CN116660593B - 一种集成电路测试装置及测试方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种集成电路测试装置及测试方法，一种集成电路测试装置，包括测试盒体，所述测试盒体的上端面转动连接有测试盖板，所述测试盖板的一侧设有检测单元，所述测试盒体的上端面中部开设有输送槽，所述输送槽的中部转动连接有用于夹持测试板的限位机构，所述测试盖板和测试盒体之间设有用于驱动限位机构带动测试板转动翻面的驱动机构，该装置便于携带，且在检测过程中可自动对测试板进行翻面并检测，装置操作便捷。
Description
技术领域
本发明涉及测试设备技术领域，特别涉及一种集成电路测试装置及测试方法。
背景技术
集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。集成电路测试技术是发展集成电路产业的三大支撑技术之一。
中国专利公开号CN114779048A，一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置，包括拾取装置和测试用基座，所述拾取装置包括与基座顶部相嵌合的底板，所述底板的两端滑动设置有移动夹块，所述底板的上端设置有连接于移动夹块并用于推动移动夹块滑行的的调节组件，通过滑块沿着滑槽的方向来回滑动可带动夹板对电路板的两端进行夹持固定，同时顶部挡条可对电路板的上壁形成抵贴接触，并防止电路板出现侧倾弹跳，从而避免其滑脱出夹板的夹持，通过在夹板一侧设置橡胶垫可对电路板的端部形成弹性抵贴，并进一步防止电路板脱离于夹板的夹持，同时，在夹持过程中可将限位挡条抵贴于电路板的一侧，这样使得电路板在夹持后形成一个正位状态，进而起到定位矫正的作用。
随着电子产业的发展，集成电路复杂程度也日益提高，从而使得集成电路在检测时需要对电路板背面也进行检测，现有装置中多通过气缸进行夹持翻面，结构复杂造价较高，无法适用对电路板的抽检或临时检测的使用。
因此，有必要提供一种集成电路测试装置及测试方法解决上述技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种集成电路测试装置及测试方法以解决上述技术问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种集成电路测试装置，包括测试盒体，所述测试盒体的上端面转动连接有测试盖板，所述测试盖板的一侧设有检测单元，所述测试盒体的上端面中部开设有输送槽，所述输送槽的中部转动连接有用于夹持测试板的限位机构，所述测试盖板和测试盒体之间设有用于驱动限位机构带动测试板转动翻面的驱动机构。
作为本发明的进一步方案，所述驱动机构包括齿杆、棘轮片、转动杆和弧形齿条，所述齿杆转动连接在测试盒体的内部，所述弧形齿条设置在测试盖板与测试盒体贴合一侧，且所述测试盒体上端面开设有于弧形齿条相适配的插接槽，所述弧形杆与齿杆相啮合，所述转动杆转动连接在齿杆的内部，且所述齿杆和转动杆通过棘轮片单向卡合，所述转动杆的一端与限位机构固定相连。
进一步的，所述插接槽内壁设有于相适配的密封胶圈。
作为本发明的进一步方案，所述弧形齿条的内部滑动套接有弧形杆，所述弧形杆背离弧形齿条的一端与测试盖板固定相连。
作为本发明的进一步方案，所述测试盒体的内部开设有负压腔和排气腔，所述负压腔与插接槽连通，所述负压腔和排气腔通过第一密封阀板进行分隔，所述第一密封阀板通过弹簧与排气腔底部弹性相连，所述输送槽内壁开设有出气孔，所述出气孔与排气腔相连通。
进一步的，所述测试盒体上端面设有于限位机构和测试板相适配的转动槽，所述转动槽可略大于限位机构的转动半径，从而可对测试板表面吹拂下的杂物或灰尘进行收集。
作为本发明的进一步方案，所述限位机构包括吸附杆、吸附腔、贴合板和第二密封阀板，所述吸附杆与转动杆固定相连，所述吸附杆内部开设有吸附腔，所述吸附腔的内部滑动连接有第二密封阀板，所述吸附腔通过连通孔与负压腔相连通，所述连通孔贯通开设在转动杆的内部，所述贴合板贯穿吸附杆与第二密封阀板固定相连，且所述贴合板呈“L”形设置。
进一步的，所述负压腔的内部设有于连通孔相连通的连通腔。
作为本发明的进一步方案，所述负压腔和排气腔内壁一侧弹性连接有限位滑板，所述限位滑板与第一密封阀板弹性贴合，所述限位滑板侧端面开设有卡接槽，所述第一密封阀板与限位滑板贴合一侧弹性嵌设有卡接板。
作为本发明的进一步方案，所述吸附腔的内壁中部设有限位板，所述吸附杆的底部设有吸盘，所述第二密封阀板上表面弹性嵌设有密封板，所述吸盘通过连通管与密封板连通。
作为本发明的进一步方案，所述转动杆的外端面固定连接有凸杆，所述限位滑板与第一密封阀板贴合一侧设有抵合凸起，所述凸杆贯穿测试盒体延伸至负压腔的内部。
进一步的，所述凸杆部分突出于测试盒体的上表面，所述测试盒体开设有于凸杆相适配的凸杆槽，所述凸杆槽上方罩设有状态显示机构，所述状态显示机构可采用透明材质，通过设有状态显示机构可对凸杆的状态进行展现，当凸杆位于测试盒体上表面时，此时限位机构处于对测试板吸附状态，当凸杆在状态显示机构内部消失时则代表对测试板固定解除，从而避免使用者误操作对测试板强力拉扯导致的损伤。
一种集成电路测试装置的测试方法，将测试板通过输送槽滑动至限位机构的内部，关闭测试盖板，通过测试盖板底部检测单元对测试板进行检测，检测完成后，在测试盖板打开的同时通过驱动机构驱动限位机构带动测试板翻转，继续关闭测试盖板对测试板反面进行检测。
本发明使用时，将测试板通过输送槽滑动至中部，通过限位机构对测试板的两侧边缘处进行固定，测试板固定完成后，盖合测试盖板使得检测单元位于测试板的上方，从而通过检测单元对测试板进行检测，检测完成后打开测试盖板，且在测试盖板打开的同时通过驱动机构驱动限位机构带动测试板翻转，再次盖合检测单元即可对测试板反面进行检测，无需手动反面，避免对测试板的损伤，同时提高检测速度，且装置采用盒状结构，便于对装置携带和使用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的内部结构示意图；
图3是本发明的图2中A处放大结构示意图；
图4是本发明的驱动机构驱动状态结构示意图；
图5是本发明的图4中B处放大结构示意图；
图6是本发明的测试盒体剖面结构示意图；
图7是本发明的图6中C处放大结构示意图；
图8是本发明的图6中D处放大结构示意图；
图9是本发明的限位机构结构示意图；
图10是本发明的限位机构内部结构示意图；
图11是本发明的限位机构限位状态下结构示意图。
图中：1、测试盖板；2、检测单元；3、驱动机构；4、测试盒体；5、输送槽；6、测试板；7、限位机构；8、状态显示机构；9、插接槽；10、负压腔；11、第一密封阀板；12、排气腔；13、出气孔；14、连通孔；15、齿杆；16、棘轮片；17、转动杆；18、弧形齿条；19、弧形杆；20、连通腔；21、卡接槽；22、限位滑板；23、转动槽；24、凸杆；25、抵合凸起；26、凸杆槽；27、卡接板；28、吸附杆；29、密封板；30、吸附腔；31、限位板；32、吸盘；33、贴合板；34、连通管；35、第二密封阀板。
具体实施方式
实施例一
如图1和图3所示，一种集成电路测试装置，包括测试盒体4，测试盒体4的上端面转动连接有测试盖板1，测试盖板1的一侧设有检测单元2，测试盒体4的上端面中部开设有输送槽5，输送槽5的中部转动连接有用于夹持测试板6的限位机构7，测试盖板1和测试盒体4之间设有用于驱动限位机构7带动测试板6转动翻面的驱动机构3。
进一步的，限位机构7通过阻尼转轴与测试盒体4转动相连。
使用时，将测试板6通过输送槽5滑动至中部，通过限位机构7对测试板6的两侧边缘处进行固定，测试板6固定完成后，盖合测试盖板1使得检测单元2位于测试板6的上方，从而通过检测单元2对测试板6进行检测，检测完成后打开测试盖板1，且在测试盖板1打开的同时通过驱动机构3驱动限位机构7带动测试板6翻转，再次盖合检测单元2即可对测试板6反面进行检测，无需手动反面，避免对测试板6的损伤，同时提高检测速度，且装置采用盒状结构，便于对装置携带和使用。
实施例二
在实施例一的基础上，如图1－图3所示，驱动机构3包括齿杆15、棘轮片16、转动杆17和弧形齿条18，齿杆15转动连接在测试盒体4的内部，弧形齿条18设置在测试盖板1与测试盒体4贴合一侧，且测试盒体4上端面开设有于弧形齿条18相适配的插接槽9，弧形杆19与齿杆15相啮合，转动杆17转动连接在齿杆15的内部，且齿杆15和转动杆17通过棘轮片16单向卡合，转动杆17的一端与限位机构7固定相连。
进一步的，插接槽9内壁设有于弧形杆19相适配的密封胶圈。
使用时，随着测试盖板1的盖合，弧形齿条18逐渐插入插接槽9的内部，随着弧形杆19的插入进而带动齿杆15的转动，由于齿杆15与转动杆17之间单向啮合，进而当弧形杆19插入插接槽9时齿杆15不转动，当测试盖板1在检测完成后打开时，随着弧形杆19移动齿杆15反转带动转动杆17转动，从而使得转动杆17带动限位机构7翻转180度，使得限位机构7夹持的测试板6可继续翻面，从而使得装置在每次开合后测试板6都将自动翻面一次，无需手动对测试板6进行翻面，也可避免机械夹持以及人工翻面导致的磕碰和划伤问题。
如图1－图5所示，弧形齿条18的内部滑动套接有弧形杆19，弧形杆19背离弧形齿条18的一端与测试盖板1固定相连。
使用时，通过弧形齿条18内部滑动套接有弧形杆19，进而使得测试盖板1在打开对限位机构7驱动推迟，具体的在测试盖板1打开时，由于弧形杆19与弧形齿条18套接，在测试盖板1打开过程中弧形杆19先在弧形齿条18内部滑动，当弧形杆19滑动至末端时，此时测试盖板1已经打开一定角度，此时弧形杆19继续带动弧形齿条18在插接槽9的内部移动，驱动限位机构7进行转动，避免测试盖板1打开角度不足导致对限位机构7的转动干涉。
如图1－图6所示，测试盒体4的内部开设有负压腔10和排气腔12，负压腔10与插接槽9连通，负压腔10和排气腔12通过第一密封阀板11进行分隔，第一密封阀板11通过弹簧与排气腔12底部弹性相连，输送槽5内壁开设有出气孔13，出气孔13与排气腔12相连通。
使用时，测试板6的表面附着有杂物或灰尘将影响检测单元2检测结果，为提高检测单元2检测进度进而设有出气孔13，出气孔13与排气腔12连通，在测试盖板1盖合检测的同时弧形齿条18将压合第一密封阀板11，使得第一密封阀板11在负压腔10和排气腔12内部滑动，使得排气腔12内部气体通过出气孔13喷出，出气孔13开设在输送槽5的内壁，即可通过出气孔13喷出气流对测试板6的表面进行清理，进而提高检测单元2对测试板6的检测结果。
进一步的，测试盒体4上端面设有于限位机构7和测试板6相适配的转动槽23，转动槽23可略大于限位机构7的转动半径，从而可对测试板6表面吹拂下的杂物或灰尘进行收集。
如图1－图11所示，限位机构7包括吸附杆28、吸附腔30、贴合板33和第二密封阀板35，吸附杆28与转动杆17固定相连，吸附杆28内部开设有吸附腔30，吸附腔30的内部滑动连接有第二密封阀板35，吸附腔30通过连通孔14与负压腔10相连通，连通孔14贯通开设在转动杆17的内部，贴合板33贯穿吸附杆28与第二密封阀板35固定相连，且贴合板33呈“L”形设置。
进一步的，负压腔10的内部设有于连通孔14相连通的连通腔20。
使用时，测试板6通过输送槽5滑动至贴合板33和吸附杆28之间，吸附腔30通过连通孔14与负压腔10相连通，从而使得测试盖板1在闭合检测过程中随着弧形齿条18的下移，使得负压腔10内部负压提高，从而使得第二密封阀板35在吸附腔30的内部滑动，使得第二密封阀板35带动贴合板33上移进而对测试板6进行夹持，提高对测试板6的固定限位效果，避免检测过程中测试板6的移动影响检测结果。
实施例三
在实施例一和二的基础上，如图1－图11所示，负压腔10和排气腔12内壁一侧弹性连接有限位滑板22，限位滑板22与第一密封阀板11弹性贴合，限位滑板22侧端面开设有卡接槽21，第一密封阀板11与限位滑板22贴合一侧弹性嵌设有卡接板27。
使用时，由于贴合板33通过吸附腔30内部负压进行固定，进而为避免限位机构7在转动过程中吸附腔30内部压力降低导致测试板6的脱离，进而设有限位滑板22，当测试盖板1完全闭合后，第一密封阀板11在弧形齿条18的压合下使得第一密封阀板11侧壁的卡接板27与限位滑板22的卡接槽21相卡接，从而将第一密封阀板11位置进行固定，进而可有效避免限位机构7在转动过程中吸附腔30内部压力不稳定的问题。
如图1－图11所示，吸附腔30的内壁中部设有限位板31，吸附杆28的底部设有吸盘32，第二密封阀板35上表面弹性嵌设有密封板29，吸盘32通过连通管34与密封板29连通。
使用时，通过贴合板33进行夹持，在放置以及拆卸测试板6时极易导致表面涂层或测试板6边角的损伤，进而设有吸盘32，吸盘32通过连通管34与吸附腔30连通，此时贴合板33主要用于将测试板6与吸盘32贴合，在测试盖板1闭合过程中，吸附腔30内部负压逐渐增强，首先带动第二密封阀板35上移使得贴合板33带动测试板6上移与吸盘32贴合，排出吸盘32与测试板6之间多余气体，提高吸盘32与测试板6表面贴合效果，当第二密封阀板35与限位板31抵合后，随着吸附腔30内部负压继续增加，密封板29与第二密封阀板35之间产生缝隙，此时连通管34即可与吸附腔30连通，进而使得吸盘32在对测试板6吸附的同时连通管34还可提供负压进一步提高对测试板6的固定和限位效果，吸盘32对测试板6吸附，可有效避免机械夹持等对测试板6表面的损伤，装置结构简单高效。
如图1-11所示，转动杆17的外端面固定连接有凸杆24，限位滑板22与第一密封阀板11贴合一侧设有抵合凸起25，凸杆24贯穿测试盒体4延伸至负压腔10的内部。
使用时，由于测试板6在检测完两面后需要拆除更换，进而设有凸杆24，初始状态下凸杆24与抵合凸起25抵合将限位滑板22压缩，此时卡接板27部分伸出与限位滑板22贴合，维持第一密封阀板11的分隔密闭效果，当弧形齿条18上移时，第一密封阀板11同步上移，转动杆17将带动凸杆24转动，此时限位滑板22在弹性左右下与第一密封阀板11贴合，随着第一密封阀板11的上移，卡接板27将与卡接槽21卡合从而对第一密封阀板11进行限位，随着弧形齿条18上移完成限位机构7则对测试板6完成一次翻面，翻面完成后即可进行第二次检测继续闭合和打开测试盖板1，控制限位机构7带动测试板6转动，凸杆24随着转动杆17的转动恢复至与抵合凸起25抵合，从而使得限位滑板22横移，第一密封阀板11在弹力作用下上移，使得负压腔10和吸附腔30内部压力恢复，此时限位机构7即可解除对测试板6的限位效果，使得使用者便于对测试板6的更换，进而装置可周期性的完成对测试板6的双面检测，操作者只需关合测试盖板1即可完成对测试板6的双面检测，操作简单便捷，有助于提高对测试板6的检测效率，且装置结构精简，可适用于对测试板6临时抽检或便携式检测用具。
进一步的，凸杆24部分突出于测试盒体4的上表面，测试盒体4开设有于凸杆24相适配的凸杆槽26，凸杆槽26上方罩设有状态显示机构8，状态显示机构8可采用透明材质，通过设有状态显示机构8可对凸杆24的状态进行展现，当凸杆24位于测试盒体4上表面时，此时限位机构7处于对测试板6吸附状态，当凸杆24在状态显示机构8内部消失时则代表对测试板6固定解除，从而避免使用者误操作对测试板6强力拉扯导致的损伤。
一种集成电路测试装置的测试方法，将测试板6通过输送槽5滑动至限位机构7的内部，关闭测试盖板1，通过测试盖板1底部检测单元2对测试板6进行检测，检测完成后，打开测试盖板1，限位机构7带动测试板6翻面，继续关闭测试盖板1对测试板6反面进行检测。
工作原理：将测试板6通过输送槽5滑动至中部，通过限位机构7对测试板6的两侧边缘处进行固定，测试板6固定完成后，盖合测试盖板1使得检测单元2位于测试板6的上方，从而通过检测单元2对测试板6进行检测，检测完成后打开测试盖板1，且在测试盖板1打开的同时通过驱动机构3驱动限位机构7带动测试板6翻转，再次盖合检测单元2即可对测试板6反面进行检测，无需手动反面，避免对测试板6的损伤，同时提高检测速度，且装置采用盒状结构，便于对装置携带和使用，随着测试盖板1的盖合，弧形齿条18逐渐插入插接槽9的内部，随着弧形杆19的插入进而带动齿杆15的转动，由于齿杆15与转动杆17之间单向啮合，进而当弧形杆19插入插接槽9时齿杆15不转动，当测试盖板1在检测完成后打开时，随着弧形杆19移动齿杆15反转带动转动杆17转动，从而使得转动杆17带动限位机构7翻转180度，使得限位机构7夹持的测试板6可继续翻面，从而使得装置在每次开合后测试板6都将自动翻面一次，无需手动对测试板6进行翻面，也可避免机械夹持以及人工翻面导致的磕碰和划伤问题，通过弧形齿条18内部滑动套接有弧形杆19，进而使得测试盖板1在打开对限位机构7驱动推迟，具体的在测试盖板1打开时，由于弧形杆19与弧形齿条18套接，在测试盖板1打开过程中弧形杆19先在弧形齿条18内部滑动，当弧形杆19滑动至末端时，此时测试盖板1已经打开一定角度，此时弧形杆19继续带动弧形齿条18在插接槽9的内部移动，驱动限位机构7进行转动，避免测试盖板1打开角度不足导致对限位机构7的转动干涉，测试板6的表面附着有杂物或灰尘将影响检测单元2检测结果，为提高检测单元2检测进度进而设有出气孔13，出气孔13与排气腔12连通，在测试盖板1盖合检测的同时弧形齿条18将压合第一密封阀板11，使得第一密封阀板11在负压腔10和排气腔12内部滑动，使得排气腔12内部气体通过出气孔13喷出，出气孔13开设在输送槽5的内壁，即可通过出气孔13喷出气流对测试板6的表面进行清理，进而提高检测单元2对测试板6的检测结果，测试板6通过输送槽5滑动至贴合板33和吸附杆28之间，吸附腔30通过连通孔14与负压腔10相连通，从而使得测试盖板1在闭合检测过程中随着弧形齿条18的下移，使得负压腔10内部负压提高，从而使得第二密封阀板35在吸附腔30的内部滑动，使得第二密封阀板35带动贴合板33上移进而对测试板6进行夹持，提高对测试板6的固定限位效果，避免检测过程中测试板6的移动影响检测结果，由于贴合板33通过吸附腔30内部负压进行固定，进而为避免限位机构7在转动过程中吸附腔30内部压力降低导致测试板6的脱离，进而设有限位滑板22，当测试盖板1完全闭合后，第一密封阀板11在弧形齿条18的压合下使得第一密封阀板11侧壁的卡接板27与限位滑板22的卡接槽21相卡接，从而将第一密封阀板11位置进行固定，进而可有效避免限位机构7在转动过程中吸附腔30内部压力不稳定的问题，通过贴合板33进行夹持，在放置以及拆卸测试板6时极易导致表面涂层或测试板6边角的损伤，进而设有吸盘32，吸盘32通过连通管34与吸附腔30连通，此时贴合板33主要用于将测试板6与吸盘32贴合，在测试盖板1闭合过程中，吸附腔30内部负压逐渐增强，首先带动第二密封阀板35上移使得贴合板33带动测试板6上移与吸盘32贴合，排出吸盘32与测试板6之间多余气体，提高吸盘32与测试板6表面贴合效果，当第二密封阀板35与限位板31抵合后，随着吸附腔30内部负压继续增加，密封板29与第二密封阀板35之间产生缝隙，此时连通管34即可与吸附腔30连通，进而使得吸盘32在对测试板6吸附的同时连通管34还可提供负压进一步提高对测试板6的固定和限位效果，吸盘32对测试板6吸附，可有效避免机械夹持等对测试板6表面的损伤，装置结构简单高效，由于测试板6在检测完两面后需要拆除更换，进而设有凸杆24，初始状态下凸杆24与抵合凸起25抵合将限位滑板22压缩，此时卡接板27部分伸出与限位滑板22贴合，维持第一密封阀板11的分隔密闭效果，当弧形齿条18上移时，第一密封阀板11同步上移，转动杆17将带动凸杆24转动，此时限位滑板22在弹性左右下与第一密封阀板11贴合，随着第一密封阀板11的上移，卡接板27将与卡接槽21卡合从而对第一密封阀板11进行限位，随着弧形齿条18上移完成限位机构7则对测试板6完成一次翻面，翻面完成后即可进行第二次检测继续闭合和打开测试盖板1，控制限位机构7带动测试板6转动，凸杆24随着转动杆17的转动恢复至与抵合凸起25抵合，从而使得限位滑板22横移，第一密封阀板11在弹力作用下上移，使得负压腔10和吸附腔30内部压力恢复，此时限位机构7即可解除对测试板6的限位效果，使得使用者便于对测试板6的更换，进而装置可周期性的完成对测试板6的双面检测，操作者只需关合测试盖板1即可完成对测试板6的双面检测，操作简单便捷，有助于提高对测试板6的检测效率，且装置结构精简，可适用于对测试板6临时抽检或便携式检测用具。
Claims (6)
1.一种集成电路测试装置，包括测试盒体，其特征在于：所述测试盒体的上端面转动连接有测试盖板，所述测试盖板的一侧设有检测单元，所述测试盒体的上端面中部开设有输送槽，所述输送槽的中部转动连接有用于夹持测试板的限位机构，所述测试盖板和测试盒体之间设有用于驱动限位机构带动测试板转动翻面的驱动机构；所述驱动机构包括齿杆、棘轮片、转动杆和弧形齿条，所述齿杆转动连接在测试盒体的内部，所述弧形齿条设置在测试盖板与测试盒体贴合一侧，且所述测试盒体上端面开设有于弧形齿条相适配的插接槽，弧形杆与齿杆相啮合，所述转动杆转动连接在齿杆的内部，且所述齿杆和转动杆通过棘轮片单向卡合，所述转动杆的一端与限位机构固定相连；所述弧形齿条的内部滑动套接有弧形杆，所述弧形杆背离弧形齿条的一端与测试盖板固定相连；所述测试盒体的内部开设有负压腔和排气腔，所述负压腔与插接槽连通，所述负压腔和排气腔通过第一密封阀板进行分隔，所述第一密封阀板通过弹簧与排气腔底部弹性相连，所述输送槽内壁开设有出气孔，所述出气孔与排气腔相连通。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试装置，其特征在于：所述限位机构包括吸附杆、吸附腔、贴合板和第二密封阀板，所述吸附杆与转动杆固定相连，所述吸附杆内部开设有吸附腔，所述吸附腔的内部滑动连接有第二密封阀板，所述吸附腔通过连通孔与负压腔相连通，所述连通孔贯通开设在转动杆的内部，所述贴合板贯穿吸附杆与第二密封阀板固定相连，且所述贴合板呈“L”形设置。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路测试装置，其特征在于：所述负压腔和排气腔内壁一侧弹性连接有限位滑板，所述限位滑板与第一密封阀板弹性贴合，所述限位滑板侧端面开设有卡接槽，所述第一密封阀板与限位滑板贴合一侧弹性嵌设有卡接板。
4.根据权利要求2所述的一种集成电路测试装置，其特征在于：所述吸附腔的内壁中部设有限位板，所述吸附杆的底部设有吸盘，所述第二密封阀板上表面弹性嵌设有密封板，所述吸盘通过连通管与密封板连通。
5.根据权利要求3所述的一种集成电路测试装置，其特征在于：所述转动杆的外端面固定连接有凸杆，所述限位滑板与第一密封阀板贴合一侧设有抵合凸起，所述凸杆贯穿测试盒体延伸至负压腔的内部。
6.一种如权利要求1-5任意一项所述的集成电路测试装置的测试方法，其特征在于：将测试板通过输送槽滑动至限位机构的内部，关闭测试盖板，通过测试盖板底部检测单元对测试板进行检测，检测完成后，在测试盖板打开的同时通过驱动机构驱动限位机构带动测试板翻转，继续关闭测试盖板对测试板反面进行检测。
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