CN116815127A - 一种真空蒸镀成膜装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空蒸镀领域，包括：蒸镀成膜组件；所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述U型加热丝共设有三个，且三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部；本发明当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀；解决了不能对工件进行间歇转动，导致膜料不能与工件的不同位置快速接触的问题。
Description
技术领域
本发明涉及真空蒸镀技术领域，特别涉及一种真空蒸镀成膜装置。
背景技术
真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法；目前的真空蒸镀成膜装置，不方便工人添加膜料，导致工人加注膜料时费时费力，且不能对工件进行间歇转动，导致膜料不能与工件的不同位置快速接触，降低了成膜效率。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种真空蒸镀成膜装置，其具有蒸镀成膜组件、密封组件、支撑组件、挡料组件和驱动组件，方便工作人员通过加料拉环将密封板块拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体的内部底侧，当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率。
本发明提供了一种真空蒸镀成膜装置的目的与功效，具体包括：蒸镀成膜组件、真空组件、密封组件、支撑组件、定位组件、挡料组件和驱动组件；
所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；
所述蒸镀成膜组件包括：蒸镀成膜壳体和U型加热丝；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述U型加热丝共设有三个，且三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部。
进一步的，所述支撑组件还包括：固定杆、旋转柄和齿轮A；所述固定杆螺纹连接在透气支撑罩的右侧；所述旋转柄固定安装在固定杆的内部；所述齿轮A固定安装在安装轴的外壁。
进一步的，所述真空组件包括：支撑架、真空泵、吸气管和排气管；所述支撑架共设有两个，且两个支撑架固定安装在蒸镀成膜壳体的顶部；所述真空泵固定安装在两个支撑架的内部；所述吸气管固定安装在真空泵的左侧，且吸气管的底部插入在蒸镀成膜壳体的内部；所述排气管固定安装在真空泵的右侧。
进一步的，所述定位组件包括：定位座和定位杆；所述定位座固定安装在蒸镀成膜壳体的左侧；所述定位杆滑动安装在定位座的内部，且定位杆的顶部为半球形结构，并且定位杆插入在下方的定位凹槽中。
进一步的，所述密封组件包括：导向轴、密封板块和限位挡板；所述导向轴共设有两个，且两个导向轴滑动安装在蒸镀成膜壳体的内部；所述密封板块固定安装在两个导向轴的前侧；所述限位挡板固定安装在密封板块的前侧，且限位挡板的后侧与蒸镀成膜壳体接触。
进一步的，所述定位组件还包括：限位圆环C和复位弹簧；所述限位圆环C固定安装在定位杆的外壁；所述复位弹簧安装在定位杆的外部，且复位弹簧位于定位座和限位圆环C之间。
进一步的，所述密封组件还包括：限位圆环A、强力磁铁和加料拉环；所述限位圆环A共设有两个，且两个限位圆环A固定安装在两个导向轴的外壁；所述强力磁铁共设有四个，且四个强力磁铁固定安装在限位挡板的内部，并且四个强力磁铁与蒸镀成膜壳体接触；所述加料拉环固定安装在限位挡板的前侧。
进一步的，所述挡料组件包括：挡料板和拉手；所述挡料板滑动安装在透气支撑罩的内部；所述拉手固定安装在挡料板的前侧。
进一步的，所述支撑组件包括：安装轴、定位凹槽、透气支撑罩和限位圆环B；所述安装轴转动安装在蒸镀成膜壳体的内部，且安装轴的外壁设置有六个定位凹槽；所述透气支撑罩固定安装在安装轴的右侧；所述限位圆环B固定安装在安装轴的外壁，且限位圆环B的右侧与蒸镀成膜壳体接触。
进一步的，所述驱动组件还包括：固定架、电机和缺齿轮B；所述固定架固定安装在蒸镀成膜壳体的左侧；所述电机固定安装在固定架的内部；所述缺齿轮B固定安装在电机上，且缺齿轮B与齿轮A啮合连接。
有益效果
1、本发明因三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部，从而对膜料起到了加热作用，使得蒸镀成膜壳体内部底侧的膜料气化，实现了工件的自动成膜，又因吸气管固定安装在真空泵的左侧，且吸气管的底部插入在蒸镀成膜壳体的内部，并且排气管固定安装在真空泵的右侧，进而当真空泵工作时，蒸镀成膜壳体内部的气体通过排气管排出，实现了真空蒸镀。
2、本发明因两个导向轴滑动安装在蒸镀成膜壳体的内部，且密封板块固定安装在两个导向轴的前侧，并且加料拉环固定安装在限位挡板的前侧，从而方便工作人员通过加料拉环将密封板块拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体的内部底侧，又因四个强力磁铁固定安装在限位挡板的内部，且四个强力磁铁与蒸镀成膜壳体接触，进而对限位挡板起到了限位作用，避免了密封板块发生移动，提高了密封效果。
3、本发明因透气支撑罩固定安装在安装轴的右侧，从而对工件起到了支撑作用，又因齿轮A固定安装在安装轴的外壁，且缺齿轮B固定安装在电机上，并且缺齿轮B与齿轮A啮合连接，从而当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率，又因挡料板滑动安装在透气支撑罩的内部，且固定杆的左侧与挡料板接触，进而对透气支撑罩内部的工件起到了阻挡作用。
4、本发明因定位杆滑动安装在定位座的内部，且定位杆的顶部为半球形结构，并且定位杆插入在下方的定位凹槽中，从而对安装轴起到了定位作用，使得透气支撑罩间歇转动后更加稳定，又因复位弹簧安装在定位杆的外部，且复位弹簧位于定位座和限位圆环C之间，进而实现了定位杆的自动复位。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
在附图中：
图1示出了本发明的立体结构示意图；
图2示出了本发明图1的底部视角结构示意图；
图3示出了本发明图1的主视视角结构示意图；
图4示出了本发明蒸镀成膜组件和密封组件的结构示意图；
图5示出了本发明密封组件的结构示意图；
图6示出了本发明图3中A区域的局部放大结构示意图；
图7示出了本发明支撑组件和挡料组件的结构示意图；
图8示出了本发明图7中B区域的局部放大结构示意图；
图9示出了本发明图1中C区域的局部放大结构示意图。
附图标记列表
1、蒸镀成膜组件；101、蒸镀成膜壳体；102、U型加热丝；2、真空组件；201、支撑架；202、真空泵；203、吸气管；204、排气管；3、密封组件；301、导向轴；302、密封板块；303、限位挡板；304、限位圆环A；305、强力磁铁；306、加料拉环；4、支撑组件；401、安装轴；4011、定位凹槽；402、透气支撑罩；403、限位圆环B；404、固定杆；405、旋转柄；406、齿轮A；5、定位组件；501、定位座；502、定位杆；503、限位圆环C；504、复位弹簧；6、挡料组件；601、挡料板；602、拉手；7、驱动组件；701、固定架；702、电机；703、缺齿轮B。
具体实施方式
为了使得本发明的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本发明的具体实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。
实施例：请参考图1至图9所示：
本发明提供一种真空蒸镀成膜装置，包括蒸镀成膜组件1、真空组件2、密封组件3、支撑组件4、定位组件5、挡料组件6和驱动组件7；
真空组件2安装在蒸镀成膜组件1的顶部；密封组件3安装在蒸镀成膜组件1上；支撑组件4安装在蒸镀成膜组件1的内部；定位组件5安装在蒸镀成膜组件1的左侧；挡料组件6安装在支撑组件4的内部；驱动组件7安装在蒸镀成膜组件1的左侧。
其中，蒸镀成膜组件1包括：蒸镀成膜壳体101和U型加热丝102；蒸镀成膜壳体101整体为长方体结构；U型加热丝102共设有三个，且三个U型加热丝102固定安装在蒸镀成膜壳体101的内部，真空组件2包括：支撑架201、真空泵202、吸气管203和排气管204；支撑架201共设有两个，且两个支撑架201固定安装在蒸镀成膜壳体101的顶部；真空泵202固定安装在两个支撑架201的内部；吸气管203固定安装在真空泵202的左侧，且吸气管203的底部插入在蒸镀成膜壳体101的内部；排气管204固定安装在真空泵202的右侧，其具体作用为：因三个U型加热丝102固定安装在蒸镀成膜壳体101的内部，从而对膜料起到了加热作用，使得蒸镀成膜壳体101内部底侧的膜料气化，实现了工件的自动成膜，又因吸气管203固定安装在真空泵202的左侧，且吸气管203的底部插入在蒸镀成膜壳体101的内部，并且排气管204固定安装在真空泵202的右侧，进而当真空泵202工作时，蒸镀成膜壳体101内部的气体通过排气管204排出，实现了真空蒸镀。
其中，密封组件3包括：导向轴301、密封板块302和限位挡板303；导向轴301共设有两个，且两个导向轴301滑动安装在蒸镀成膜壳体101的内部；密封板块302固定安装在两个导向轴301的前侧；限位挡板303固定安装在密封板块302的前侧，且限位挡板303的后侧与蒸镀成膜壳体101接触；密封组件3还包括：限位圆环A304、强力磁铁305和加料拉环306；限位圆环A304共设有两个，且两个限位圆环A304固定安装在两个导向轴301的外壁；强力磁铁305共设有四个，且四个强力磁铁305固定安装在限位挡板303的内部，并且四个强力磁铁305与蒸镀成膜壳体101接触；加料拉环306固定安装在限位挡板303的前侧，其具体作用为：因两个导向轴301滑动安装在蒸镀成膜壳体101的内部，且密封板块302固定安装在两个导向轴301的前侧，并且加料拉环306固定安装在限位挡板303的前侧，从而方便工作人员通过加料拉环306将密封板块302拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体101的内部底侧，又因四个强力磁铁305固定安装在限位挡板303的内部，且四个强力磁铁305与蒸镀成膜壳体101接触，进而对限位挡板303起到了限位作用，避免了密封板块302发生移动，提高了密封效果。
其中，支撑组件4包括：安装轴401、定位凹槽4011、透气支撑罩402和限位圆环B403；安装轴401转动安装在蒸镀成膜壳体101的内部，且安装轴401的外壁设置有六个定位凹槽4011；透气支撑罩402固定安装在安装轴401的右侧；限位圆环B403固定安装在安装轴401的外壁，且限位圆环B403的右侧与蒸镀成膜壳体101接触；支撑组件4还包括：固定杆404、旋转柄405和齿轮A406；固定杆404螺纹连接在透气支撑罩402的右侧；旋转柄405固定安装在固定杆404的内部；齿轮A406固定安装在安装轴401的外壁，挡料组件6包括：挡料板601和拉手602；挡料板601滑动安装在透气支撑罩402的内部；拉手602固定安装在挡料板601的前侧，驱动组件7还包括：固定架701、电机702和缺齿轮B703；固定架701固定安装在蒸镀成膜壳体101的左侧；电机702固定安装在固定架701的内部；缺齿轮B703固定安装在电机702上，且缺齿轮B703与齿轮A406啮合连接，其具体作用为：因透气支撑罩402固定安装在安装轴401的右侧，从而对工件起到了支撑作用，又因齿轮A406固定安装在安装轴401的外壁，且缺齿轮B703固定安装在电机702上，并且缺齿轮B703与齿轮A406啮合连接，从而当电机702工作时透气支撑罩402间歇转动，使得透气支撑罩402内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率，又因挡料板601滑动安装在透气支撑罩402的内部，且固定杆404的左侧与挡料板601接触，进而对透气支撑罩402内部的工件起到了阻挡作用。
其中，定位组件5包括：定位座501和定位杆502；定位座501固定安装在蒸镀成膜壳体101的左侧；定位杆502滑动安装在定位座501的内部，且定位杆502的顶部为半球形结构，并且定位杆502插入在下方的定位凹槽4011中；定位组件5还包括：限位圆环C503和复位弹簧504；限位圆环C503固定安装在定位杆502的外壁；复位弹簧504安装在定位杆502的外部，且复位弹簧504位于定位座501和限位圆环C503之间，其具体作用为：因定位杆502滑动安装在定位座501的内部，且定位杆502的顶部为半球形结构，并且定位杆502插入在下方的定位凹槽4011中，从而对安装轴401起到了定位作用，使得透气支撑罩402间歇转动后更加稳定，又因复位弹簧504安装在定位杆502的外部，且复位弹簧504位于定位座501和限位圆环C503之间，进而实现了定位杆502的自动复位。
本实施例的具体使用方式与作用：本发明中，首先工作人员将本装置与外部电源接通，之后工作人员向前拉动加料拉环306，之后工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体101的内部底侧，四个强力磁铁305的设置，对限位挡板303起到了限位作用，避免了密封板块302发生移动，提高了密封效果，然后工作人员将工件放置在透气支撑罩402的内部，然后将挡料板601滑动安装在透气支撑罩402的内部，再转动旋转柄405，使得固定杆404的左侧与挡料板601接触，对透气支撑罩402内部的工件起到了阻挡作用，然后工作人员启动三个U型加热丝102、真空泵202和电机702，三个U型加热丝102的设置，对膜料起到了加热作用，使得蒸镀成膜壳体101内部底侧的膜料气化，实现了工件的自动成膜，当真空泵202工作时，蒸镀成膜壳体101内部的气体通过排气管204排出，实现了真空蒸镀，当电机702工作时透气支撑罩402间歇转动，使得透气支撑罩402内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率，定位杆502的设置，对安装轴401起到了定位作用，使得透气支撑罩402间歇转动后更加稳定。
以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。
Claims (10)
1.一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于，包括：蒸镀成膜组件(1)、真空组件(2)、密封组件(3)、支撑组件(4)、定位组件(5)、挡料组件(6)和驱动组件(7)；
所述真空组件(2)安装在蒸镀成膜组件(1)的顶部；所述密封组件(3)安装在蒸镀成膜组件(1)上；所述支撑组件(4)安装在蒸镀成膜组件(1)的内部；所述定位组件(5)安装在蒸镀成膜组件(1)的左侧；所述挡料组件(6)安装在支撑组件(4)的内部；所述驱动组件(7)安装在蒸镀成膜组件(1)的左侧；
所述蒸镀成膜组件(1)包括：蒸镀成膜壳体(101)和U型加热丝(102)；所述蒸镀成膜壳体(101)整体为长方体结构；所述U型加热丝(102)共设有三个，且三个U型加热丝(102)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部。
2.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述真空组件(2)包括：支撑架(201)、真空泵(202)、吸气管(203)和排气管(204)；所述支撑架(201)共设有两个，且两个支撑架(201)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的顶部；所述真空泵(202)固定安装在两个支撑架(201)的内部；所述吸气管(203)固定安装在真空泵(202)的左侧，且吸气管(203)的底部插入在蒸镀成膜壳体(101)的内部；所述排气管(204)固定安装在真空泵(202)的右侧。
3.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述密封组件(3)包括：导向轴(301)、密封板块(302)和限位挡板(303)；所述导向轴(301)共设有两个，且两个导向轴(301)滑动安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部；所述密封板块(302)固定安装在两个导向轴(301)的前侧；所述限位挡板(303)固定安装在密封板块(302)的前侧，且限位挡板(303)的后侧与蒸镀成膜壳体(101)接触。
4.根据权利要求3所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述密封组件(3)还包括：限位圆环A(304)、强力磁铁(305)和加料拉环(306)；所述限位圆环A(304)共设有两个，且两个限位圆环A(304)固定安装在两个导向轴(301)的外壁；所述强力磁铁(305)共设有四个，且四个强力磁铁(305)固定安装在限位挡板(303)的内部，并且四个强力磁铁(305)与蒸镀成膜壳体(101)接触；所述加料拉环(306)固定安装在限位挡板(303)的前侧。
5.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述支撑组件(4)包括：安装轴(401)、定位凹槽(4011)、透气支撑罩(402)和限位圆环B(403)；所述安装轴(401)转动安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部，且安装轴(401)的外壁设置有六个定位凹槽(4011)；所述透气支撑罩(402)固定安装在安装轴(401)的右侧；所述限位圆环B(403)固定安装在安装轴(401)的外壁，且限位圆环B(403)的右侧与蒸镀成膜壳体(101)接触。
6.根据权利要求5所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述支撑组件(4)还包括：固定杆(404)、旋转柄(405)和齿轮A(406)；所述固定杆(404)螺纹连接在透气支撑罩(402)的右侧；所述旋转柄(405)固定安装在固定杆(404)的内部；所述齿轮A(406)固定安装在安装轴(401)的外壁。
7.根据权利要求5所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述定位组件(5)包括：定位座(501)和定位杆(502)；所述定位座(501)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的左侧；所述定位杆(502)滑动安装在定位座(501)的内部，且定位杆(502)的顶部为半球形结构，并且定位杆(502)插入在下方的定位凹槽(4011)中。
8.根据权利要求7所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述定位组件(5)还包括：限位圆环C(503)和复位弹簧(504)；所述限位圆环C(503)固定安装在定位杆(502)的外壁；所述复位弹簧(504)安装在定位杆(502)的外部，且复位弹簧(504)位于定位座(501)和限位圆环C(503)之间。
9.根据权利要求5所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述挡料组件(6)包括：挡料板(601)和拉手(602)；所述挡料板(601)滑动安装在透气支撑罩(402)的内部；所述拉手(602)固定安装在挡料板(601)的前侧。
10.根据权利要求6所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述驱动组件(7)还包括：固定架(701)、电机(702)和缺齿轮B(703)；所述固定架(701)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的左侧；所述电机(702)固定安装在固定架(701)的内部；所述缺齿轮B(703)固定安装在电机(702)上，且缺齿轮B(703)与齿轮A(406)啮合连接。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1990901A (zh) * | 2005-07-12 | 2007-07-04 | 米巴·格来特来格有限公司 | 涂覆方法 |
| CN106868457A (zh) * | 2017-03-22 | 2017-06-20 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种蒸镀组件及蒸镀设备 |
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1990901A (zh) * | 2005-07-12 | 2007-07-04 | 米巴·格来特来格有限公司 | 涂覆方法 |
| CN106868457A (zh) * | 2017-03-22 | 2017-06-20 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种蒸镀组件及蒸镀设备 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 田民波等: "《薄膜科学与技术手册》", 机械工业出版社, pages: 372 - 377 * |
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