CN107086255A - 太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。太阳能电池镀膜设备包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；传输装置用于将载板依次传输至预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；预热腔室的出口与氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，第一隔离机构用于使预热腔室与氧化腔室连通或断开；氧化腔室的出口与镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，第二隔离机构用于使氧化腔室与镀膜腔室连通或断开。本发明能够在一个设备中连续对硅片进行镀膜，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率。

Description

太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。
背景技术
在太阳能电池生产过程中，氧化硅钝化层和非晶硅镀膜层的形成对于提升电池转化效率起着至关重要的作用。目前，传统的生产工艺是分两步进行，首先在700-900℃管式火炉里通入氧气，在晶硅片表面慢慢生长出氧化硅钝化层，然后再将晶硅片从管式火炉转移到另一个化学气相沉积腔室中进行沉积非晶硅镀膜层。在将晶硅片在两个设备之间转移的过程中，需要对晶硅片多次上料和下料，操作繁琐，不仅增加了晶硅片的污染程度和破碎率，同时也导致生产效率下降，制造成本升高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太阳能电池镀膜设备，以解决在现有镀膜过程中由于需要对晶硅片多次上料和下料而导致的晶硅片的污染程度和破碎率高、生产效率低的技术问题。
本发明的目的还在于提供一种太阳能电池链式生产设备，以解决现有的太阳能电池生产设备存在的由于需要对晶硅片多次上料和下料而导致的晶硅片的污染程度和破碎率高、生产效率低技术问题。
基于上述第一目的，本发明提供了一种太阳能电池镀膜设备，包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；
所述传输装置用于将载板依次传输至所述预热腔室、所述氧化腔室和所述镀膜腔室；
所述预热腔室的出口与所述氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，所述第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，所述第一隔离机构用于使所述预热腔室与所述氧化腔室连通或断开；
所述氧化腔室的出口与所述镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，所述第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，所述第二隔离机构用于使所述氧化腔室与所述镀膜腔室连通或断开。
进一步的，所述第一隔离机构和所述第二隔离机构均为阀门。
进一步的，所述阀门为真空闸阀。
进一步的，所述第一隔离机构为第一隔板，所述第二隔离机构为第二隔板；所述第一封闭腔室的内部设置有第一伸缩装置，所述第一伸缩装置用于使所述第一隔板打开或关闭；所述第二封闭腔室的内部设置有第二伸缩装置，所述第二伸缩装置用于使所述第二隔板打开或关闭。
进一步的，所述第一伸缩装置为气缸、液压缸或电动缸；所述第二伸缩装置为气缸、液压缸或电动缸。
进一步的，所述氧化腔室的内部设置有等离子体发生器和第一加热装置，所述等离子体发生器位于所述氧化腔室的进口处，所述第一加热装置位于所述传输装置的上方，用于对硅片进行加热；所述氧化腔室的底板上设置有用于与真空泵连通的抽口，所述抽口靠近所述氧化腔室的出口处。
进一步的，所述氧化腔室的内部设置有导流板，所述导流板位于所述等离子体发生器的上方，用于使所述等离子体发生器产生的等离子体进入所述第一加热装置与所述硅片之间。
进一步的，所述氧化腔室的内部设置有第二加热装置，所述第二加热装置位于所述传输装置的下方，用于对所述硅片进行加热。
进一步的，所述第一加热装置为红外线加热管。
基于上述第二目的，本发明还提供了一种太阳能电池链式生产设备，包括所述的太阳能电池镀膜设备。
本发明提供的太阳能电池镀膜设备，能够在一个设备中连续对硅片进行镀膜，以形成氧化硅钝化层以及氮化硅镀膜层或非晶硅镀膜层，在镀膜过程中，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率，提高了生产效率。在使用时，传输装置将放置有硅片的载板传输至预热腔室，第一隔离机构使预热腔室与氧化腔室断开，对预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室分别抽真空，硅片在预热腔室预热后，第一隔离机构使预热腔室与氧化腔室连通，传输装置将预热后的硅片传输至氧化腔室，此时，第一隔离机构使预热腔室与氧化腔室断开，第二隔离机构使氧化腔室与镀膜腔室断开，预热后的硅片在氧化腔室中生长出氧化硅钝化层；再通过第二隔离机构使氧化腔室与镀膜腔室连通，传输装置将生长有氧化硅钝化层的硅片输送至镀膜腔室，通过第二隔离机构使氧化腔室与镀膜腔室断开，生长有氧化硅钝化层的硅片在镀膜腔室中沉积氮化硅镀膜层或非晶硅镀膜层。
本发明提供的太阳能电池链式生产设备，由于使用了本发明提供的太阳能电池镀膜设备，能够在一个设备中连续对硅片进行镀膜，以形成氧化硅钝化层以及氮化硅镀膜层或非晶硅镀膜层，在镀膜过程中，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率，提高了生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一提供的太阳能电池镀膜设备的结构示意图；
图2为本发明实施例一提供的预热腔室的内部结构的主视图；
图3为本发明实施例一提供的预热腔室的内部结构的俯视图；
图4为本发明实施例一提供的氧化腔室的内部结构的主视图；
图5为本发明实施例一提供的镀膜腔室的内部结构的主视图；
图6为本发明实施例二提供的第一封闭腔室的内部结构的主视图；
图7为本发明实施例三提供的太阳能电池链式生产设备的工艺流程图。
图标：101-预热腔室；102-氧化腔室；103-镀膜腔室；104-载板；105-硅片；106-等离子体发生器；107-第一加热装置；108-导流板；109-第二加热装置；110-挡板；111-第一喷射装置；112-第二喷射装置；113-第三喷射装置；114-第一阀门；115-第二阀门；116-第一隔板；117-第一伸缩装置；118-第一封闭腔室；119-抽口；120-电机；121-同步带；122-同步轮；123-同步轴；124-磁力转轴；125-滚轮；126-自动上料台；127-冷却腔室；128-放气腔室；129-自动下料台；130-铰接轴。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一
图1为本发明实施例一提供的太阳能电池镀膜设备的结构示意图；图2为本发明实施例一提供的预热腔室的内部结构的主视图；图3为本发明实施例一提供的预热腔室的内部结构的俯视图；图4为本发明实施例一提供的氧化腔室的内部结构的主视图；图5为本发明实施例一提供的镀膜腔室的内部结构的主视图。图1中箭头方向A表示载板104的传输方向，箭头方向B表示氧气等离子体的流动方向。参见图1至图5所示，本实施例提供了一种太阳能电池镀膜设备，包括传输装置、预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103；传输装置用于将载板104依次传输至预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103；预热腔室101的出口与氧化腔室102的进口之间设置有第一封闭腔室118，第一封闭腔室118的内部设置有第一隔离机构，第一隔离机构用于使预热腔室101与氧化腔室102连通或断开；氧化腔室102的出口与镀膜腔室103的进口之间设置有第二封闭腔室，第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，第二隔离机构用于使氧化腔室102与镀膜腔室103连通或断开。本实施例提供的太阳能电池镀膜设备，能够在一个设备中连续对硅片105进行镀膜，以形成氧化硅钝化层以及氮化硅镀膜层或非晶硅镀膜层，在镀膜过程中，无需对硅片105反复上料和下料，从而降低了硅片105的污染程度和破碎率，提高了生产效率。在使用时，传输装置将放置有硅片105的载板104传输至预热腔室101，第一隔离机构使预热腔室101与氧化腔室102断开，对预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103分别抽真空，硅片105在预热腔室101预热后，第一隔离机构使预热腔室101与氧化腔室102连通，传输装置将预热后的硅片105传输至氧化腔室102，此时，第一隔离机构使预热腔室101与氧化腔室102断开，第二隔离机构使氧化腔室102与镀膜腔室103断开，预热后的硅片105在氧化腔室102中生长出氧化硅钝化层；再通过第二隔离机构使氧化腔室102与镀膜腔室103连通，传输装置将生长有氧化硅钝化层的硅片105输送至镀膜腔室103，通过第二隔离机构使氧化腔室102与镀膜腔室103断开，生长有氧化硅钝化层的硅片105在镀膜腔室103中沉积氮化硅镀膜层或非晶硅镀膜层。
本实施例中，传输装置位于预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103的内部，以预热腔室101为例，参见图3所示，图3中未示出第一加热装置107。传输装置包括多个滚轮装置，多个滚轮装置沿载板104传输方向A的两侧相对设置，且多个滚轮装置均匀间隔设置，其中，滚轮装置可以采用磁力转轴124和滚轮125固定连接的形式，将载板104放置在滚轮125上，由驱动装置驱动磁力转轴124转动，从而带动滚轮125转动，进而将载板104依次传送至预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103。其中，驱动装置包括电机120和同步带传动装置，电机120的动力输出端连接有同步轴123，同步轴123两端分别通过同步带传动装置驱动多个磁力转轴124同时转动。其中，同步带传动装置包括同步带121和同步轮122，作为优选，本实施例中的同步带121和同步轮122均采用现有的同步带和同步轮。
本实施例的可选方案中，第一隔离机构和第二隔离机构均为阀门。图1中未示出第一封闭腔室118和第二封闭腔室。为了清楚描述本实施例的可选方案，对其分别命名：第一隔离机构为第一阀门114，第二隔离机构为第二阀门115，第一阀门114和第二阀门115均能够沿与传输方向垂直的方向往复运动。通过控制第一阀门114的开启或关闭，使得预热腔室101和氧化腔室102连通或断开；通过控制第二阀门115的开启或关闭，使得氧化腔室102与镀膜腔室103连通或断开，这样的方式不仅便于载板104在真空环境下连续运输，而且能够对预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103实现单独封闭，从而可以分别调节预热腔室101、氧化腔室102和镀膜腔室103的真空度和温度，以满足不同类型的太阳能电池的生产工艺要求。
该可选方案中，第一阀门114和第二阀门115均为真空闸阀。真空闸阀的启闭件是闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，流体阻力小，密封面受介质的冲刷和侵蚀程度小，真空闸阀的开闭较省力，介质流向不受限制，不扰流、不降低压力。
作为优选，本实施例提供的阀门采用现有的VAT真空阀门。
本实施例的可选方案中，参见图4所示，氧化腔室102的内部设置有等离子体发生器106和第一加热装置107，等离子体发生器106位于氧化腔室102的进口处，第一加热装置107位于传输装置的上方，用于对硅片105进行加热；氧化腔室102的底板上设置有用于与真空泵连通的抽口119，抽口119靠近氧化腔室102的出口处。
向等离子体发生器106中通入氧气，在等离子体发生器106的作用下，生成氧气等离子体，在真空泵的作用下，氧气等离子体能够沿箭头方向B运动，从而经过硅片105的上表面，与硅在高温下反应，生成氧化硅钝化层。反应温度为500～600℃，氧化腔室102的真空度为10～200Pa，作为优选，氧化腔室102的真空度为10～100Pa，氧化硅钝化层的厚度形成的速率为0.1～10nm/min，优选为0.5～0.7nm/min，可以通过调节磁力转轴124的转速来控制硅片105在氧化腔室102中的时间，从而得到符合工艺要求的氧化硅钝化层。
需要说明的是，氧化腔室102中还设置有RF或VHF离子源，等离子体发生器106为现有技术，其结构不再详细描述。
该可选方案中，氧化腔室102的内部设置有导流板108，导流板108位于等离子体发生器106的上方，用于使等离子体发生器106产生的等离子体进入第一加热装置107与硅片105之间。
作为优选，导流板108的下板面不高于第一加热装置107所在的位置。当等离子体发生器106产生的氧气等离子体撞击到导流板108时，在导流板108的作用下，氧气等离子体能够改变运动方向，防止氧气等离子体流向第一加热装置107的上方，从而增加了与硅片105表面反应的氧气等离子体的含量，在真空泵的作用下，氧气等离子体能够沿载板104的传输方向运动，从而经过硅片105的上表面，与硅在高温下反应，生成氧化硅钝化层。
本实施例中，氧化腔室102的内部设置有第二加热装置109，第二加热装置109位于传输装置的下方，用于对硅片105进行加热。通过第二加热装置109对硅片105的下表面进行加热，能够实现持续加热，使得硅片105受热均匀，镀膜效果更好。
本实施例的可选方案中，第一加热装置107为红外线加热管。
红外线加热管外部不用涂料，内部不用充填物，辐射率稳定，高温不变形，无有害辐射，无环境污染，抗蚀能力极强，化学稳定性好，热贯性小，热转换率高。
作为优选，本实施例采用现有的红外线加热管。
本实施例的可选方案中，第二加热装置109为铝板加热器。铝板加热器具有耐离子轰击、耐腐蚀的特点，利用铝板加热器对硅片105的下表面进行加热，能够实现持续加热，使得硅片105受热均匀，镀膜效果更好。
本实施例中，参见图5所示，镀膜腔室103的内部设置有挡板110，挡板110将镀膜腔室103沿载板104的传输方向依次分割为氧化铝镀膜区域和氮化硅镀膜区域；氧化铝镀膜区域内设置有第一喷射装置111和第二喷射装置112，第一喷射装置111位于镀膜腔室103的进口处，用于喷射生成氧化铝层的前质气体；第二喷射装置112位于镀膜腔室103的顶壁，用于向硅片105喷射一氧化二氮、二氧化碳、氧气、氮气、惰性气体中的一种或几种的混合气体；氮化硅镀膜区域内设置有第三喷射装置113，第三喷射装置113位于镀膜腔室103的顶壁，用于向硅片105喷射生成氮化硅层的反应气体；镀膜腔室103的内部设置有铝板加热器，用于对硅片105进行加热。镀膜腔室103主要用于链式PECVD真空状态下，在同一个镀膜腔室103内进行氧化铝镀膜和/或氮化硅镀膜，进一步保证了在整个镀膜过程中，无需对硅片105反复上料和下料，从而降低了硅片105的污染程度和破碎率，提高了生产效率。
需要说明的是，第一喷射装置111、第二喷射装置112和第三喷射装置113均为现有技术，其结构不再具体描述。
实施例二
图6为本发明实施例二提供的第一封闭腔室的内部结构的主视图。参见图6所示，本实施例也提供了一种太阳能电池镀膜设备，本实施例的太阳能电池镀膜设备描述了第一隔离机构和第二隔离机构的另一种实现方案，除此之外的实施例一的技术方案也属于该实施例，在此不再重复描述。相同的零部件使用与实施例一相同的附图标记，在此参照对实施例一的描述。
本实施例提供的第一隔离机构为第一隔板116，第二隔离机构为第二隔板；第一封闭腔室118的内部设置有第一伸缩装置117，第一伸缩装置117用于使第一隔板116打开或关闭；第二封闭腔室的内部设置有第二伸缩装置，第二伸缩装置用于使第二隔板打开或关闭。其中，第一隔板116的上边缘与第一封闭腔室118的侧壁铰接，第一伸缩装置117的缸体与第一封闭腔室118的顶板铰接，第一伸缩装置117的活塞杆与第一隔板116铰接，第一伸缩装置117的活塞杆伸出，使得第一隔板116将预热腔室101和氧化腔室102断开，第一伸缩装置117的活塞杆缩回，使得第一隔板116绕铰接轴130沿图6中的箭头方向C转动，从而使预热腔室101和氧化腔室102连通；第二隔板的上边缘与第二封闭腔室的侧壁铰接，第二伸缩装置的缸体与第二封闭腔室的顶板铰接，第二伸缩装置的活塞杆与第二隔板铰接，第二伸缩装置的活塞杆伸出，使得第二隔板将氧化腔室102和镀膜腔室103断开，第二伸缩装置的活塞杆缩回，使得第二隔板打开，从而使氧化腔室102和镀膜腔室103连通。
该可选方案中，第一伸缩装置117为气缸、液压缸或电动缸；第二伸缩装置也可以为气缸、液压缸或电动缸。第一伸缩装置117与第二伸缩装置可以同时采用气缸、液压缸或电动缸，第一伸缩装置117与第二伸缩装置也可以不同。
实施例三
图7为本发明实施例三提供的太阳能电池链式生产设备的工艺流程图。图7中，P表示抽真空。参见图7所示，本实施例提供了一种太阳能电池链式生产设备，包括实施例一提供的太阳能电池镀膜设备。
本实施例中，太阳能电池链式生产设备包括沿载板104的传输方向依次设置的自动上料台126、实施例一提供的太阳能电池镀膜设备、冷却腔室127、放气腔室128和自动下料台129，其中，传输装置能够将载板104从自动下料台129传送回自动上料台126，进行下一批硅片105的装载和镀膜过程，如此往复，实现了太阳能电池的连续化生产。
实施例四
本实施例提供了一种利用实施例一的太阳能电池镀膜设备制备PERC晶硅太阳能电池的方法，具体包括以下步骤：在P型晶硅正面上，先制造绒面-金字塔(单晶)或黑硅(多晶)，通过磷扩散生成N发射极，然后利用本发明实施例一的太阳能电池镀膜设备在氧化腔室102中形成厚度为1～5nm的氧化硅钝化层，在镀膜腔室103中沉积厚度为70～85nm的氮化硅抗反射膜双层结构；然后通过传输装置再次将硅片105经过预热腔室101和氧化腔室102传送至镀膜腔室103，在P型晶硅背面沉积厚度为1～20nm的氧化铝镀膜层和厚度为80～120nm的氮化硅镀膜层；最后，背面以激光开洞后，铺上铝浆层；当正面印刷银浆导线后，一起高温烧结形成正负接触电极。由于采用了实施例一的太阳能电池镀膜设备对PERC晶硅太阳能电池的正、反表面进行钝化，提高了电池的光电转换效率。
需要说明的是，也可以先在P型晶硅背面沉积厚度为1～20nm的氧化铝镀膜层和厚度为80～120nm的氮化硅镀膜层，然后再在P型晶硅正面形成厚度为1～5nm的氧化硅钝化层和厚度为70～85nm的氮化硅抗反射膜双层结构。
需要说明的是，制造绒面-金字塔(单晶)或黑硅(多晶)以及形成正负接触电极的方法属于现有技术。
实施例五
本实施例提供了一种利用实施例一的太阳能电池镀膜设备制备新型晶硅太阳能电池HJT结构的方法，具体包括以下步骤：在电池正反面形成厚度为1～3nm的氧化硅钝化层和厚度为1～10nm的非晶硅镀膜层。用化学气相沉积(CVD)在正面沉积P+非晶硅发射极，在反面沉积N++非晶硅膜。在电池两面分别沉积TCO膜和印刷银浆导线后，低温烧结完成正负接触电极。HJT电池的光电转换效率可以达到23％。
实施例六
本实施例提供了一种利用实施例一的太阳能电池镀膜设备制备新型晶硅太阳能电池TOPCon结构，具体包括以下步骤：正面硼扩散生成P发射极，再在镀膜腔室103中形成厚度为1～3nm的氧化铝钝化层和厚度为70～85nm的氮化硅抗反射膜。然后通过传输装置再次将硅片105经过预热腔室101传送至氧化腔室102，在电池反面形成厚度为1～3nm的氧化硅钝化层，再传送至镀膜腔室103，沉积厚度为50～1000nm的N掺杂非晶硅膜。当正面印刷银浆导线，背面铺上铝浆层后，经过750～850℃高温烧结，背面N掺杂非晶硅膜变成导电N掺杂多晶硅膜。这样同时形成正负接触电极。TOPCon电池的光电转换效率可以达到25％。
实施例七
PERT(Passivated Emitter，Rear Totally-diffused cell)，钝化发射极背表面全扩散电池，是一种典型的双面电池。双面太阳电池是指硅片105的正面和反面都可以接受光照并能产生光生电压和电流的太阳电池，这种电池可以用P型硅片制造，也可以用N型硅片制造。nPERT双面电池基本工艺流程为：(1)双面制绒；(2)上表面扩散硼制成P+N结；(3)背面扩散磷制成N+N结；(4)双面钝化薄膜；(5)双面金属化。
其中，利用实施例一的太阳能电池镀膜设备制备双面钝化薄膜的方法，具体包括以下步骤：在氧化腔室102中，在N+背表面场上形成氧化硅层，然后由传输装置将硅片105传送至镀膜腔室103，在镀膜腔室103中沉积氮化硅层，从而形成氧化硅/氮化硅叠层钝化膜，氧化硅膜可以很好的对N+面进行表面钝化，加上氮化硅膜的带正电荷特性，可以同时获得较好的表面钝化和场钝化的效果，而且还能起到很好的减反射作用。
需要说明的是，也可以在镀膜腔室103中，在P+掺杂面沉积氧化铝薄膜，氧化铝自身带有负电荷，对P型硅(c-Si)的场钝化效果较好。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；
所述传输装置用于将载板依次传输至所述预热腔室、所述氧化腔室和所述镀膜腔室；
所述预热腔室的出口与所述氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，所述第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，所述第一隔离机构用于使所述预热腔室与所述氧化腔室连通或断开；
所述氧化腔室的出口与所述镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，所述第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，所述第二隔离机构用于使所述氧化腔室与所述镀膜腔室连通或断开。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述第一隔离机构和所述第二隔离机构均为阀门。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述阀门为真空闸阀。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述第一隔离机构为第一隔板，所述第二隔离机构为第二隔板；所述第一封闭腔室的内部设置有第一伸缩装置，所述第一伸缩装置用于使所述第一隔板打开或关闭；所述第二封闭腔室的内部设置有第二伸缩装置，所述第二伸缩装置用于使所述第二隔板打开或关闭。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述第一伸缩装置为气缸、液压缸或电动缸；所述第二伸缩装置为气缸、液压缸或电动缸。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述氧化腔室的内部设置有等离子体发生器和第一加热装置，所述等离子体发生器位于所述氧化腔室的进口处，所述第一加热装置位于所述传输装置的上方，用于对硅片进行加热；所述氧化腔室的底板上设置有用于与真空泵连通的抽口，所述抽口靠近所述氧化腔室的出口处。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述氧化腔室的内部设置有导流板，所述导流板位于所述等离子体发生器的上方，用于使所述等离子体发生器产生的等离子体进入所述第一加热装置与所述硅片之间。
8.根据权利要求6所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述氧化腔室的内部设置有第二加热装置，所述第二加热装置位于所述传输装置的下方，用于对所述硅片进行加热。
9.根据权利要求6所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述第一加热装置为红外线加热管。
10.一种太阳能电池链式生产设备，其特征在于：包括如权利要求1至9中任一项所述的太阳能电池镀膜设备。
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