CN116812946B - 一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及电子级氨水生产控制技术领域，揭露了一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法及系统，包括：根据氨水蒸发测试温度将液氨蒸发为氨气，对氨气进行喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集，识别目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度，在温度‑水压‑尾气对应表中提取最佳尾气浓度，在温度‑水压‑尾气对应表中提取最佳蒸发温度及最佳喷淋水压，根据电子级氨水需求浓度在所述浓度‑温度‑水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压，根据当前蒸发温度及当前喷淋水压，生产电子级氨水。本发明主要目的在于解决电子级氨水浓度调控的过程中普遍未考虑到尾气的排放量，导致电子级氨水的产出效率较低的问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法及系统，属于电子级氨水生产控制技术领域。
背景技术
电子级氨水是半导体产业上游关键配套原材料，适用于电子产品的生产中，电性杂质含量极低，主要用于硅晶片的扩散、腐蚀及清洗等工艺。
电子级氨水通常是以液态氨为原料，通过对液态氨的蒸发，得到气态的氨气，由于电子级氨水对纯度的要求较高，因此需要对氨气进行过滤，去除痕量杂质，得到纯净的氨气，利用超纯水对经过过滤的氨气进行吸收，从而最终得到电子级氨水。目前在调控电子级氨水的浓度方面主要通过超纯水的水量来调控，并未考虑到结合液态氨的蒸发情况进行调控，且在电子级氨水浓度调控的过程中普遍未考虑到尾气的排放量，导致电子级氨水的产出效率较低。
发明内容
本发明提供一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法、系统及计算机可读存储介质，其主要目的在于解决在电子级氨水浓度调控的过程中普遍未考虑到尾气的排放量，导致电子级氨水的产出效率较低的问题。
为实现上述目的，本发明提供的一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法，包括：
在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；
利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集；
在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；
构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；
构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；
根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
可选地，所述在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，包括：
设定测试温度间隔，根据所述测试温度间隔在所述氨水蒸发温度区间内设定氨水蒸发温度点集；
按照氨水蒸发温度从小至大的顺序，在所述氨水蒸发温度点集中依次提取所述氨水蒸发测试温度。
可选地，所述利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集，包括：
利用所述过滤器对所述氨气进行过滤，得到滤化氨气；
在预设的喷淋水压调控范围内选取喷淋水压序列；
根据所述喷淋水压序列，利用所述压控喷淋器对所述氨气进行喷淋吸收并利用预构建的氨气浓度检测装置对所述尾气回收罐中的氨气浓度进行检测，得到电子级氨水序列及喷淋尾气浓度集；
利用所述电子级氨水生产装置中的电子级氨水储罐存储所述电子级氨水序列并对所述电子级氨水序列进行浓度测定，电子级氨水浓度集。
可选地，所述根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，包括：
根据所述氨水蒸发测试温度制备恒温循环水；
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内并利用所述恒温循环水对所述蒸发器内的液氨进行压力监测蒸发，得到氨气。
可选地，所述将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内并利用所述恒温循环水对所述蒸发器内的液氨进行压力监测蒸发，得到氨气，包括：
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，得到待蒸发液氨；
利用所述恒温循环水加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并利用预构建的压力检测装置对所述蒸发器内的压力进行实时监测，得到氨气及实时蒸发压力；
判断所述实时蒸发压力是否大于等于预设的安全压力阈值；
若所述实时蒸发压力不大于等于所述安全压力阈值，则返回上述利用所述恒温循环水加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并利用预构建的压力检测装置对所述蒸发器内的压力进行实时监测的步骤；
若所述实时蒸发压力大于等于所述安全压力阈值，则停止加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并将所述氨气通入所述尾气回收罐内回收。
可选地，所述将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，得到待蒸发液氨，包括：
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，直至所述蒸发器内的液氨达到预设的蒸发体积，得到待校平液氨；
对所述待较平液氨进行较平操作，得到待连通液氨；
利用预构建的连通器连通所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待连通液氨，得到所述待蒸发液氨。
可选地，所述对所述待较平液氨进行较平操作，得到待连通液氨，包括：
判断所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨是否处于同一水平面；
若所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨不处于同一水平面，则调控所述液氨储罐内的液氨体积，直至所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨处于同一水平面，得到待连通液氨；
若所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨处于同一水平面，则完成对所述待校平液氨的校平，得到待连通液氨。
可选地，所述根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水，包括：
根据所述当前蒸发温度制备当前恒温循环水，根据所述当前喷淋水压设定所述压控喷淋器的喷淋水压，得到当前喷淋超纯水；
利用所述当前恒温循环水将所述液氨储罐内的待蒸发液氨蒸发至所述吸收塔内并利用所属当前喷淋超纯水进行喷淋，得到未吸收氨气及所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水；
判断所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水是否达到需求产量；
若所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水未达到需求产量，则返回上述根据所述当前蒸发温度制备当前恒温循环水的步骤；
若所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水达到需求产量，则停止蒸发所述待蒸发液氨及停止喷淋所述当前喷淋超纯水，得到残余氨气；
利用所述尾气回收罐对所述残余氨气进行尾气回收，直至所述电子级氨水生产装置内的未吸收氨气回收完毕，得到所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
可选地，所述利用所述尾气回收罐对所述残余氨气进行尾气回收，包括：
在所述尾气回收罐内配置预定体积及浓度的稀酸溶液；
利用预构建的引风机将所述残余氨气引入所述尾气回收罐内的稀酸溶液中并利用所述稀酸溶液对所述残余氨气进行尾气回收。
为了解决上述问题，本发明还提供一种用于电子级氨水生产的浓度控制系统，所述系统包括：
温度-水压-尾气对应表构建模块，用于在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集；在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
最佳尾气浓度提取模块，用于在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
浓度-温度-水压对应表构建模块，用于在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
当前电子级氨水生产模块，用于接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
为了解决上述问题，本发明还提供一种电子设备，所述电子设备包括：
至少一个处理器；以及，
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以实现上述所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法。
为了解决上述问题，本发明还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有至少一个指令，所述至少一个指令被电子设备中的处理器执行以实现上述所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法。
相比于背景技术所述问题，本发明实施例通过分析出最佳尾气浓度，从而提取出对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压，最终得到最适合电子级氨水当前浓度的当前蒸发温度及当前喷淋水压，在分析最佳尾气浓度的过程中，首先分析在各个氨水蒸发测试温度下，可生产出电子级氨水测试浓度的目标喷淋水压，通过利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集，再通过在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，从而可以识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度，最终得以构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表，通过在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度，由于最佳尾气浓度标志着高效生产，因此通过最佳尾气浓度索引出最佳蒸发温度及最佳喷淋水压，最后通过构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表，此时就可以根据电子级氨水当前浓度查询出合适的当前蒸发温度及当前喷淋水压，最后只要根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水即可。因此本发明提出的用于电子级氨水生产的浓度控制方法、系统、电子设备及计算机可读存储介质，其主要目的在于解决在电子级氨水浓度调控的过程中普遍未考虑到尾气的排放量，导致电子级氨水的产出效率较低的问题。
附图说明
图1为本发明一实施例提供的用于电子级氨水生产的浓度控制方法的流程示意图；
图2为图1中其中一个步骤的详细实施流程示意图；
图3为图1中另一个步骤的详细实施流程示意图；
图4为本发明一实施例提供的用于电子级氨水生产的浓度控制系统的功能模块图；
图5为本发明一实施例提供的实现所述用于电子级氨水生产的浓度控制方法的电子设备的结构示意图。
本发明目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本申请实施例提供一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法。所述用于电子级氨水生产的浓度控制方法的执行主体包括但不限于服务端、终端等能够被配置为执行本申请实施例提供的该方法的电子设备中的至少一种。换言之，所述用于电子级氨水生产的浓度控制方法可以由安装在终端设备或服务端设备的软件或硬件来执行。所述服务端包括但不限于：单台服务器、服务器集群、云端服务器或云端服务器集群等。
实施例1：
参照图1所示，为本发明一实施例提供的用于电子级氨水生产的浓度控制方法的流程示意图。在本实施例中，所述用于电子级氨水生产的浓度控制方法包括：
S1、在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐。
可解释的，所述氨水蒸发温度区间指利用蒸发器中的循环水对液氨进行加热的温度区间，例如：30-40℃。
详细地，参阅图2所示，所述在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，包括：
S11、设定测试温度间隔，根据所述测试温度间隔在所述氨水蒸发温度区间内设定氨水蒸发温度点集；
S12、按照氨水蒸发温度从小至大的顺序，在所述氨水蒸发温度点集中依次提取所述氨水蒸发测试温度。
进一步地，所述测试温度间隔为蒸发测试温度的间隔温差，例如：当所述氨水蒸发温度区间为30-40℃时，所述测试温度间隔可以为0.2℃，此时，所述氨水蒸发温度点集为30.0℃、30.2℃、30.4℃等等。
本发明实施例中，所述根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，包括：
根据所述氨水蒸发测试温度制备恒温循环水；
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内并利用所述恒温循环水对所述蒸发器内的液氨进行压力监测蒸发，得到氨气。
可解释的，所述恒温循环水的温度应与所述氨水蒸发测试温度一致。所述压力监测蒸发指在对所述蒸发器内的液氨进行蒸发的过程中同时进行内部压力监测，避免压力过大，出现危险。
本发明实施例中，所述将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内并利用所述恒温循环水对所述蒸发器内的液氨进行压力监测蒸发，得到氨气，包括：
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，得到待蒸发液氨；
利用所述恒温循环水加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并利用预构建的压力检测装置对所述蒸发器内的压力进行实时监测，得到氨气及实时蒸发压力；
判断所述实时蒸发压力是否大于等于预设的安全压力阈值；
若所述实时蒸发压力不大于等于所述安全压力阈值，则返回上述利用所述恒温循环水加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并利用预构建的压力检测装置对所述蒸发器内的压力进行实时监测的步骤；
若所述实时蒸发压力大于等于所述安全压力阈值，则停止加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并将所述氨气通入所述尾气回收罐内回收。
进一步地，参阅图3所示，所述将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，得到待蒸发液氨，包括：
S13、将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，直至所述蒸发器内的液氨达到预设的蒸发体积，得到待校平液氨；
S14、对所述待较平液氨进行较平操作，得到待连通液氨；
S15、利用预构建的连通器连通所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待连通液氨，得到所述待蒸发液氨。
可解释的，所述蒸发体积指所述蒸发器的容纳液氨的最大容积。所述较平操作指将所述液氨储罐内的液氨平面与所述蒸发器内的待校平液氨调整至同一水平面。所述待蒸发液氨指所述蒸发器内与所述液氨储罐内的液氨处于同一水平面，且可以进行蒸发的液氨。
本发明实施例中，所述对所述待较平液氨进行较平操作，得到待连通液氨，包括：
判断所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨是否处于同一水平面；
若所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨不处于同一水平面，则调控所述液氨储罐内的液氨体积，直至所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨处于同一水平面，得到待连通液氨；
若所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨处于同一水平面，则完成对所述待校平液氨的校平，得到待连通液氨。
可理解的，为了保证所述蒸发器内的液氨在蒸发的过程中始终保持固定的体积，通过连通器原理连通蒸发器内的液氨与液氨储罐内的液氨，从而使得两处液氨的水平面始终处于同一平面。为了确保蒸发器内的液氨在蒸发的过程中保持体积不变，可以通过增大液氨储罐与所述蒸发器内待蒸发液氨的液面面积的差距来减小蒸发器内液氨体积的变化速度（例如：增加多个液氨储罐与所述蒸发器相连或将圆柱形液氨储罐的上下表面积增大，降低高度）。
S2、利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集。
可解释的，所述过滤器指将所述氨气内的痕量杂质从所述氨气内去除的过滤器，例如：可以为0.2 的微孔滤膜。所述吸收塔指将超纯水与所述氨气进行喷淋混合，得到电子级氨水的装置。所述压控喷淋器指安置在吸收塔顶部，通过喷口水压调控超纯水从上向下喷淋速度的装置，超纯水喷淋越快，单位时间内喷淋出的超纯水越多，与氨气混合的越充分。氨气是从吸收塔的下部从下至上进行逸散。
进一步地，所述电子级氨水浓度集指对在同一氨水蒸发测试温度下的氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收所得到的电子级氨水的浓度集合。所述喷淋尾气浓度集指对在同一氨水蒸发测试温度下的氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收后，未被吸收的氨气的浓度集合。
本发明实施例中，所述利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集，包括：
利用所述过滤器对所述氨气进行过滤，得到滤化氨气；
在预设的喷淋水压调控范围内选取喷淋水压序列；
根据所述喷淋水压序列，利用所述压控喷淋器对所述氨气进行喷淋吸收并利用预构建的氨气浓度检测装置对所述尾气回收罐中的氨气浓度进行检测，得到电子级氨水序列及喷淋尾气浓度集；
利用所述电子级氨水生产装置中的电子级氨水储罐存储所述电子级氨水序列并对所述电子级氨水序列进行浓度测定，电子级氨水浓度集。
应明白的，所述电子级氨水序列指利用所述压控喷淋器根据喷淋水压序列对所述氨气进行喷淋吸收后，得到的序列化的电子级氨水，每一个电子级氨水对应一个喷淋水压。所述电子级氨水在吸收塔内生成后落入电子级氨水储罐内。
S3、在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度。
可理解的，所述电子级氨水测试浓度集指预设的可以制备的电子级氨水浓度集合。
进一步地，本发明实施例是探究在不同氨水蒸发测试温度与不同喷淋水压的喷淋水压序列下，待蒸发氨水蒸发后在吸收塔内生成与所述电子级氨水测试浓度一致的电子级氨水，因此存在两个自变量，分别为氨水蒸发测试温度及喷淋水压，氨水蒸发测试温度的意义在于控制蒸发至吸收塔的氨气浓度一直是不变的，因此需要保持蒸馏器内的液氨体积保持不变。
可理解的，在电子级氨水测试浓度一定的情况下，可能存在多对氨水蒸发测试温度与喷淋水压可得到所述电子级氨水浓度，而每一对氨水蒸发测试温度与喷淋水压也对应着一个喷淋尾气浓度。
可示例的：当所述电子级氨水测试浓度为30%时（即生产需求为浓度为30%的电子级氨水），此时的氨水蒸发测试温度集可以为30.0℃、30.2℃、30.4℃时，喷淋水压序列可以为1MPa、2MPa、3MPa等，喷淋尾气浓度集可能为15ppm、16ppm以及17ppm，此时可能在氨水蒸发测试温度为30.0℃、喷淋水压为2MPa，喷淋尾气浓度为16ppm时，得到的电子级氨水浓度为30%，此时，30.0℃、2Mpa即为一对氨水蒸发测试温度与喷淋水压，即所述目标喷淋氨水浓度30%，目标喷淋水压为2Mpa及目标喷淋尾气浓度为16ppm。
S4、构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表。
进一步地，所述温度-水压-尾气对应表指记录在不同氨水蒸发测试温度下，目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度对应关系的表格，例如：在制备目标喷淋氨水浓度30%的电子级氨水时，当所述氨水蒸发测试温度为30℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为2Mpa及16ppm；当氨水蒸发测试温度为30.2℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.8Mpa及15ppm；当氨水蒸发测试温度为30.4℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.7Mpa及14ppm；当氨水蒸发测试温度为30.6℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.6Mpa及13ppm。
S5、在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度。
进一步地，在同一个电子级氨水测试浓度下，可能存在多对氨水蒸发测试温度与喷淋水压可制备与所述电子级氨水预测浓度相同的电子级氨水，但每一对氨水蒸发测试温度与喷淋水压对应的喷淋尾气浓度应该是不一样的，此处可以选择最小的喷淋尾气浓度对应的那一对氨水蒸发测试温度与喷淋水压。
可示例的，在制备目标喷淋氨水浓度30%的电子级氨水时，当所述氨水蒸发测试温度为30℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为2Mpa及16ppm；当氨水蒸发测试温度为30.2℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.8Mpa及15ppm；当氨水蒸发测试温度为30.4℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.7Mpa及14ppm；当氨水蒸发测试温度为30.6℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.6Mpa及13ppm，最佳尾气浓度应为13ppm。
S6、在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压。
可示例的，在制备目标喷淋氨水浓度30%的电子级氨水时，当所述氨水蒸发测试温度为30℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为2Mpa及16ppm；当氨水蒸发测试温度为30.2℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.8Mpa及15ppm；当氨水蒸发测试温度为30.4℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.7Mpa及14ppm；当氨水蒸发测试温度为30.6℃时，所述目标喷淋水压与目标喷淋尾气浓度分别为1.6Mpa及13ppm，最佳尾气浓度13ppm对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压分别为30.6℃及1.6Mpa。
S7、构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表。
可理解的，所述浓度-温度-水压对应表指记录在某一目标喷淋氨水浓度与对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系的表格，例如：当所述目标喷淋氨水浓度30%时，所述最佳蒸发温度、最佳喷淋水压及最佳尾气浓度分别为30.6℃、1.6Mpa及13ppm；当所述目标喷淋氨水浓度29%时，所述最佳蒸发温度、最佳喷淋水压及最佳尾气浓度可能分别为30.4℃、1.5Mpa及12ppm；目标喷淋氨水浓度28%时，所述最佳蒸发温度、最佳喷淋水压及最佳尾气浓度分别为30.2℃、1.4Mpa及11ppm。
S8、接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压。
可理解的，所述电子级氨水当前浓度指当前需要制备的电子级氨水浓度，所述当前蒸发温度及当前喷淋水压指在所述浓度-温度-水压对应表中与所述电子级氨水当前浓度对应的最佳蒸发温度与最佳喷淋水压。
S9、根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
本发明实施例中，所述根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水，包括：
根据所述当前蒸发温度制备当前恒温循环水，根据所述当前喷淋水压设定所述压控喷淋器的喷淋水压，得到当前喷淋超纯水；
利用所述当前恒温循环水将所述液氨储罐内的待蒸发液氨蒸发至所述吸收塔内并利用所属当前喷淋超纯水进行喷淋，得到未吸收氨气及所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水；
判断所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水是否达到需求产量；
若所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水未达到需求产量，则返回上述根据所述当前蒸发温度制备当前恒温循环水的步骤；
若所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水达到需求产量，则停止蒸发所述待蒸发液氨及停止喷淋所述当前喷淋超纯水，得到残余氨气；
利用所述尾气回收罐对所述残余氨气进行尾气回收，直至所述电子级氨水生产装置内的未吸收氨气回收完毕，得到所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
可解释的，停止蒸发所述待蒸发液氨及停止喷淋所述当前喷淋超纯水后，可能存在残余的氨气，可以通入所述尾气回收罐进行回收，避免浪费，以及影响下次制备。
本发明实施例中，所述利用所述尾气回收罐对所述残余氨气进行尾气回收，包括：
在所述尾气回收罐内配置预定体积及浓度的稀酸溶液；
利用预构建的引风机将所述残余氨气引入所述尾气回收罐内的稀酸溶液中并利用所述稀酸溶液对所述残余氨气进行尾气回收。
进一步地，所述稀酸溶液可以为稀盐酸、稀硫酸或稀磷酸，可与所述残余氨气生成盐类化合物。
相比于背景技术所述问题，本发明实施例通过分析出最佳尾气浓度，从而提取出对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压，最终得到最适合电子级氨水当前浓度的当前蒸发温度及当前喷淋水压，在分析最佳尾气浓度的过程中，首先分析在各个氨水蒸发测试温度下，可生产出电子级氨水测试浓度的目标喷淋水压，通过利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集，再通过在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，从而可以识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度，最终得以构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表，通过在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度，由于最佳尾气浓度标志着高效生产，因此通过最佳尾气浓度索引出最佳蒸发温度及最佳喷淋水压，最后通过构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表，此时就可以根据电子级氨水当前浓度查询出合适的当前蒸发温度及当前喷淋水压，最后只要根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水即可。因此本发明提出的用于电子级氨水生产的浓度控制方法、系统、电子设备及计算机可读存储介质，其主要目的在于解决在电子级氨水浓度调控的过程中普遍未考虑到尾气的排放量，导致电子级氨水的产出效率较低的问题。
实施例2：
如图4所示，是本发明一实施例提供的用于电子级氨水生产的浓度控制系统的功能模块图。
本发明所述用于电子级氨水生产的浓度控制系统100可以安装于电子设备中。根据实现的功能，所述用于电子级氨水生产的浓度控制系统100可以包括温度-水压-尾气对应表构建模块101、最佳尾气浓度提取模块102、浓度-温度-水压对应表构建模块103及当前电子级氨水生产模块104。本发明所述模块也可以称之为单元，是指一种能够被电子设备处理器所执行，并且能够完成固定功能的一系列计算机程序段，其存储在电子设备的存储器中。
所述温度-水压-尾气对应表构建模块101，用于在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集；在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
所述最佳尾气浓度提取模块102，用于在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
所述浓度-温度-水压对应表构建模块103，用于在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
所述当前电子级氨水生产模块104，用于接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
详细地，本发明实施例中所述用于电子级氨水生产的浓度控制系统100中的所述各模块在使用时采用与上述的图1中所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法一样的技术手段，并能够产生相同的技术效果，这里不再赘述。
实施例3：
如图5所示，是本发明一实施例提供的实现用于电子级氨水生产的浓度控制方法的电子设备的结构示意图。
所述电子设备1可以包括处理器10、存储器11、总线12和通信接口13，还可以包括存储在所述存储器11中并可在所述处理器10上运行的计算机程序，如用于电子级氨水生产的浓度控制程序。
其中，所述存储器11至少包括一种类型的可读存储介质，所述可读存储介质包括闪存、移动硬盘、多媒体卡、卡型存储器（例如：SD或DX存储器等）、磁性存储器、磁盘、光盘等。所述存储器11在一些实施例中可以是电子设备1的内部存储单元，例如该电子设备1的移动硬盘。所述存储器11在另一些实施例中也可以是电子设备1的外部存储设备，例如电子设备1上配备的插接式移动硬盘、智能存储卡（SmartMediaCard，SMC）、安全数字（SecureDigital，SD）卡、闪存卡（FlashCard）等。进一步地，所述存储器11还可以既包括电子设备1的内部存储单元也包括外部存储设备。所述存储器11不仅可以用于存储安装于电子设备1的应用软件及各类数据，例如用于电子级氨水生产的浓度控制程序的代码等，还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
所述处理器10在一些实施例中可以由集成电路组成，例如可以由单个封装的集成电路所组成，也可以是由多个相同功能或不同功能封装的集成电路所组成，包括一个或者多个中央处理器（CentralProcessingunit，CPU）、微处理器、数字处理芯片、图形处理器及各种控制芯片的组合等。所述处理器10是所述电子设备的控制核心（ControlUnit），利用各种接口和线路连接整个电子设备的各个部件，通过运行或执行存储在所述存储器11内的程序或者模块（例如用于电子级氨水生产的浓度控制程序等），以及调用存储在所述存储器11内的数据，以执行电子设备1的各种功能和处理数据。
所述总线可以是外设部件互连标准（peripheralcomponentinterconnect，简称PCI）总线或扩展工业标准结构（extendedindustrystandardarchitecture，简称EISA）总线等。该总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。所述总线被设置为实现所述存储器11以及至少一个处理器10等之间的连接通信。
图5仅示出了具有部件的电子设备，本领域技术人员可以理解的是，图5示出的结构并不构成对所述电子设备1的限定，可以包括比图示更少或者更多的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。
例如，尽管未示出，所述电子设备1还可以包括给各个部件供电的电源（比如电池），优选地，电源可以通过电源管理系统与所述至少一个处理器10逻辑相连，从而通过电源管理系统实现充电管理、放电管理、以及功耗管理等功能。电源还可以包括一个或一个以上的直流或交流电源、再充电系统、电源故障检测电路、电源转换器或者逆变器、电源状态指示器等任意组件。所述电子设备1还可以包括多种传感器、蓝牙模块、Wi-Fi模块等，在此不再赘述。
进一步地，所述电子设备1还可以包括网络接口，可选地，所述网络接口可以包括有线接口和/或无线接口（如WI-FI接口、蓝牙接口等），通常用于在该电子设备1与其他电子设备之间建立通信连接。
可选地，该电子设备1还可以包括用户接口，用户接口可以是显示器（Display）、输入单元（比如键盘（Keyboard）），可选地，用户接口还可以是标准的有线接口、无线接口。可选地，在一些实施例中，显示器可以是LED显示器、液晶显示器、触控式液晶显示器以及OLED（OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管）触摸器等。其中，显示器也可以适当的称为显示屏或显示单元，用于显示在电子设备1中处理的信息以及用于显示可视化的用户界面。
应该了解，所述实施例仅为说明之用，在专利申请范围上并不受此结构的限制。
所述电子设备1中的所述存储器11存储的用于电子级氨水生产的浓度控制程序是多个指令的组合，在所述处理器10中运行时，可以实现：
在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；
利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集；
在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；
构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；
构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；
根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
具体地，所述处理器10对上述指令的具体实现方法可参考图1至图4对应实施例中相关步骤的描述，在此不赘述。
进一步地，所述电子设备1集成的模块/单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读存储介质中。所述计算机可读存储介质可以是易失性的，也可以是非易失性的。例如，所述计算机可读介质可以包括：能够携带所述计算机程序代码的任何实体或系统、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器（ROM，Read-OnlyMemory）。
本发明还提供一种计算机可读存储介质，所述可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序在被电子设备的处理器所执行时，可以实现：
在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；
利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集；
在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；
构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；
构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；
根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能模块的形式实现。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。
最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围。
Claims (8)
1.一种用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述方法包括：
在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，具体为：设定测试温度间隔，根据所述测试温度间隔在所述氨水蒸发温度区间内设定氨水蒸发温度点集；按照氨水蒸发温度从小至大的顺序，在所述氨水蒸发温度点集中依次提取所述氨水蒸发测试温度；根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；
利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集，具体为：利用所述过滤器对所述氨气进行过滤，得到滤化氨气；在预设的喷淋水压调控范围内选取喷淋水压序列；根据所述喷淋水压序列，利用所述压控喷淋器对所述氨气进行喷淋吸收并利用预构建的氨气浓度检测装置对所述尾气回收罐中的氨气浓度进行检测，得到电子级氨水序列及喷淋尾气浓度集；利用所述电子级氨水生产装置中的电子级氨水储罐存储所述电子级氨水序列并对所述电子级氨水序列进行浓度测定，电子级氨水浓度集；
在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；
构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；
构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；
根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
2.如权利要求1所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，包括：
根据所述氨水蒸发测试温度制备恒温循环水；
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内并利用所述恒温循环水对所述蒸发器内的液氨进行压力监测蒸发，得到氨气。
3.如权利要求2所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内并利用所述恒温循环水对所述蒸发器内的液氨进行压力监测蒸发，得到氨气，包括：
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，得到待蒸发液氨；
利用所述恒温循环水加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并利用预构建的压力检测装置对所述蒸发器内的压力进行实时监测，得到氨气及实时蒸发压力；
判断所述实时蒸发压力是否大于等于预设的安全压力阈值；
若所述实时蒸发压力不大于等于所述安全压力阈值，则返回上述利用所述恒温循环水加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并利用预构建的压力检测装置对所述蒸发器内的压力进行实时监测的步骤；
若所述实时蒸发压力大于等于所述安全压力阈值，则停止加热所述蒸发器内的待蒸发液氨并将所述氨气通入所述尾气回收罐内回收。
4.如权利要求3所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，得到待蒸发液氨，包括：
将所述液氨储罐内的液氨引入所述蒸发器内，直至所述蒸发器内的液氨达到预设的蒸发体积，得到待校平液氨；
对所述待较平液氨进行较平操作，得到待连通液氨；
利用预构建的连通器连通所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待连通液氨，得到所述待蒸发液氨。
5.如权利要求4所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述对所述待较平液氨进行较平操作，得到待连通液氨，包括：
判断所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨是否处于同一水平面；
若所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨不处于同一水平面，则调控所述液氨储罐内的液氨体积，直至所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨处于同一水平面，得到待连通液氨；
若所述液氨储罐内的液氨与所述蒸发器内的待校平液氨处于同一水平面，则完成对所述待校平液氨的校平，得到待连通液氨。
6.如权利要求1所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水，包括：
根据所述当前蒸发温度制备当前恒温循环水，根据所述当前喷淋水压设定所述压控喷淋器的喷淋水压，得到当前喷淋超纯水；
利用所述当前恒温循环水将所述液氨储罐内的待蒸发液氨蒸发至所述吸收塔内并利用所属当前喷淋超纯水进行喷淋，得到未吸收氨气及所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水；
判断所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水是否达到需求产量；
若所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水未达到需求产量，则返回上述根据所述当前蒸发温度制备当前恒温循环水的步骤；
若所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水达到需求产量，则停止蒸发所述待蒸发液氨及停止喷淋所述当前喷淋超纯水，得到残余氨气；
利用所述尾气回收罐对所述残余氨气进行尾气回收，直至所述电子级氨水生产装置内的未吸收氨气回收完毕，得到所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
7.如权利要求6所述的用于电子级氨水生产的浓度控制方法，其特征在于，所述利用所述尾气回收罐对所述残余氨气进行尾气回收，包括：
在所述尾气回收罐内配置预定体积及浓度的稀酸溶液；
利用预构建的引风机将所述残余氨气引入所述尾气回收罐内的稀酸溶液中并利用所述稀酸溶液对所述残余氨气进行尾气回收。
8.一种基于权利要求1-7任一项所述的浓度控制方法的用于电子级氨水生产的浓度控制系统，其特征在于，所述系统包括：
温度-水压-尾气对应表构建模块，用于在预设的氨水蒸发温度区间中依次提取氨水蒸发测试温度，根据所述氨水蒸发测试温度，利用预构建的电子级氨水生产装置中的蒸发器将液氨储罐中的液氨蒸发为氨气，其中，所述电子级氨水生产装置包括：液氨储罐、蒸发器、过滤器、吸收塔、电子级氨水储罐及尾气回收罐；利用所述过滤器将所述氨气过滤至所述吸收塔中并利用所述吸收塔中的压控喷淋器对所述氨气进行不同喷淋水压的喷淋吸收，得到电子级氨水浓度集及喷淋尾气浓度集；在预构建的电子级氨水测试浓度集中依次提取电子级氨水测试浓度，在所述电子级氨水浓度集中提取与所述电子级氨水测试浓度相同的目标喷淋氨水浓度，识别所述目标喷淋氨水浓度对应的目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度；构建所述氨水蒸发测试温度与所述目标喷淋水压及目标喷淋尾气浓度的对应关系，得到温度-水压-尾气对应表；
最佳尾气浓度提取模块，用于在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述目标喷淋尾气浓度的最小值，得到最佳尾气浓度；
浓度-温度-水压对应表构建模块，用于在所述温度-水压-尾气对应表中提取所述最佳尾气浓度对应的最佳蒸发温度及最佳喷淋水压；构建所述电子级氨水测试浓度与所述最佳蒸发温度及最佳喷淋水压的对应关系，得到浓度-温度-水压对应表；
当前电子级氨水生产模块，用于接收用户输入的电子级氨水当前浓度，根据所述电子级氨水需求浓度在所述浓度-温度-水压对应表中提取当前蒸发温度及当前喷淋水压；根据所述当前蒸发温度及当前喷淋水压，利用所述电子级氨水生产装置生产所述电子级氨水需求浓度的电子级氨水。
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