CN116643467A - 一种光罩移动系统、光罩移动控制方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种光罩移动系统、光罩移动控制方法，用以避免光罩在升降平台上的位置偏移，从而避免机台宕机或者光罩损坏。系统包括：升降平台，用于承接光罩；升降平台上设置有至少一个传感器，传感器用于检测光罩与传感器之间的距离，并将距离发送给控制装置；驱动装置，驱动装置与夹持装置连接，用于驱动夹持装置动作；夹持装置，用于在驱动装置的驱动下，夹持光罩，并将光罩放置在升降平台上；控制装置，用于接收传感器发送的距离，并利用距离判断光罩在升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差，当存在偏差时，控制驱动装置对夹持装置的驱动，将夹持装置夹持的光罩放置在升降平台上的预设位置。

Description

一种光罩移动系统、光罩移动控制方法

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种光罩移动系统、光罩移动控制方法。

背景技术

如图1所示，光罩在升降平台上出现偏移，这种偏移是因为光罩的夹头夹持装置的胶条磨损，进而造成光罩在夹头夹持装置上位置已经出现偏移，参见图2(光罩已经发生倾斜)，在夹头夹持装置垂直下降，将光罩放到升降平台时就会出现位置偏移，造成机台宕机或者光罩损坏。

发明内容

本申请实施例提供了一种光罩移动系统、光罩移动控制方法，用以避免光罩在升降平台上的位置偏移，从而避免机台宕机或者光罩损坏。

本申请实施例提供的一种光罩移动系统，包括：

升降平台，用于承接光罩；所述升降平台上设置有至少一个第一传感器，所述第一传感器用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的距离，并将所述距离发送给控制装置；

驱动装置，所述驱动装置与夹持装置连接，用于驱动夹持装置动作；

夹持装置，用于在驱动装置的驱动下，夹持所述光罩，并将所述光罩放置在所述升降平台上；

控制装置，用于接收所述第一传感器发送的所述距离，并利用所述距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差，当存在偏差时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，将所述夹持装置夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置。

通过所述系统中的传感器可以检测所述光罩与所述传感器之间的距离，并将所述距离发送给所述控制装置，所述控制装置利用所述距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置，与预设位置是否存在偏差，当存在偏差时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置，从而避免了光罩在升降平台上的位置偏移，进而避免机台宕机或者光罩损坏。

在一些实施例中，所述升降平台包括：与所述光罩的第一顶角位置对应设置的第一承载结构、与所述光罩的第二顶角位置对应设置的第二承载结构、与所述光罩的第三顶角位置对应设置的第三承载结构、与所述光罩的第四顶角位置对应设置的第四承载结构；

所述升降平台上设置有八个传感器：位于所述第一承载结构上的第一传感器、第二传感器，位于所述第二承载结构上的第三传感器、第四传感器，位于所述第三承载结构上的第五传感器、第六传感器，位于所述第四承载结构上的第七传感器、第八传感器；其中，位于同一承载结构上的两个传感器，分别用于获取水平面x坐标方向上与所述光罩之间的距离，以及水平面y坐标方向上与所述光罩之间的距离。

在一些实施例中，所述驱动装置包括水平驱动装置；

所述第一传感器，具体用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的水平距离；

所述控制装置，利用所述水平距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置，与预设位置是否存在偏差，当存在所述偏差时，控制所述水平驱动装置在水平方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在水平方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

在一些实施例中，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置、第二夹头夹持装置、第三夹头夹持装置、第四夹头夹持装置；其中，所述第一夹头夹持装置与所述第二夹头夹持装置相对设置，所述第三夹头夹持装置与所述第四夹头夹持装置相对设置；

所述水平驱动装置包括：第一驱动模组、第二驱动模组、第三驱动模组、第四驱动模组；

其中，所述第一驱动模组用于驱动所述第一夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第二驱动模组用于驱动所述第二夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第三驱动模组用于驱动所述第三夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动，所述第四驱动模组用于驱动所述第四夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动。

在一些实施例中，所述系统还包括：

竖直偏移检测装置，用于检测所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差，并将检测结果发送给所述控制装置；

所述驱动装置还包括竖直驱动装置；

所述控制装置，还用于根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光罩的位置时，控制所述竖直驱动装置在所述竖直方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在所述竖直方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

在一些实施例中，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置、第二夹头夹持装置、第三夹头夹持装置、第四夹头夹持装置；其中，所述第一夹头夹持装置与所述第二夹头夹持装置相对设置，所述第三夹头夹持装置与所述第四夹头夹持装置相对设置；

所述竖直偏移检测装置包括：用于沿水平面的x轴方向发射光线的第一发射装置和相对设置的用于接收光线的第一接收装置，以及用于沿水平面的y轴方向发射光线的第二发射装置和相对设置的用于接收光线的第二接收装置；

所述竖直驱动装置包括：第五驱动模组、第六驱动模组；

其中，所述第五驱动模组，用于驱动所述第一夹头夹持装置沿所述竖直方向移动；所述第六驱动模组，用于驱动所述第三夹头夹持装置沿所述竖直方向移动。

在一些实施例中，所述第一发射装置设置在所述第一夹头夹持装置上，所述第一接收装置设置在所述第二夹头夹持装置上；

所述第二发射装置设置在所述第四夹头夹持装置上，所述第二接收装置设置在所述第三夹头夹持装置上。

在一些实施例中，所述系统还包括：设置在所述夹持装置上的第二传感器；

所述控制装置还用于：基于所述夹持装置上的第二传感器的电压值，确定所述夹持装置对所述光罩的夹持的紧合度，当所述紧合度满足报警条件时，输出报警信息；和/或，基于所述夹持装置上的第二传感器的电压值，判断是否需要调整所述夹持装置对所述光罩的夹持位置，当需要调整所述夹持位置时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，以调整所述夹持装置对所述光罩的夹持位置。

在一些实施例中，所述系统还包括：

显示装置，用于输出显示用户界面，所述用户界面上显示有所述光罩、所述升降平台、所述驱动装置、所述夹持装置相互之间的位置关系信息，以及用于调整所述光罩的位置的方向按钮以及对应的调整数值输入按钮。

在一些实施例中，所述系统还包括：用户终端；

所述控制装置，还用于将与所述光罩相关的机台数据发送给所述用户终端；

所述用户终端，用于获取并监测所述机台数据，并且当监测到所述机台数据中存在异常数据时，向报警管理系统发送反馈信息。

本申请实施例提供的一种光罩移动控制方法，应用于所述的光罩移动系统，所述方法包括：

接收用于承接光罩的升降平台上设置的至少一个第一传感器发送的距离，其中所述距离，为所述光罩与所述第一传感器之间的距离；

利用所述距离，判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差；

当存在偏差时，控制与夹持装置连接并且用于驱动所述夹持装置动作的驱动装置，对所述夹持装置进行驱动，将所述夹持装置夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置。

在一些实施例中，所述驱动装置包括水平驱动装置；

所述距离，为所述光罩与所述第一传感器之间的水平距离；

所述驱动装置还包括竖直驱动装置，所述方法还包括：

接收所述竖直偏移检测装置发送的检测结果，所述检测结果是所述竖直偏移检测装置对所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差的检测记结果；

根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光罩的位置时，控制所述竖直驱动装置在所述竖直方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在所述竖直方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

本申请另一实施例提供了一种计算设备，其包括存储器和处理器，其中，所述存储器用于存储程序指令，所述处理器用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序执行上述任一种方法。

此外，根据实施例，例如提供了一种用于计算机的计算机程序产品，其包括软件代码部分，当所述产品在计算机上运行时，这些软件代码部分用于执行上述所定义的方法的步骤。该计算机程序产品可以包括在其上存储有软件代码部分的计算机可读介质。此外，该计算机程序产品可以通过上传过程、下载过程和推送过程中的至少一个经由网络直接加载到计算机的内部存储器中和/或发送。

本申请另一实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使所述计算机执行上述任一种方法。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为光罩在升降平台上发生位置偏移的示意图；

图2为光罩在夹持装置上的夹持位置发生偏移的示意图；

图3为本申请实施例提供的光罩形状示意图；

图4为本申请实施例提供的一种光罩移动系统的总体结构示意图；

图5为本申请实施例提供的一种光罩移动系统的具体结构示意图；

图6为本申请实施例提供的一种升降平台的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的一种升降平台上设置的第一传感器的示意图；

图8为本申请实施例提供的一种夹持装置的结构示意图；

图9为本申请实施例提供的一种用于驱动夹持装置的驱动装置的位置示意图；

图10为本申请实施例提供的在夹持装置上设置的发射装置和接收装置的示意图；

图11为本申请实施例提供的另一种用于驱动夹持装置的驱动装置的位置示意图；

图12为本申请实施例提供的控制装置的工作原理示意图；

图13为本申请实施例提供的一种用户界面(UI)示意图；

图14为本申请实施例提供的一种光罩移动系统的总体工作流程示意图；

图15为本申请实施例提供的一种光罩移动系统的具体工作流程示意图；

图16为本申请实施例提供的控制装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请实施例提供了一种光罩移动系统、光罩移动控制方法，用以避免光罩在升降平台上的位置偏移，从而避免机台宕机或者光罩损坏。

本申请实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

以下示例和实施例将只被理解为是说明性的示例。虽然本说明书可能在若干处提及“一”、“一个”或“一些”示例或实施例，但这并非意味着每个这种提及都与相同的示例或实施例有关，也并非意味着该特征仅适用于单个示例或实施例。不同实施例的单个特征也可以被组合以提供其他实施例。此外，如“包括”和“包含”的术语应被理解为并不将所描述的实施例限制为仅由已提及的那些特征组成；这种示例和实施例还可以包含并未具体提及的特征、结构、单元、模块等。

下面结合说明书附图对本申请各个实施例进行详细描述。需要说明的是，本申请实施例的展示顺序仅代表实施例的先后顺序，并不代表实施例所提供的技术方案的优劣。

本申请实施例提供的系统，能够准确判断光罩在升降平台上的当前位置，与预设位置是否存在偏差，当存在偏差时，该系统可以精确控制驱动装置对夹持装置的驱动，使得夹持装置将夹持的光罩放置在升降平台上的预设位置(即正常位置)，从而可以避免在夹持装置上的某一夹头的胶条出现磨损时，能改变不同方向的夹头的运动距离，从而可以避免光罩位置出现偏移。

如图3所示，一般光罩为矩形，有四个边，假设分别为X1、X2、Y1、Y2四个边，结合图2所示的夹持装置工作原理，例如X1、X2方向的运动由上方的气缸驱动连杆带动，在需要夹取光罩时，气缸带动拉杆向上运动，直至胶条贴合光罩，将光罩夹紧，Y1、Y2方向同理。这种设计在某侧胶条出现磨损时，会出现光罩向其中一侧出现偏移(如图2所示)，再重新放回升降平台时，会出现偏移现象(如图1所示)，升降平台对光罩的真空吸附异常从而引发机台宕机。

因此，本申请实施例提供的技术方案，可以检测光罩偏移量，并可以对四个方向的夹持装置进行分别控制，这样在出现胶条磨损时，通过调节夹持装置对因为磨损造成的偏差进行修正，可以使得光罩的位置不会出现偏移，避免造成机台宕机或者光罩损坏，同时也可以减少胶条更换次数，节省维修成本。

参见图4，本申请实施例提供的一种光罩移动系统，包括：升降平台401、控制装置402、驱动装置403、夹持装置404；其中：

升降平台401，用于承接光罩；所述升降平台401上设置有至少一个第一传感器4011(可以根据实际需要在不同位置设置多个传感器)，所述第一传感器4011用于检测所述光罩与所述第一传感器4011之间的距离(例如水平方向的距离，也可以是垂直距离等等)，并将所述距离发送给控制装置402；

所述驱动装置403，所述驱动装置403与夹持装置404连接，用于驱动夹持装置404动作；

所述夹持装置404，用于在所述驱动装置403的驱动下，夹持光罩，并将所述光罩放置在所述升降平台401上；

所述控制装置，用于接收所述第一传感器4011发送的所述距离，并利用所述距离判断所述光罩在所述升降平台401上的当前位置，与预设位置(即正常位置，包括各个方向上的位置)是否存在偏差，当存在偏差时，控制所述驱动装置403对所述夹持装置404进行驱动(包括水平和/或竖直方向的驱动)，将所述夹持装置404夹持的光罩放置在所述升降平台401上的所述预设位置。

参见图5，所述驱动装置可以包括水平驱动装置4031和/或竖直驱动装置4032；

其中，所述水平驱动装置4031用于驱动夹持装置404在水平面上移动；

所述竖直驱动装置4032用于驱动夹持装置404在竖直面上移动。

也就是说，本申请实施例在升降平台附近增加位置监测传感器，例如在水平位置出现变化时，所述控制装置可以及时检测到，并将偏移量反馈给驱动装置，从而驱动夹持装置进行调整。

在一些实施例中，所述驱动装置包括水平驱动装置4031；

所述第一传感器4011，具体用于检测所述光罩与所述第一传感器4011之间的水平距离；

所述控制装置402，利用所述水平距离判断所述光罩在所述升降平台401上的当前位置，与预设位置是否存在偏差，当存在所述偏差时，控制所述水平驱动装置4031在水平方向上对所述夹持装置404的驱动，使得所述夹持装置404将夹持的光罩在水平方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台401上的所述预设位置。

在一些实施例中，参见图6，所述升降平台包括：与所述光罩的第一顶角位置对应设置的第一承载结构601、与所述光罩的第二顶角位置对应设置的第二承载结构602、与所述光罩的第三顶角位置对应设置的第三承载结构603、与所述光罩的第四顶角位置对应设置的第四承载结构604。

参见图7，所述升降平台上设置有八个传感器：位于所述第一承载结构上的第一传感器(传感器1)、第二传感器(传感器2)，位于所述第二承载结构上的第三传感器(传感器3)、第四传感器(传感器4)，位于所述第三承载结构上的第五传感器(传感器5)、第六传感器(传感器6)，位于所述第四承载结构上的第七传感器(传感器7)、第八传感器(传感器8)；其中，位于同一承载结构上的两个传感器，分别用于获取水平面x坐标方向上与所述光罩之间的距离，以及水平面y坐标方向上与所述光罩之间的距离。

在一些实施例中，参见图8，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置801、第二夹头夹持装置802、第三夹头夹持装置803、第四夹头夹持装置804；其中，所述第一夹头夹持装置801与所述第二夹头夹持装置802相对设置，所述第三夹头夹持装置803与所述第四夹头夹持装置804相对设置；

参见图9，所述水平驱动装置包括：第一驱动模组901、第二驱动模组902、第三驱动模组903、第四驱动模组904；

其中，所述第一驱动模组901用于驱动所述第一夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第二驱动模组902用于驱动所述第二夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第三驱动模组903用于驱动所述第三夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动，所述第四驱动模组904用于驱动所述第四夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动。

本申请实施例中所述的移动，可以是双向的移动，即来回移动。

具体地，例如，在升降平台四个角增加的8个电容式接近开关传感器，每一传感器有两个电极，电极之间会产生磁场，构成一个电容，根据如下公式来计算出距离d：

C＝e0×er×A/d；

其中，C表示电容；

e0＝8.854187pF/m，表示自由空间中的介电常数；

er表示两个电机之间存在的材料的相对介电常数；

A表示电极尺寸；

d表示电极之间的距离；

er>2的所有材料都将被检测到。

距离d即传感器与光罩之间的距离，从而计算出光罩的一个角落的位置，进而计算出光罩在升降平台上的偏移量。进而在控制装置通过对偏移量进行计算后，对出现偏移的一侧的夹头夹持装置运动距离进行修正，避免光罩水平方向进行偏移。

每一所述驱动模组，例如可以是直线电机水平运动模组，每一直线电机水平运动模组例如包括电机主体和电机轴。

四个直线电机运动模组带动夹头夹持装置实现水平方向运动，每一直线电机水平运动模组可以实现单独运动，在光罩出现偏移时可以实现单独进行修正，避免出现偏移现象。本申请实施例中可以通过手动修正偏移量和通过系统自动检测偏移量两种方式来实现对偏移量的修正。

在一些实施例中，所述驱动装置还包括竖直驱动装置；

参见图5，所述系统还包括：

竖直偏移检测装置4041(可以是光学检测装置，也可以是其他方式的检测装置，可以设置在夹头夹持装置上，也可以设置在升降平台上)，用于检测所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差，并将检测结果发送给所述控制装置；

所述控制装置，还用于根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光罩的位置时，控制所述竖直驱动装置在所述竖直方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在所述竖直方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

在一些实施例中，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置、第二夹头夹持装置、第三夹头夹持装置、第四夹头夹持装置；其中，所述第一夹头夹持装置与所述第二夹头夹持装置相对设置，所述第三夹头夹持装置与所述第四夹头夹持装置相对设置；

参见图10，所述竖直偏移检测装置4041包括：用于沿水平面的x轴方向发射光线的第一发射装置111和相对设置的用于接收光线的第一接收装置112，以及用于沿水平面的y轴方向发射光线的第二发射装置113和相对设置的用于接收光线的第二接收装置114；

参见图11，所述竖直驱动装置包括：第五驱动模组121、第六驱动模组122；

其中，所述第五驱动模组121，用于驱动所述第一夹头夹持装置沿所述竖直方向移动；

所述第六驱动模组122，用于驱动所述第三夹头夹持装置沿所述竖直方向移动。

在一些实施例中，所述第一发射装置设置在所述第一夹头夹持装置上，所述第一接收装置设置在所述第二夹头夹持装置上；

所述第二发射装置设置在所述第四夹头夹持装置上，所述第二接收装置设置在所述第三夹头夹持装置上。

具体地，例如，所述竖直偏移检测装置是在夹头夹持装置内部镶嵌的光学位置侦测装置，发射装置是激光发射装置，发射激光穿透光罩玻璃的一侧，如果四个夹头夹持装置都在同一个水平面，则激光发射装置对面的接收装置就能够接收光信号，此时表示夹头夹持装置位置良好，可以执行光罩夹取工作，如果对面的光学接收装置接收不到光学信号，则表示夹头夹持装置的位置存在偏差，这时控制装置控制竖直方向电机(即竖直驱动装置)驱动夹持装置进行微调，例如控制竖直方向的电机进行从下到上，每秒向上移动0.5mm的进度进行微调，直到激光侦测器(即接收装置)侦测到激光为止，使四个夹头在同一个水平面。

在一些实施例中，在夹头夹持装置中设置的激光发射装置、接收装置，可以采用不规则排布方式，从而实现不规则的控制，可以根据不同的光强感应，来计算偏移量，可以根据算法侦测出偏移方向。

关于所述控制装置，其工作原理例如参见图12，根据夹头夹持装置的运动需求，所述控制装置给定初始指令后，依据运动学分析获得垂直方向的电机(包括垂直方向控制电机1和垂直方向控制电机2)编码器RX\RY\Z轴的位移和速度，建立RY/RX/Z轴的模糊PID控制器(用于分别控制夹头夹持装置的竖直和水平方向的运动)，控制夹头夹持装置的X/Y/Z的3个自由度的运动，通过模糊PID控制器和逆运动学分析，使水平面上的四个夹头夹持装置位于同一个平面。其中所述的模糊PID控制器，对PID算法改进，以误差和误差变化率作为输入，PID控制器的三个参数P、I、D的修正ΔKP0、ΔKI0、ΔKD0作为输出，其运用模糊规则进行模糊推理，查询模糊子集，获得PID控制参数KP、KI、KD的值，并去模糊化，在不同时刻不断检测和调整误差e和误差变化率ec，满足PID参数自整定的要求，输出模糊输出量。图12中的第二传感器是对夹头夹持装置的运动位置的反馈处理器。图12中的第一驱动模组～第四驱动模组，可以是其中任一个模组或多个模组。图12中的夹头夹持装置包括上述的四个夹头夹持装置中的一个或多个。

在一些实施例中，所述系统还包括：设置在所述夹持装置上的第二传感器(也就是说，本申请实施例中可以设置有两组传感器，一组设置在升降平台上，另一组可以设置在夹头夹持装置上)，具体地，例如可以根据需要设置在各个夹头夹持装置上；

所述控制装置还用于：基于所述夹持装置上的第二传感器的电压值，确定所述夹持装置对所述光罩的夹持的紧合度，当所述紧合度满足报警条件时，输出报警信息；和/或，基于所述夹持装置上的第二传感器的电压值，判断是否需要调整所述夹持装置对所述光罩的夹持位置，当需要调整所述夹持位置时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，以调整所述夹持装置对所述光罩的夹持位置，夹持位置调整后所述夹持装置上的第二传感器的电压值为预设值(即正常情况下的电压值，具体取值根据实际需要而定)。

例如本申请实施例将接近式开关传感器镶嵌在橡胶夹头夹持装置的内部，信号采集及处理器(即控制装置)采用控制芯片，初始时，测试出夹头夹持装置夹取光罩时的两个接近式开关传感器的电压值，作为基准值(即预设值)，同时测试出夹头夹持装置完全夹取光罩时的电压的波动范围(Spec)，当接近式开关传感器的电压波动范围超过Spec，会发送报警信息到机台端，同时用户的办公电脑也收到机台端报警，从而可以测出夹头夹持装置的紧合度。驱动装置中的四个直线电机水平运动模组带动夹头夹持装置实现水平面上的运动，其中X1、X2、Y1、Y2四个边对应的夹头夹持装置可以实现单独运动，在光罩出现偏移时，设置在夹头夹持装置中的接近式开关传感器会将此时的电压信号传送给控制装置，控制装置会根据信号的偏差状态，来控制驱动装置驱动四个夹头夹持装置的夹取位置，此时夹头夹持装置中的接近式开关传感器的电压会恢复到正常状态，保证夹取的可靠性。

综上所述，本申请实施例通过在光罩周围增加的多组传感器，通过传感器检测信号、对光罩位置的检测及数据记录等手段，控制调整光罩的位置，不仅可以减少胶条更换次数，减少维修成本，同时减少机台宕机，提高机台工作效率。

在一些实施例中，所述系统还包括：

显示装置，用于输出显示用户界面，例如图13所示，所述用户界面上显示有所述光罩、所述升降平台、所述驱动装置、所述夹持装置相互之间的位置关系信息，以及用于调整所述光罩的位置的方向按钮(例如上下左右箭头)以及对应的调整数值输入按钮(例如可以输入往哪一方向调整多少毫米)。

在一些实施例中，所述系统还包括：用户终端；

所述控制装置，还用于将与所述光罩相关的机台数据发送给所述用户终端；其中与所述光罩相关的机台数据，例如光罩在升降平台上的位置信息、夹持装置对光罩的夹持信息(例如压力值、夹持位置)等等；

所述用户终端，用于获取并监测所述机台数据，并且当监测到所述机台数据中存在异常数据(例如位置存在偏差，电压值不在正常范围内等等)时，向报警管理系统发送反馈信息。

本申请实施例，可以将机台端数据通过服务器(Server)传输到PC端(用户终端)，并进行持续的监测，在距离显示状态中有异常数据就会通过报警管理系统反应给机台用户，这样对机台提前做出不同动作，大大提高预防能力和减少解决问题的时间，极大增加了机台的工作效率及光罩的安全。

参见图14，本申请实施例提供的一种光罩移动控制方法，应用于上述光罩移动系统，所述方法包括：

S151、接收用于承接光罩的升降平台上设置的至少一个第一传感器发送的距离，其中所述距离，为所述光罩与所述第一传感器之间的距离；

S152、利用所述距离，判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差；

S153、当存在偏差时，控制与夹持装置连接并且用于驱动所述夹持装置动作的驱动装置，对所述夹持装置进行驱动，将所述夹持装置夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置。

在一些实施例中，所述驱动装置包括水平驱动装置；

所述距离，为所述光罩与所述第一传感器之间的水平距离；

所述驱动装置还包括竖直驱动装置，所述方法还包括：

接收所述竖直偏移检测装置发送的检测结果，所述检测结果是所述竖直偏移检测装置对所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差的检测记结果；

根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光罩的位置时，控制所述竖直驱动装置在所述竖直方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在所述竖直方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

其中，控制与夹持装置连接并且用于驱动所述夹持装置动作的驱动装置，对所述夹持装置进行驱动时，无论是水平方向的移动，还是竖直方向的移动，例如可以是控制其中相对设置的一对夹头夹持装置进行移动，相对设置的另外一对夹头夹持装置保持松开的状态，例如需要在水平面上进行左右移动时，可以控制第一夹头夹持装置和第二夹头夹持装置夹取光罩，其他夹头夹持装置保持松开状态；当然，也可以是控制四个夹头夹持装置一起夹取光罩并进行移动。无论哪种移动控制方式，只要能将光罩置于升降平台上的预设位置即可，具体本申请不进行限制。

本申请实施例提供的上述系统的具体工作流程，例如图15所示，包括：

S161、系统启动后，在控制装置的控制下，驱动装置驱动夹持装置接触光罩；

S162、判断是否接触良好，具体的判断条件，可以根据实际需要而定，例如，相对的两侧夹头的距离是否在正常范围内等等；

S163、若接触不良，则在控制装置的控制下，水平驱动装置驱动夹持装置进行水平方向的调整，从而调整光罩在水平方向的位置到预设位置；

S164、若接触良好，则在控制装置的控制下，发射装置发射光线；

S165、判断接收装置是否接收到光线，其中接收装置接收到光线，会给控制装置一个反馈信号，若没有接收到光线，则不会反馈，也就是说若发射装置发射光线后等待预设时长没有收到接收装置的反馈信号，则判定接收装置没有接收到光线(即竖直方向需要调整光罩位置)；

S166、若接收装置没有接收到光线，则在控制装置的控制下，竖直驱动装置驱动夹持装置进行竖直方向的调整，从而调整光罩在竖直方向的位置到预设位置；

S167、若接收装置接收到光线，则在控制装置的控制下，驱动装置驱动夹持装置进行光罩夹取并移动光罩到目标位置(例如从升降平台移动到另一平台)。

本申请实施例提供的一种控制装置，参见图16，例如包括：

处理器600，用于读取存储器620中的程序，执行上述控制过程(例如图15所示的流程)，具体不再赘述。

收发机610，用于在处理器600的控制下接收和发送数据。

其中，在图16中，总线架构可以包括任意数量的互联的总线和桥，具体由处理器600代表的一个或多个处理器和存储器620代表的存储器的各种电路链接在一起。总线架构还可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路链接在一起，这些都是本领域所公知的，因此，本文不再对其进行进一步描述。总线接口提供接口。收发机610可以是多个元件，即包括发送机和接收机，提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元，这些传输介质包括，这些传输介质包括无线信道、有线信道、光缆等传输介质。针对不同的用户设备，用户接口630还可以是能够外接内接需要设备的接口，连接的设备包括但不限于小键盘、显示器、扬声器、麦克风、操纵杆等。

处理器600负责管理总线架构和通常的处理，存储器620可以存储处理器600在执行操作时所使用的数据。

在一些实施方式中，处理器600可以是CPU(中央处埋器)、ASIC(ApplicationSpecific Integrated Circuit，专用集成电路)、FPGA(Field－Programmable GateArray，现场可编程门阵列)或CPLD(Complex Programmable Logic Device，复杂可编程逻辑器件)，处理器也可以采用多核架构。

处理器通过调用存储器存储的计算机程序，用于按照获得的可执行指令执行本申请实施例提供的任一所述方法。处理器与存储器也可以物理上分开布置。

在此需要说明的是，本申请实施例提供的上述装置，能够实现上述方法实施例所实现的所有方法步骤，且能够达到相同的技术效果，在此不再对本实施例中与方法实施例相同的部分及有益效果进行具体赘述。

需要说明的是，本申请实施例中对单元的划分是示意性的，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式。另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)或处理器(processor)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

本申请实施例提供了一种计算设备，该计算设备具体可以为桌面计算机、便携式计算机、智能手机、平板电脑、个人数字助理(Personal Digital Assistant，PDA)等。该计算设备可以包括中央处理器(Center Processing Unit，CPU)、存储器、输入/输出设备等，输入设备可以包括键盘、鼠标、触摸屏等，输出设备可以包括显示设备，如液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)、阴极射线管(Cathode Ray Tube，CRT)等。

存储器可以包括只读存储器(ROM)和随机存取存储器(RAM)，并向处理器提供存储器中存储的程序指令和数据。在本申请实施例中，存储器可以用于存储本申请实施例提供的任一所述方法的程序。

处理器通过调用存储器存储的程序指令，处理器用于按照获得的程序指令执行本申请实施例提供的任一所述方法。

本申请实施例还提供了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中。计算机设备的处理器从计算机可读存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该计算机设备执行上述实施例中的任一所述方法。所述程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以是——但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，用于储存为上述本申请实施例提供的装置所用的计算机程序指令，其包含用于执行上述本申请实施例提供的任一方法的程序。所述计算机可读存储介质，可以是非暂时性计算机可读介质。

所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或数据存储设备，包括但不限于磁性存储器(例如软盘、硬盘、磁带、磁光盘(MO)等)、光学存储器(例如CD、DVD、BD、HVD等)、以及半导体存储器(例如ROM、EPROM、EEPROM、非易失性存储器(NANDFLASH)、固态硬盘(SSD))等。

本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器和光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种光罩移动系统，其特征在于，所述系统包括：

升降平台，用于承接光罩；所述升降平台上设置有至少一个第一传感器，所述第一传感器用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的距离，并将所述距离发送给控制装置；

驱动装置，所述驱动装置与夹持装置连接，用于驱动夹持装置动作；

夹持装置，用于在驱动装置的驱动下，夹持所述光罩，并将所述光罩放置在所述升降平台上；

控制装置，用于接收所述第一传感器发送的所述距离，并利用所述距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差，当存在偏差时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，将所述夹持装置夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述升降平台包括：与所述光罩的第一顶角位置对应设置的第一承载结构、与所述光罩的第二顶角位置对应设置的第二承载结构、与所述光罩的第三顶角位置对应设置的第三承载结构、与所述光罩的第四顶角位置对应设置的第四承载结构；

所述升降平台上设置有八个传感器：位于所述第一承载结构上的第一传感器、第二传感器，位于所述第二承载结构上的第三传感器、第四传感器，位于所述第三承载结构上的第五传感器、第六传感器，位于所述第四承载结构上的第七传感器、第八传感器；其中，位于同一承载结构上的两个传感器，分别用于获取水平面x坐标方向上与所述光罩之间的距离，以及水平面y坐标方向上与所述光罩之间的距离。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述驱动装置包括水平驱动装置；

所述第一传感器，具体用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的水平距离；

所述控制装置，利用所述水平距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置，与预设位置是否存在偏差，当存在所述偏差时，控制所述水平驱动装置在水平方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在水平方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置、第二夹头夹持装置、第三夹头夹持装置、第四夹头夹持装置；其中，所述第一夹头夹持装置与所述第二夹头夹持装置相对设置，所述第三夹头夹持装置与所述第四夹头夹持装置相对设置；

所述水平驱动装置包括：第一驱动模组、第二驱动模组、第三驱动模组、第四驱动模组；

其中，所述第一驱动模组用于驱动所述第一夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第二驱动模组用于驱动所述第二夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第三驱动模组用于驱动所述第三夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动，所述第四驱动模组用于驱动所述第四夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动。

5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

竖直偏移检测装置，用于检测所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差，并将检测结果发送给所述控制装置；

所述驱动装置还包括竖直驱动装置；

所述控制装置，还用于根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光罩的位置时，控制所述竖直驱动装置在所述竖直方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在所述竖直方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置、第二夹头夹持装置、第三夹头夹持装置、第四夹头夹持装置；其中，所述第一夹头夹持装置与所述第二夹头夹持装置相对设置，所述第三夹头夹持装置与所述第四夹头夹持装置相对设置；

所述竖直偏移检测装置包括：用于沿水平面的x轴方向发射光线的第一发射装置和相对设置的用于接收光线的第一接收装置，以及用于沿水平面的y轴方向发射光线的第二发射装置和相对设置的用于接收光线的第二接收装置；

所述竖直驱动装置包括：第五驱动模组、第六驱动模组；

其中，所述第五驱动模组，用于驱动所述第一夹头夹持装置沿所述竖直方向移动；所述第六驱动模组，用于驱动所述第三夹头夹持装置沿所述竖直方向移动。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第一发射装置设置在所述第一夹头夹持装置上，所述第一接收装置设置在所述第二夹头夹持装置上；

所述第二发射装置设置在所述第四夹头夹持装置上，所述第二接收装置设置在所述第三夹头夹持装置上。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：设置在所述夹持装置上的第二传感器；

所述控制装置还用于：基于所述夹持装置上的第二传感器的电压值，确定所述夹持装置对所述光罩的夹持的紧合度，当所述紧合度满足报警条件时，输出报警信息；和/或，基于所述夹持装置上的第二传感器的电压值，判断是否需要调整所述夹持装置对所述光罩的夹持位置，当需要调整所述夹持位置时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，以调整所述夹持装置对所述光罩的夹持位置。

9.一种光罩移动控制方法，其特征在于，应用于权利要求1所述的光罩移动系统，所述方法包括：

接收用于承接光罩的升降平台上设置的至少一个第一传感器发送的距离，其中所述距离，为所述光罩与所述第一传感器之间的距离；

利用所述距离，判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差；

当存在偏差时，控制与夹持装置连接并且用于驱动所述夹持装置动作的驱动装置，对所述夹持装置进行驱动，将所述夹持装置夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述驱动装置包括水平驱动装置；

所述距离，为所述光罩与所述第一传感器之间的水平距离；

所述驱动装置还包括竖直驱动装置，所述方法还包括：

接收所述竖直偏移检测装置发送的检测结果，所述检测结果是所述竖直偏移检测装置对所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差的检测记结果；

根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光罩的位置时，控制所述竖直驱动装置在所述竖直方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在所述竖直方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。