CN116786531A - 一种进气腔及尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种进气腔及尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中回流气流中的粉尘颗粒易黏附在进气管内造成进气管的堵塞的问题。该进气腔包括腔体、进气管、持续吹扫管和脉冲吹扫单元，进气管与腔体的内部空间连通，持续吹扫管和脉冲吹扫单元的出气口设于进气管的侧壁。本发明可用于尾气处理。

Description

一种进气腔及尾气处理装置

技术领域

本发明属于尾气处理技术领域，特别涉及一种进气腔及尾气处理装置。

背景技术

随着相关产业技术的不断迭代，大流量含硅元素的气体，例如：甲硅烷、二氯二氢硅烷和TEOS等的处理技术需要进行提升。这些气体在高温下与氧气反应会生成固态的粉尘颗粒。

工艺尾气通过进气管进入进气腔，由于气流速度变慢在进气腔易产生回流，回流气流中的粉尘颗粒易黏附在进气管内，造成进气管的堵塞，需要经常对其进行清理维护。

发明内容

鉴于上述的分析，本发明旨在提供一种进气腔及尾气处理装置，用以解决现有技术中回流气流中的粉尘颗粒易黏附在进气管内造成进气管的堵塞的问题。

本发明的目的主要是通过以下技术方案实现的。

本发明提供了一种进气腔，包括腔体、进气管、持续吹扫管和脉冲吹扫单元，进气管与腔体的内部空间连通，持续吹扫管和脉冲吹扫单元的出气口设于进气管的侧壁。

进一步地，进气管包括沿尾气流动方向依次连接的竖管段、弯管段和横管段，竖管段的进气口与尾气处理装置的尾气排放口连接，横管段的出气口与腔体的内空间连通。

进一步地，持续吹扫管和脉冲吹扫单元的出气口均设于弯管段上，且朝向横管段方向。

进一步地，持续吹扫管和脉冲吹扫单元的内径为5～8mm。

进一步地，持续吹扫管的出气口位于脉冲吹扫单元的上方。

进一步地，持续吹扫管与横向段同轴设置；脉冲吹扫单元与横向段的轴线平行且靠近弯曲段的底壁。

进一步地，脉冲吹扫单元包括管体以及用于控制管体的气路开闭的脉冲电磁阀，脉冲电磁阀设于管体内，脉冲电磁阀间歇性控制气路的开启。

进一步地，上述进气腔还包括用于检测进气管内气体压力的压力传感器和控制器；

控制器分别与脉冲电磁阀和压力传感器连接；

压力传感器实时检测进气管内的气体压力数据并传送至控制器，控制器判断气体压力数据是否超过压力阈值，若超过压力阈值，则控制器发送脉冲开启信号至脉冲电磁阀，脉冲电磁阀控制气路开启，对进气管内堆积的粉尘颗粒进行喷吹。

进一步地，上述进气腔还包括设于腔体顶部的氮气旋流法兰；所述氮气旋流法兰上开设气流环道，所述气流环道的外壁开设进气孔，所述气流环道的内壁开设出气孔，所述出气孔的出气方向相对于氮气旋流法兰的径向倾斜设置。

本发明还提供了一种尾气处理装置，包括反应腔以及上述进气腔，腔体的出气口与反应腔连通。

与现有技术相比，本发明至少可实现如下有益效果之一。

A)本发明提供的进气腔，在进气管中同时设置持续吹扫管和脉冲吹扫单元，一方面，持续吹扫管能够持续向进气管中供入氮气流，带动进气管内的尾气流动，防止产生流动死区，减少粉尘颗粒的堆积，另一方面，脉冲吹扫单元能够根据进气管内粉尘颗粒的沉积情况间歇性开启，当进气管中发生粉尘颗粒堆积时，可以向进气管中供入高压氮气，从而能够解决回流气流中的粉尘颗粒易黏附在进气管内造成进气管的堵塞，延长尾气处理设备的清理保养周期，降低尾气处理设备的清洁、维护和保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本。

B)本发明提供的进气腔，在腔体的顶部设置氮气旋流法兰，一方面，通过氮气旋流法兰向腔体的顶部供入氮气，提高腔体顶部空间的气体压力，基本上不会在腔体的顶部空间产生流动死区，从而能够减少反应腔内产生的粉尘颗粒发生返流的情况发生，另一方面，由于氮气旋流法兰能够产生螺旋流动的氮气流，从而能够对腔体的内壁进行适当的冲刷，加速粉尘颗粒的流动，从而能够减少粉尘颗粒沉积在腔体的内壁。

本发明中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案。本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过说明书实施例以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。

附图说明

附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本发明的限制，在整个附图中，相同的参考符号表示相同的部件。

图1为本发明实施例一提供的进气腔的结构示意图；

图2为图1的A-A剖视图；

图3为本发明实施例一提供的进气腔的俯视图；

图4为本发明实施例一提供的进气腔中氮气旋流法兰的立体示意图；

图5为本发明实施例一提供的进气腔中氮气旋流法兰的径向剖视图；

图6为本发明实施例二提供的尾气处理装置的结构示意图；

图7为本发明实施例二提供的尾气处理装置中直流法兰的结构示意图；

图8为图7的A部放大图；

图9为本发明实施例二提供的尾气处理装置中旋流除湿件的结构示意图；

图10为本发明实施例二提供的尾气处理装置中调节凸起、第二圆弧形通孔和叶片的第一种配合示意图，其中，叶片处于水平状态；

图11为本发明实施例二提供的尾气处理装置中调节凸起、第二圆弧形通孔和叶片的第二种配合示意图，其中，叶片处于倾斜状态。

附图标记：

10-直流法兰；11-储气环腔；11a-第一腔段；11b-狭缝；11c-第二腔段；12-进气孔；121-沉孔；13-直流环道；14-凸台；15-第一凸缘；20-反应腔；30-压力传感器；40-旋流片；41-外环；42-中心柱；43-叶片；50-调节凸起；60-第二圆弧形通孔；70-第二球铰结构；80-氮气旋流法兰；90-气流环道；100-连接管；110-腔体；120-进气管；121-竖管段；122-弯管段；123-横管段；130-持续吹扫管；140-脉冲吹扫单元。

具体实施方式

下面结合附图来具体描述本发明的优选实施例，其中，附图构成本发明的一部分，并与本发明的实施例一起用于阐释本发明的原理，并非用于限定本发明的范围。

实施例一

本实施例提供了一种进气腔，参见图1至图3，包括腔体110、进气管120、持续吹扫管130和脉冲吹扫单元140，进气管120与腔体110的内部空间连通，持续吹扫管130和脉冲吹扫单元140的出气口设于进气管120的侧壁。

与现有技术相比，本实施例提供的进气腔，在进气管120中同时设置持续吹扫管130和脉冲吹扫单元140，一方面，持续吹扫管130能够持续向进气管120中供入氮气流，带动进气管120内的尾气流动，防止产生流动死区，减少粉尘颗粒的堆积，另一方面，脉冲吹扫单元140能够根据进气管120内粉尘颗粒的沉积情况间歇性开启，当进气管120中发生粉尘颗粒堆积时，可以向进气管120中供入高压氮气，从而能够解决回流气流中的粉尘颗粒易黏附在进气管120内造成进气管120的堵塞，延长尾气处理设备的清理保养周期，降低尾气处理设备的清洁、维护和保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本。

为了便于管路布置和尾气的流通，对于进气管120的结构，具体来说，其包括沿尾气流动方向依次连接的竖管段121、弯管段122和横管段123，竖管段121的进气口与尾气处理装置的尾气排放口连接，横管段123的出气口与腔体110的内空间连通。

考虑到粉尘颗粒通常会堆积在弯管段122的位置，因此，上述持续吹扫管130和脉冲吹扫单元140的出气口均设于弯管段122上，且朝向横管段123方向。这样，能够将堆积在弯管段122处的粉尘颗粒，再次吹入进气腔中，进而掉入下方的反应腔中，从而能够减少进气管120发生堵塞的情况发生。

为了能够提供足够量的氮气吹扫和氮气脉冲，上述持续吹扫管130和脉冲吹扫单元140的内径为5～8mm。

值得注意的是，持续吹扫管130主要用于带动进气管120内的尾气流动，脉冲吹扫单元140用于将堆积的粉尘颗粒吹回至反应腔中，因此，持续吹扫管130的出气口位于脉冲吹扫单元140的上方，且持续吹扫管130与横向段同轴设置，脉冲吹扫单元140与横向段的轴线平行且靠近弯曲段的底壁，这样，一方面，持续吹扫管130能够向进气管120中均匀地持续供入氮气，减少涡流死区的产生；另一方面，脉冲吹扫单元140能够集中气压喷吹堆积在进气管120底壁的粉尘颗粒，此外，将脉冲吹扫单元140设置在靠近弯曲段的底壁的位置，还能够尽量减少尾气在进气管120中的扰动，减少尾气的流动阻力。

为了能够实现脉冲吹扫，对于脉冲吹扫单元的结构，具体来说，其包括管体以及用于控制管体的气路开闭的脉冲电磁阀，脉冲电磁阀设于管体内，脉冲电磁阀间歇性(例如，2～3min/次)控制气路的开启，每次开启，管体内的气体会快速进入进气管120中，从而能够形成高压氮气脉冲气流。

为了能够自动判断脉冲吹扫单元140的开启时机，上述进气腔还包括用于检测进气管120内气体压力的压力传感器30和控制器，控制器分别与脉冲电磁阀和压力传感器30连接，示例性地，压力传感器30设于竖管段121的侧壁，在尾气处理设备工作期间，压力传感器30实时检测进气管120内的气体压力数据并传送至控制器，控制器判断气体压力数据是否超过压力阈值，若超过压力阈值，则控制器发送脉冲开启信号至脉冲电磁阀，脉冲电磁阀控制气路开启，对进气管120内堆积的粉尘颗粒进行喷吹。

值得注意的是，当工艺中含硅气体流量较大时，会在短时间内产生大量的粉尘颗粒。当工艺尾气通入进气腔时，由于进气腔顶端通常为封闭结构，气流会直接向进气腔底端的开口处流动，进入反应腔，导致在进气腔顶端形成流动死区，一旦反应腔内产生的粉尘颗粒发生返流，极易在进气腔顶部的壁面附着并逐渐累积，最终造成进气腔堵塞。因此，上述进气腔包括设于腔体顶部氮气旋流法兰80，参见图4至图5，氮气旋流法兰80上开设气流环道90，气流环道90的外壁开设进气孔，气流环道90的内壁开设出气孔，出气孔的出气方向相对于氮气旋流法兰80的径向倾斜设置，进气孔的进气方向沿氮气旋流法兰80的径向设置。这样，在腔体的顶部设置氮气旋流法兰80，一方面，通过氮气旋流法兰80向腔体的顶部供入氮气，提高腔体顶部空间的气体压力，基本上不会在腔体的顶部空间产生流动死区，从而能够减少反应腔内产生的粉尘颗粒发生返流的情况发生，另一方面，由于氮气旋流法兰80能够产生螺旋流动的氮气流，从而能够对腔体的内壁进行适当的冲刷，加速粉尘颗粒的流动，从而能够减少粉尘颗粒沉积在腔体的内壁。

从供气均匀的角度考虑，上述进气孔和出气孔的数量均为多个，多个进气孔沿氮气旋流法兰80的周向均匀布置，多个出气孔沿氮气旋流法兰80的周向均匀布置，示例性地，进气孔和出气孔的数量均为2～8个，图4和图5中示出进气孔和出气孔的数量均为4个。

为了能够尽量向腔体顶部的中心区域供入高压氮气，出气孔的出气方向与氮气法兰的径向之间的角度为60～120°。

同样地，为了能够尽量向腔体顶部的中心区域供入高压氮气，上述腔体、氮气旋流法兰80和气流环道90同轴设置。

可以理解的是，为了便于出气孔与氮气供气单元的连接，上述进气腔还包括连接管100，出气孔通过连接管100与氮气供气单元连接，连接管100与出气孔一一对应。

考虑到出气孔的直径与氮气供气单元的出气端的直径不同，因此，对于连接管100的结构，具体来说，其包括沿氮气流动方向依次设置的第一直管段、过渡段和第二直管段，第一直管段的直径大于第二直管段的直径。

实施例二

本实施例提供了一种尾气处理装置，参见图6，包括反应腔20以及实施例一提供的进气腔，腔体的出气口与反应腔连通。

与现有技术相比，本实施例提供的尾气处理装置的有益效果与实施例一提供的进气腔的有益效果基本相同，在此不一一赘述。

为了能够向反应腔20内供入反应气，上述尾气处理装置还包括设于腔体和反应腔20之间的直流法兰10，腔体通过直流法兰与反应腔20连接，直流法兰10内具有环形的储气环腔11，直流法兰10的外圆周面开设与储气环腔11连通的进气孔12，参见图7至图8；储气环腔11通过进气孔12与供气设备连通，供气设备可以为直流法兰10提供压缩干燥反应气(Compress Dry Air)；储气环腔11通过直流环道13连通至反应腔20，沿着反应腔20中尾气气流的方向，直流环道13向靠近直流法兰10中心轴的方向倾斜，示例性地，反应腔20中尾气气流的方向为竖直向下的方向；进气孔12的出气方向沿着直流法兰10的径向，直流环道13的出气方向在直流法兰10径向平面内的投影沿着直流法兰10的径向，使得进入反应腔20内的反应气不发生旋流。

当供气设备提供反应气时，反应气先通过进气孔12进入储气环腔11中，由于储气环腔11的容积远大于进气孔12的容积，反应气在储气环腔11中可以在整个周向上进行分散、均匀化，然后通过直流环道13均匀地进入反应腔20中，大部分反应气与反应腔20中尾气的主气流在反应腔20的中间区域发生反应，从而达到均匀化混气的效果，使得无害化尾气处理的效率更高。

采用上述结构的直流法兰，进气孔12的出气方向以及直流环道13的出气方向在直流法兰10径向平面内的投影均沿直流法兰10的径向设置，使得反应气在不产生旋流的基础上直接供入反应腔20的中间区域，并在中间区域与待处理尾气进行充分混合和反应，从而能够解决反应气与尾气的氧化反应主要集中在反应腔的内壁处进行导致产生的粉尘颗粒堆积在反应腔的内壁。

为了能够避免在反应腔20上方部件(例如，进气腔)或者反应腔20的进气端位置生成粉尘堆积，上述直流环道13沿反应气流动方向向下倾斜，相应地，则反应气的流向也倾斜向下，与反应腔20尾气的主气流的方向形成协同，反应气不易反流至反应腔20的上方，从而能够尽量避免在反应腔20上方部件(例如，进气腔)或者反应腔20的进气端位置生成粉尘堆积，从而堵塞相应的部位。

实际应用中，储气环腔11由四个壁面围设而成，依次包括进气孔12所在的壁面、第二壁面、第一壁面和第三壁面，参见图8，其中，第二壁面与第三壁面相对；第一壁面与进气孔12所在的壁面相对。环形的凸台14设在第二壁面，且沿着进气孔12到第一壁面的方向凸台14大致设置在储气环腔11的中间部位。凸台14与第三壁面之间形成狭缝11b，在储气环腔11中设置凸台14，实质上将储气环腔11分隔成三个部分，沿着第一壁面到进气孔12的方向依次包括第一腔段11a、狭缝11b和第二腔段11c，参见图8。反应气从进气孔12进入储气环腔11具有的第二腔段11c，进而从狭缝11b进入第一腔段11a，然后从直流环道13中流出至反应腔20的中间区域。

实际应用中，反应气从进气孔12中进入第二腔段11c中，由于凸台14会阻挡反应气，可以改变气流的方向，从而反应气在环形的第二腔段11c中进行预扩散，气体缓冲后更为均匀，使得气体弥漫在整个环形的第二腔段11c中，进而反应气通过狭缝11b进入第一腔段11a，由于狭缝11b的高度H1较小会形成加速作用，当反应气进入第一腔段11a中，由于容积的变大，反应气在第一腔段11a中再次进行扩散，以使得从环形的直流环道13中流出的反应气更为均匀，便于与反应腔20中的尾气充分混合发生氧化反应。

示例性地，狭缝11b的高度H1小于储气环腔11高度H2的一半，狭缝11b的高度H1与储气环腔11的高度H2之比为(1～2)：5，可选地H1：H2＝1:5。具体地，H2为5mm～20mm，H1为1mm～5mm，需要说明的是，上述狭缝11b的高度方向、储气环腔11高度方向均为直流法兰10的轴向方向。

为了能够减少反应气进入直流环道13时的扰动，使得反应气从直流环道13中流出的方向尽量沿着预设的倾斜角度流动，进而与反应腔20中的尾气充分混合，沿着反应腔20中尾气气流的方向，第一壁面向靠近直流法兰10中心轴的方向倾斜；直流环道13的侧壁与第一壁面连接，且直流环道13的倾斜角度与第一壁面的倾斜角度相同。当储气环腔11中反应气从进气孔12中进入储气环腔11并与第一壁面相遇时，第一壁面的倾斜面会将反应气导向至直流环道13，从直流环道13进入反应腔20中扰动减少，从而反应气与反应腔20中的尾气可以充分混合，有利于均匀反应。

为了便于形成直流环道13，上述直流法兰10的下端靠近内圆周面的位置具有第一凸缘15，第一凸缘15的内圆周面与直流法兰10的内圆周面共面，也就是说，第一凸缘15位于反应腔20内，直流环道13形成在第一凸缘15内。这样，相对于不设置凸缘的直流法兰10，第一凸缘15的设置可以增加直流环道13的轴向长度，使得反应气的导向性更强，能够将反应气尽量导向至反应腔20的中间区域，反应气的分布更均匀以使得与尾气充分反应。

示例性地，直流环道13的出气方向与直流法兰10的中心轴线之间的夹角α为10°～60°。当α为10°～60°范围内时，可以将反应气导向至反应腔20的中间区域，当α小于10°，反应气从直流环道13流出时容易流至反应腔20的底部而非反应腔20的中间区域，会造成反应气与尾气混合不匀，从而反应不完全；当α大于60°时，反应气从直流环道13流出时容易反流至反应腔20上方的腔体或反应腔20的进气端。

相应地，直流环道13的宽度W1为3mm～10mm，直流环道13的宽度是指形成环形直流环道13的两个相对的内壁之间的距离。当W1为3mm～10mm时，一方面，直流环道13的宽度小于储气环腔11的高度。示例性地，储气环腔11的高度H2为5mm～50mm。也就是说，当反应气从储气环腔11经过直流环道13流进反应腔20中，会形成加速，使得反应气不容易向上反流至反应腔20的进口端或者反应腔20上方的进气腔等部件，以防止进气口或反应腔20上端形成粉尘堵塞。

考虑到供气设备与直流法兰10的易连接性，每个进气孔12的进气端设有沉孔121，供气设备管路与沉孔121连接。

示例性地，直流法兰10的进气进气孔12与供气设备的管路之间形成可拆卸连接，具体来说，沉孔121与供气设备管路之间的连接可以采用如下连接方式：沉孔121具有内螺纹，供气设备管路与沉孔121螺纹连接，供气设备管路的内径等于进气孔12的内径或略大于进气孔12的内径；或者，沉孔121与供气设备管路之间采用卡接。

考虑到由于反应腔20内处理后的尾气中会含有粉尘颗粒与水汽，两者在经过尾气处理装置的排气管时，会混合形成泥浆，导致排气管易堵塞，需要经常停机维护，影响生产效率，因此，上述尾气处理装置还包括旋流除湿件，参见图9，包括旋流片40，旋流片40设于尾气处理装置的排气管进气口处，旋流片40包括外环41、设于外环41的环内区域的中心柱42以及设于外环41与中心柱42之间的多个叶片43，叶片43的第一端与外环41连接，叶片43的第二端与中心柱42连接，外环41与排气管内壁连接。由于旋流除湿件设有旋流片40，这样，含有粉尘和液滴的处理后尾气经过旋流片40时，液滴和粉尘颗粒的运动方向会发生改变，使得两者呈螺旋向上的运动形式，在离心力的作用下，液滴和粉尘颗粒，尤其是质量较大的液滴和粉尘颗粒，会逐渐集中在排气管的内壁区域，集中的液滴和粉尘逐渐融合成大的液滴和粉尘颗粒，从而实现产生气液分离，从而能够降低进入排放气中的粉尘和水汽含量，减少粉尘颗粒与水汽混合形成泥浆导致排气管易堵塞的情况发生。

为了能够保证除湿旋流效果，需要综合考虑旋流片40的尺寸、叶片43的设置数量和倾斜角度以及气体流速，示例性地，旋流片40的外径为100～300mm，旋流片40的高度为30～100mm，叶片43的数量为8～20片，叶片43相对于径向平面的倾斜角度为45～75°，气体流速为2～8m/s。

考虑到叶片43相对于径向平面的倾斜角度会影响旋流程度，为了能够根据实际处理的尾气情况对旋流程度进行调节，上述旋流除湿件还包括调节圈(图中未示出)和圆柱形的调节凸起50，参见图10至图11，调节圈可转动套设于排气管外壁，外环41上开设以第二端的球铰结构为圆心的第一圆弧形通孔(图中未示出)，排气管侧壁或者与排气管进气口连接的装置侧壁开设以第二端的球铰结构为圆心的第二圆弧形通孔60，第一圆弧形通孔和第二圆弧形通孔60均沿外环41的轴向设置，且第一圆弧通孔与第二圆弧通孔重合，上述叶片43的第一端通过第一球铰结构与外环41可转动固定连接，叶片43的第二端通过第二球铰结构70与中心柱42可转动固定连接，调节凸起50的一端与叶片43的第二端固定连接，调节凸起50的另一端依次穿过第一圆弧形通孔和第二圆弧通孔后与调节圈固定连接。这是因为，旋流片40设于排气管内壁，无法直接对叶片43的角度进行调节，通过调节圈、调节凸起50和圆弧形通孔的设置，通过转动调节圈，带动调节凸起50沿第一圆弧形通孔和第二圆弧通孔向上或向下运动，使得调节凸起50与第二端的球铰结构在径向平面内投影之间的距离改变，叶片43发生一定角度的转动，从而能够根据实际处理的尾气情况对叶片43的倾斜角度进行调节。

需要说明的是，由于调节圈的设置，其能够覆盖第二圆弧形通孔60，所以基本上不会发生尾气泄露的情况。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种进气腔，其特征在于，包括腔体、进气管、持续吹扫管和脉冲吹扫单元，所述进气管与腔体的内部空间连通，所述持续吹扫管和脉冲吹扫单元的出气口设于进气管的侧壁。

2.根据权利要求1所述的进气腔，其特征在于，所述进气管包括沿尾气流动方向依次连接的竖管段、弯管段和横管段，所述竖管段的进气口与尾气处理装置的尾气排放口连接，所述横管段的出气口与腔体的内空间连通。

3.根据权利要求2所述的进气腔，其特征在于，所述持续吹扫管和脉冲吹扫单元的出气口均设于弯管段上，且朝向横管段方向。

4.根据权利要求2所述的进气腔，其特征在于，所述持续吹扫管和脉冲吹扫单元的内径为5～8mm。

5.根据权利要求2所述的进气腔，其特征在于，所述持续吹扫管的出气口位于脉冲吹扫单元的上方。

6.根据权利要求5所述的进气腔，其特征在于，所述持续吹扫管与横向段同轴设置；

和/或，所述脉冲吹扫单元与横向段的轴线平行且靠近弯曲段的底壁。

7.根据权利要求1至6任一项所述的进气腔，其特征在于，所述脉冲吹扫单元包括管体以及用于控制管体的气路开闭的脉冲电磁阀，所述脉冲电磁阀设于管体内，所述脉冲电磁阀间歇性控制气路的开启。

8.根据权利要求7所述的进气腔，其特征在于，还包括用于检测进气管内气体压力的压力传感器和控制器；

所述控制器分别与脉冲电磁阀和压力传感器连接；

所述压力传感器实时检测进气管内的气体压力数据并传送至控制器，所述控制器判断气体压力数据是否超过压力阈值，若超过压力阈值，则控制器发送脉冲开启信号至脉冲电磁阀，所述脉冲电磁阀控制气路开启，对进气管内堆积的粉尘颗粒进行喷吹。

9.根据权利要求1至6任一项所述的进气腔，其特征在于，还包括设于腔体顶部的氮气旋流法兰；

所述氮气旋流法兰上开设气流环道，所述气流环道的外壁开设进气孔，所述气流环道的内壁开设出气孔，所述出气孔的出气方向相对于氮气旋流法兰的径向倾斜设置。

10.一种尾气处理装置，其特征在于，包括反应腔以及权利要求1至9任一项所述的进气腔，所述腔体的出气口与反应腔连通。