申请中，根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度的步骤包括：

根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息生成数据组，所述数据组包括m×n组数据，所述m×n组数据由所述待测导轨上沿x方向和y方向的m×n个栅格型所述测量节点形成；

根据所述数据组对应生成数学矩阵；

根据对角线法对所述数学矩阵进行计算得到所述待测导轨的平面度。

进一步地，在本申请中，所述根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息生成数据组的步骤之后还包括：

判断所述数据组的逻辑性；

当所述数据组不符合逻辑性时，重新获取所述测量节点对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；

根据重新获取的对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息更新所述数据组。

进一步地，在本申请中，所述根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息生成数据组的步骤包括：

根据对应的所述第二高度差信息计算得到每个所述测量节点相对于初始位置的所述测量节点的第一差值；

根据对应的所述第一高度差信息、以及所述第一差值计算得到每个所述测量节点的所述第一高度差信息与所述第一差值的第二差值；

根据每个所述测量节点的所述第二差值生成所述数据组。

第二方面，本申请还提供了一种平面度检测系统，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，包括测量平台，所述测量平台上设置有平行于所述待测导轨的气浮导轨，所述气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测所述待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测所述第一测量装置在所述气浮导轨上的第二高度差信息；

还包括处理器，所述处理器获取所述待测导轨上的测量节点的位置信息，根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息，根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度。

本申请提供的平面度检测系统，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，测量平台上设置有平行于待测导轨的气浮导轨，气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨上的第二高度差信息，还包括处理器，处理器用于获取待测导轨上的测量节点的位置信息；根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨的平面度，实现每个测量节点的误差修正，即增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨平面度检测过程中的误差补偿，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨提高测量过程中的移动基准精度，进一步减小测量过程中产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

进一步地，在本申请中，所述测量平台通过平台支撑腿放置于地面上，所述气浮导轨上滑动设置有气浮板，所述气浮导轨在远离所述待测导轨的一侧设置有直线电机，所述直线电机通过角板连接所述气浮板，所述气浮板上设置有长导轨，所述长导轨的内部设置有丝杠，所述丝杠连接有直驱电机，所述长导轨的顶端外部设置有溜板，所述溜板与所述丝杠滑动连接，所述溜板上设置有测量探杆和光学反射镜，所述测量探杆通过微调环连接有电感测微仪接触测头，所述电感测微仪接触测头连接有测量指示器，所述测量平台的一侧设置有双频激光干涉仪，所述双频激光干涉仪与所述光学反射镜保持对准设置；

所述电感测微仪接触测头、所述测量探杆、所述微调环、以及所述测量指示器共同构成所述第一测量装置，所述光学反射镜、所述双频激光干涉仪共同构成所述第二测量装置。

第三方面，本申请提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时运行如上述第一方面提供的方法中的步骤。

由上可知，本申请提供的平面度检测方法、系统及存储介质，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，测量平台上设置有平行于待测导轨的气浮导轨，气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨上的第二高度差信息，通过获取待测导轨上的测量节点的位置信息；根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨的平面度，实现每个测量节点的误差修正，即增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨平面度检测过程中的误差补偿，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨提高测量过程中的移动基准精度，进一步减小测量过程中产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

图1为本申请实施例提供的平面度检测方法的一种流程图。

图2为本申请实施例提供的平面度检测系统的处理器的结构组成图。

图3为本申请实施例提供的平面度检测系统的应用结构图。

图4为本申请实施例提供的平面度检测方法中待测导轨与测量基准面的误差示意图。

图5为本申请实施例提供的平面度检测方法中双频激光干涉仪与光学反射镜配合使用的工作原理示意图。

图6为本申请实施例提供的平面度检测方法中待测工件的待测平面上测量节点的划分示意图。

标号说明：1、测量指示器；2、平台支撑腿；3、测量平台；4、直线电机定子；5、气浮导轨；6、直线电机动子；7、角板；8、气浮板；9、直驱电机；10、丝杠；11、长导轨；12、光学反射镜；13、溜板；14、测量探杆；15、微调环；16、电感测微仪接触测头；17、待测导轨；18、双频激光干涉仪；201、第一获取模块；202、第一控制模块；203、第二控制模块。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

下文公开并提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的目的，解决了现有技术中存在的问题。目前在实际应用中，针对细长型、超精密导轨的平面度检测，由于待测导轨17的待测平面比较细，而且行程较长，常规的打表法很难一次性完成整个待测导轨17平面度的误差值检测，但是多次分段的检测方式则会引入新的误差，导致误差叠加，影响平面度的检测精度，之后又采取待测导轨17保持固定不动，然后在测量基准面上直接拉动测头表座的方式进行平面度测量，但由于表座移动的基准平台本身具有平面度误差，也造成了误差叠加的问题出现，进而影响测量精度，并在检测过程中，该测量方式过于倚靠操作人员的熟练度，受外界因素影响过大，不利于高效且准确的完成待测导轨17的平面度检测，为了解决上述问题，本申请提供了一种平面度检测方法、系统及存储介质，具体如下：

请参照图1，本申请实施例提供了一种平面度检测方法，用于检测设置在测量平台3上待测导轨17的平面度，测量平台3上设置有平行于待测导轨17的气浮导轨5，气浮导轨5上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨17的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨5上的第二高度差信息，该方法包括以下步骤：

S1、获取待测导轨17上的测量节点的位置信息；

S2、根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；

S3、根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度。

其中，在该步骤S1中，获取待测导轨17上的测量节点的位置信息，便于第一测量装置对每个测量节点进行准确的逐个测量，利于后续得出对应的第一高度差信息和第二高度差信息。其中，待测导轨17上被指定划分有多个测量节点，每个测量节点对应有各自的位置信息，从而利于后续供气浮导轨5上的第一测量装置对待测导轨17上的每个测量节点进行测量；对应地，同时利于气浮导轨5上还设置有的第二测量装置对气浮导轨5上与每个测量节点相对应的测量位置进行测量，便于后续第一高度差信息和第二高度差信息的得出。

其中，在该步骤S2中，根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息，便于为后续的平面度计算提供数据基础。其中，第一高度差信息为待测导轨17上的每个测量节点相对于初始位置的测量节点的高度差数值；第二高度差信息为气浮导轨5上与每个测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值，即通过获取待测导轨17上每个测量节点相对于初始位置测量节点的高度差数值，减小待测导轨17作为待测平面所产生的误差，增强第一高度差信息的准确性，增强待测导轨17作为待测平面时的误差补偿；通过获取气浮导轨5上与每个测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值，减小气浮导轨5作为测量基准面所产生的误差，增强第二高度差信息的准确性，增强气浮导轨5作为测量基准面时的误差补偿。

其中，在一些优选的实施方式中，该步骤S2之后还包括以下子步骤：S201、判断全部的测量节点是否测量完毕；S202、当全部的测量节点测量完毕时，再次获取初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息；S203、根据第一次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息、以及再次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到误差值；S204、当误差值大于预设值时，重新进行平面度检测。

具体地，在该步骤S201中，通过判断全部的测量节点是否测量完毕，确定此时是要继续进行平面度检测工作，还是要进行误差值自检工作。其中，平面度检测工作指的是依次获取各测量节点位置处的第一高度差信息和第二高度差信息，进而计算得出平面度数值；误差值自检工作指的是在测量节点处出现误差值较大的数据时，针对该测量节点处进行误差值的检测。在该步骤S202中，当全部的测量节点测量完毕时，再次获取初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息，即实现在全部的测量节点测量完毕之后的自检工作，以初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息的获取，便于后续与第一次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息进行对比计算，从而实现待测平面、以及测量基准面的误差补偿。其中，初始位置指的是初始的测量节点所在的位置，在步骤S1中，获取待测导轨上的测量节点的位置信息，其包含初始的测量节点的位置信息，也包含其他的测量节点的位置信息，该步骤S202中的初始位置，即指的是初始的测量节点的位置信息，实现对于该初始的测量节点的数据的重新测量，数据则指的是第一高度差信息和第二高度差信息。在该步骤S203中，根据第一次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息、以及再次获取的初始位置的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到误差值，通过计算得到误差值，实现待测平面、以及测量基准面的误差补偿，减小待测平面、以及测量基准面在测量过程中各自产生的误差，同时也避免待测平面、以及测量基准面在测量过程中产生的误差叠加问题出现，从而真正实现自检状态下的误差补偿。在该步骤S204中，当误差值大于预设值时，重新进行平面度检测，实现对于第一高度差信息和第二高度差信息的自检，即进一步增强自检状态下的误差补偿，通过判断误差值与预设值的区别程度，确定已测得的第一高度信息和第二高度信息是否具备准确性，当误差值大于预设值时，重新进行平面度检测，即在已测得的第一高度信息和第二高度信息不具备准确性时，放弃该组无效数据，重新进行平面度检测，以获得准确的数据，从而得出待测导轨17的真实且准确的平面度。

其中，在一些优选的实施方式中，该步骤S204之前还包括以下子步骤：S2041、判断每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息的逻辑性；S2042、当测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息不符合逻辑性时，检查第一测量装置、以及第二测量装置。

具体地，在该步骤S2041中，通过判断每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息的逻辑性，以确定对应的数据是否真实且准确，进而保证后续平面度计算结果的准确性，通过判断第一高度差信息和第二高度差信息是否符合逻辑性，避免误差过大的跳动性数据或其他方式的不真实数据影响平面度检测过程中的准确性。更为具体地，在平面度的数据测量过程中，所测得的数据在大多数情况下都是不同的，所测得的数据有大有小，这就产生了数据浮动，而正常的数据则具备一个正常的浮动范围，逻辑性即指所测得的数据处于平面度测量过程中的正常浮动范围内，防止跳动过大、出现极端数值，使超出正常浮动范围的数据避免被纳入平面度的计算过程中，从而减小测量误差，此时，所测得的数据便符合逻辑性。所测得的数据出现极端数值时，该极端数值不超过最大值的三倍以上，或者不小于最小值的一半以下，即属于正常的浮动范围，该极端数值则属于待测导轨平面度的正常数据浮动幅度，也就是该极端数值符合逻辑性；若所测得的数据超过最大值的三倍以上，或者小于最小值的一半以下，则该测得的数据存在过大的偏差，数据跳动过大，此时所测得的数据不属于正常数据浮动幅度，不符合正常的浮动范围，也就是不符合逻辑性。其中，数据的跳动或浮动，指的是所测得的数据出现极端数值，该极端数值就会成为最大值或最小值，该极端数值不能超过浮动范围内的最大值的三倍以上，或者不能小于浮动范围内的最小值的一半以下。其中，最大值指的是，在出现极端数值之前的最大值，可以理解为旧的最大值；极端数值指的是，所测得的数据出现新的最大值，并且新的最大值是旧的最大值的三倍以上，此时，新的最大值不符合逻辑性，即极端数值不符合逻辑性，需要重新进行测量；最小值指的是，在出现极端数值之前的最小值，可以理解为旧的最小值；极端数值还可以指的是，所测得的数据出现新的最小值，并且新的最小值是旧的最小值的一半以下，此时，新的最小值不符合逻辑性，即极端数值不符合逻辑性，需要重新进行测量。在该步骤S2042中，当测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息不符合逻辑性时，检查第一测量装置、以及第二测量装置，通过检查第一测量装置、以及第二测量装置，以达到检修更正的目的，保证第一测量装置、以及第二测量装置在后续的测量过程中能够保持测量数据的准确性。其中，检查第一测量装置、以及第二测量装置时，需要检查的内容包括但不限于第一测量装置的自身质量、运行状况、其与待测导轨17之间的夹角，以及第二测量装置的自身质量、运行状况、其与气浮导轨5之间的夹角。通过检查第一测量装置、以及第二测量装置，分析结构本身导致第一高度差信息或第二高度差信息的数据欠缺准确性，还是其与待测导轨17或气浮导轨5之间的夹角或状态发生改变导致第一高度差信息或第二高度差信息的数据欠缺准确性，进而找出问题并纠正，保证第一测量装置、以及第二测量装置在后续测量过程中的测量准确性，得出更为准确的第一高度差信息和第二高度差信息。

其中，在该步骤S3中，根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度，通过第一高度差信息和第二高度差信息的叠加处理，实现每个测量节点处对于待测平面和测量基准面的双重误差修正，如图3至图5所示，从而增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨17在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨5在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨17平面度检测过程中的误差补偿，再根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息进行计算得到待测导轨17的平面度，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨5提高测量过程中的移动基准精度，进一步减小待测平面、以及测量基准面在测量过程中各自产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

其中，在一些优选的实施方式中，该步骤S3包括以下子步骤：S301、根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息生成数据组，数据组包括m×n组数据，m×n组数据由待测导轨17上沿x方向和y方向的m×n个栅格型测量节点形成；S302、根据数据组对应生成数学矩阵；S303、根据对角线法对数学矩阵进行计算得到待测导轨17的平面度。

具体地，在该步骤S301中，通过根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息生成数据组，为后续的平面度计算提供充分且完整的数据基础，其中，数据组包括m×n组数据，m×n组数据由待测导轨17上沿x方向和y方向的m×n个栅格型测量节点形成，通过在细长型的待测导轨17上形成沿x方向和y方向的m×n个栅格型测量节点，对于细长型的待测导轨17的待测平面形成全面覆盖，从而保证待测平面上的测量节点所对应的第一高度差信息和第二高度差信息具备准确性和完整性。在该步骤S302中，根据数据组对应生成数学矩阵，通过根据数据组对应生成数学矩阵，与m×n组数据的栅格型方式更为匹配，进而便于精确且合理的计算出待测导轨17的平面度。在该步骤S303中，根据对角线法对数学矩阵进行计算得到待测导轨17的平面度，其中，对角线法更适用于数学矩阵的数学求解计算工作，从而保证数据计算过程中的准确性和合理性，从而以具有针对性的对角线法计算得出待测导轨17的平面度。

其中，在一些优选的实施方式中，该步骤S301之后还包括以下子步骤：S3011、判断数据组的逻辑性；S3012、当数据组不符合逻辑性时，重新获取测量节点对应的第一高度差信息和第二高度差信息；S3013、根据重新获取的对应的第一高度差信息和第二高度差信息更新数据组。

具体地，在该步骤S3011中，通过判断数据组的逻辑性，确定数据组中是否存在不合理、不准确、不真实的数据，即验证每个测量节点的第一高度差信息和第二高度差信息所形成的数据组是否可靠且准确，避免影响平面度测量过程中的数据准确度。通过判断第一高度差信息和第二高度差信息是否符合逻辑性，避免误差过大的跳动性数据或其他方式的不真实数据影响数据组在平面度计算过程中的准确性。在该步骤S3012中，当数据组不符合逻辑性时，重新获取测量节点对应的第一高度差信息和第二高度差信息，对于不准确的数据进行重新测量，从而实现该测量节点的第一高度差信息和第二高度差信息的数据纠正，提高数据组的整体数据准确性和可靠性。在该步骤S3013中，通过根据重新获取的对应的第一高度差信息和第二高度差信息更新数据组，实现数据组的准确更新，确保由对应的第一高度差信息和第二高度差信息生成的数据组具备充分、完整、准确的数据，进而保证数据组的整体准确性，便于后续计算得到准确的平面度。

其中，在一些优选的实施方式中，该步骤S301还包括以下子步骤：S3014、根据对应的第二高度差信息计算得到每个测量节点相对于初始位置测量节点的第一差值；S3015、根据对应的第一高度差信息、以及第一差值计算得到每个测量节点的第一高度差信息与第一差值的第二差值；S3016、根据每个测量节点的第二差值生成数据组。

具体地，在该步骤S3014中，根据对应的第二高度差信息计算得到每个测量节点相对于初始位置测量节点的第一差值，减小第二高度差信息的数据误差，即减小气浮导轨5在测量过程中作为测量基准面产生的误差，增强气浮导轨5在测量过程中的误差补偿，进而保证平面度的测量精度。在该步骤S3015中，根据对应的第一高度差信息、以及第一差值计算得到每个测量节点的第一高度差信息与第一差值的第二差值，减小待测导轨17在测量过程中作为待测平面产生的误差，同时减小待测导轨17作为待测平面、以及气浮导轨5作为测量基准面在测量过程中产生的叠加误差，增强两者之间的误差补偿，避免两者产生误差叠加，保证平面度的测量准确性。在该步骤S3016中，通过根据每个测量节点的第二差值生成数据组，根据减小误差后的第二差值生成数据组，实现多层次减小误差方式的数据叠加，通过每个层次数据误差的减小、以及共同叠加状态下数据误差的减小，使数据组具备准确性和真实性，利于提高平面度在计算过程中的准确性和真实性。

作为应用示例之一，如图3所示，在本实施例中，测量平台3通过平台支撑腿2放置于地面上，测量平台3上设置有气浮导轨5，待测导轨17平行于气浮导轨5放置在测量平台3上，第一测量装置为电感测微仪，电感测微仪设置于气浮导轨5上，对作为待测平面的待测导轨17进行检测，第二测量装置包括光学反射镜12、双频激光干涉仪18，光学反射镜12设置于气浮导轨5上，双频激光干涉仪18与光学反射镜12保持对准设置，光学反射镜12与双频激光干涉仪18共同形成一套额外的光学检测回路，对作为测量基准面的气浮导轨5进行检测。其中，为了实现更精密的移动控制，进一步提高移动基准精度，x方向的移动装置包括直线电机动子6、直线电机定子4、角板7、气浮导轨5、气浮板8，y方向的移动装置包括长导轨11、直驱电机9、丝杠10、溜板13，测量装置包括测量探杆14、微调环15、电感测微仪接触测头16、测量指示器1、双频激光干涉仪18、光学反射镜12和待测导轨17。直线电机定子4与气浮导轨5连接，直线电机动子6通过角板7与气浮板8连接，长导轨11的一侧与气浮板8连接，长导轨11还分别连接有直驱电机9、以及丝杠10，溜板13与长导轨11的上端连接，测量探杆14的一端与溜板13连接，测量探杆14的另一端通过微调环15与电感测微仪接触测头16连接，电感测微仪接触测头16、测量探杆14、微调环15、以及测量指示器1共同构成电感测微仪，电感测微仪接触测头16、测量探杆14、以及微调环15共同构成电感测微仪的测量部。通过上述结构，实现电感测微仪、光学反射镜12沿x方向、y方向的移动，其中，x方向的移动用于测量多组数据，y方向的移动用于调整测量角度和位置。通过电感测微仪、光学反射镜12沿气浮导轨5长度方向的移动，实现对于每个测量节点的数据测量，电感测微仪连接有测量指示器1用于显示待测导轨17的各个测量节点的第一高度差信息的示数，双频激光干涉仪18用于显示气浮导轨5的第二高度差信息的示数。具体操作如下：

（1）根据待测导轨17的尺寸差异和精度等级的要求，计算出合理的测量节点分布间距，再使用节距法对待测工件的待测平面进行栅格式划分形成m×n个测量节点，使m×n个测量节点最大程度的覆盖待测导轨17的待测平面，即形成对于待测平面的全面覆盖，各个测量节点的坐标为（i，j），其中，i代表x轴方向上的数据变量，j代表y轴方向上的数据变量，i＝0,1,2，……，m-1；j＝0,1,2，……，n-1。

（2）检查电感测微仪的测量部是否靠近测量节点的初始点（0,0），若未靠近，则控制气浮导轨5使其携带的电感测微仪的测量部靠近待测导轨17上测量节点的初始点（0,0）处，然后调节电感测微仪的测量部与待测导轨17的待测平面之间的角度与距离，使电感测微仪的测量部靠近待测导轨17上测量节点的初始点（0,0）处，再将测量指示器1的指针调节至零位附近，与此同时，将光学反射镜12布置在气浮导轨5上，并调节双频激光干涉仪18的位置，使其与气浮导轨5上的光学反射镜12保持对准，使双频激光干涉仪18与光学反射镜12形成光学回路。通过电信号连接的运动控制器使气浮导轨5运动，实现电感测微仪和光学反射镜12的自动测量，分别记录下初始点（0,0）处的电感测微仪的示数G₀₀和双频激光干涉仪18的示数F₀₀。其中，G₀₀代表初始位置（0,0）处的位移数据，F₀₀代表初始位置（0,0）处的位置偏差数据。本实施例中的初始点（0，0）与初始位置为同一概念。

（3）运动控制器继续执行自动测量程序，运动测量方向为待测导轨17的待测平面上沿x方向完成一行检测时，沿y向进给一行，继续完成新的沿x向各个测量节点的检测，依次沿各个测量节点检测并获得电感测微仪的示数G_ij和双频激光干涉仪18的示数F_ij。其中，根据双频激光干涉仪18的光路检测原理：

F_ij＝1/2·L_i·sin（θ/2）;

式中：L_i为各个测量节点（i,j）相对于初始点(0,0)的位移，单位为mm；如图4和图5所示，θ为光学反射镜12的光路夹角，单位为°。其中，A指的是测量基准面，B指的是实际基准面，C指的是理想基准面。图4中的α和β分别代表第一高度差和第二高度差。

通过气浮导轨5上的电感测微仪和光学反射镜12依次测量统计并在随后计算得到各个测量节点的数据组H_ij：

H_ij＝G_ij-（F_ij-F₀₀）；

判断数据组H_ij的逻辑性，具体如下：

当数据组H_ij不符合逻辑性时，重新获取该测量节点（i，j）对应的第一高度差信息G_ij和第二高度差信息F_ij；

根据重新获取的对应的第一高度差信息G_ij和第二高度差信息F_ij更新数据组H_ij。

（4）判断全部的测量节点是否测量完毕并得到m×n组数据，若已测量完毕，开始执行自检程序，即控制气浮导轨5使电感测微仪和光学反射镜12移动至靠近测量节点的初始点（0,0）位置处，采集得到数据组H'₀₀，判断数据组的误差值与预设值之间的区别，具体如下：

当丨H'₀₀-H₀₀丨＞e时，重新进行平面度检测；

当丨H'₀₀-H₀₀丨≤e时，计算并得到平面度；

其中，e为根据待测导轨17平面度精度要求而提前设定的预设值，在本实施例中，e设为0.3μm。

判断每个测量节点（i，j）对应的第一高度差信息G_ij和第二高度差信息F_ij的逻辑性；

当测量节点（i，j）对应的第一高度差信息G_ij和第二高度差信息F_ij不符合逻辑性时，检查电感测微仪、以及光学反射镜12、双频激光干涉仪18。

（5）如图6所示，将上述m×n组数据对应组成数学矩阵A_mn＝（H_ij）_m×n，使用对角线法计算得到待测导轨17的平面度。其中，x指的是x轴方向，y指的是y轴方向。

由上可知，本申请实施例提供的平面度检测方法，用于检测设置在测量平台3上待测导轨17的平面度，测量平台3上设置有平行于待测导轨17的气浮导轨5，气浮导轨5上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨17的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨5上的第二高度差信息，通过获取待测导轨17上的测量节点的位置信息；根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度，实现每个测量节点的误差修正，即增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨17在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨5在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨17平面度检测过程中的误差补偿，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨5提高测量过程中的移动基准精度，进一步减小测量过程中产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

请参照图3，本申请提供了一种平面度检测系统，用于检测设置在测量平台3上待测导轨17的平面度，包括测量平台3，测量平台3上设置有平行于待测导轨17的气浮导轨5，气浮导轨5上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨17的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨5上的第二高度差信息；

还包括处理器，处理器获取待测导轨17上的测量节点的位置信息，根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息，根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度。

在一些优选的实施方式中，测量平台3通过平台支撑腿2放置于地面上，气浮导轨5上滑动设置有气浮板8，气浮导轨5在远离待测导轨17的一侧设置有直线电机，直线电机通过角板7连接气浮板8，气浮板8上设置有长导轨11，长导轨11的内部设置有丝杠10，丝杠10连接有直驱电机9，长导轨11的顶端外部设置有溜板13，溜板13与丝杠10滑动连接，溜板13上设置有测量探杆14和光学反射镜12，测量探杆14通过微调环15连接有电感测微仪接触测头16，电感测微仪接触测头16连接有测量指示器1，测量平台3的一侧设置有双频激光干涉仪18，双频激光干涉仪18与光学反射镜12保持对准设置；电感测微仪接触测头16、测量探杆14、微调环15、以及测量指示器1共同构成第一测量装置，光学反射镜12、双频激光干涉仪18共同构成第二测量装置。

具体地，测量平台3通过平台支撑腿2放置于地面上，保证测量平台3与地面留有间隔，避免将测量平台3直接置于地面上，防止因地面存在细小的高度差而导致平面度测量数据欠缺准确性，以通过平台支撑腿2支撑的测量平台3保证整体结构的平整度，保证平面度测量过程中的测量准确性，减小测量误差，气浮导轨5上滑动设置有气浮板8，气浮板8作为可滑动的移动载体，在实现平滑移动、减小摩擦力的同时，对其他部件起到搭载作用，实现平面度测量过程中的移动测量功能，气浮导轨5在远离待测导轨17的一侧设置有直线电机，直线电机通过角板7连接气浮板8，直线电机包括直线电机定子4和直线电机动子6，直线电机定子4设置于气浮导轨5远离待测导轨17的一侧，直线电机动子6通过角板7与气浮板8连接，直线电机动子6驱动角板7，从而带动气浮板8沿气浮导轨5的长度方向进行滑动，进而实现其他用于测量的部件的移动功能，气浮板8上设置有长导轨11，长导轨11的内部设置有丝杠10，丝杠10连接有直驱电机9，长导轨11的顶端外部设置有溜板13，溜板13与丝杠10滑动连接，溜板13上设置有测量探杆14和光学反射镜12，直驱电机9驱动丝杠10运动，丝杠10带动溜板13沿长导轨11进行滑动，测量探杆14、以及光学反射镜12随着溜板13一起沿长导轨11的长度方向进行运动，其中，长导轨11的长度方向与气浮导轨5的长度方向呈垂直设置，实现两个方向的部件运动，测量探杆14通过微调环15连接有电感测微仪接触测头16，电感测微仪接触测头16连接有测量指示器1，测量平台3的一侧设置有双频激光干涉仪18，双频激光干涉仪18与光学反射镜12保持对准设置；电感测微仪接触测头16、测量探杆14、微调环15、以及测量指示器1共同构成第一测量装置，光学反射镜12、双频激光干涉仪18共同构成第二测量装置，通过上述结构，沿长导轨11的长度方向调整微调环15使电感测微仪接触测头16处于目标位置，同时，调整光学反射镜12至目标位置，控制电感测微仪接触测头16、光学反射镜12沿气浮导轨5的长度方向分别对待测导轨17、气浮导轨5进行测量。其中，气浮导轨5的长度方向相当于x方向，长导轨11的长度方向则相当于y方向。第一测量装置形成对于待测导轨17的第一级测量结构，第二测量装置构成光学检测回路，形成对于待测导轨17的第二级检测结构，即第二测量装置通过对气浮导轨5的检测，保证第一级测量装置所获得数据的准确性，从而实时消除测量基准面变化所引入的误差。

更为具体地，如图2和图3所示，处理器包括第一获取模块201、第一控制模块202、第二控制模块203，第一获取模块201获取待测导轨17上的测量节点的位置信息；第一控制模块202根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；第二控制模块203根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度。在本实施例中，处理器获取待测导轨17上的测量节点的位置信息，便于第一测量装置对每个测量节点进行准确的逐个测量，利于后续得出对应的第一高度差信息和第二高度差信息。其中，待测导轨17上被指定划分有多个测量节点，每个测量节点对应有各自的位置信息，从而利于后续供气浮导轨5上的第一测量装置对待测导轨17上的每个测量节点进行测量；对应地，同时利于气浮导轨5上还设置有的第二测量装置对气浮导轨5上与每个测量节点相对应的测量位置进行测量，便于后续第一高度差信息和第二高度差信息的得出。根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息，便于为后续的平面度计算提供数据基础。其中，第一高度差信息为待测导轨17上的每个测量节点相对于初始位置的测量节点的高度差数值；第二高度差信息为气浮导轨5上与每个测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值，即通过获取待测导轨17上每个测量节点相对于初始位置测量节点的高度差数值，减小待测导轨17作为待测平面所产生的误差，增强第一高度差信息的准确性，增强待测导轨17作为待测平面时的误差补偿；通过获取气浮导轨5上与每个测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值，减小气浮导轨5作为测量基准面所产生的误差，增强第二高度差信息的准确性，增强气浮导轨5作为测量基准面时的误差补偿。根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度，通过第一高度差信息和第二高度差信息的叠加处理，实现每个测量节点处对于待测平面和测量基准面的双重误差修正，增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨17在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨5在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨17平面度检测过程中的误差补偿，再根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息进行计算得到待测导轨17的平面度，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨5提高测量过程中的移动基准精度，进一步减小待测平面、以及测量基准面在测量过程中各自产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

由上可知，本申请提供的一种平面度检测系统，用于检测设置在测量平台3上待测导轨17的平面度，测量平台3上设置有平行于待测导轨17的气浮导轨5，气浮导轨5上滑动设置有第一测量装置用于检测待测导轨17的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测第一测量装置在气浮导轨5上的第二高度差信息，还包括处理器，第一获取模块201用于获取待测导轨17上的测量节点的位置信息；第一控制模块202用于根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；第二控制模块203用于根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度，实现每个测量节点的误差修正，即增强自检状态下的误差补偿，即以第一高度差信息和第二高度差信息，减小待测导轨17在检测过程中作为待测平面产生的误差，同时减小气浮导轨5在检测过程中作为测量基准面产生的误差，实现待测导轨17平面度检测过程中的误差补偿，有效避免常规测量过程中测量基准面产生的误差叠加到待测平面中的问题出现，同时利用气浮导轨5提高在细长型导轨测量过程中的移动基准精度，进一步减小测量过程中产生的误差，从而提高细长型导轨的平面度检测精度以及效率。

本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时，执行上述实施例的任一可选的实现方式中的方法，以实现以下功能：获取待测导轨17上的测量节点的位置信息；根据位置信息得到每个测量节点上对应的第一高度差信息和第二高度差信息；根据对应的第一高度差信息和第二高度差信息计算得到待测导轨17的平面度。其中，存储介质可以由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器（Static Random Access Memory, 简称SRAM），电可擦除可编程只读存储器（Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory, 简称EEPROM），可擦除可编程只读存储器（Erasable Programmable Read Only Memory, 简称EPROM），可编程只读存储器（Programmable Red-Only Memory, 简称PROM），只读存储器（Read-Only Memory, 简称ROM），磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。

在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

另外，作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

再者，在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。

在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种平面度检测方法，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，其特征在于，所述测量平台上设置有平行于所述待测导轨的气浮导轨，所述气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测所述待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测所述第一测量装置在所述气浮导轨上的第二高度差信息，该方法的步骤包括：

获取所述待测导轨上的测量节点的位置信息；

根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；

根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度。

2.根据权利要求1所述的平面度检测方法，其特征在于，所述根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息的步骤之后还包括：

判断全部的所述测量节点是否测量完毕；

当全部的所述测量节点测量完毕时，再次获取初始位置的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；

根据第一次获取的初始位置的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息、以及再次获取的初始位置的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到误差值；

当所述误差值大于预设值时，重新进行平面度检测。

3.根据权利要求2所述的平面度检测方法，其特征在于，所述当所述误差值大于预设值时，重新进行平面度检测的步骤之前还包括：

判断每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息的逻辑性；

当所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息不符合逻辑性时，检查所述第一测量装置、以及所述第二测量装置。

4.根据权利要求1所述的平面度检测方法，其特征在于，所述第一高度差信息为所述待测导轨上的每个所述测量节点相对于初始位置的所述测量节点的高度差数值；

所述第二高度差信息为所述气浮导轨上与每个所述测量节点相对应的测量位置相对于初始测量位置的高度差数值。

5.根据权利要求1所述的平面度检测方法，其特征在于，所述根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度的步骤包括：

根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息生成数据组，所述数据组包括m×n组数据，所述m×n组数据由所述待测导轨上沿x方向和y方向的m×n个栅格型所述测量节点形成；

根据所述数据组对应生成数学矩阵；

根据对角线法对所述数学矩阵进行计算得到所述待测导轨的平面度。

6.根据权利要求5所述的平面度检测方法，其特征在于，所述根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息生成数据组的步骤之后还包括：

判断所述数据组的逻辑性；

当所述数据组不符合逻辑性时，重新获取所述测量节点对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息；

根据重新获取的对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息更新所述数据组。

7.根据权利要求5所述的平面度检测方法，其特征在于，所述根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息生成数据组的步骤包括：

根据对应的所述第二高度差信息计算得到每个所述测量节点相对于初始位置的所述测量节点的第一差值；

根据对应的所述第一高度差信息、以及所述第一差值计算得到每个所述测量节点的所述第一高度差信息与所述第一差值的第二差值；

根据每个所述测量节点的所述第二差值生成所述数据组。

8.一种平面度检测系统，用于检测设置在测量平台上待测导轨的平面度，其特征在于，包括测量平台，所述测量平台上设置有平行于所述待测导轨的气浮导轨，所述气浮导轨上滑动设置有第一测量装置用于检测所述待测导轨的第一高度差信息，还设置有第二测量装置用于检测所述第一测量装置在所述气浮导轨上的第二高度差信息；

还包括处理器，所述处理器获取所述待测导轨上的测量节点的位置信息，根据所述位置信息得到每个所述测量节点上对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息，根据对应的所述第一高度差信息和所述第二高度差信息计算得到所述待测导轨的平面度。

9.根据权利要求8所述的平面度检测系统，其特征在于，所述测量平台通过平台支撑腿放置于地面上，所述气浮导轨上滑动设置有气浮板，所述气浮导轨在远离所述待测导轨的一侧设置有直线电机，所述直线电机通过角板连接所述气浮板，所述气浮板上设置有长导轨，所述长导轨的内部设置有丝杠，所述丝杠连接有直驱电机，所述长导轨的顶端外部设置有溜板，所述溜板与所述丝杠滑动连接，所述溜板上设置有测量探杆和光学反射镜，所述测量探杆通过微调环连接有电感测微仪接触测头，所述电感测微仪接触测头连接有测量指示器，所述测量平台的一侧设置有双频激光干涉仪，所述双频激光干涉仪与所述光学反射镜保持对准设置；

所述电感测微仪接触测头、所述测量探杆、所述微调环、以及所述测量指示器共同构成所述第一测量装置，所述光学反射镜、所述双频激光干涉仪共同构成所述第二测量装置。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时运行如权利要求1-7任一项所述方法中的步骤。