CN116730005B - 一种矩阵式巨量检测机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及芯片检测技术领域，具体涉及一种矩阵式巨量检测机构，通过巨量吸料模组大量吸取待检测芯片，并通过检测模组对其进行批量检测，批量检测完成后，巨量吸料模组将芯片移送至下料输送模组处，由下料输送模组将芯片移送至单个检测工位处进行逐个抓取检测，为了保证巨量吸料过程中的吸料效果，本发明通过清理机构对巨量吸料模组进行清理，实现取完一次、清理一次，防止堵塞造成吸力不足，使得芯片掉落。

Description

一种矩阵式巨量检测机构

技术领域

本发明涉及芯片检测技术领域，具体涉及一种矩阵式巨量检测机构。

背景技术

在芯片生产加工过程中，为了保障生产的产品质量，需要反复对芯片进行检测，在检测过程中一般分为批量检测和单一检测，往往是将批量检测后的芯片转运至单一检测口检测。而在进行批量检测时，对与巨量芯片的取料和检测操作较为复杂繁琐，在进行视觉检测时，需要将批量的芯片移送至检测相机处进行检测，在对批量芯片进行取料时，一般通过人工进行，将芯片排铺在检测盘上，这一过程容易造成芯片的损坏。

因此本发明提供一种用于芯片巨量检测用个的巨量检测机构，利用矩阵式吸盘吸取巨量芯片，进行移送检测和运输。

发明内容

本发明的目的在于提供一种矩阵式巨量检测机构，包括用于巨量吸取芯片的巨量吸料模组和对芯片进行批量视觉检测的检测模组，以及将检测后的芯片下料输送至单个检测位的下料输送模组，巨量吸料模组和检测模组以及下料输送模组均安装在工作台上，检测模组位于巨量吸料模组和下料输送模组之间且位于巨量吸料模组的下方，巨量吸料模组内还安装有用于对巨量吸料模组进行清理的清理机构，清理机构包括清理刷和驱动模组，驱动模组安装在巨量吸料模组上且与巨量吸料模组传动连接，清理刷通过刷座与驱动模组传动连接；

所述清理刷通过刷槽卡接在刷座内，清理刷的下端设置有导柱，导柱通过导槽穿过刷座，清理刷的底部与导槽底部之间通过第一弹簧连接，第一弹簧套接在导柱外侧且两端分别与清理刷的底部和导槽的底部抵接；

所述导柱的下端通过滑头与翻转架的外侧滑动连接，滑头固定设置在导柱下端，滑头与翻转架之间通过限位导轨滑动连接，限位滑轨对称安装在翻转架的两侧与两端。

进一步的，所述巨量吸料模组包括移动导轨组件、翻转组件和矩阵式吸盘，移动导轨组件的滑安装在工作台的顶部，翻转组件安装于移动导轨组件的轨座上，矩阵式吸盘安装于翻转组件两侧，移动导轨组件的两侧设置有机罩，翻转组件的翻转架能够转动的安装于轨座之间，翻转架通过翻转电机和转轴驱动，矩阵式吸盘安装在翻转架的两侧，清理机构位于两侧的矩阵式吸盘内。

进一步的，所述检测模组包括检测相机和环形光源以及检测架，检测相机通过相机调节组件安装在检测架的底部，环形光源通过光源调节组件安装在检测架上且位于检测相机的上方。

进一步的，所述下料输送模组包括移动滑台组件和上下接料组件以及接料盘，移动滑台组件安装在工作台上，上下接料组件安装在移动滑台组件的输送台上，接料盘安装于上下接料组件的上端。

进一步的，所述上下接料组件包括接料架和导向架，接料架固定安装在输送台的上端，导向架能够上下滑动的安装在接料架上，接料盘通过料盘座安装在导向架的上端，导向架通过驱动机构进行上下运动。

进一步的，所述驱动模组包括齿轮、齿条和双向丝杆，双向丝杆能够转动的安装在矩阵式吸盘内，刷座通过导向杆组安装在双向丝杆的两端且与双向丝杆传动连接，双向丝杆和导向杆组均位于矩阵式吸盘内，齿轮固定安装在双向丝杆的两端，齿轮能够与齿条啮合传动，齿条通过限位杆组安装在机罩上，限位杆组贯穿机罩且下端与齿条上端固定连接，限位杆组与机罩之间通过第二弹簧连接，第二弹簧套接在限位杆组上且两端分别与限位杆组与机罩抵接。

进一步的，所述齿条通过抵板和凸轮与翻转组件的转轴传动连接，抵板固定设置在齿条的对应位置，凸轮安装在转轴的两端且能够与抵板抵接。

本发明的有益效果：本发明通过巨量吸料模组大量吸取待检测芯片，并通过检测模组对其进行批量检测，批量检测完成后，巨量吸料模组将芯片移送至下料输送模组处，由下料输送模组将芯片移送至单个检测工位处进行逐个抓取检测，为了保证巨量吸料过程中的吸料效果，本发明通过清理机构对巨量吸料模组进行清理，实现取完一次、清理一次，防止堵塞造成吸力不足，使得芯片掉落。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的立体结构示意图一。

图2是本发明的立体结构示意图二。

图3是本发明的主视图。

图4是本发明的侧视图。

图5是本发明的立体结构示意图三。

图6是本发明巨量吸料模组的立体结构示意图一。

图7是本发明巨量吸料模组的立体结构示意图二。

图8是本发明检测模组的立体结构示意图。

图9是本发明下料输送模组的立体结构示意图。

图10是下料输送模组的主视图。

图11是图7中A处的放大图。

图中：

1-巨量吸料模组；

1a-移动导轨组件；1a1-滑轨；1a2-轨座；1b-翻转组件；1b1-翻转电机；1b2-转轴；1b3-翻转架；1c-机罩；1d-矩阵式吸盘；

2-检测模组；

2a-检测相机；2b-环形光源；2c-光源调节组件；2d-相机调节组件；2e-检测架；

3-下料输送模组；

3a-移动滑台组件；3a1-输送台；

3b-上下接料组件；3b1-接料架；3b2-导向架；3b3-驱动机构；3b4-料盘座；3c-接料盘；

4-清理机构；

4a-清理刷；4a1-导柱；4a2-第一弹簧；4a3-滑头；4a4-限位导轨；

4b-驱动模组；4b1-齿轮；4b2-齿条；4b3-双向丝杆；4b4-导向杆组；4b5-凸轮；4b6-第二弹簧；4b7-限位杆组；4b8-抵板；4c-刷座；

5-工作台。

实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1至图5所示，

一种矩阵式巨量检测机构，包括用于巨量吸取芯片的巨量吸料模组1和对芯片进行批量视觉检测的检测模组2，以及将检测后的芯片下料输送至单个检测位的下料输送模组3，巨量吸料模组1和检测模组2以及下料输送模组3均安装在工作台5上，检测模组2位于巨量吸料模组1和下料输送模组3之间且位于巨量吸料模组1的下方，巨量吸料模组1内还安装有用于对巨量吸料模组1进行清理的清理机构4，清理机构4包括清理刷4a和驱动模组4b，驱动模组4b安装在巨量吸料模组1上且与巨量吸料模组1传动连接，清理刷4a通过刷座4c与驱动模组4b传动连接。

本发明通过巨量吸料模组1大量吸取待检测芯片，并通过检测模组2对其进行批量检测，批量检测完成后，巨量吸料模组1将芯片移送至下料输送模组3处，由下料输送模组3将芯片移送至单个检测工位处进行逐个抓取检测，为了保证巨量吸料过程中的吸料效果，本发明通过清理机构4对巨量吸料模组1进行清理，实现取完一次、清理一次，防止堵塞造成吸力不足，使得芯片掉落。

如图1至图7所示，所述巨量吸料模组1包括移动导轨组件1a、翻转组件1b和矩阵式吸盘1d，移动导轨组件1a滑动安装在工作台5的顶部，翻转组件1b安装于移动导轨组件1a的轨座1a2上，矩阵式吸盘1d安装于翻转组件1b两侧，移动导轨组件1a的两侧设置有机罩1c，翻转组件1b的翻转架1b3能够转动的安装于轨座1a2之间，翻转架1b3通过翻转电机1b1和转轴1b2驱动，矩阵式吸盘1d安装在翻转架1b3的两侧，清理机构4位于两侧的矩阵式吸盘1d内。

本发明通过矩阵式吸盘1d吸取巨量的待检测芯片，然后通过翻转组件1b将吸取了巨量芯片的矩阵式吸盘1d翻转至下方，然后由移动导轨组件1a移送至正对检测模组2的上方进行检测，检测完成后在移送至下料输送模组3的上方，在移送至下料输送模组3的同时，位于上方的矩阵式吸盘1d内清理机构4则会对上方的矩阵式吸盘1d进行清理，下料完成后巨量吸料模组1和上方的清理机构4复位。

如图2、图4和图8所示，所述检测模组2包括检测相机2a和环形光源2b以及检测架2e，检测相机2a通过相机调节组件2d安装在检测架2e的底部，环形光源2b通过光源调节组件2c安装在检测架2e上且位于检测相机2a的上方。

本发明通过检测相机2a对巨量的芯片进行检测，为了保障检测的精度和环境，通过相机调节组件2d对检测相机2a的位置进行调节，也可以通过光源调节组件2c对环形光源2b的位置进行调整，以便检测相机2a检测观察。

如图3、图9和图10所示，所述下料输送模组3包括移动滑台组件3a和上下接料组件3b以及接料盘3c，移动滑台组件3a安装在工作台5上，上下接料组件3b安装在移动滑台组件3a的输送台3a1上，接料盘3c安装于上下接料组件3b的上端。

本发明在对检测后的巨量芯片进行转运输送时，由移动导轨组件1a将矩阵式吸盘1d移送至上下接料组件3b的正上方，然后上下接料组件3b将接料盘3c向上抬升并对准吸有芯片的矩阵式吸盘1d，接料盘3c承接芯片后，上下接料组件3b复位，移动滑台组件3a将上下接料组件3b和接料盘3c一并移送至下一检测工位处。

所述上下接料组件3b包括接料架3b1和导向架3b2，接料架3b1固定安装在输送台3a1的上端，导向架3b2能够上下滑动的安装在接料架3b1上，接料盘3c通过料盘座3b4安装在导向架3b2的上端，导向架3b2通过驱动机构3b3进行上下运动。

为了能够精准对接芯片，本发明利用上下接料组件3b实现接料盘3c的上下运动，以便承接芯片，通过驱动机构3b3带动导向架3b2在接料架3b1上进行上下运动，进而控制料盘座3b4和接料盘3c运动对接。

如图1至图11所示，所述清理刷4a通过刷槽卡接在刷座4c内，清理刷4a的下端设置有导柱4a1，导柱4a1通过导槽穿过刷座4c，清理刷4a的底部与导槽底部之间通过第一弹簧4a2连接，第一弹簧4a2套接在导柱4a1外侧且两端分别与清理刷4a的底部和导槽的底部抵接。

所述驱动模组4b包括齿轮4b1、齿条4b2和双向丝杆4b3，双向丝杆4b3能够转动的安装在矩阵式吸盘1d内，刷座4c通过导向杆组4b4安装在双向丝杆4b3的两端且与双向丝杆4b3传动连接，双向丝杆4b3和导向杆组4b4均位于矩阵式吸盘1d内，齿轮4b1固定安装在双向丝杆4b3的两端，齿轮4b1能够与齿条4b2啮合传动，齿条4b2通过限位杆组4b7安装在机罩1c上，限位杆组4b7贯穿机罩1c且下端与齿条4b2上端固定连接，限位杆组4b7与机罩1c之间通过第二弹簧4b6连接，第二弹簧4b6套接在限位杆组4b7上且两端分别与限位杆组4b7与机罩1c抵接。

翻转组件1b在随着移动导轨组件1a往下料输送模组3方向移动时，齿轮4b1与上方的齿条4b2啮合，进而驱动齿轮4b1转动，齿轮4b1带动双向丝杆4b3转动，将刷座4c和清理刷4a沿导向杆组4b4方向推动，将矩阵式吸盘1d内两端的清理刷4a同步对向移动，由清理刷4a在矩阵式吸盘1d内部对吸盘的吸孔进行清理，避免堵塞，对于已经堵塞的吸孔，清理刷4a可将堵塞物自下而上的推出，防止堵塞物灰尘等进入矩阵式吸盘1d内。

如图1至图11所示，所述齿条4b2通过抵板4b8和凸轮4b5与翻转组件1b的转轴1b2传动连接，抵板4b8固定设置在齿条4b2的对应位置，凸轮4b5安装在转轴1b2的两端且能够与抵板4b8抵接。

由于齿轮4b1和齿条4b2的啮合关系，在翻转架1b3进行翻转时，会造成干涉，为了保障翻转架1b3能够顺利翻转，通过凸轮4b5与齿条4b2上的抵板4b8，在转轴1b2转动将齿条4b2顶起，然后转轴1b2转动将翻转架1b3和矩阵式吸盘1d进行翻转，翻转完成后齿条4b2在第二弹簧4b6的作用下复位继续与齿轮4b1啮合，如此往复即可实现仅仅只对位于上方的矩阵式吸盘1d进行清理。

如图1至图11所示，导柱4a1的下端通过滑头4a3与翻转架1b3的外侧滑动连接，滑头4a3固定设置在导柱4a1下端，滑头4a3与翻转架1b3之间通过限位导轨4a4滑动连接，限位滑轨1a1对称安装在翻转架1b3的两侧与两端。

限位滑轨1a1位于翻转架1b3中部一端的轨槽为圆心在下方的弧形轨槽，或者限位滑轨1a1的轨槽为波形结构。利用清理刷4a与刷座4c之间的第一弹簧4a2，以及导柱4a1上的滑头4a3与限位导轨4a4上波形轨槽或弧形轨槽之间的配合，在清理刷4a沿导向杆组4b4方向运动时，实现清理刷4a的上下运动，尤其是在利用波形轨槽时，将波形轨槽的间距设置成与矩阵式吸盘1d吸孔之间间距一样，即可实现清理刷4a上下运动将吸孔内的堵塞物顶出。

需要声明的是，上述具体实施方式仅仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员应该明白，还可以对本发明做各种修改、等同替换、变化等等。但是，这些变换只要未背离本发明的精神，都应在本发明的保护范围之内。另外，本申请说明书和权利要求书所使用的一些术语并不是限制，仅仅是为了便于描述。

Claims (7)

1.一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，包括用于巨量吸取芯片的巨量吸料模组（1）和对芯片进行批量视觉检测的检测模组（2），以及将检测后的芯片下料输送至单个检测位的下料输送模组（3），巨量吸料模组（1）和检测模组（2）以及下料输送模组（3）均安装在工作台（5）上，检测模组（2）位于巨量吸料模组（1）和下料输送模组（3）之间且位于巨量吸料模组（1）的下方，巨量吸料模组（1）内还安装有用于对巨量吸料模组（1）进行清理的清理机构（4），清理机构（4）包括清理刷（4a）和驱动模组（4b），驱动模组（4b）安装在巨量吸料模组（1）上且与巨量吸料模组（1）传动连接，清理刷（4a）通过刷座（4c）与驱动模组（4b）传动连接；

所述清理刷（4a）通过刷槽卡接在刷座（4c）内，清理刷（4a）的下端设置有导柱（4a1），导柱（4a1）通过导槽穿过刷座（4c），清理刷（4a）的底部与导槽底部之间通过第一弹簧（4a2）连接，第一弹簧（4a2）套接在导柱（4a1）外侧且两端分别与清理刷（4a）的底部和导槽的底部抵接；所述导柱（4a1）的下端通过滑头（4a3）与翻转架（1b3）的外侧滑动连接，滑头（4a3）固定设置在导柱（4a1）下端，滑头（4a3）与翻转架（1b3）之间通过限位导轨（4a4）滑动连接，限位滑轨（1a1）对称安装在翻转架（1b3）的两侧与两端。

2.如权利要求1所述的一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，所述巨量吸料模组（1）包括移动导轨组件（1a）、翻转组件（1b）和矩阵式吸盘（1d），移动导轨组件（1a）滑动安装在工作台（5）的顶部，翻转组件（1b）安装于移动导轨组件（1a）的轨座（1a2）上，矩阵式吸盘（1d）安装于翻转组件（1b）两侧，移动导轨组件（1a）的两侧设置有机罩（1c），翻转组件（1b）的翻转架（1b3）能够转动的安装于轨座（1a2）之间，翻转架（1b3）通过翻转电机（1b1）和转轴（1b2）驱动，矩阵式吸盘（1d）安装在翻转架（1b3）的两侧，清理机构（4）位于两侧的矩阵式吸盘（1d）内。

3.如权利要求2所述的一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，所述检测模组（2）包括检测相机（2a）和环形光源（2b）以及检测架（2e），检测相机（2a）通过相机调节组件（2d）安装在检测架（2e）的底部，环形光源（2b）通过光源调节组件（2c）安装在检测架（2e）上且位于检测相机（2a）的上方。

4.如权利要求3所述的一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，所述下料输送模组（3）包括移动滑台组件（3a）和上下接料组件（3b）以及接料盘（3c），移动滑台组件（3a）安装在工作台（5）上，上下接料组件（3b）安装在移动滑台组件（3a）的输送台（3a1）上，接料盘（3c）安装于上下接料组件（3b）的上端。

5.如权利要求4所述的一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，所述上下接料组件（3b）包括接料架（3b1）和导向架（3b2），接料架（3b1）固定安装在输送台（3a1）的上端，导向架（3b2）能够上下滑动的安装在接料架（3b1）上，接料盘（3c）通过料盘座（3b4）安装在导向架（3b2）的上端，导向架（3b2）通过驱动机构（3b3）进行上下运动。

6.如权利要求1所述的一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，所述驱动模组（4b）包括齿轮（4b1）、齿条（4b2）和双向丝杆（4b3），双向丝杆（4b3）能够转动的安装在矩阵式吸盘（1d）内，刷座（4c）通过导向杆组（4b4）安装在双向丝杆（4b3）的两端且与双向丝杆（4b3）传动连接，双向丝杆（4b3）和导向杆组（4b4）均位于矩阵式吸盘（1d）内，齿轮（4b1）固定安装在双向丝杆（4b3）的两端，齿轮（4b1）能够与齿条（4b2）啮合传动，齿条（4b2）通过限位杆组（4b7）安装在机罩（1c）上，限位杆组（4b7）贯穿机罩（1c）且下端与齿条（4b2）上端固定连接，限位杆组（4b7）与机罩（1c）之间通过第二弹簧（4b6）连接，第二弹簧（4b6）套接在限位杆组（4b7）上且两端分别与限位杆组（4b7）与机罩（1c）抵接。

7.如权利要求6所述的一种矩阵式巨量检测机构，其特征在于，所述齿条（4b2）通过抵板（4b8）和凸轮（4b5）与翻转组件（1b）的转轴（1b2）传动连接，抵板（4b8）固定设置在齿条（4b2）的对应位置，凸轮（4b5）安装在转轴（1b2）的两端且能够与抵板（4b8）抵接。