CN116864546A - 一种新结构的背poly太阳能电池及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种新结构的背poly太阳能电池，包括：硅衬底，沿所述硅衬底正面方向依次设置正面选择性发射极、正面减反钝化层，沿所述硅衬底背面方向依次设置TOPCon钝化接触结构、背面选择性发射极、背面减反钝化层；还包括，与所述正面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的正面金属电极与栅线，以及与所述背面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的背面金属电极与栅线，以及背面栅线下的富磷层。本发明通过增加磷浆栅线涂敷，选择性的提高栅线区域的接触，再通过选择性的激光消融降低非接触区的隧穿层厚度，降低非接触区的复合，有效提高背面钝化效果，提升电池的开压电流，达到在优化电池效率分布的同时又能提升电池效率的目的。
Description
技术领域
本发明涉及高效太阳能电池制造技术领域，更具体地说，本发明涉及一种新结构的背poly太阳能电池及其制备方法。
背景技术
TOPCon电池具备与现有产线兼容性高、转换效率高、低衰减、长波响应好，高双面率等的优势，是效率优于PERC电池的下一代电池技术。
而在TOPCon电池制造工艺中，PECVD原位掺杂，又称PE-poly工艺，全称为等离子体增强化学气相沉积法，原理为借助射频将含反应气体在局部形成等离子体，利用等离子体的强化学活性在基片表面沉积出薄膜。PECVD可实现成本的大幅下降，具有绕镀轻微、成品率高，成膜速度快，掺杂效率高，无石英管，耗材成本低等优势。但由于其中有氢气参与反应，会存在成膜厚度均匀性差、膜层致密度不高、易爆膜等问题，影响钝化效果，且由于常规的钝化接触太阳能电池仅在电池的受光面形成氧化铝钝化层，由于掺杂多晶硅层具有光寄生效应，当光传输到掺杂多晶硅层的时候，部分光容易被掺杂多晶硅层吸收而不能形成载流子收集，从而引起电池的电流密度降低的问题，进而无法提升电池的效率。
因此，有必要提出一种新结构的背poly太阳能电池及其制备方法，以至少部分地解决现有技术中存在的问题。
发明内容
在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
为至少部分地解决上述问题，本发明提供了一种新结构的背poly太阳能电池，包括：
硅衬底，沿所述硅衬底正面方向依次设置正面选择性发射极、正面减反钝化层，沿所述硅衬底背面方向依次设置TOPCon钝化接触结构、背面选择性发射极、背面减反钝化层；
还包括，与所述正面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的正面金属电极与栅线，以及与所述背面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的背面金属电极与栅线，以及背面栅线下的富磷层。
优选的，所述正面选择性发射极包括：P+层和位于所述P+层金属化区域的图形化P++层，所述P++层的图形要与所述正面金属电极印刷图形相对应。
优选的，所述背面选择性发射极包括：N+层和位于N+层金属化区域的图形化N++层，所述N++层的图形与所述背面金属电极印刷图形相对应，图形化的所述富磷层与金属化的栅线区域相对应。
优选的，所述TOPCon钝化接触结构竖设置为隧穿氧化层加掺杂多晶硅层。
优选的，所述正面减反钝化层设置为氧化铝层和正面氮化硅层相叠，为沿所述硅衬底方向依次形成的所述氧化铝层和正面氮化硅层；所述背面减反钝化层为背面氮化硅层。
优选的，一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，用于制备所述新结构的背poly太阳能电池，包括如下步骤：
S100：选择N型品体硅硅片作为所述硅衬底，进行制绒清洗：
S200：对制绒后的所述硅衬底正面利用含硼掺杂源形成硼扩散层，以制备所述P+层；
S300：在所述P+层的金属化区域进行图形化激光掺杂形成所述P++层，所述P++层的图形与所述正面金属电极印刷图形相对应，形成所述正面选择性发射极的重掺杂区和轻掺杂区；
S400：去除所述硅衬底边缘磷扩散形成的硼硅玻璃及背面制备光滑平整结构；
S500：对所述硅衬底背面制备所述TOPCon钝化接触结构，所述TOPCon钝化接触结构即作为所述N+层；
S600：对所述N+层进行含磷扩散源的栅线图形化涂覆，以制备图形化的所述N++层，所述N++层的图形与所述背面金属电极印刷图形相对应；
S700：通过高温条件，将S600中形成的N型晶体硅形成氧化硅薄膜作为介质阻挡层；
S800：在所述N型晶体硅硅片正面和背面分别镀膜，以形成所述正面减反钝化层和所述背面减反钝化层；
S900：印刷所述正面金属电极和所述背面金属电极，烧结。
优选的，所述S500中N+层为隊穿氧化层加掺杂多晶硅层，所述掺杂多晶硅层为掺杂薄膜多晶硅层，厚度为120-150nm。
优选的，所述S600具体包括：
S601：对所述N+层上进行所述含磷扩散源的图形化涂覆；
S602：对所述N++层图形化涂覆的磷浆进行烘干固化。
优选的，采用烘干箱对所述N++层图形化涂覆的磷浆进行烘干固化，烘干箱包括：
喷管，喷管滑动连接于烘干箱内壁顶端，喷管端部与烘干箱内壁之间连接有弹簧，喷管与高温供气设备连接，用于向电池片喷吹热气；
传送平台，传送平台水平连接于烘干箱内壁，用于输送电池片；
箱门，箱门连接于烘干箱的进料端的竖直滑槽内，箱门内侧端连接有横杆且横杆上连接有凸块。
优选的，烘干箱包括箱门开启单元，箱门开启单元包括：
转辊，转辊转动连接于烘干箱顶端的传动腔内，且转辊转轴一端连接有电机，转辊的正面开设有多个沿圆周方向首尾相接的滑槽一和滑槽二，滑槽一和滑槽二的弯曲方向相反；
竖杆，竖杆上设有滑块，滑块一端滑动连接于滑槽一和滑槽二内，另一端滑动连接于烘干箱的竖直滑槽内；
转杆，转杆铰接于烘干箱内壁且铰接处设有卷簧，转杆一端与竖杆抵接，转杆另一端开设有与凸块滑动连接的滑槽三；
限位齿，限位齿铰接于传动腔侧端的凹槽内并单向转动，限位齿与转辊上的卡齿段卡接；
优选的，箱门开启单元还包括：
带轮，带轮转动连接于烘干箱顶端的传动腔内，带轮通过同步带与转辊上的带轮段连接；
凸轮，凸轮同心连接于带轮转轴上；
拨块，拨块连接于喷管顶端，凸轮与拨块抵接。
优选的，箱门底端连接有集水单元，集水单元包括：
底座，底座滑动连接于箱门底端，底座底端对称连接有滚轮；
托盘，托盘设于底座上方且与箱门侧端连接，托盘底端的方柱插接于底座顶端的方孔内且方柱底端连接有弹簧，底座上设有供托盘滑动的开槽；
集水座，集水座连接于底座顶端且布置于托盘上方，集水座顶端连接有框体，集水座和框体内封装有吸水棉；
压板，压板滑动连接于集水座内壁，压板底端连杆穿过集水座与托盘连接，压板出水口通过管路与底座内的集水腔连通，压板顶面设置为向出水口倾斜的斜面。
相比现有技术，本发明至少包括以下有益效果：
本发明提供的一种新结构的背poly太阳能电池及其制备方法，通过增加磷浆栅线涂敷，选择性的提高栅线区域的接触，再通过选择性的激光消融降低非接触区的隧穿层厚度，降低非接触区的复合。其TOPCon钝化接触结构对N+面提供了良好的表面钝化，极大地降低了金属接触区的复合。磷浆涂敷还可以有效降低N型晶体硅电池背面金属与硅基体的接触电阻，同时降低金属栅线下J0.met(金属接触区域的暗态饱和电流密度)，提高电池的开路电压和填充因子，从而提高N型晶体硅电池转换效率。
本发明所述的一种新结构的背poly太阳能电池及其制备方法，本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明一种新结构的背poly太阳能电池的结构示意图；
图2为本发明一种新结构的背poly太阳能电池制备方法的工作流程图；
图3为本发明一种新结构的背poly太阳能电池中S600的工作流程图；
图4为本发明一种新结构的背poly太阳能电池制备方法中烘干箱的剖面结构示意图；
图5为本发明一种新结构的背poly太阳能电池制备方法中转辊的侧面结构示意图；
图6为本发明图4中A处局部放大结构示意图；
图7为本发明图4中B处局部放大结构示意图；
图8为本发明一种新结构的背poly太阳能电池制备方法中集水单元的剖面结构示意图。
图中：1.硅衬底；2.P+层；3.P++层；4.氧化铝层；5.正面氮化硅层；6.隧穿氧化层；7.掺杂多晶硅层；8.N++层；9.背面氮化硅层；10.富磷层；11.正面金属电极；12.背面金属电极；21.烘干箱；22.传动平台；23.箱门；24.竖直滑槽；25.转辊；26.滑槽一；27.滑槽二；28.竖杆；29.横杆；30.凸块；31.转杆；32.滑槽三；33.喷管；34.带轮；35.凸轮；36.拨块；37.限位齿；38.集水腔；41.底座；42.托盘；43.方柱；44.方孔；45.集水座；46.框体；47.吸水棉；48.压板；49.管路。
具体实施方式
下面结合附图以及实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
实施例：
如图1所示，本发明提供了一种新结构的背poly太阳能电池，包括：
硅衬底1，沿所述硅衬底1正面方向依次设置正面选择性发射极、正面减反钝化层，沿所述硅衬底1背面方向依次设置TOPCon钝化接触结构、背面选择性发射极、背面减反钝化层；
还包括，与所述正面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的正面金属电极11与栅线，以及与所述背面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的背面金属电极12与栅线，以及背面栅线下的富磷层10。
所述正面选择性发射极包括：P+层2和位于所述P+层2金属化区域的图形化P++层3，所述P++层3的图形要与所述正面金属电极11印刷图形相对应。
所述背面选择性发射极包括：N+层和位于N+层金属化区域的图形化N++层8，所述N++层8的图形与所述背面金属电极12印刷图形相对应，图形化的所述富磷层10与金属化的栅线区域相对应。
所述TOPCon钝化接触结构设置为隧穿氧化层6加掺杂多晶硅层7。
所述正面减反钝化层设置为氧化铝层4和正面氮化硅层5相叠，为沿所述硅衬底1方向依次形成的所述氧化铝层4和正面氮化硅层5；所述背面减反钝化层为背面氮化硅层9。
如图2、3所示，一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，用于制备所述的新结构的背poly太阳能电池，包括如下步骤：
S100：选择N型品体硅硅片作为所述硅衬底1，进行制绒清洗：
S200：对制绒后的所述硅衬底1正面利用含硼掺杂源形成硼扩散层，以制备所述P+层2；
S300：在所述P+层2的金属化区域进行图形化激光掺杂形成所述P++层3，所述P++层3的图形与所述正面金属电极11印刷图形相对应，形成所述正面选择性发射极的重掺杂区和轻掺杂区；
S400：去除所述硅衬底1边缘磷扩散形成的硼硅玻璃及背面制备光滑平整结构；
S500：对所述硅衬底1背面制备所述TOPCon钝化接触结构，所述TOPCon钝化接触结构即作为所述N+层；
S600：对所述N+层进行含磷扩散源的栅线图形化涂覆，以制备图形化的所述N++层8，所述N++层8的图形与所述背面金属电极12印刷图形相对应；
S700：通过高温条件，将S600中形成的N型晶体硅形成氧化硅薄膜作为介质阻挡层；
S800：在所述N型晶体硅硅片正面和背面分别镀膜，以形成所述正面减反钝化层和所述背面减反钝化层；
S900：印刷所述正面金属电极11和所述背面金属电极12，烧结。
所述S500中N+层为隊穿氧化层加掺杂多晶硅层，所述掺杂多晶硅层为掺杂薄膜多晶硅层，厚度为120-150nm。
所述S600具体包括：
S601：对所述N+层上进行所述含磷扩散源的图形化涂覆；
S602：对所述N++层8图形化涂覆的磷浆进行烘干固化。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
本发明公开了一种新结构的背poly太阳能电池及其制备方法，通过增加磷浆栅线涂敷，选择性的提高栅线区域的接触，再通过选择性的激光消融降低非接触区的隧穿层厚度，降低非接触区的复合。其TOPCon钝化接触结构对N+面提供了良好的表面钝化，极大地降低了金属接触区的复合。磷浆涂敷还可以有效降低N型晶体硅电池背面金属与硅基体的接触电阻，同时降低金属栅线下J0.met，提高电池的开路电压和填充因子，从而提高N型晶体硅电池转换效率。
在一个实施例中，对某型号太阳能电池对比实验的具体步骤为：
步骤A：选取单晶片源，硅片尺寸为182mm×182mm×135um，硅片类型为N型衬底，硅片电阻率为0.4～1.6Ω，硅片数量为4000片；
步骤B：将所选硅片通过相同工艺条件经过制绒、硼扩SE、去BSG+碱抛、SiOx/Poly-Si；
步骤C：SiOx/Poly-Si后，第一组取2000片进行磷浆印刷涂敷加工，然后烘干固化，第二组不进行工艺；
步骤D：烘干固化后，第一组的2000pcs进行激光选择性掺杂加工，激光消融非栅线区域，将Poly-Si厚度降低，第二组不进行工艺；
步骤E：激光选择性掺杂加工完成后，将掺杂过和没有掺杂过的硅片在保证后续工艺流程一致的条件下，将两组硅片加工成电池。
步骤F：将所得电池片进行电池片转换效率测试，并分析电池片转换效率的档位分布情况；
步骤G：将所得单晶TOPCON电池片进行EL和外观全检，合格者备用。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
实验结果对比发现，通过增加磷浆涂敷与激光选择性掺杂，使电池片栅线区域接触增加，而非栅线接触区域隧穿厚度降低，复合降低。通过该结构，可以有效的提升电池的开压电流，达到在优化电池效率分布的同时又能提升电池效率的目的。
在一个实施例中，如图4所示，采用烘干箱21对所述N++层8图形化涂覆的磷浆进行烘干固化，烘干箱21包括：
喷管33，喷管33滑动连接于烘干箱21内壁顶端，喷管22端部与烘干箱21内壁之间连接有弹簧，喷管22与高温供气设备连接，用于向电池片喷吹热气；
传送平台22，传送平台22水平连接于烘干箱21内壁，用于输送电池片；
箱门23，箱门23连接于烘干箱21的进料端的竖直滑槽24内，箱门23内侧端连接有横杆29且横杆上连接有凸块30。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
当对N++层8图形化涂覆的磷浆进行烘干固化时，将涂覆有磷浆的电池片均匀放置于传送平台22上，启动传送平台22带动电池片沿着水平方向进给向烘干箱21内移动，在一个电池片靠近烘干箱21时打开箱门23，电池片随着传送平台22移动至烘干箱21内，然后关闭箱门23直至下一个电池片靠近烘干箱21；烘干箱21使用时，将高温供气设备中的高温气体喷吹至电池片表面，使电池片表面的磷浆在高温作用下烘干固化。通过设置箱门23能够在电池片间歇式开启，对烘干箱21进行封闭，避免高温气体外溢减少热量流失，提高烘干箱21的烘干效率，并且防止电池片在进入烘干箱21时出现冷热端共存的现象，保证电池片烘干时的热平衡，避免电池片表面温度不均匀引起开裂的情况。
在一个实施例中，如图4-7所示，烘干箱21包括箱门开启单元，箱门开启单元包括：
转辊25，转辊25转动连接于烘干箱21顶端的传动腔内，且转辊25转轴一端连接有电机，转辊25的正面开设有多个沿圆周方向首尾相接的滑槽一26和滑槽二27，滑槽一26和滑槽二27的弯曲方向相反，转辊25外侧端设有带轮段和卡齿段；
竖杆28，竖杆28上设有滑块，滑块一端滑动连接于滑槽一26和滑槽二27内，另一端滑动连接于烘干箱21的竖直滑槽内；
转杆31，转杆31铰接于烘干箱21内壁且铰接处设有卷簧，转杆31一端与竖杆28抵接，转杆31另一端开设有与凸块30滑动连接的滑槽三32；
限位齿37，限位齿37铰接于传动腔侧端的凹槽内并单向转动，限位齿37与转辊25上的卡齿段卡接。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
箱门开启单元使用时，启动转辊25转轴一端的电机，电机的输出轴转动带动转辊25转动，使竖杆28上的滑块沿着滑槽一26和滑槽二27滑动，烘干箱21的竖直滑槽起导向作用，随着滑块滑动时与转辊25中心距离变化，使滑块同时在竖直滑槽内上下滑动，带动竖杆28沿竖直方向往复移动。滑槽一26向靠近转辊25圆心方向凹陷，滑槽二27向远离转辊25圆心方向凸出，滑槽一26和滑槽二27通过斜向滑槽连接，当滑块位于滑槽一26时靠近圆心，滑块位于最高点；随着转辊25转动滑块滑动至滑槽二27时远离圆心，滑块位于最低点。当滑块带动竖杆28向下移动时，竖杆28压动转杆31的一端向下转动，由于杠杆作用，使转杆31另一端向上转动，转杆31的滑槽三32与凸块30相对滑动，并通过凸块30带动箱门23向上滑动，将箱门23打开使电池片顺利进入；当滑块带动竖杆28向上移动时，转杆31在卷簧作用下转动复位，带动箱门23向下滑动，将箱门23关闭对烘干箱21入口封堵。
限位齿37铰接处设有卷簧且只能够单向转动，限位齿37与转辊25外侧端的卡齿卡接，从而保证转辊25单向转动。
通过上述结构设计，采用转辊25转动带动箱门23循环开启和关闭，减少箱门23开启时的热量外溢，当滑块位于滑槽二27时呈箱门23打开状态，在保证电池片进入空间的同时为预留充足的进入时间，当滑块位于滑槽一26时呈箱门23关闭状态，避免电池片烘干时热量外泄；通过调节滑槽一26和滑槽二27的长度能够对箱门23的动作时间间隔进行调整。
在一个实施例中，如图4所示，箱门开启单元还包括：
带轮34，带轮34转动连接于烘干箱21顶端的传动腔内，带轮34通过同步带与转辊25上的带轮段连接；
凸轮35，凸轮35同心连接于带轮34转轴上；
拨块36，拨块36连接于喷管33顶端，凸轮35与拨块36抵接。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
转辊25上设置有带轮段，当转辊25转动时通过同步带使带轮34同步转动，带动34转轴带动凸轮35转动，当凸轮35的突出端与拨块36抵接时，凸轮35推动拨块36和喷管33滑动，直至凸轮35与拨块36分离，喷管33在弹簧作用下复位，即实现了喷管33的往复移动，使喷管33的喷吹面积往复移动，使烘干效果更好。
在一个实施例中，如图4、8所示，箱门23底端连接有集水单元，集水单元包括：
底座41，底座41滑动连接于箱门23底端，底座41底端对称连接有滚轮；
托盘42，托盘42设于底座41上方且与箱门23侧端连接，托盘42底端的方柱43插接于底座41顶端的方孔44内且方柱43底端连接有弹簧，底座41上设有供托盘42滑动的开槽；
集水座45，集水座45连接于底座41顶端且布置于托盘42上方，集水座45顶端连接有框体46，集水座45和框体46内封装有吸水棉47；
压板48，压板48滑动连接于集水座45内壁，压板48底端连杆穿过集水座45与托盘42连接，压板48出水口通过管路49与底座41内的集水腔38连通，压板48顶面设置为向出水口倾斜的斜面。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：
箱门23在开启时，烘干箱21内的高温空气湿度较高，与外界的低温空气接触会产生水滴积累在箱门23附近并附着在箱门23内外壁，因此在箱门23上设置集水单元，集水单元使用时，箱门23向下移动直至底座41上的滚轮与传送平台22接触，传送平台22在动作时不受到阻碍，随着箱门23继续向下移动与底座41发生相对滑动，箱门23带动托盘42向下移动，托盘42底端的方柱43沿着方孔44滑动，集水座45突出托盘42，增大吸水棉47与空气的接触面积，有助于水滴的吸收；当箱门23向上移动时，滚轮与传送平台22分离失去限位，底座41在弹簧和重力的作用下向下滑动，托盘42收纳至集水座45内并与集水座45凹槽底部抵接，托盘42通过连杆带动压板48向上挤压吸水棉47，将吸水棉47内的集水挤压出来并通过管路49流动至集水腔38内集中处理。
通过上述结构设计，采用集水单元将烘干箱21箱门附近的水滴收集，避免水滴附着在箱门23上滴落至电池片上影响成品质量，将水滴收集后集中在集水腔38内，避免水滴在高温作用下重新回到烘干箱21内部，从而降低了烘干箱21内的湿度，提高电池片的烘干效率。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节与这里示出与描述的图例。
Claims (10)
1.一种新结构的背poly太阳能电池，其特征在于，包括：
硅衬底(1)，沿所述硅衬底(1)正面方向依次设置正面选择性发射极、正面减反钝化层，沿所述硅衬底(1)背面方向依次设置TOPCon钝化接触结构、背面选择性发射极、背面减反钝化层；
还包括，与所述正面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的正面金属电极(11)与栅线，以及与所述背面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的背面金属电极(12)与栅线，以及背面栅线下的富磷层(10)。
2.根据权利要求1所述的一种新结构的背poly太阳能电池，其特征在于，所述正面选择性发射极包括：P+层(2)和位于所述P+层(2)金属化区域的图形化P++层(3)，所述P++层(3)的图形要与所述正面金属电极(11)印刷图形相对应。
3.根据权利要求1所述的一种新结构的背poly太阳能电池，其特征在于，所述背面选择性发射极包括：N+层和位于N+层金属化区域的图形化N++层(8)，所述N++层(8)的图形与所述背面金属电极(12)印刷图形相对应，图形化的所述富磷层(10)与金属化的栅线区域相对应。
4.根据权利要求1所述的一种新结构的背poly太阳能电池，其特征在于，所述TOPCon钝化接触结构设置为隧穿氧化层(6)加掺杂多晶硅层(7)。
5.根据权利要求1所述的一种新结构的背poly太阳能电池，其特征在于，所述正面减反钝化层设置为氧化铝层(4)和正面氮化硅层(5)相叠，为沿所述硅衬底(1)方向依次形成的所述氧化铝层(4)和正面氮化硅层(5)；所述背面减反钝化层为背面氮化硅层(9)。
6.一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，用于制备权利要求1-5中任一项所述的新结构的背poly太阳能电池，其特征在于，包括如下步骤：
S100：选择N型品体硅硅片作为所述硅衬底(1)，进行制绒清洗：
S200：对制绒后的所述硅衬底(1)正面利用含硼掺杂源形成硼扩散层，以制备P+层(2)；
S300：在所述P+层(2)的金属化区域进行图形化激光掺杂形成所述P++层(3)，所述P++层(3)的图形与所述正面金属电极(11)印刷图形相对应，形成所述正面选择性发射极的重掺杂区和轻掺杂区；
S400：去除所述硅衬底(1)边缘磷扩散形成的硼硅玻璃及背面制备光滑平整结构；
S500：对所述硅衬底(1)背面制备所述TOPCon钝化接触结构，所述TOPCon钝化接触结构即作为N+层；
S600：对所述N+层进行含磷扩散源的栅线图形化涂覆，以制备图形化的所述N++层(8)，所述N++层(8)的图形与所述背面金属电极(12)印刷图形相对应；
S700：通过高温条件，将S600中形成的N型晶体硅形成氧化硅薄膜作为介质阻挡层；
S800：在所述N型晶体硅硅片正面和背面分别镀膜，以形成所述正面减反钝化层和所述背面减反钝化层；
S900：印刷所述正面金属电极(11)和所述背面金属电极(12)，烧结。
7.根据权利要求6所述的一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，其特征在于，所述S500中N+层为隊穿氧化层加掺杂多晶硅层，所述掺杂多晶硅层为掺杂薄膜多晶硅层，厚度为120-150nm。
8.根据权利要求6所述的一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，其特征在于，所述S600具体包括：
S601：对所述N+层上进行所述含磷扩散源的图形化涂覆；
S602：对所述N++层(8)图形化涂覆的磷浆进行烘干固化。
9.根据权利要求8所述的一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，其特征在于，采用烘干箱(21)对所述N++层(8)图形化涂覆的磷浆进行烘干固化，烘干箱(21)包括：
喷管(33)，喷管(33)滑动连接于烘干箱(21)内壁顶端，喷管(22)端部与烘干箱(21)内壁之间连接有弹簧，喷管(22)与高温供气设备连接，用于向电池片喷吹热气；
传送平台(22)，传送平台(22)水平连接于烘干箱(21)内壁，用于输送电池片；
箱门(23)，箱门(23)连接于烘干箱(21)的进料端的竖直滑槽(24)内，箱门(23)内侧端连接有横杆(29)且横杆上连接有凸块(30)。
10.根据权利要求9所述的一种新结构的背poly太阳能电池制备方法，其特征在于，烘干箱(21)包括箱门开启单元，箱门开启单元包括：
转辊(25)，转辊(25)转动连接于烘干箱(21)顶端的传动腔内，且转辊(25)转轴一端连接有电机，转辊(25)的正面开设有多个沿圆周方向首尾相接的滑槽一(26)和滑槽二(27)，滑槽一(26)和滑槽二(27)的弯曲方向相反；
竖杆(28)，竖杆(28)上设有滑块，滑块一端滑动连接于滑槽一(26)和滑槽二(27)内，另一端滑动连接于烘干箱(21)的竖直滑槽内；
转杆(31)，转杆(31)铰接于烘干箱(21)内壁且铰接处设有卷簧，转杆(31)一端与竖杆(28)抵接，转杆(31)另一端开设有与凸块(30)滑动连接的滑槽三(32)。
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