CN116899640A - 微流控装置的驱动方法及微流控装置 - Google Patents
微流控装置的驱动方法及微流控装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116899640A CN116899640A CN202311035738.7A CN202311035738A CN116899640A CN 116899640 A CN116899640 A CN 116899640A CN 202311035738 A CN202311035738 A CN 202311035738A CN 116899640 A CN116899640 A CN 116899640A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- driving
- electrode
- driving electrode
- microfluidic device
- transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 32
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 60
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 30
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 54
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 11
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 11
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005842 biochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/50273—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means or forces applied to move the fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Hematology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
本发明公开一种微流控装置的驱动方法及微流控装置，涉及微流控技术领域，驱动方法包括：在第一通道通入液滴；在第一阶段，在驱动电极和公共电极之间形成第一驱动电压，将液滴固定于第N个驱动电极的正上方，1≤N≤M；在第二阶段，取消向第N个驱动电极提供的第一信号，在第N个驱动电极与公共电极之间形成第二驱动电压，第二驱动电压的绝对值大于0且小于第一驱动电压的绝对值；在第三阶段，向第N+1个驱动电极提供第一信号，在第N+1个驱动电极与公共电极之间形成第一驱动电压；其中，第二阶段与第三阶段交叠。保证液滴顺利驱动的同时，有利于降低驱动功耗。
Description
本申请为申请日为2022年09月29日，申请号为202211197175.7，发明创造名称为“微流控装置的驱动方法及微流控装置”的分案申请。
技术领域
本发明涉及微流控技术领域，更具体地，涉及一种微流控装置的驱动方法及微流控。
背景技术
微流控(Micro Fluidics)技术是一门涉及化学、流体物理、微电子、新材料、生物学和生物医学工程的新兴交叉学科，能够精确操控液滴移动，实现液滴的融合、分离等操作，完成各种生物化学反应，是一种以在微米尺度空间对流体进行操控为主要特征的技术。近年来，微流控芯片凭借其体积小、功耗低、成本低，所需样品及试剂量少，可实现液滴单独、精准操控，检测时间短，灵敏度高，易于和其他器件集成等优势，而被广泛应用于生物、化学、医学等领域。
现有技术中，通常利用电润湿的原理，通过设置至少一个基板电压控制微流控装置中液体的流动位置。目前，一种常用的方式是采用直流驱动的方式驱动液滴流动，液滴驱动过程中，采用持续的直流电压在很大程度上增加了驱动功耗。现阶段，如何有效降低液滴驱动的功耗成为亟待解决的技术问题之一。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种微流控装置的驱动方法及微流控装置，旨在保证液滴顺利驱动的同时，降低驱动功耗。
第一方面，本发明提供一种微流控装置的驱动方法，其特征在于，所述微流控装置包括第一衬底、驱动层和微流控结构层，所述驱动层位于所述第一衬底和所述微流控结构层之间，所述驱动层包括多个驱动电极和与所述驱动电极相对设置的公共电极，所述微流控结构层包括至少一个第一通道，所述第一通道中包括M个依次排列的驱动电极；
所述驱动方法包括：
在所述第一通道通入液滴；
在第一阶段，向与所述液滴交叠的第N个驱动电极提供第一信号，向所述公共电极提供恒定信号，在所述驱动电极和所述公共电极之间形成第一驱动电压，将所述液滴固定于所述第N个驱动电极的正上方，1≤N≤M；
在第二阶段，取消向所述第N个驱动电极提供的第一信号，在所述第N个驱动电极与所述公共电极之间形成第二驱动电压，所述第二驱动电压的绝对值大于0且小于所述第一驱动电压的绝对值；
在第三阶段，向第N+1个驱动电极提供所述第一信号，在所述第N+1个驱动电极与所述公共电极之间形成所述第一驱动电压；
其中，所述第二阶段与所述第三阶段交叠。。
第二方面，基于同一发明构思，本发明还提供一种微流控装置，包括：包括第一衬底、驱动层和微流控结构层，所述驱动层位于所述第一衬底和所述微流控结构层之间，所述驱动层包括多个驱动电极和与所述驱动电极相对设置的公共电极，所述微流控结构层包括至少一个第一通道，所述第一通道中包括M个依次排列的驱动电极；
所述驱动层还包括多条开关控制线、多条数据线以及与所述驱动电极对应的多个驱动电路；至少部分所述驱动电路包括第一晶体管、第一电容和第二电容；在同一所述第一通道中，与第N个驱动电极和第N+1个驱动电极对应的驱动电路中，所述第一晶体管的栅极分别连接不同的所述开关控制线，所述第一晶体管的第一极连接同一所述数据线，不同所述第一晶体管的第二极分别连接不同的所述驱动电极；所述驱动电极连接所述第一电容的第一极，所述第一电容的第二极接收固定电压信号；第N个驱动电极通过第二电容与第N+1个驱动电极所对应的开关控制线电连接，1≤N＜M。
与相关技术相比，本发明提供的微流控装置的驱动方法及微流控装置，至少实现了如下的有益效果：
本发明实施例所提供的微流控装置中，设置有驱动层和微流控结构层，其中，微流控结构层包括至少一个第一通道，第一通道中用于容纳液滴。驱动层包括相对设置的驱动电极和公共电极，向驱动电极和公共电极提供电信号时，在驱动电极和公共电极之间将形成驱动液滴移动的驱动电压。本发明实施例所提供的微流控装置的控制方法中，在第一通道中通入液滴后，通过三个阶段对液滴进行驱动，在第一阶段，首先向与液滴交叠的第N个驱动电极提供第一信号，并向公共电极提供恒定信号，形成第一驱动电压，将液滴固定于该第N个驱动电极的正上方；在第二阶段，取消向第N个驱动电极提供的信号，第N个驱动电极与公共电极之间的电压不会突然消失，而是逐渐减小形成第二驱动电压；在第三阶段，向第N+1个驱动电极提供第一信号，在第N+1个驱动电极与公共电极之间形成第一驱动电压，第三阶段和第二阶段交叠，也就是说，第N个驱动电极向液滴提供的第二驱动电压和第N+1个驱动电极向液滴提供的第一驱动电压同时存在，此时，液滴的前部(与第N+1个驱动电极相邻的部分)开始移动，尾部并没有启动，此时液滴重心的移动速度较快。随着液滴朝向第N+1个驱动电极的方向移动一段距离，液滴的尾部开始移动，并对液滴的前部形成拖拽力，液滴整体速度降低。当液滴尾部追赶上液滴前部后，即两者速度一致时，液滴速度在驱动电压下加快，向第N+1个电极的方向移动，且液滴与第N+1个驱动电极的接触面积越来越大。当液滴重心与第N+1个驱动电极的中心重合时，该第一驱动电压将液滴固定于该第N+1个驱动电极上方。在第二阶段，即使去除向第N个驱动电极提供的电信号，第N个驱动电极与公共电极之间的第二驱动电压仍能维持一段时间，用以保持液滴的形态。当在第三阶段向第N+1个驱动电极施加第一信号时，液滴仍有部分位于第N个驱动电极，第N个驱动电极对应位置处的较小的第二驱动电压仍能驱使液滴继续向第N+1个驱动电极的方向移动，从而在液滴的驱动过程中无需向第N个驱动电极持续提供电压值较大的第一信号，因而在保证液滴正常移动的同时，还有利于降低驱动功耗。
当然，实施本发明的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1所示为本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法的一种流程图；
图2所示为本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法的一种驱动时序图；
图3所示为本发明实施例所提供的微流控装置的一种结构示意图；
图4所示为在第一阶段液滴与驱动电极的一种相对位置关系图；
图5所示为在第二阶段液滴与驱动电极的一种相对位置关系图；
图6所示为在第三阶段液滴与驱动电极的一种相对位置关系图；
图7所示为在第三阶段液滴与驱动电极的一种相对位置关系图；
图8所示为在第三阶段液滴与驱动电极的一种相对位置关系图；
图9所示为在第三阶段液滴与驱动电极的一种相对位置关系图；
图10所示为本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法的一种驱动时序图；
图11所示为驱动电极和与连接的开关控制线和数据线的一种示意图；
图12所示为第N个驱动电极与公共电极所产生的驱动信号的一种变化示意图；
图13所示为本发明中微流控驱动装置对应的驱动电路的一种示意图；
图14所示为图13中驱动电路所对应的一种驱动时序图；
图15所示为本发明中微流控驱动装置对应的驱动电路的一种示意图；
图16所示为图15中驱动电路所对应的一种驱动时序图；
图17所示为微流控装置中驱动层的一种膜层示意图；
图18所示为M个驱动电极所对应的驱动电路的一种示意图；
图19所示为本发明实施例所提供的驱动电极的一种结构示意图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在本发明中能进行各种修改和变化，这对于本领域技术人员来说是显而易见的。因而，本发明意在覆盖落入所对应权利要求(要求保护的技术方案)及其等同物范围内的本发明的修改和变化。需要说明的是，本发明实施例所提供的实施方式，在不矛盾的情况下可以相互组合。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
图1所示为本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法的一种流程图，图2所示为本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法的一种驱动时序图，其中，PN代表第N个驱动电极P所在位置对液滴的驱动电压，PN+1代表第N+1个驱动电极P所在位置对液滴的驱动电压，PN+2代表第N+2个驱动电极P所在位置对液滴的驱动电压。图3所示为本发明实施例所提供的微流控装置的一种结构示意图，请参考图1和图3，本发明实施例提供的一种微流控装置的驱动方法，其中，微流控装置包括第一衬底00、驱动层10和微流控结构层20，驱动层10位于第一衬底00和微流控结构层20之间，驱动层10包括多个驱动电极P和与驱动电极P相对设置的公共电极11，微流控结构层20包括至少一个第一通道21，第一通道21中包括M个依次排列的驱动电极P；
驱动方法包括：
S101、在第一通道21通入液滴30；
S102、在第一阶段t1，请参考图2和图4，向与液滴30交叠的第N个驱动电极P提供第一信号，向公共电极11提供恒定信号，在驱动电极P和公共电极11之间形成第一驱动电压V1，将液滴固定于第N个驱动电极P的正上方，1≤N≤M，其中，图4所示为在第一阶段液滴与驱动电极P的一种相对位置关系图。
S103、在第二阶段t2，请参考图2和图5，取消向第N个驱动电极P提供的第一信号，在第N个驱动电极P与公共电极11之间形成第二驱动电压V2，第二驱动电压的绝对值大于0且小于第一驱动电压的绝对值，其中，图5所示为在第二阶段t2液滴与驱动电极P的一种相对位置关系图；需要说明的是，本发明所提及的取消向第N个驱动电极P提供的第一信号，指的是，不再向第一驱动电极P提供电信号。可选地，第一信号为直流电压信号，当取消向第N个驱动电极P提供的第一信号时，即取消了向第N个驱动电极P提供的直流信号，也就是说，当液滴还未完全离开第N个驱动电极P所对应的位置时，已经取消了向第N个驱动电极P所提供的电信号，不会向第N个电极提供持续的直流信号。
S104、在第三阶段t3，请参考图2、图5至图9，向第N+1个驱动电极P提供第一信号，在第N+1个驱动电极P与公共电极11之间形成第一驱动电压，其中，第二阶段t2与第三阶段交叠，其中，图6至图9分别示出了在第三阶段液滴与驱动电极P的一种相对位置关系图。
需要说明的是，图2仅对微流控装置的一种结构的进行了示意，并不代表微流控装置的实际结构。图4至图6仅对驱动电极P与液滴的相对位置关系，并不对驱动电极P与液滴的实际形状和尺寸进行限定。
具体而言，请结合图1至图9，本发明实施例所提供的微流控装置中，包括第一衬底00、设置于第一衬底00上的驱动层10和设置于驱动层10背离第一衬底00一侧的微流控结构层20，微流控结构层20包括至少一个第一通道21，可选地，还可包括多个第一通道21，该第一通道21中用于容纳可被驱动流动的液滴。驱动层10包括多个驱动电极P和与驱动电极P相对设置的公共电极11，向驱动电极P和公共电极11提供电信号，可形成驱动第一通道21中的液滴移动的驱动电压。
本发明实施例所提供的微流控装置的控制方法中，在第一通道21中通入液滴30后，通过三个阶段对液滴30进行驱动，在第一阶段t1，请结合图2和图4，首先向与液滴交叠的第N个驱动电极P提供第一信号，并向公共电极11提供恒定信号，形成第一驱动电压V1，将液滴固定于该第N个驱动电极P的正上方；在第二阶段t2，取消向第N个驱动电极P提供的信号，第N个驱动电极P与公共电极11之间的电压不会突然消失，而是逐渐减小形成第二驱动电压V2；请结合图2和图5，在第三阶段，向第N+1个驱动电极P提供第一信号，在第N+1个驱动电极P与公共电极11之间形成第一驱动电压V2，第三阶段t3和第二阶段t2交叠，也就是说，第N个驱动电极P向液滴提供的第二驱动电压和第N+1个驱动电极P向液滴提供的第一驱动电压同时存在，此时，液滴的前部(与第N+1个驱动电极P相邻的部分)开始移动，请参考图5，尾部并没有启动，此时液滴重心的移动速度较快。请参考图6，随着液滴朝向第N+1个驱动电极P的方向移动一段距离，液滴的尾部开始移动，并对液滴的前部形成拖拽力，液滴整体速度降低。请参考图7至图9，当液滴尾部追赶上液滴前部后，即两者速度一致时，液滴速度在驱动电压下加快，向第N+1个电极的方向移动，且液滴与第N+1个驱动电极P的接触面积越来越大。当液滴重心与第N+1个驱动电极P的中心重合时，该第一驱动电压将液滴固定于该第N+1个驱动电极P上方。在第二阶段t2，即使去除向第N个驱动电极P提供的电信号，第N个驱动电极P与公共电极11之间的第二驱动电压仍能维持一段时间，用以保持液滴的形态。当在第三阶段向第N+1个驱动电极P施加第一信号时，液滴仍有部分位于第N个驱动电极P，第N个驱动电极P对应位置处的较小的第二驱动电压V2仍能驱使液滴继续向第N+1个驱动电极P的方向移动，从而在液滴的驱动过程中无需向第N个驱动电极P持续提供电压值较大的第一信号，因而在保证液滴正常移动的同时，还有利于降低驱动功耗。
图10所示为本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法的一种驱动时序图，在本发明的一种可选实施例中，第二阶段t2的起始时刻与第三阶段t3的起始时刻重合。
具体而言，在第二阶段t2，取消了向第N个驱动电极P提供的电信号，在第三阶段t3，开始向第N+1个驱动电极P提供第一信号。当第二阶段t2的起始时刻与第三阶段t3的起始时刻重合时，则代表在取消向第N个驱动电极P提供电信号的同时，向第N+1个驱动电极P提供第一信号。也就是说，虽然不再通过第N个驱动电极P向液滴提供第一驱动电压，但仍会通过第N+1个驱动电极P向液滴提供第一驱动电压，如此有利于保证液滴在从第N个驱动电极P所对应的位置向第N+1个驱动电极P所对应的位置移动过程中的连续性，因而在降低驱动功耗的同时，第二阶段t2和第三阶段的起始时刻重合的方式还有利于提升驱动效率。
图11所示为驱动电极P和与连接的开关控制线G和数据线S的一种示意图，其中，每个驱动电极P对应连接一个第一晶体管T1，第一晶体管T1的栅极连接开关控制线G，第一极连接数据线S，第二极连接驱动电极P，当开关控制线G上的信号控制第一晶体管T1导通时，数据线S上的信号即可通过第一晶体管T1传输至驱动电极P。本实施例以第一晶体管T1为N型晶体管为例进行说明，在高电平导通，低电平截止，但并不对第一晶体管T1的类型进行限定，在本发明的一些其他实施例中，第一晶体管T1还可体现为P型晶体管等，本发明对此不进行具体限定。在本发明的一种可选实施例中，在第二阶段t2，第二驱动电压逐渐减小。
图12所示为第N个驱动电极P与公共电极11所产生的驱动信号的一种变化示意图，请结合图2、图10、图11和图12，在第一阶段，当通过数据线S向第N个驱动电极P提供第一信号时，驱动信号对应为高电平信号，对应的电压为第一驱动电压。在第二阶段t2，当取消向第N个驱动电极P所提供的第一信号时，由于与第N个驱动电极P所连接的驱动电路本身的特性，会使得第N个驱动电极P所对应的区域施加至液滴的驱动信号不会直接消失。在驱动液滴移动的过程中，在完成液滴从第一通道中的第一驱动电极到最后一个驱动电极的位置的驱动后，可选地，再下次驱动液滴时，数据线上的信号会发生极性翻转。在此过程中会产生feedthrough电压，使得提供至液滴的驱动电压从第一驱动电压下降一定的数值δVp，即使不再向第N个驱动电极P提供第一信号，第N个驱动电极P对应的位置仍能向液滴提供较小的第二驱动电压。其中，δVp＝(Cgs+Cpg)*(VGH-VGL)/(C1+Cgs+Cpg)，其中，C1、Cgs和Cpg分别为驱动电路中的存储电容(后续实施例中将会对电容C1进行说明)、第一晶体管T1的栅极与源极之间的寄生电容、栅极与驱动电极P之间的寄生电容，VGH为开关控制线G向第一晶体管T1所提供的开态电压，VGL为开关控制线G向第一晶体管T1所提供的关态电压。从上述公式可知，δVp与Cgs和Cpg呈强相关的关系，通过结构设计可将两项参数适当调大。
当向第N+1个驱动电极P施加第一信号时，液滴还位于第N个驱动电极P，如果第N个驱动电极P对应的区域驱动电压消失，液滴将可能会发生变形和局部变动，从而降低液滴跨越相邻两个驱动电极P的间隙时的移动速度。本申请中，在第二阶段t2取消向第N个电极所提供的第一信号后，通过上述公式可知在第N个电极所对应的区域仍会产生第二驱动电压，从而使得相邻的两个驱动电极P之间对液滴施加的驱动信号能够衔接。在驱动液滴移动后，取消向第N个驱动电极P提供的第一信号，使得在第N个驱动电极P的位置施加至液滴的驱动电压逐渐降低，仍可驱动液滴移动，而且可以有效降低驱动功耗，提高能效。
继续参考图6至图7，在本发明的一种可选实施例中，第N个驱动电极P和第N+1个驱动电极P之间包括第一间隙，在第二阶段t2，液滴分别与第N个驱动电极P和第N+1个驱动电极P交叠，且，液滴的重心与第一间隙交叠，或者，液滴的重心与第N+1个驱动电极P交叠。
具体而言，在液滴从第N个电极向第N+1个电极的方向移动时，当液滴重心越过相邻两个驱动电极P的间隙时，液滴尾部的驱动力开始向后，即不在驱动液滴前进移动，液滴开始减速。此时第N个驱动电极P所对应的区域的驱动电压已经不会太大的影响液滴移动的速度，因此，将液滴的重心与第一间隙交叠的时刻或者液滴的重心与第N+1个驱动电极P交叠的时刻作为第二阶段t2的起始时刻时，即使取消向第N个驱动电极P所提供的第一信号，第N个驱动电极P位置所产生的较低的第二驱动电压也不会影响液滴前进的速度。反而，若第二阶段t2仍持续向第N个驱动电极P提供第一信号(例如直流电压)时，会造成功耗的浪费。因此，本发明选择在液滴的中心与第一间隙交叠或者与第N+1个驱动电极P交叠的时刻取消向第N个驱动电极P所提供的第一信号，既能保证液滴的正常移动，又有利于降低驱动功耗。
图13所示为本发明中微流控驱动装置对应的驱动电路的一种示意图，图14所示为图13中驱动电路所对应的一种驱动时序图，其中，PN代表第N个驱动电极P的位置对液滴施加的驱动电压，PN+1代表第N+1个驱动电极P的位置对液滴施加的驱动电压，GN代表第N个驱动电极P所连接的第一晶体管T1对应的开关控制线G上的信号，GN+1代表第N+1个驱动电极P所连接的第一晶体管T1对应的开关控制线G上的信号。本实施例仅示出了与连续的两个驱动电极P所对应的驱动电路的连接关系，并不对实际所包含的驱动电路进行示意，可选地，每个驱动电极P均对应设置有一个驱动电路。
请参考图13和图14，在本发明的一种可选实施例中，驱动层10包括多条开关控制线G、多条数据线S以及与驱动电极P对应的多个驱动电路，驱动电路包括第一晶体管T1和第一电容C1；与第N个驱动电极P和第N+1个驱动电极P对应的驱动电路中，第一晶体管T1的栅极分别连接不同的开关控制线G，第一晶体管T1的第一极连接同一数据线S，第一晶体管T1的第二极分别连接不同的驱动电极P，驱动电极P连接第一电容C1的第一极，第一电容C1的第二极接收固定电压信号；
在第一阶段t1，与第N个驱动电极P对应的开关控制线G向与第N个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供开启信号；
在第三阶段t3，与第N+1个驱动电极P对应的开关控制线G向与第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供开启信号；
第一阶段t1和第三阶段t3不交叠。
可选地，位于同一列的驱动电极P连接同一数据线S，本实施例以第一晶体管T1为N型晶体管为例进行说明，但并不对第一晶体管T1的类型进行限定。以相邻的第N个驱动电极P和第N+1个驱动电极P为例，第一阶段与第三阶段不交叠，指的是，在第一阶段向第N个驱动电极P提供第一信号，产生对液滴进行驱动的第一驱动电压时，并未向第N+1个驱动电极P提供第一信号，向第N+1个驱动电极P提供第一信号是在取消向第N个驱动电极P提供第一信号之后进行的。如此，有利于减少液滴驱动过程中向驱动电极P提供第一信号的总时间，也就是有利于减少向驱动电极P提供直流电压的时间，相比于相关技术中持续向驱动电极P提供直流电压的方式，本发明在保证液滴正常驱动的同时，有利于减小驱动功耗。
图15所示为本发明中微流控驱动装置对应的驱动电路的一种示意图，图16所示为图15中驱动电路所对应的一种驱动时序图，与图13所示实施例相比，本实施例在部分驱动电路中引入了第二电容C1’。
在本发明的一种可选实施例中，驱动层10包括多条开关控制线G、多条数据线S以及与驱动电极P对应的多个驱动电路，驱动电路包括第一晶体管T1、第一电容C1和第二电容C1’；与第N个驱动电极P和第N+1个驱动电极P对应的驱动电路中，第一晶体管T1的栅极分别连接不同的开关控制线G，第一晶体管T1的第一极连接同一数据线S，不同第一晶体管T1的第二极分别连接不同的驱动电极P；驱动电极P连接第一电容C1的第一极，第一电容C1的第二极接收固定电压信号；第N个驱动电极P通过第二电容C1’与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G电连接；在第三阶段，通过开关控制线G向与第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供开启信号，开启信号通过第二电容C1’耦合至第N个驱动电极P。
具体而言，本实施例提供了用于对微流控装置中的驱动电极P进行驱动的另一种驱动电路，与图13和图14所示实施例相比，在第N个驱动电极P与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G之间引入了第二电容C1’。当在第三阶段，通过开关控制线G向与第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供开启信号后，由于与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G通过第二电容C1’与第N个驱动电极P连接，当该开关控制线G上的信号变为高电平信号时，由于电容的耦合作用，第N个驱动电极P上的电压也将随之升高，从而有利于提升第N个驱动电极P对应的位置的驱动电压，因而有利于提升对液滴的驱动效率。
请参考图15和图16，在本发明的一种可选实施例中，在第一阶段t1，与第N个驱动电极P对应的开关控制线G向与第N个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供开启信号；第三阶段t3与第一阶段t1交叠，且第三阶段t3的起始时刻在第一阶段t1的起始时刻之后。
继续参考图15和图16，第一阶段t1是向第N个驱动电极P提供第一信号的阶段，第三阶段t3是向第N+1个驱动电极P提供第一信号的阶段，本实施例中，第三阶段t3与第一阶段t1交叠，且第三阶段t3的起始时刻位于第一阶段t1的起始时刻之后，可以理解为，在向第N个驱动电极P提供第一信号期间，与第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1开启，向第N+1个驱动电极P提供第一信号。由于与第N+1个驱动电极P对应的开关控制线G通过第二电容C1’连接至第N个驱动电极P，当通过该开关控制线G向第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供高电平的开启信号时，由于第二电容C1’的耦合作用，原本施加至第N个驱动电极P上的驱动电压将被抬高，相当于增大了第一阶段t1中与第三阶段t3交叠的部分的第一驱动电压的值，如此，无需增大通过数据线S向第N个驱动电极P所提供的第一信号的电压值的同时，通过电容耦合的方式即可增大第N个驱动电极P所对应的区域对液滴的驱动电压，因此在有利于提升对液滴的驱动效率的同时，还有利于减低整体驱动功耗。
基于同一发明构思，本发明还提供一种微流控装置，例如请参考图3和图17，图17所示为微流控装置中驱动层10的一种膜层示意图，该微流控装置包括：包括第一衬底00、驱动层10和微流控结构层20，驱动层10位于第一衬底00和微流控结构层20之间，驱动层10包括多个驱动电极P和与驱动电极P相对设置的公共电极11，微流控结构层20包括至少一个第一通道21，第一通道21中包括M个依次排列的驱动电极P；
请参考图15，驱动层10还包括多条开关控制线G、多条数据线S以及与驱动电极P对应的多个驱动电路；至少部分驱动电路包括第一晶体管T1、第一电容C1和第二电容C1’；在同一第一通道21中，与第N个驱动电极P和第N+1个驱动电极P对应的驱动电路中，第一晶体管T1的栅极分别连接不同的开关控制线G，第一晶体管T1的第一极连接同一数据线S，不同第一晶体管T1的第二极分别连接不同的驱动电极P；驱动电极P连接第一电容C1的第一极，第一电容C1的第二极接收固定电压信号；第N个驱动电极P通过第二电容C1’与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G电连接，1≤N＜M。
具体而言，本发明实施例所提供的微流控装置中，包括相对设置第一衬底00、设置于第一衬底00上的驱动层10和设置于驱动层10背离第一衬底00一侧的微流控结构层20，微流控结构层20包括至少一个第一通道21，可选地，还可包括多个第一通道21，该第一通道21中用于容纳可被驱动流动的液滴。驱动层10包括多个驱动电极P和与驱动电极P相对设置的公共电极11，向驱动电极P和公共电极11提供电信号，可形成驱动第一通道21中的液滴移动的驱动电压，可选地，向公共电极11上提供的信号为恒定电压信号，当向驱动电极P上提供与前述恒定电压信号不等的其他信号时，在驱动电极P与公共电极11之间将形成驱动液滴移动的驱动电压。
驱动层10上设置有开关控制线G、数据线S和驱动电路，其中，驱动电路包括第一晶体管T1、第一电容C1和第二电容C1’，其中，第N个驱动电极P通过第二电容C1’与第N+1个驱动电极P所对应开关控制线G连接。当在第三阶段，通过开关控制线G向与第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供开启信号后，由于与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G通过第二电容C1’与第N个驱动电极P连接，当该开关控制线G上的信号变为高电平信号时，由于第二电容C1’的耦合作用，第N个驱动电极P上的电压也将随之升高，例如请参考图16，从而有利于提升第N个驱动电极P对应的位置的驱动电压，因而有利于提升对液滴的驱动效率。
请结合图15和图16，在本发明的一种可选实施例中，与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G发送有效脉冲的时间，和与第N个驱动电极P所对应的开关控制线G发送有效脉冲的时间交叠。
本实施例中，与第N+1个驱动电极P所对应的开关控制信线发送有效脉冲的时间，和与第N个驱动电极P所对应的开关控制线G发送有效脉冲的时间交叠，可以理解为，在向第N个驱动电极P提供第一信号期间，与第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1开启，向第N+1个驱动电极P提供第一信号。由于与第N+1个驱动电极P对应的开关控制线G通过第二电容C1’连接至第N个驱动电极P，当通过该开关控制线G向第N+1个驱动电极P对应的第一晶体管T1提供高电平的开启信号时，由于第二电容C1’的耦合作用，原本施加至第N个驱动电极P上的驱动电压将被抬高，相当于增大了第一阶段中与第三阶段交叠的部分的第一驱动电压的值，如此，无需增大通过数据线S向第N个驱动电极P所提供的第一信号的电压值的同时，通过电容耦合的方式即可增大第N个驱动电极P所对应的区域对液滴的驱动电压，因此在有利于提升对液滴的驱动效率的同时，还有利于减低整体驱动功耗。
图18所示为M个驱动电极P所对应的驱动电路的一种示意图，请结合图3和图18，在本发明的一种可选实施例中，第一通道21中，第一个至第M-1个驱动电极P对应的驱动电路均包括第一晶体管T1、第一电容C1和第二电容C1’，第M个驱动电极P对应的驱动电路包括第一晶体管T1和第一电容C1。
具体而言，当第一通道21中包括M个驱动电极P时，从第一个驱动电极P至第M-1个驱动电极P所对应的驱动电路，均设置有第二电容C1’，用于将当前驱动电极P所对应的开关控制线G与上一驱动电极P电连接，如此，在向当前驱动电极P提供第一信号时，由于第二电容C1’的耦合作用，上一驱动电极P所对应的驱动信号值将被抬高，对应施加给液滴的驱动电压也将提高，从而有利于提高除最后一级的驱动电极P之外的驱动电极P对液滴的驱动能力，由于无需提升通过数据线S向驱动电极P所提供的第一信号的电压值，即可提高对液滴的驱动电压，因而在提升对液滴的整体驱动能力的同时，还有利于降低功耗。
需要说明的是，由于液滴移动至第一通道21中的最后一个驱动电极P时已经到达驱动区的边缘，无需进一步移动，因而无需另外向第一通道21中的最后一个驱动电极P提供额外的信号以驱动液滴进一步移动，故与第一通道21中的最后一个驱动电极P所对应的驱动电路无需加入第二电容C1’，因而有利于简化最后一个驱动电极P所对应的驱动电路的结构。
继续参考图17，在本发明的一种可选实施例中，驱动层10包括第一金属层M1、第二金属层M2和电极层T0，第二金属层M2位于第一金属层M1和电极层T0之间，第二金属层M2与第一金属层M1之间、第二金属层M2与电极层T0之间均由绝缘层隔离；第一晶体管T1的栅极位于第一金属层M1，第一晶体管T1的源极和漏极以及公共电极11位于第二金属层M2，驱动电极P位于电极层T0。
可选地，驱动层10设置于第一衬底00上，电极层T0位于第二金属层M2背离第一衬底00的一侧。也就是说，将驱动电极P所在的膜层靠近液滴设置，通过减小驱动电极P与液滴之间的距离，以提高驱动电极P与公共电极11所产生的驱动电压对液滴的驱动能力。
可选地，请结合图17和图18，驱动层10中的开关控制线G位于第一金属层M1，数据线位于第二金属层M2，公共电极11也位于第二金属层M2。如此，当在驱动层10中引入开关控制线G、数据线S和第一晶体管T1时，仅需在驱动层10上设置两层金属层即实现布局，如此有效减小了制作这些膜层所需要的掩膜版的数量，减少了制作驱动层10所需的工序，因而有利于简化微流控装置的制作工艺。
继续参考图17，在本发明的一种可选实施例中，阵列层还包括设置于第一金属层M1的第一辅助导电块K1和设置于第二金属层M2的第二辅助导电块K2，沿微流控装置的厚度方向，第一辅助导电块K1与公共电极11交叠形成第一电容C1，第二辅助导电块K2与第N+1个驱动电极P对应的驱动电路中的第一晶体管T1的栅极交叠形成第二电容C1’；第N个驱动电极P分别通过连接孔与第一辅助导电块K1和第二辅助导电块K2电连接。
具体而言，图17示出了第N个驱动电极Pn和与第N个驱动电极P所对应的第一晶体管T1以及与第N+1个驱动电极P所对应的第一晶体管T1的一种相对位置关系以及连接关系。请结合图17和图18，与驱动电极P所对应的驱动电路以及开关控制线G和数据线S分布在电极层T0与第一衬底00之间的膜层中，本实施例中在第一金属层M1中引入了第一辅助导电块K1，该第一辅助导电块K1用于与第二金属层M2上的公共电极11交叠形成第一电容C1；并在第二金属层M2中引入了第二辅助导电块K2，该第二辅助导电块K2用于与第N+1个驱动电极P所对应的第一晶体管T1的栅极交叠形成第二电容C1’，即，该第二电容C1’设置于将第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G与第N个驱动电极P之间，当向第N+1个驱动电极P所对应的开关控制线G提供高电平信号以控制对应的第一晶体管T1导通时，由于第二电容C1’的耦合作用，第N个驱动电极P上的电位也将随之提高，从而有利于增强第N个驱动电极P所对应的区域对液滴的驱动能力。本实施例中利用驱动层10中既有的膜层结构来形成第一电容C1和第二电容C1’，无需在驱动层10中引入新的膜层结构，因而在提升对液滴的驱动能力的同时还有利于简化驱动层10的制作工序，提高微流控装置的生产效率。
图19所示为本发明实施例所提供的驱动电极P的一种结构示意图，本实施例以驱动电极P的边缘为波浪形为例进行说明。请参考图4和图19，在本发明的一种可选实施例中，驱动电极P的形状相同，在第一通道21内，第N个驱动电极P的第一边B1和第N+1个驱动电极P的第二边B2相邻，第一边B1和第二边B2之间的第一间隙的宽度处处相等。
图4至图9以及图19分别示出了驱动电极P的两种形状，图4至图9所实施例中驱动电极P为方形，图19所述实施例中，驱动电极P的四边均为波浪形，但并不对驱动电极P的实际结构进行限定，在发明的一些其他实施例中，驱动电极P还可体现为其他形状，例如边缘为锯齿状等等。
本实施例设置相邻两个驱动电极P中，第N个驱动电极P的第一边B1和第N+1个驱动电极P的第二边B2相邻，且第一边B1和第二边B2之间的间隔的宽度处处相等，如此，在当液滴到达相邻两个驱动电极P之间的间隔中时，有利于避免第一间隙的宽度不同而导致液滴出现明显的受力不均的现象。
请结合图15和图16，在本发明的一种可选实施例中，驱动电路中的第一晶体管T1为非晶硅薄膜晶体管或者氧化物晶体管。采用非晶硅薄膜晶体管或氧化物晶体管时，其栅极在接收到高电平信号时导通，在第N个驱动电极P与第N+1个驱动电极P对应的开关控制线G之间引入第二电容C1’时，由于第二电容C1’的耦合作用，在向第N+1个驱动电极P的开关控制线G提供高电平信号时，第N个驱动电极P上的电压信号也将被耦合提高，从而有利于提升第N个驱动电极P对液滴的驱动能力，而且还有利于降低驱动功耗。
综上，本发明提供的微流控装置的驱动方法及微流控装置，至少实现了如下的有益效果：
本发明实施例所提供的微流控装置的驱动方法及微流控装置，本发明实施例所提供的微流控装置中，设置有驱动层和微流控结构层，其中，微流控结构层包括至少一个第一通道，第一通道中用于容纳液滴。驱动层包括相对设置的驱动电极和公共电极，向驱动电极和公共电极提供电信号时，在驱动电极和公共电极之间将形成驱动液滴移动的驱动电压。本发明实施例所提供的微流控装置的控制方法中，在第一通道中通入液滴后，通过三个阶段对液滴进行驱动，在第一阶段，首先向与液滴交叠的第N个驱动电极提供第一信号，并向公共电极提供恒定信号，形成第一驱动电压，将液滴固定于该第N个驱动电极的正上方；在第二阶段t2，取消向第N个驱动电极提供的信号，第N个驱动电极与公共电极之间的电压不会突然消失，而是逐渐减小形成第二驱动电压；在第三阶段，向第N+1个驱动电极提供第一信号，在第N+1个驱动电极与公共电极之间形成第一驱动电压，第三阶段和第二阶段t2交叠，也就是说，第N个驱动电极向液滴提供的第二驱动电压和第N+1个驱动电极向液滴提供的第一驱动电压同时存在，此时，液滴的前部(与第N+1个驱动电极相邻的部分)开始移动，尾部并没有启动，此时液滴重心的移动速度较快。随着液滴朝向第N+1个驱动电极的方向移动一段距离，液滴的尾部开始移动，并对液滴的前部形成拖拽力，液滴整体速度降低。当液滴尾部追赶上液滴前部后，即两者速度一致时，液滴速度在驱动电压下加快，向第N+1个电极的方向移动，且液滴与第N+1个驱动电极的接触面积越来越大。当液滴重心与第N+1个驱动电极的中心重合时，该第一驱动电压将液滴固定于该第N+1个驱动电极上方。在第二阶段t2，即使去除向第N个驱动电极提供的电信号，第N个驱动电极与公共电极之间的第二驱动电压仍能维持一段时间，用以保持液滴的形态。当在第三阶段向第N+1个驱动电极施加第一信号时，液滴仍有部分位于第N个驱动电极，第N个驱动电极对应位置处的较小的第二驱动电压仍能驱使液滴继续向第N+1个驱动电极的方向移动，从而在液滴的驱动过程中无需向第N个驱动电极持续提供电压值较大的第一信号，因而在保证液滴正常移动的同时，还有利于降低驱动功耗。
虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种微流控装置，其特征在于，包括：包括第一衬底、驱动层和微流控结构层，所述驱动层位于所述第一衬底和所述微流控结构层之间，所述驱动层包括多个驱动电极和与所述驱动电极相对设置的公共电极，所述微流控结构层包括至少一个第一通道，所述第一通道中包括M个依次排列的驱动电极；
所述驱动层还包括多条开关控制线、多条数据线以及与所述驱动电极对应的多个驱动电路；至少部分所述驱动电路包括第一晶体管、第一电容和第二电容；在同一所述第一通道中，与第N个驱动电极和第N+1个驱动电极对应的驱动电路中，所述第一晶体管的栅极分别连接不同的所述开关控制线，所述第一晶体管的第一极连接同一所述数据线，不同所述第一晶体管的第二极分别连接不同的所述驱动电极；所述驱动电极连接所述第一电容的第一极，所述第一电容的第二极接收固定电压信号；第N个驱动电极通过第二电容与第N+1个驱动电极所对应的开关控制线电连接，1≤N＜M。
2.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，与第N+1个驱动电极所对应的开关控制信线发送有效脉冲的时间，和与第N个驱动电极所对应的开关控制线发送有效脉冲的时间交叠。
3.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述第一通道中，第一个至第M-1个所述驱动电极对应的所述驱动电路均包括所述第一晶体管、所述第一电容和所述第二电容，第M个所述驱动电极对应的所述驱动电路包括所述第一晶体管和所述第一电容。
4.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述驱动层包括第一金属层、第二金属层和电极层，所述第二金属层位于所述第一金属层和所述电极层之间，所述第二金属层与所述第一金属层之间、所述第二金属层与所述电极层之间均由绝缘层隔离；所述第一晶体管的栅极位于所述第一金属层，所述第一晶体管的源极和漏极以及所述公共电极位于所述第二金属层，所述驱动电极位于所述电极层。
5.根据权利要求4所述的微流控装置，其特征在于，所述第N个驱动电极与所述第一晶体管的源极或漏极通过过孔连接。
6.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，还包括设置于第一金属层的第一辅助导电块和设置于所述第二金属层的第二辅助导电块，沿所述微流控装置的厚度方向，所述第一辅助导电块与所述公共电极交叠形成所述第一电容，所述第二辅助导电块与第N+1个驱动电极对应的驱动电路中的所述第一晶体管的栅极交叠形成所述第二电容；第N个驱动电极分别通过连接孔与所述第一辅助导电块和所述第二辅助导电块电连接。
7.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述驱动电极的形状相同，在所述第一通道内，第N个驱动电极的第一边和第N+1个驱动电极的第二边相邻，所述第一边和所述第二边之间的第一间隙的宽度处处相等。
8.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述第一晶体管为非晶硅薄膜晶体管或者氧化物晶体管。
9.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述驱动电极的边缘为波浪形。
10.根据权利要求1所述的微流控装置，其特征在于，所述驱动电极的边缘为锯齿状。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311035738.7A CN116899640A (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211197175.7A CN115400807B (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
| CN202311035738.7A CN116899640A (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211197175.7A Division CN115400807B (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116899640A true CN116899640A (zh) | 2023-10-20 |
Family
ID=84168492
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211197175.7A Active CN115400807B (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
| CN202311035738.7A Pending CN116899640A (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211197175.7A Active CN115400807B (zh) | 2022-09-29 | 2022-09-29 | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (2) | CN115400807B (zh) |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8547111B2 (en) * | 2010-07-06 | 2013-10-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Array element circuit and active matrix device |
| US8654571B2 (en) * | 2010-07-06 | 2014-02-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Static random-access cell, active matrix device and array element circuit |
| GB2533951A (en) * | 2015-01-08 | 2016-07-13 | Sharp Kk | Active matrix device and method of driving |
| CN107607475B (zh) * | 2017-09-06 | 2020-05-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微全分析系统及方法 |
| CN107583694B (zh) * | 2017-09-06 | 2020-08-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微流控系统及方法 |
| CN110787843B (zh) * | 2018-08-01 | 2021-03-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微流控基板、微流控结构及其驱动方法 |
| CN110806386B (zh) * | 2018-08-06 | 2021-09-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微量样品的检测芯片、其使用方法、使用装置及检测系统 |
| CN109876875B (zh) * | 2019-03-27 | 2022-07-01 | 上海中航光电子有限公司 | 微流控芯片及其驱动方法、分析装置 |
| CN110687953A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-14 | 上海天马微电子有限公司 | 驱动电路及其驱动方法、微流控基板和微流控装置 |
| CN112934280B (zh) * | 2021-02-01 | 2023-03-10 | 上海中航光电子有限公司 | 一种微流控装置及其检测方法 |
| CN113769802B (zh) * | 2021-09-24 | 2023-03-10 | 上海天马微电子有限公司 | 微流控装置 |
-
2022
- 2022-09-29 CN CN202211197175.7A patent/CN115400807B/zh active Active
- 2022-09-29 CN CN202311035738.7A patent/CN116899640A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115400807B (zh) | 2023-09-08 |
| CN115400807A (zh) | 2022-11-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11654433B2 (en) | Microfluidic chip and driving method thereof | |
| US10661245B2 (en) | Method of driving an element of an active matrix EWOD device, a circuit, and an active matrix EWOD device | |
| CN110264961B (zh) | 驱动电路及其驱动方法、面板及其驱动方法 | |
| KR101613000B1 (ko) | 시프트 레지스터 유닛 및 그 구동 방법, 시프트 레지스터 및 디스플레이 장치 | |
| TWI294612B (en) | Apparatus for gate switch of amorphous lcd | |
| CN110264960B (zh) | 驱动电路及其驱动方法、面板及其驱动方法 | |
| EP3779956A1 (en) | Shift register unit and driving method, gate driving circuit, and display device | |
| US10810944B2 (en) | Array substrate, display panel and display device | |
| CN109272921A (zh) | 一种栅极驱动电路及其驱动方法、显示面板、显示装置 | |
| CN109894169B (zh) | 电润湿面板及其工作方法 | |
| US8618715B2 (en) | Electrostatic actuator and driving method thereof | |
| KR101423671B1 (ko) | 박막 트랜지스터 및 이를 구비하는 표시 장치 | |
| CN103839518A (zh) | 移位寄存器及其驱动方法 | |
| CN110687953A (zh) | 驱动电路及其驱动方法、微流控基板和微流控装置 | |
| CN115400807B (zh) | 微流控装置的驱动方法及微流控装置 | |
| JP2007132749A (ja) | 液体搬送装置 | |
| JP2005321457A (ja) | 走査線駆動回路、表示装置及び電子機器 | |
| CN113769802A (zh) | 微流控装置 | |
| CN110189710B (zh) | 驱动电路及其驱动方法、电润湿面板及其驱动方法 | |
| CN113674706A (zh) | 驱动电路、驱动方法及其微流控面板 | |
| CN202487125U (zh) | 移位寄存器和阵列基板栅极驱动电路 | |
| KR102314548B1 (ko) | 시프트 레지스터 유닛, 회로 구조체, 게이트 구동 회로, 구동 회로 및 디스플레이 디바이스 | |
| EP2506306A1 (en) | Shift register and display apparatus | |
| CN111822065B (zh) | 一种微流控面板及液滴分离方法 | |
| CN114677977B (zh) | 一种基于反相器的微流控像素电路及芯片 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |