CN116859569A - 一种显微成像方法及设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种显微成像方法，该方法包括：选取具有至少两个物镜的合束成像装置，将物镜正对待测物，并在合束成像装置的相机接口处安装相机；调节所有物镜，使所有物镜对焦于同一平面；通过相机获得物镜对应的目标区域所成的像。本发明还公开了一种显微成像设备。本发明通过单相机多物镜结构的合束成像装置，可以便于在工业检测中扩大检测视野或进行高精度定位。

Description

一种显微成像方法及设备

技术领域

本发明涉及显微成像技术领域，更具体地，涉及一种显微成像方法及设备。

背景技术

在半导体检测，显示模组检测等工业检测领域中，显微成像系统有着广泛的应用。目前，显微成像系统存在以下弊端：

其一是显微成像系统的视野通常较小，只有几毫米甚至零点几毫米，拍摄整张产品时需要扫描整张产品，由于视野较小的缘故限制了整张产品的检测时间。而为了解决视野小的问题，当前通用的做法是一只相机只配一只物镜，通过同时增加相机和物镜的数量，来增加检测视野，但是这样会增加相机的使用数量，同时可能会增加图像采集卡以及电脑的使用数量，大大增加了系统成本；此外某些应用场景空间较小，容不下两只相机同时安装，通过增加相机来增大检测视野的方法实施起来特别困难。

其二是工业检测中需要进行高精度定位，高精度定位通常需要进行两次对位，第一次用相对较低倍数的成像系统进行低精度对位，第二次再在第一次对位的数据信息上用较高倍数的成像系统进行高精度对位；这种二次精对位现有的实现方式是用两套相机和物镜构建两套成像系统，或者用一只相机搭配转轮切换物镜。然而，采用两套相机和物镜构建两套成像系统会提升系统成本，提高系统的复杂度。采用转轮切换物镜，不同放大倍数的物镜的工作距离不同，这导致切换物镜需要重新调节Z轴高度，切换和调节过程消耗的时间会大大降低工业检测领域中的检测效率，并且物镜转轮的重复精度会影响重复拍摄的一致性。

发明内容

针对现有技术的至少一个缺陷或改进需求，本发明提供了一种显微成像方法及设备。通过单相机多物镜结构的合束成像装置，可以便于在工业检测中扩大检测视野或进行高精度定位。

为实现上述目的，按照本发明的第一个方面，提供了一种显微成像方法，该方法包括：

选取具有至少两个物镜的合束成像装置，将所述物镜正对待测物，并在所述合束成像装置的相机接口处安装相机；

调节所有物镜，使所述所有物镜对焦于同一平面；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像；

所述合束成像装置包括至少两个镜筒，设置于每个所述镜筒一端的物镜，以及与镜筒一一对应的光源；所述镜筒平行设置，所述物镜具有无限远校正功能；

其中，所述镜筒包括第一镜筒和至少一个第二镜筒，所述第一镜筒一端设置相机接口，另一端连接第一物镜，所述第二镜筒一端连接第二物镜，另一端通过光转向结构与所述第一镜筒相连，将所述第二物镜收集到的光导向相机；在所述第一镜筒，或在所述第一镜筒和所述第二镜筒中设置透镜，用于将无限远光路汇聚在所述相机的靶面。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述物镜至少包括高倍镜和低倍镜，

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像，具体包括：

采用低倍镜获取第一目标区域的图像；

从所述第一目标区域中获取第二目标区域，利用高倍镜获取所述第二目标区域的图像。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述物镜设置有对应的物镜调节组件；

调节所有物镜，使所述所有物镜对焦于同一平面，具体包括：

调节所述物镜调节组件，使所述所有物镜对焦于同一平面。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述至少两个物镜采用规格相同的物镜；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像，具体包括：

调整所述光转向结构的长度，从而调整相邻物镜视野之间的间隙，通过所述相机获得所述相邻物镜对应的取像区域所成的像。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述至少两个物镜采用规格相同的物镜；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像，还包括：

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像；所述多幅图像是所述物镜对应目标区域所成的像。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述光源通过光转向结构与所述镜筒连接；

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像，具体而言包括：

分时开启不同物镜对应的光源，使得所述相机在同一时刻仅获取一个物镜对应目标区域的像；移动所述相机或者所述待测物，对所述待测物的目标区域进行扫描，所述相机获得整个所述目标区域的图像；

按照所述光源开启时间与所述镜筒及其目标区域的对应关系，获得不同物镜对应的整个所述目标区域的多幅图像。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述相机为彩色相机；所述光源是不同波长的单色光源，所述一个镜筒对应一个波长的单色光源；

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像，具体而言包括：

同时开启所有光源，移动所述相机或者所述待测物，对所述待测物的目标区域进行扫描，所述相机获得整个所述目标区域的图像；

依照所述光源的波长，对所述目标区域的图像进行分离，获得不同物镜对应的整个所述目标区域的多幅图像。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

所述合束成像装置还包括置于每个镜筒中的带通滤光片，所述带通滤光片用于控制经过所述镜筒的光的波长；不同镜筒中的带通滤光片对应的波长互不相同其中，所述第一镜筒中的带通滤光片设置于不影响所述光转向结构中传来光的位置；所述相机为彩色相机；

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像，具体而言包括：

同时开启所有光源，移动所述相机或者所述待测物，对所述待测物的目标区域进行扫描，所述相机获得整个所述目标区域的图像；

依照所述带通滤光片的波长，分离所述图像后，得到所述图像与所述目标区域之间的关系。

进一步地，上述显微成像方法还包括：

通过所述相机获得所有所述物镜所成的多幅图像后，将所述多幅图像按照对应物镜的目标区域之间的位置关系进行图像拼接融合后，获取全部目标区域的图像。

按照本发明的第二个方面，还提供了一种显微成像设备，其包括至少一个处理单元、以及至少一个存储单元，其中，所述存储单元存储有计算机程序，当所述计算机程序被所述处理单元执行时，使得所述处理单元执行上述任一项所述方法的步骤。

总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，能够取得下列有益效果：

（1）本发明提供的显微成像方法，通过单相机多物镜结构的合束成像装置，可以同时对待测物表面多个待测区域采集成像，扩大相机视野，并可以降低系统复杂度。

（2）本发明提供的显微成像方法，通过调整多物镜之间的间距，可以进一步按照需要调节相机的视野范围。

（3）本发明提供的显微成像方法，通过单相机多物镜结构的合束成像装置，无需转轮结构，直接通过选择物镜的放大倍率，实现高精度定位的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种显微成像方法的流程示意图；

图2为本发明实施例提供的一种合束成像装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一种合束成像装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一种合束成像装置的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种合束成像装置的扫描方式示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

如图1所示，作为本发明的一个实施例，提供了一种显微成像方法，其步骤如下：

选取具有至少两个物镜的合束成像装置，将所述物镜正对待测物，并在所述合束成像装置的相机接口处安装相机；

调节所有物镜，使所述所有物镜对焦于同一平面；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像；

本实施例中需要用到单相机多物镜的合束成像装置，该合束成像装置的结构包括：

第一镜筒和至少一个第二镜筒，以及与镜筒一一对应的光源；第一镜筒和第二镜筒平行设置；

第一镜筒的一端设置相机接口，另一端连接第一物镜，第二镜筒一端连接第二物镜，另一端通过光转向结构与第一镜筒相连，将第二物镜收集到的光导向相机；镜筒中设置有透镜，用于将无限远光路汇聚在相机的靶面。

图2示出了一种具体的合束成像装置的实施方式。如图2所示，在本实施例中其包括了两个用于通光的镜筒，第一镜筒3和第二镜筒4。第一镜筒3和第二镜筒4分别使得由第一物镜61收集到的光和由第二物镜62收集到的光可以传递至唯一的相机1，以实现上述功能。其中，第一物镜61和第二物镜62使用的是具有无限远校正功能的物镜。

本实施例中合束成像装置设置了唯一的相机接口2，作为与相机1相连的连接端，因此，需要通过设置光转向结构，使得由第二物镜收集到的待测物的光转向。在本实施例中，相机接口2设置在第一镜筒3的一端，第一镜筒3的另一端设置为第一物镜61，因此，由第一物镜61收集到的光直接通过第一镜筒3进入相机1；第二物镜62设置在第二镜筒4的一端，由第二物镜62收集到的光通过第二镜筒4后，经光转向结构进入相机1。

进一步地，在本实施例中，光转向结构由第一合束镜71，平面反射镜8和第三物镜5组成。其中，第三镜筒5用于连接第一镜筒3和第二镜筒4，第三镜筒5和第二镜筒4的连接处设置有平面反射镜8，平面反射镜8用于将第二镜筒4中的光转向至第三镜筒5中；第三镜筒5和第一镜筒3的连接处设置有第一合束镜71，第一合束镜71既可以使得第三镜筒5中的光转向至第一镜筒3，进而通过相机接口2进入相机1，又可以避免阻拦了第一镜筒3中的光通向相机1。其中，第三镜筒5连接于第二镜筒4的一端，即第二镜筒4一端与第三镜筒5相连，另一端与第二物镜62相连，这样可以避免第二镜筒4结构的浪费。在第二镜筒4的一端设置平面反射镜8，用于将第二镜筒4中的光转向至第三镜筒5。

本实施例中，第一镜筒3和第二镜筒4平行设置，这样使得第一物镜61和第二物镜62在对焦完成后，其焦平面是平行或重合的面，避免焦平面之间出现夹角。

为了更准确的实现光线的转向，第一合束镜71的法线方向与第一镜筒3和第三镜筒5所成角的平分线方向相同，平面反射镜8的法线方向与第三镜筒5和第二镜筒4所成角的平分线方向相同。上述合束镜和反射镜角度的设置是为了遵循光的反射定律，使得第二镜筒4中的光线可以通过平面反射镜8转向至第三镜筒5，并通过第一合束镜71再转向至相机1。

进一步地，作为一种可选的实施例，还包括第三镜筒5的镜筒调节组件13。镜筒调节组件13可以用于调节第三镜筒5的长度，进而，调节第一镜筒3和第二镜筒4之间的距离，这样可以使得第一物镜61和第二物镜62的目标区域之间的间距发生变化。

在本实施例中，为了实现显微成像，需要对待测物提供光照。作为一种优选的光照提供方式，在成像光路中耦合照明光路可以获得更好的照明效果。因此，基于该思路，在第一镜筒3和第二镜筒4的旁边设置有第一光源91和第二光源92，其中，第一光源91用于给位于第一镜筒3中的这一路成像光路对应的待测区域提供光照，第二光源92用于给位于第二镜筒4中的这一路成像光路对应的待测区域提供光照。同样地，采用光转向结构，使得照明光路与成像光路可以同轴，因此，第一光源91通过第四镜筒10与第一镜筒3连接，第二光源92通过第五镜筒11与第二镜筒4连接，第四镜筒10与第一镜筒3的分界处设置有第二合束镜72，第五镜筒11与第二镜筒4的分界处设置有第三合束镜73。基于前述相同的原理，通过设置镜筒和合束镜作为光转向结构，可以使得对应的照明光被导向物镜，起到对待测物照明的作用。

本领域技术人员也容易得知，光源的设置方式可以不限于上述设置方式，例如，也可以是在待测物底部设置光源，具体而言，可以在待测物的承载平台下方，对应镜筒的位置设置对应的光源。还可以通过侧面照射的方式设置光源。

进一步地，第一物镜61和第二物镜62设置有对应的物镜调节组件12。物镜调节组件12用于实现上述步骤S2，使得第一物镜61和第二物镜62对焦于同一焦平面。物镜调节组件12优选的实施方式是带阻尼的螺旋结构，设置在第一镜筒3和第二镜筒4上接近第一物镜61和第二物镜62的位置，用于调节第一镜筒3和第二镜筒4的伸缩，进而调节第一物镜61和第二物镜62的对焦平面。

进一步地，还可以包括自动对焦模块，用于使得第一物镜61和第二物镜62可以自动对焦到特定的平面，例如，待测物的表面。自动对焦系统有多种设置方式。作为一种优选的实施方式，本实施例中选择如图3所示的内同轴式激光测距自动对焦方法，也即，在第四镜筒10和第五镜筒11上分别设置相应的对焦光源，利用激光测距法进行自动对焦。激光测距自动对焦方法是通过激光测得物镜工作距离，将信息传给处理模块（例如微处理器或PC），处理模块再将调整指令下达给精密运动组件（例如马达）。物镜受到精密运动组件的控制，通过调整物镜的工作距离，使其达到对焦的位置。本领域技术人员可以理解，还可以采用外接的对焦计算模块，通过对相机1的成像分析，自动调节物镜的工作距离，使其达到对焦的位置。

进一步地，本实施例还包括设置在镜筒中的透镜。本发明中所述相机是指图像处理器芯片，例如CCD或CMOS芯片，相机1并不包含镜头部分。第一物镜61和第二物镜62收集到的光进入镜筒中会构成无限远光路，无限远光路无法直接在相机1上成像，因此，需要在镜筒中设置透镜，起到使无限远光路汇聚的作用。优选的设置方式是在第一镜筒3中设置一个透镜14，利用一个透镜14就可以使得第一镜筒3和第二镜筒4的光都可以汇聚在相机1上，这种设置方式在第三镜筒5的长度变化时，透镜14也无需调节，即光的汇聚作用不受影响。另一种设置方式是在每个镜筒中均设置相应的透镜，在这种设置方式下，当光转向结构，例如第三镜筒5，长度发生变化时，第二镜筒中的透镜需要做适应性调整。透镜的具体结构可以有多种方式，例如，可以是单个透镜，也可以是透镜组。透镜组可以是多个相互胶接的普通球面透镜，可以是间隔设置的普通球面透镜，或者是根据需要计算设置的非球面透镜。

作为一种可选的实施例，第一物镜61和第二物镜62具有不同的放大倍数，例如，第一物镜61可以是10倍放大的物镜，第二物镜62可以是20倍放大的物镜。通常，采用不同放大倍数物镜进行高精度对位时的方式是先采用低放大倍数的物镜对位后，再依据前次对位的数据采用高放大倍数的物镜进行对位。传统对位方法中需要在切换物镜后对物镜的工作距离进行调整。在本实施例提供的显微成像方法中，同样可以采用上述方式进行对位，例如，以第一物镜61所取的像作为对位基础，调节第二物镜62的取像位置。本实施例提供的显微成像方法可以无需再次调节第二物镜62的工作距离，只需要将第二物镜62平移至目标目标区域即可。这样在工业检测中可以有效的提高检测的可重复性。

作为又一种可选的实施例，第一物镜61和第二物镜62的目标区域可以调整为刚好采集到待测物表面相邻的两个区域的图像，将图像拼接后相当于获得了更大的视野。又一种情况下，第一物镜61和第二物镜62可以用于拍摄待测物需要测量的不同的区域，例如，可以是芯片的两个边缘，则此时可以通过一套系统获取多个目标区域的图像，实现待测物不同区域的同步检测。

作为又一种可选的实施例，所述合束成像装置可以不限于如图2所述的两个镜筒，例如，可以是如图4所示的三个镜筒的结构，包括一个第一镜筒和两个第二镜筒，且分别采用了放大倍数不同的物镜，例如，可以采用一个放大倍数为10倍，两个放大倍数为20倍的物镜。可以依照上述记载的显微成像方法，先利用10倍放大的物镜进行粗对位，再利用两个20倍放大的物镜进行高精度对位和不同区域的同步测量。

进一步地，本实施例中所述的显微成像方法，通过扫描的方式实现对待测物的待测面的全面成像。通常而言采用的方式是合束成像装置固定，待测物移动实现扫描。图5示出了一种扫描过程中合束成像装置与待测物相对移动的轨迹示意图。在如图5所示的实施例中，a物镜和b物镜可以同时对101a和101b两个区域进行成像，两个物镜之间的间距d可以通过调节光转向结构的长度改变。扫描过程中，a物镜可以沿如图5所示对区域101a-108a的顺序进行扫描，同时b物镜对应的目标区域是101b-108b。此时，将101a-108a合并为一张图像，将101b-108b合并为一张图像，即得到了通过a物镜获得的目标区域的图像和通过b物镜对应的目标区域的图像。

本实施例中，相机1会收集来自各个物镜的光进行成像，进一步的处理包括将不同物镜所成的像单独分离。作为一种可选的实施例，可以采用间歇性开启光源的方式成像。例如，可以在第一时间段内开启第一光源91，此时只有第一物镜61对应的目标区域被照亮，相机1只会获取来自该区域的光，对第一物镜61对应的目标区域成像。在第二时间段内，开启第二光源92，此时只有第二物镜62对应的目标区域被照亮，相机1获取来自该区域的光，对第二物镜62对应的目标区域成像。在实际应用过程中，可以通过控制相机1对上述光响应来进行成像。相机1的响应时间以及上述第一时间段、第二时间段都可以设置为若干微秒，通过分时成像可以实现单相机对多物镜收集到的光成像。进一步的，光源与镜筒、物镜都是一一对应的关系，例如，在本实施例中，第一光源91与第一镜筒3，第一物镜61是对应的，则在开启第一光源91时，将此时相机1记录的成像结果与第一物镜61对应的目标区域对应，以方便后续的图像处理步骤。

作为一种可选的实施例，可以采用设置带通滤光片并进行图像分离的方式成像。不同带通滤光片对应的波长需要不同。例如，在第一镜筒3和第二镜筒4中分别设置红光和绿光的带通滤光片。第一光源91和第二光源92是复色光源，复色光源对应的光的波长应该至少覆盖所有的带通滤光片的波长，例如，可以是覆盖了红光和绿光的白光。同时开启第一光源91和第二光源92时，待测物表面会反射多种波长的光，而因为第一镜筒3中设置有红光的带通滤光片，则第一镜筒3中只有红光可以通过；同理，第二镜筒4中只有绿光通过。此时，相机1会同时对第一镜筒中的红光成像，以及对第二镜筒中的绿光成像。后续可以通过图像分离的方式将红光像和绿光像分离，并将红光像与第一镜筒3对应的目标区域、将绿光像与第二镜筒4对应的目标区域一一对应，方便后续的图像处理步骤。需要注意的是，第一镜筒3中的带通滤光片设置位置应当要不影响第二镜筒4中传来的光即可。例如，在图2中，第一镜筒3的带通滤光片可以设置在第一合束镜71以下的位置。

作为一种可选的实施例，还可以采用单色光源照明并进行图像分离的方式成像。例如，第一光源91可以是红光，第二光源92可以是绿光。由于光源与镜筒是一一对应设置的，因此，同时开启第一光源91和第二光源92时，待测物表面对应的目标区域会反射不同颜色的光，相机1会对第一物镜61收集到的红光和第二物镜62收集到的绿光成像。同样地，后续可以通过图像分离的方式将红光像和绿光像分离，并将红光像与第一镜筒3对应的目标区域、将绿光像与第二镜筒4对应的目标区域一一对应，方便后续的图像处理步骤。

进一步地，当所述显微成像装置按照预设路线完成扫描，并通过相机获得所有物镜所成的多幅图像后，还可以对不同物镜对应的目标区域所成的像进行图像拼接融合。以图5为例，在依照上述实施例步骤分别获得了通过a物镜所成的像和通过b物镜所成的像，通过a物镜所成的像覆盖了101a-108a区域，通过b物镜所成的像覆盖了101b-108b区域。进一步的处理可以按照图中的位置关系，将两个物镜对应的成像拼接融合，拼接融合后的像即可以表示图5中整片的目标区域。本领域技术人员可以得知，分区扫描，图像拼接融合的具体实施方式不限于本实施例中给出的方式，例如，镜头在扫描过程中可以存在部分区域重合的情况，也不会影响图像的拼接融合。

作为本发明的又一个实施例，还提供了一种显微成像设备，其包括至少一个处理单元、以及至少一个存储单元，其中，所述存储单元存储有计算机程序，当所述计算机程序被所述处理单元执行时，使得所述处理单元执行上述任一项所述方法的步骤。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种显微成像方法，其特征在于，包括：

选取具有至少两个物镜的合束成像装置，将所述物镜正对待测物，并在所述合束成像装置的相机接口处安装相机；

调节所有物镜，使所述所有物镜对焦于同一平面；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像；

所述合束成像装置包括至少两个镜筒，设置于每个所述镜筒一端的物镜，以及与镜筒一一对应的光源；所述镜筒平行设置，所述物镜具有无限远校正功能；

其中，所述镜筒包括第一镜筒和至少一个第二镜筒，所述第一镜筒一端设置相机接口，另一端连接第一物镜，所述第二镜筒一端连接第二物镜，另一端通过光转向结构与所述第一镜筒相连，将所述第二物镜收集到的光导向相机；在所述第一镜筒，或在所述第一镜筒和所述第二镜筒中设置透镜，用于将无限远光路汇聚在所述相机的靶面。

2.如权利要求1所述的显微成像方法，其特征在于：

所述物镜至少包括高倍镜和低倍镜，

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像，具体包括：

采用低倍镜获取第一目标区域的图像；

从所述第一目标区域中获取第二目标区域，利用高倍镜获取所述第二目标区域的图像。

3.如权利要求1所述的显微成像方法，其特征在于：

所述物镜设置有对应的物镜调节组件；

调节所有物镜，使所述所有物镜对焦于同一平面，具体包括：

调节所述物镜调节组件，使所述所有物镜对焦于同一平面。

4.如权利要求1所述的显微成像方法，其特征在于：

所述至少两个物镜采用规格相同的物镜；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像，具体包括：

调整所述光转向结构的长度，从而调整相邻物镜视野之间的间隙，通过所述相机获得所述相邻物镜对应的取像区域所成的像。

5.如权利要求1所述的显微成像方法，其特征在于：

所述至少两个物镜采用规格相同的物镜；

通过所述相机获得所述物镜对应的目标区域所成的像，还包括：

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像；所述多幅图像是所述物镜对应目标区域所成的像。

6.如权利要求5所述的显微成像方法，其特征在于：

所述光源通过光转向结构与所述镜筒连接；

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像，具体而言包括：

分时开启不同物镜对应的光源，使得所述相机在同一时刻仅获取一个物镜对应目标区域的像；移动所述相机或者所述待测物，对所述待测物的目标区域进行扫描，所述相机获得整个所述目标区域的图像；

按照所述光源开启时间与所述镜筒及其目标区域的对应关系，获得不同物镜对应的整个所述目标区域的多幅图像。

7.如权利要求5所述的显微成像方法，其特征在于：

所述相机为彩色相机；所述光源是不同波长的单色光源，所述一个镜筒对应一个波长的单色光源；

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像，具体而言包括：

同时开启所有光源，移动所述相机或者所述待测物，对所述待测物的目标区域进行扫描，所述相机获得整个所述目标区域的图像；

依照所述光源的波长，对所述目标区域的图像进行分离，获得不同物镜对应的整个所述目标区域的多幅图像。

8.如权利要求5所述的显微成像方法，其特征在于：

所述合束成像装置还包括置于每个镜筒中的带通滤光片，所述带通滤光片用于控制经过所述镜筒的光的波长；不同镜筒中的带通滤光片对应的波长互不相同其中，所述第一镜筒中的带通滤光片设置于不影响所述光转向结构中传来光的位置；所述相机为彩色相机；

所述合束成像装置与所述待测物之间按照预设扫描路径相对移动，通过所述相机获得整个所述目标区域的多幅图像，具体而言包括：

同时开启所有光源，移动所述相机或者所述待测物，对所述待测物的目标区域进行扫描，所述相机获得整个所述目标区域的图像；

依照所述带通滤光片的波长，分离所述图像后，得到所述图像与所述目标区域之间的关系。

9.如权利要求5-8任一项所述的显微成像方法，其特征在于：

通过所述相机获得所有所述物镜所成的多幅图像后，将所述多幅图像按照对应物镜的目标区域之间的位置关系进行图像拼接融合后，获取全部目标区域的图像。

10.一种显微成像设备，其特征在于，包括至少一个处理单元、以及至少一个存储单元，其中，所述存储单元存储有计算机程序，当所述计算机程序被所述处理单元执行时，使得所述处理单元执行权利要求1～9任一项所述方法的步骤。