CN116819907B - 一种曝光机光罩位置校准方法及系统 - Google Patents

Abstract

一种曝光机光罩位置校准方法及系统，获取测距传感器A到曝光机上反射板的第一距离，及测距传感器B到曝光机上反射板的第二距离；根据第一距离和第二距离的距离差值，及传感器A、B的固定间距，计算当前时刻曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差和Y向偏差，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；通过测距传感器C对曝光机上的第一标志物进行检测，若测距传感器C检测到曝光机上的第一标志物，控制移动平台在X向往左移动；继续通过测距传感器D对曝光机上的第二标志物进行检测，若测距传感器D检测到曝光机上的第二标志物，控制移动平台停止运动。本发明能够实现非接触式的校正方式，减少不必要的经济损失。

Description

一种曝光机光罩位置校准方法及系统

技术领域

本发明属于曝光机技术领域，具体涉及一种曝光机光罩位置校准方法及系统。

背景技术

目前，液晶面板工厂的Array工艺段中，曝光机是核心的制成设备，曝光机需要通过光罩对表面涂有特殊感光材料的玻璃基板进行光刻蚀，从而形成需要的电路。

现阶段，光罩的搬送采用AGV进行，AGV与曝光机进行光罩的交换时，需要满足±1mm的位置精度。而目前主流AGV的定位精度仅能达到±5mm，因此需要额外的校正装置，传统的校正方式采用机械式的对正装置进行，机械对正装置会和光罩盒直接接触，容易对光罩产生损坏、变形。而光罩价值少则数十万、多则数百万，因此产生的损坏、变形都是不可接受的。

发明内容

为此，本发明提供一种曝光机光罩位置校准方法及系统，以解决传统机械对正容易对产生损坏，造成较大经济损失的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种曝光机光罩位置校准方法，包括：

接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；

获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；

根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；

通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；

继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动。

作为曝光机光罩位置校准方法优选方案，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差公式为：

dT=arctan(dX/L)

式中，dT表示光罩位置与标准位置的角度偏差，L表示所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，dX表示第一距离和第二距离的差值。

作为曝光机光罩位置校准方法优选方案，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正过程：

控制所述移动平台进行Y向移动直到Y向偏差为0，控制所述移动平台进行倾斜调整直到角度偏差为0。

作为曝光机光罩位置校准方法优选方案，若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；

若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测。

作为曝光机光罩位置校准方法优选方案，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；

若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。

本发明还提供一种曝光机光罩位置校准系统，包括：

AGV车体控制模块，用于接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；

第一距离获取模块，用于获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；

第二距离获取模块，用于获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；

角度及Y向偏差分析模块，用于根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差；

角度及Y向纠正模块，用于利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；

第一标志物检测处理模块，用于通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；

第二标志物检测处理模块，用于继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动。

作为曝光机光罩位置校准系统优选方案，所述角度及Y向偏差分析模块中，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差公式为：

dT=arctan(dX/L)

式中，dT表示光罩位置与标准位置的角度偏差，L表示所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，dX表示第一距离和第二距离的差值。

作为曝光机光罩位置校准系统优选方案，所述角度及Y向纠正模块中，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正过程：

控制所述移动平台进行Y向移动直到Y向偏差为0，控制所述移动平台进行倾斜调整直到角度偏差为0。

作为曝光机光罩位置校准系统优选方案，还包括第一异常报警模块，用于若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；

所述第二标志物检测处理模块中，若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测。

作为曝光机光罩位置校准系统优选方案，所述第二标志物检测处理模块中，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；

还包括第二异常报警模块，用于若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。

本发明具有如下优点：通过接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动。本发明能够实现非接触式的校正方式，有效减少甚至避免因机械接触对光罩造成的损坏和变形影响，减少不必要的经济损失。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其它的实施附图。

图1为本发明实施例中提供的曝光机光罩位置校准方法流程示意图；

图2为本发明实施例中提供的曝光机光罩位置校准方法技术路线示意图；

图3为本发明实施例中提供的曝光机光罩位置校准方法涉及的AGV车体、移动平台及传感器组合示意图；

图4为本发明实施例中提供的曝光机光罩位置校准方法涉及的第一标志物和第二标志物示意图；

图5为本发明实施例中提供的曝光机光罩位置校准系统架构示意图。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参见图1，本发明实施例1提供一种曝光机光罩位置校准方法，包括以下步骤：

S1、接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；

S2、获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；

S3、根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；

S4、通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；

S5、继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动。

参见图2、图3和图4，本实施例中，在现有AGV车体上加装XYθ移动平台，配合精密的测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D进行光罩位置的校正，达成非接触方式的位置校正系统。

其中，测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D均采用激光传感器，激光传感器本身工作时，先由激光发射二极管对准目标发射激光脉冲，经目标反射后激光向各方向散射，部分散射光返回到传感器接收器，被光学系统接收后成像到雪崩光电二极管上。其中，雪崩光电二极管是一种内部具有放大功能的光学传感器，能检测极其微弱的光信号，并将其转化为相应的电信号。通过记录并处理从光脉冲发出到返回被接收所经历的时间，即可测定目标距离。

本实施例中，XYθ移动平台本身属于现有技术，如相关的XYθ三维电动自动滑台XXY210-H，XYθ移动平台可以实现X向、Y向和倾斜角度θ的调整。

本实施例中，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差公式为：

dT=arctan(dX/L)

式中，dT表示光罩位置与标准位置的角度偏差，L表示所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，dX表示第一距离和第二距离的差值；

利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正过程：

控制所述移动平台进行Y向移动直到Y向偏差为0，控制所述移动平台进行倾斜调整直到角度偏差为0。

具体的，AGV小车移动至曝光机位置后，通过安装在移动平台上的测距传感器A、测距传感器B，分别测量测距传感器A、测距传感器B到安装在曝光机上反射板的第一距离N和第二距离M，根据计算出的第一距离N和第二距离M的距离差值dX，测距传感器A和测距传感器B的固定间距的固定值L，通过公式dT=arctan(（N-M）/L)，可计算出当前时刻光罩位置与标准位置的角度偏差dT，同时，也能计算得出Y方向的位置偏差距离即（N-M）。当得到角度偏差dT和Y方向的位置偏差后，控制移动平台进行Y方向移动及控制移动平台进行倾斜调整，从而实现Y方向和角度偏差的纠正。

其中，为了避免单次测量第一距离N和第二距离M带来的误差，可以对第一距离N和第二距离M进行多次测量取平均值的方式使计算出的角度偏差dT更加精确。即：

dT=arctan(（N1+N2+…+Nn）/n-（M1+M2+…+Mn）/n）/L)

式中，N1，N2，Nn分别表示第一次测量的第一距离，第二次测量的第一距离，第n次测量的第一距离；M1，M2，Mn分别表示第一次测量的第二距离，第二次测量的第二距离，第n次测量的第二距离。

同时，可以根据多次的测量数据汇总和实际的操作数据比较，得出角度偏差dT的修正经验值a，后续测量时直接进行计算修正，即dT=arctan(（N-M）/L)+ a。

本实施例中，在步骤S5，若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测。

参见图4，具体的，第一标志物和第二标志物为一宽一窄两个反光板。通过测距传感器C检出F反光板，其宽度为10mm，确认AGV车体初定位位置满足要求。然后再慢慢往复移动平台X轴，通过测距传感器D检出E反光板，其宽度为1mm，实现X方向±1mm精度的位置纠偏。进而，整体上得出光罩位置在XYθ方向的位置偏差，通过XYθ平台进行精确校正，实现光罩位置的校正。

参见图2，本实施例中，在步骤S4，若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；在步骤S5，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。

具体的，若测距传感器C一直未检测到曝光机上的第一标志物，或测距传感器D一直未检测到所述曝光机上的第二标志物，说明第一标志物和第二标志物的位置异常，进行位置异常报警，提醒工作人员进行检查。

综上所述，本发明通过接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动。若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测；控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。本发明能够实现非接触式的校正方式，有效减少甚至避免因机械接触对光罩造成的损坏和变形影响，减少不必要的经济损失。

需要说明的是，本公开实施例的方法可以由单个设备执行，例如一台计算机或服务器等。本实施例的方法也可以应用于分布式场景下，由多台设备相互配合来完成。在这种分布式场景的情况下，这多台设备中的一台设备可以只执行本公开实施例的方法中的某一个或多个步骤，这多台设备相互之间会进行交互以完成所述的方法。

需要说明的是，上述对本公开的一些实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作或步骤可以按照不同于上述实施例中的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序才能实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理也是可以的或者可能是有利的。

实施例2

参见图5，本发明实施例2还提供一种曝光机光罩位置校准系统，包括：

AGV车体控制模块1，用于接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；

第一距离获取模块2，用于获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；

第二距离获取模块3，用于获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；

角度及Y向偏差分析模块4，用于根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差；

角度及Y向纠正模块5，用于利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；

第一标志物检测处理模块6，用于通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；

第二标志物检测处理模块7，用于继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动。

本实施例中，所述角度及Y向偏差分析模块4中，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差公式为：

dT=arctan(dX/L)

式中，dT表示光罩位置与标准位置的角度偏差，L表示所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，dX表示第一距离和第二距离的差值。

本实施例中，所述角度及Y向纠正模块5中，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正过程：

控制所述移动平台进行Y向移动直到Y向偏差为0，控制所述移动平台进行倾斜调整直到角度偏差为0。

本实施例中，还包括第一异常报警模块8，用于若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；

所述第二标志物检测处理模块7中，若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测。

本实施例中，所述第二标志物检测处理模块7中，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；

还包括第二异常报警模块9，用于若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。

需要说明的是，上述系统各模块之间的信息交互、执行过程等内容，由于与本申请实施例1中的方法实施例基于同一构思，其带来的技术效果与本申请方法实施例相同，具体内容可参见本申请前述所示的方法实施例中的叙述，此处不再赘述。

实施例3

本发明实施例3提供一种非暂态计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有曝光机光罩位置校准方法的程序代码，所述程序代码包括用于执行实施例1或其任意可能实现方式的曝光机光罩位置校准方法的指令。

计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质，(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质（例如，DVD）、或者半导体介质（例如固态硬盘（SolidState Disk、SSD））等。

实施例4

本发明实施例4提供一种电子设备，包括：存储器和处理器；

所述处理器和所述存储器通过总线完成相互间的通信；所述存储器存储有可被所述处理器执行的程序指令，所述处理器调用所述程序指令能够执行实施例1或其任意可能实现方式的曝光机光罩位置校准方法。

具体的，处理器可以通过硬件来实现也可以通过软件来实现，当通过硬件实现时，该处理器可以是逻辑电路、集成电路等；当通过软件来实现时，该处理器可以是一个通用处理器，通过读取存储器中存储的软件代码来实现，该存储器可以集成在处理器中，可以位于所述处理器之外，独立存在。

在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本发明实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(DSL))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。

显然，本领域的技术人员应该明白，上述的本发明的各模块或各步骤可以用通用的计算装置来实现，它们可以集中在单个的计算装置上，或者分布在多个计算装置所组成的网络上，可选地，它们可以用计算装置可执行的程序代码来实现，从而，可以将它们存储在存储装置中由计算装置来执行，并且在某些情况下，可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤，或者将它们分别制作成各个集成电路模块，或者将它们中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。这样，本发明不限制于任何特定的硬件和软件结合。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (4)

1.一种曝光机光罩位置校准方法，其特征在于，包括：

接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；

获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；

根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；

通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；

继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动；

计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差公式为：

dT＝arctan(dX/L)，

式中，dT表示光罩位置与标准位置的角度偏差，L表示所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，dX表示第一距离和第二距离的差值；

通过安装在移动平台上的测距传感器A、测距传感器B，分别测量测距传感器A、测距传感器B到安装在曝光机上反射板的第一距离N和第二距离M，根据计算出的第一距离N和第二距离M的距离差值dX，测距传感器A和测距传感器B的固定间距的固定值L；

对第一距离N和第二距离M进行测量取平均值，即：

dT＝arctan((N1+N2+…+Nn)/n-(M1+M2+…+Mn)/n)/L)，

式中，N1，N2，Nn分别表示第一次测量的第一距离，第二次测量的第一距离，第n次测量的第一距离；M1，M2，Mn分别表示第一次测量的第二距离，第二次测量的第二距离，第n次测量的第二距离；

根据测量数据汇总和实际的操作数据比较，得出角度偏差dT的修正经验值a，后续测量时直接进行计算修正，即dT＝arctan((N-M)/L)+a；

若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；

若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测；

控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；

若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机光罩位置校准方法，其特征在于，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正过程：

控制所述移动平台进行Y向移动直到Y向偏差为0，控制所述移动平台进行倾斜调整直到角度偏差为0。

3.一种曝光机光罩位置校准系统，其特征在于，包括：

AGV车体控制模块，用于接收AGV车体的移动控制指令，根据移动控制指令将所述AGV车体移动至曝光机位置，所述AGV车体上集成有移动平台，所述移动平台设有测距传感器A、测距传感器B、测距传感器C和测距传感器D；

第一距离获取模块，用于获取所述测距传感器A到所述曝光机上反射板的第一距离；

第二距离获取模块，用于获取所述测距传感器B到所述曝光机上反射板的第二距离；

角度及Y向偏差分析模块，用于根据第一距离和第二距离的距离差值，及所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差，并计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的Y向偏差；

角度及Y向纠正模块，用于利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正；

第一标志物检测处理模块，用于通过所述测距传感器C对所述曝光机上的第一标志物进行检测，若所述测距传感器C检测到所述曝光机上的第一标志物，控制所述移动平台在X向往左移动；

第二标志物检测处理模块，用于继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台停止运动；

所述角度及Y向偏差分析模块中，计算当前时刻所述曝光机的光罩位置与标准位置的角度偏差公式为：

dT＝arctan(dX/L)，

式中，dT表示光罩位置与标准位置的角度偏差，L表示所述测距传感器A和所述测距传感器B的固定间距，dX表示第一距离和第二距离的差值；

通过安装在移动平台上的测距传感器A、测距传感器B，分别测量测距传感器A、测距传感器B到安装在曝光机上反射板的第一距离N和第二距离M，根据计算出的第一距离N和第二距离M的距离差值dX，测距传感器A和测距传感器B的固定间距的固定值L；

对第一距离N和第二距离M进行测量取平均值，即：

dT＝arctan((N1+N2+…+Nn)/n-(M1+M2+…+Mn)/n)/L)，

式中，N1，N2，Nn分别表示第一次测量的第一距离，第二次测量的第一距离，第n次测量的第一距离；M1，M2，Mn分别表示第一次测量的第二距离，第二次测量的第二距离，第n次测量的第二距离；

根据测量数据汇总和实际的操作数据比较，得出角度偏差dT的修正经验值a，后续测量时直接进行计算修正，即dT＝arctan((N-M)/L)+a；

还包括第一异常报警模块，用于若所述测距传感器C未检测到所述曝光机上的第一标志物，进行第一标志物位置异常报警；

所述第二标志物检测处理模块中，若所述测距传感器D未检测到所述曝光机上的第二标志物，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，继续通过所述测距传感器D对所述曝光机上的第二标志物进行检测；

所述第二标志物检测处理模块中，控制所述移动平台在X向往右移动预定距离后，若所述测距传感器D检测到所述曝光机上的第二标志物，再控制所述移动平台停止运动；

还包括第二异常报警模块，用于若所述测距传感器D仍未检测到所述曝光机上的第二标志物，进行第二标志物位置异常报警。

4.根据权利要求3所述的一种曝光机光罩位置校准系统，其特征在于，所述角度及Y向纠正模块中，利用得到的角度偏差和Y向偏差对移动平台进行补正过程：

控制所述移动平台进行Y向移动直到Y向偏差为0，控制所述移动平台进行倾斜调整直到角度偏差为0。