CN206847573U - 一种平面度高度翘曲度测量仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种平面度高度翘曲度测量仪，涉及检测仪器领域，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接，结构合理，检测方便、利用激光测距原理能精确、快速测定平面度数据，通用性强，通过三轴联动，分别控制三方速度实现立体面上的水平度检测，提高检测效率和成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及检测仪器领域，特别涉及一种平面度高度翘曲度测量仪 。
背景技术
平面度是反映平面的平整性的重要参数，通过平面度检测可以获得工件等表面的平整信息。在生产实践过程中，对于工件平面的平面度检测，在较多情况下采用人工检测，其效率十分低下也存在较大的误差，很难达到较高的产品一致性，；而如若采用自动化设备进行检测，则需要针对不同规格的工件表面，设计制造不同的检测治具，各规格的治具之间通用性较差，因此成本开支巨大。因此，针对现有技术不足，提供一种结构简单、操作容易的平面度测量仪器。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种平面度高度翘曲度测量仪 ，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。
为实现上述目的，本实用新型提供以下的技术方案：
一种平面度高度翘曲度测量仪，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁通过X轴横梁支撑右件和X轴横梁支撑左件固定于支撑面上，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接。
优选的，所述气浮运动结构包括气浮、气浮顶杆、气浮锁止块和气浮锁紧固定板，所述气浮锁紧固定板包括上板、下板、前板和后板。
优选的，所述Z轴滑动导轨具体设于气浮锁紧固定前板上，所述测量激光头也通过激光头运动固定板设于气浮锁紧固定前板上。
优选的，所述三轴直线滑动结构包括电机马达、联轴器、马达固定块、运动光轴、运动连接钣金和传动件。
优选的，所述X轴直线滑动结构测量距离为0-400mm，所述Y轴直线滑动结构测量距离为0-120mm，所述Z轴直线滑动结构测量距离为0-50mm。
采用以上技术方案的有益效果是：结构合理，检测方便、利用激光测距原理能精确、快速测定平面度数据，精确度高、通用性强，通过三轴联动，分别控制三方速度实现立体面上的水平度检测，提高检测效率和成品率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的侧视图。
图3为气浮锁紧固定板与X轴横梁连接处的内部示意图。
其中，1-Z轴传动件，2-Z轴滑动导轨，3-X轴横梁，4-X轴横梁支撑右件，5-X轴横梁支撑左件，6-测量工作台，7-Y轴滑动导轨，8-Z轴运动连接钣金，9-测量激光头，10-激光头运动固定板，11-X轴电机马达，12-X轴联轴器，13-X轴马达固定块，14-X运动光轴，15-气浮锁紧固定上板，16-Z轴电机马达，17-Z轴联轴器，18-Z轴马达固定块，19-Z运动光轴，20-Y轴马达，21-Y轴联轴器，22-Y轴马达固定块，23-Y运动光轴，24-Y轴传动件，25-Y轴运动连接钣金，26-X轴运动连接钣金，27-X轴传动件，28-X运动轴固定板，29-气浮锁紧固定后板，30-气浮锁紧固定下板，31-气浮锁紧固定前板，32-气浮，33-气浮顶杆，34-气浮锁止块，35-支撑面。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
图1-3出示本实用新型的具体实施方式：
一种平面度高度翘曲度测量仪，包括支撑面35和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台6，所述测量工件台6上方设有X轴横梁3，所述X轴横梁3通过X轴横梁支撑右件4和X轴横梁支撑左件5固定于支撑面35上，所述X轴横梁3上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件5后端设有X运动轴固定板28，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板28和气浮运动结构连接，所述支撑面35上还设有Y轴滑动导轨7,所述Y轴滑动导轨7分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台6连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨2，所述Z轴滑动导轨2与Z轴直线滑动结构连接。
优选的，所述气浮运动结构包括气浮32、气浮顶杆33、气浮锁止块34和气浮锁紧固定板，所述气浮锁紧固定板包括上板15、下板30、前板31和后板29，所述Z轴滑动导轨2具体设于气浮锁紧固定前板31上，所述测量激光头9也通过激光头运动固定板1-设于气浮锁紧固定前板31上，所述三轴直线滑动结构包括电机马达、联轴器、马达固定块、运动光轴、运动连接钣金和传动件。
其中，所述X轴直线滑动结构测量距离为0-400mm，所述Y轴直线滑动结构测量距离为0-120mm，所述Z轴直线滑动结构测量距离为0-50mm。
具体运动原理如下：
A激光头在X轴实现自动往复运动
气浮运动机构中气浮32，气浮顶杆33，气浮锁止块34与气浮锁紧固定上板15，气浮锁紧固定前板31，气浮锁紧固定后板29，气浮锁紧固定下板30四个方向的气浮锁紧固定板贴合在X轴横梁3上，构成实现X轴方向往返滑动，X轴电机马达11，X轴联轴器12，X运动轴14，通过X轴马达固定块13与X运动轴固定板28固定在支撑面35上，当X轴电机马达运转11，控制X运动轴转动14，通过X轴传动件27将旋转运动转换为直线往复运动，X轴运动连接钣金26将X轴传动件27与气浮锁紧固定板连接一块，X轴电机马达11运动，实现激光头在X轴自动往复运动。
激光头在Y轴实现自动往复运动
测量工作台6和Y轴滑动导轨7固定在支撑面35上，构成直线滑动机构，实现测量工作台6在Y轴方向往返滑动，Y轴马达20，Y轴联轴器21，Y运动轴23通过Y轴马达固定块22固定在支撑面35上，当Y轴电机马达20 运转，控制Y运动轴23转动，通过Y轴传动件24将旋转运动转换为直线往复运动，Y轴运动连接钣金25将Y轴传动件24与测量工作台6连接一块，Y轴电机马达20运转，实现激光头在Y轴自动往复运动。
激光头在Z轴实现自动往复运动
Z轴滑动导轨2与激光运动固定板10固定在气浮锁紧固定前板31上，构成直线滑动机构，实现激光头Z方向往返滑动，Z轴电机马达16，Z轴联轴器17，Z运动轴19通过Z轴马达固定块18固定在气浮锁紧固定板上，
当Z轴电机马达16运转，控制Z运动轴19转动，通过Z轴传动件1将旋转运动转换为直线往复运动，Z轴运动连接钣金8将Z轴传动件1与激光运动固定板10连接一块，Z轴电机马达16运转，实现激光头在Z轴自动往复运动。
综合上述，这种平面度高度翘曲度测量仪 结构合理，检测方便、利用激光测距原理能精确、快速测定平面度数据，精确度高、通用性强，通过三轴联动，分别控制三方速度实现立体面上的水平度检测，提高检测效率和成品率。
以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种平面度高度翘曲度测量仪 ，其特征在于，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁通过X轴横梁支撑右件和X轴横梁支撑左件固定于支撑面上，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接。
2.根据权利要求1所述的一种平面度高度翘曲度测量仪 ，其特征在于，所述气浮运动结构包括气浮、气浮顶杆、气浮锁止块和气浮锁紧固定板，所述气浮锁紧固定板包括上板、下板、前板和后板。
3.根据权利要求2所述的一种平面度高度翘曲度测量仪 ，其特征在于，所述Z轴滑动导轨具体设于气浮锁紧固定前板上，所述测量激光头也通过激光头运动固定板设于气浮锁紧固定前板上。
4.根据权利要求3所述的一种平面度高度翘曲度测量仪 ，其特征在于，所述三轴直线滑动结构包括电机马达、联轴器、马达固定块、运动光轴、运动连接钣金和传动件。
5.根据权利要求4所述的一种平面度高度翘曲度测量仪 ，其特征在于，所述X轴直线滑动结构测量距离为0-400mm，所述Y轴直线滑动结构测量距离为0-120mm，所述Z轴直线滑动结构测量距离为0-50mm。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114724618A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-07-08 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 三轴运动台 |
| CN115231154A (zh) * | 2022-09-19 | 2022-10-25 | 常州天马粉体科技有限公司 | 一种实时监测的储罐 |
| CN116907417A (zh) * | 2023-09-11 | 2023-10-20 | 季华实验室 | 平面度检测方法、系统及存储介质 |
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