CN116637458B - 一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺及设备 - Google Patents
一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺及设备 Download PDFInfo
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Abstract
本发明属于废气治理技术领域，尤其公开了一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺及设备，该泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备包括第一半框和第二半框。本发明通过转筒转动时收卷卷条，卷条在收卷过程中使得滤框挤压弹簧，直至卷条无法继续收卷在转筒表面时，转筒利用卷条和滤框带动内环和外环同步转动，提高了抽取废气的速度；转筒反向转动时，弹簧的弹力使得滤框的开口逐渐移动到滤筒的开口处时，滤框的环边与滤芯配合将废气颗粒残渣从滤筒内部推出，避免废气颗粒残渣堵塞滤筒的开口处，避免因堵塞导致过滤结构无法继续过滤废气，进一步提高了对废气的过滤效率。
Description
技术领域
本发明属于废气治理技术领域，特别涉及一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺及设备。
背景技术
VOCs是挥发性有机化合物。美国联邦环保署对VOCs的定义：挥发性有机化合物，是除CO、CO2、H2CO3、金属碳化物、金属碳酸盐和碳酸铵外，任何参加大气光化学反应的碳化合物。
活性炭吸附技术因其微孔吸附效应在VOCs废气处理领域具有很强的广谱性，可处理各种成分的VOCs废气。通过筒状的过滤设备对VOCs废气进行处理时，VOCs废气中的废气颗粒残渣容易堵塞筒状过滤设备的进气口，降低了过滤设备的过滤效率。
因此，发明一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺及设备来解决上述问题很有必要。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺及设备，以解决上述背景技术中提出的问题：
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，包括第一半框和第二半框，且第一半框和第二半框的开口侧边上均粘贴有双层胶圈，第一半框和第二半框均利用双层胶圈对应卡接设置，所述第一半框和第二半框中心处对应贯穿有转筒，所述转筒一端外接抽气泵输入端，转筒另一端外接电机输出端，所述转筒表面套接有内环，所述内环外侧对应套接有外环，所述内环与外环之间设置有过滤废气的过滤结构，所述转筒圆周外侧面环形等距设置有多个通孔，抽气泵通过转筒表面的通孔与内环内侧对应连通，所述第一半框端面设置有进气管，所述进气管用于将废气通入到第一半框和第二半框之间。
进一步的，所述过滤结构包括多个滤筒，所述内环圆周外侧面环形设置有多个通套，所述滤筒内侧端螺旋限定在通套内部，且滤筒内侧端中心处设置有进气孔，所述滤筒外侧端对应贯穿外环，废气通过滤筒的进气孔进入到内环内侧。
进一步的，所述滤筒外侧端内部套接有滤框，所述滤框由环边和栅格状底板组合而成，环边的开口处与滤筒的开口对应，且滤框的环边圆周外侧面与滤筒内侧壁紧密贴合，所述滤框的底板中心处利用卷条与转筒圆周外侧面连接，且卷条对应贯穿滤筒的进气孔，所述滤框的底板利用弹簧与滤筒内侧底面连接，弹簧套接于卷条表面，所述滤框内部对应卡接有滤芯。
进一步的，所述第一半框和第二半框的前后两侧面均设置有凸块，第一半框和第二半框的凸块相对设置，第一半框和第二半框前后两侧均设置有螺杆，螺杆对应贯穿两个相对设置的凸块，且第一半框和第二半框利用螺杆与凸块配合对应限定。
进一步的，所述第一半框和第二半框内部均设置有滑板，两个滑板内侧面分别贴合在外环两端面，所述转筒对应依次贯穿两个滑板的中心处，进气管内侧端依次贯穿第一半框以及第一半框内部的滑板，所述滑板外侧面的四个拐角处均设置有滑套，且第一半框和第二半框内部均设置有多个滑套对应的内杆，滑套对应套接于内杆表面，所述内杆表面设置有弹性件。
进一步的，所述滑板内侧面设置有内框，所述内框的四个拐角均利用螺钉与滑板内侧面连接，所述第一半框和第二半框的内侧开口处均设置有框边，且内框利用柔性套与框边内侧壁连接，两个滑板与两个柔性套配合形成套筒件，且套筒件对应套接于外环外侧。
进一步的，所述第一半框和第二半框的框边内侧均设置有限定环，所述限定环对应套接于外环外侧，且限定环圆周外侧面利用连接杆与框边连接。
本发明还提供一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺，所述治理工艺应用上述所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，包括以下步骤：
S1、第一半框和第二半框均利用限定环对应套接于外环外侧时，此时转筒两端分别贯穿第一半框和第二半框，将转筒两端分别连接电机输出端和抽气泵输入端；
S2、利用螺杆与凸块的配合，第一半框和第二半框的开口处均利用双层胶圈卡扣配合，完成第一半框和第二半框之间的密封处理；
S3、废气通过进气管通入到第一半框内侧后，废气迅速在蔓延在第一半框和第二半框内侧；
S4、启动抽气泵，由于外环两端面分别与两个滑板内侧面相对贴合，废气通过过滤结构净化处理后进入到内环内侧，处理后的废气通过通孔和转筒进入到抽气泵内部。
本发明的技术效果和优点：
1、本发明通过转筒转动时收卷卷条，卷条在收卷过程中使得滤框挤压弹簧，直至卷条无法继续收卷在转筒表面时，转筒利用卷条和滤框带动内环和外环同步转动，提高了抽取废气的速度；转筒反向转动时，弹簧的弹力使得滤框的开口逐渐移动到滤筒的开口处时，滤框的环边与滤芯配合将废气颗粒残渣从滤筒内部推出，避免废气颗粒残渣堵塞滤筒的开口处，避免因堵塞导致过滤结构无法继续过滤废气，进一步提高了对废气的过滤效率。
2、本发明通过滑板移动时，滑板利用内框拉扯柔性套内侧端，直至套筒件对外环进行密封后，废气通过进气管通入到套筒件内部，废气中的油液会残留在套筒件内部，避免废气中的油液侵蚀第一半框和第二半框，且滤框的环边与滤芯配合将废气颗粒残渣从滤筒内部推出，转动的外环直接将废气颗粒残渣甩在套筒件内部；利用螺杆和凸块将第一半框和第二半框分离后，拧下螺钉，将框边和柔性套从第一半框和第二半框内部取出后，将新的框边和柔性套分别安装在第一半框和第二半框内部，柔性套内侧端利用粘胶与框边粘贴，完成对套筒件的快速更换。
附图说明
图1是本发明实施例的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备整体结构示意图；
图2是本发明实施例的外环与内环对应示意图；
图3是本发明实施例的过滤结构整体示意图；
图4是本发明实施例的第一半框内部部件示意图；
图5是本发明实施例的第二半框内部部件示意图；
图中：1、第一半框；2、第二半框；3、双层胶圈；4、转筒；5、抽气泵；6、内环；7、外环；8、通孔；9、进气管；10、滤筒；11、通套；12、滤框；13、卷条；14、弹簧；15、滤芯；16、凸块；17、螺杆；18、滑板；19、滑套；20、内杆；21、弹性件；22、内框；23、框边；24、柔性套；25、限定环。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合实施例对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。
本发明提供了一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，如图1至图4所示，包括第一半框1和第二半框2，且第一半框1和第二半框2的开口侧边上均粘贴有双层胶圈3，第一半框1和第二半框2均利用双层胶圈3对应卡接设置，所述第一半框1和第二半框2中心处对应贯穿有转筒4，所述转筒4一端外接抽气泵5输入端，转筒4另一端外接电机输出端，所述转筒4表面套接有内环6，所述内环6外侧对应套接有外环7，所述内环6与外环7之间设置有过滤废气的过滤结构，所述转筒4圆周外侧面环形等距设置有多个通孔8，抽气泵5通过转筒4表面的通孔8与内环6内侧对应连通，所述第一半框1端面设置有进气管9，所述进气管9用于将废气通入到第一半框1和第二半框2之间。通过进气管9将废气通入到第一半框1内侧时，废气在第一半框1和第二半框2内侧弥漫，启动电机和抽气泵5，废气通过过滤结构进入到内环6内侧，抽气泵5利用转筒4表面的通孔8抽取内环6内侧的废气，抽气泵5工作时，电机工作利用转筒4带动过滤结构转动时，过滤结构带动外环7和内环6在第一半框1和第二半框2内侧同步转动，转动的过滤结构能够在转动过程中快速抽取第一半框1和第二半框2内侧的废气，提高了对废气的抽取和过滤程度。
在图2和图3中，所述过滤结构包括多个滤筒10，所述内环6圆周外侧面环形设置有多个通套11，所述滤筒10内侧端螺旋限定在通套11内部，且滤筒10内侧端中心处设置有进气孔，所述滤筒10外侧端对应贯穿外环7，废气通过滤筒10的进气孔进入到内环6内侧。转筒4在电机的带动下在内环6内侧转动时，转筒4利用过滤结构带动内环6和外环7在第一半框1和第二半框2内侧转动，多个滤筒10内侧端螺旋限定在通套11内部后，多个滤筒10外侧端对应贯穿外环7，利用多个滤筒10的限定，保证内环6和外环7一体化，避免内环6和外环7在转动过程中产生错位波动，保证内环6、外环7以及过滤结构在转动过程中的稳定性。
在图2和图3中，所述滤筒10外侧端内部套接有滤框12，所述滤框12由环边和栅格状底板组合而成，环边的开口处与滤筒10的开口对应，且滤框12的环边圆周外侧面与滤筒10内侧壁紧密贴合，所述滤框12的底板中心处利用卷条13与转筒4圆周外侧面连接，且卷条13对应贯穿滤筒10的进气孔，所述滤框12的底板利用弹簧14与滤筒10内侧底面连接，弹簧14套接于卷条13表面，所述滤框12内部对应卡接有滤芯15。抽气泵5工作时，废气通过滤芯15和滤框12的栅格状底板的配合过滤，能够吸取废气中的有毒物质和油液，形成过滤气体，过滤气体通过滤筒10的进气孔进入到内环6内侧，过滤气体通过通孔8和转筒4进入到抽气泵5的过程中，过滤气体在外环7内侧弥漫。
废气在过滤时，电机利用转筒4带动抽气泵5同步转动，转筒4转动时收卷卷条13，卷条13在收卷过程中拉扯滤框12，滤框12进入到滤筒10内部的同时，滤框12挤压弹簧14，直至卷条13无法继续收卷在转筒4表面时，转筒4利用卷条13和滤框12带动内环6和外环7同步转动，转动的滤筒10能够快速的抽取第一半框1和第二半框2内侧的废气。
电机工作使得转筒4反向转动时，弹簧14的弹力通过滤框12施加在卷条13外侧端，从而使得卷条13从转筒4表面拉出，滤框12的开口逐渐移动到滤筒10的开口处时，滤框12的环边在滑动过程中刮取滤筒10内侧壁的废气颗粒残渣，滤框12的环边与滤芯15配合将废气颗粒残渣从滤筒10内部推出，避免废气颗粒残渣堵塞滤筒10的开口处，避免因堵塞导致过滤结构无法继续过滤废气。
在图1中，所述第一半框1和第二半框2的前后两侧面均设置有凸块16，第一半框1和第二半框2的凸块16相对设置，第一半框1和第二半框2前后两侧均设置有螺杆17，螺杆17对应贯穿两个相对设置的凸块16，且第一半框1和第二半框2利用螺杆17与凸块16配合对应限定。将第一半框1和第二半框2的开口对应时，利用螺杆17与凸块16的配合，第一半框1和第二半框2的开口处均利用双层胶圈3卡扣配合，完成第一半框1和第二半框2之间的密封处理，避免通入的废气通过第一半框1和第二半框2之间的缝隙排出，完成对废气密封处理。
在图1和图4中，所述第一半框1和第二半框2内部均设置有滑板18，两个滑板18内侧面分别贴合在外环7两端面，所述转筒4对应依次贯穿两个滑板18的中心处，进气管9内侧端依次贯穿第一半框1以及第一半框1内部的滑板18，所述滑板18外侧面的四个拐角处均设置有滑套19，且第一半框1和第二半框2内部均设置有多个滑套19对应的内杆20，滑套19对应套接于内杆20表面，所述内杆20表面设置有弹性件21。第一半框1和第二半框2在螺杆17和凸块16的限定下对应连接后，此时外环7两端面分别挤压第一半框1和第二半框2内部的滑板18内侧面，滑板18在外环7的挤压下在第一半框1和第二半框2内部移动，滑板18外侧面的滑套19挤压弹性件21的同时，滑套19也逐渐套接于内杆20表面，利用内杆20表面的弹性件21使得滑板18内侧面与外环7端面贴合，避免废气进入进入到外环7内侧。
在图1和图4中，所述滑板18内侧面设置有内框22，所述内框22的四个拐角均利用螺钉与滑板18内侧面连接，所述第一半框1和第二半框2的内侧开口处均设置有框边23，且内框22利用柔性套24与框边23内侧壁连接，两个滑板18与两个柔性套24配合形成套筒件，且套筒件对应套接于外环7外侧。滑板18移动时，滑板18利用内框22拉扯柔性套24内侧端，直至套筒件对外环7进行密封后，废气通过进气管9通入到套筒件内部，废气中的油液会残留在套筒件内部，避免废气中的油液侵蚀第一半框1和第二半框2，且滤框12的环边与滤芯15配合将废气颗粒残渣从滤筒10内部推出，转动的外环7直接将废气颗粒残渣甩在套筒件内部。利用螺杆17和凸块16将第一半框1和第二半框2分离后，拧下螺钉，将框边23和柔性套24从第一半框1和第二半框2内部取出后，将新的框边23和柔性套24分别安装在第一半框1和第二半框2内部，柔性套24内侧端利用粘胶与框边23粘贴，完成对套筒件的快速更换。
在图4和图5中，所述第一半框1和第二半框2的框边23内侧均设置有限定环25，所述限定环25对应套接于外环7外侧，且限定环25圆周外侧面利用连接杆与框边23连接。第一半框1和第二半框2均利用下限定环25对应套接于外环7两端表面后，利用两个限定环25避免外环7在第一半框1和第二半框2内部肆意晃动，进一步提高外环7、内环6以及过滤结构在第一半框1和第二半框2内部的稳定性。
本发明还提供一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺，所述治理工艺应用上述所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，如图1至图5所示，包括以下步骤：
S1、第一半框1和第二半框2均利用限定环25对应套接于外环7外侧时，此时转筒4两端分别贯穿第一半框1和第二半框2，将转筒4两端分别连接电机输出端和抽气泵5输入端；
S2、利用螺杆17与凸块16的配合，第一半框1和第二半框2的开口处均利用双层胶圈3卡扣配合，完成第一半框1和第二半框2之间的密封处理；
S3、废气通过进气管9通入到第一半框1内侧后，废气迅速在蔓延在第一半框1和第二半框2内侧；
S4、启动抽气泵5，由于外环7两端面分别与两个滑板18内侧面相对贴合，废气通过过滤结构净化处理后进入到内环6内侧，处理后的废气通过通孔8和转筒4进入到抽气泵5内部。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制。
Claims (6)
1.一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，其特征在于：包括第一半框（1）和第二半框（2），且第一半框（1）和第二半框（2）的开口侧边上均粘贴有双层胶圈（3），第一半框（1）和第二半框（2）均利用双层胶圈（3）对应卡接设置，所述第一半框（1）和第二半框（2）中心处对应贯穿有转筒（4），所述转筒（4）一端外接抽气泵（5）输入端，转筒（4）另一端外接电机输出端，所述转筒（4）表面套接有内环（6），所述内环（6）外侧对应套接有外环（7），所述内环（6）与外环（7）之间设置有过滤废气的过滤结构，所述转筒（4）圆周外侧面环形等距设置有多个通孔（8），抽气泵（5）通过转筒（4）表面的通孔（8）与内环（6）内侧对应连通，所述第一半框（1）端面设置有进气管（9），所述进气管（9）用于将废气通入到第一半框（1）和第二半框（2）之间；
所述过滤结构包括多个滤筒（10），所述内环（6）圆周外侧面环形设置有多个通套（11），所述滤筒（10）内侧端螺旋限定在通套（11）内部，且滤筒（10）内侧端中心处设置有进气孔，所述滤筒（10）外侧端对应贯穿外环（7），废气通过滤筒（10）的进气孔进入到内环（6）内侧；
所述滤筒（10）外侧端内部套接有滤框（12），所述滤框（12）由环边和栅格状底板组合而成，环边的开口处与滤筒（10）的开口对应，且滤框（12）的环边圆周外侧面与滤筒（10）内侧壁紧密贴合，所述滤框（12）的底板中心处利用卷条（13）与转筒（4）圆周外侧面连接，且卷条（13）对应贯穿滤筒（10）的进气孔，所述滤框（12）的底板利用弹簧（14）与滤筒（10）内侧底面连接，弹簧（14）套接于卷条（13）表面，所述滤框（12）内部对应卡接有滤芯（15）。
2.根据权利要求1所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，其特征在于：
所述第一半框（1）和第二半框（2）的前后两侧面均设置有凸块（16），第一半框（1）和第二半框（2）的凸块（16）相对设置，第一半框（1）和第二半框（2）前后两侧均设置有螺杆（17），螺杆（17）对应贯穿两个相对设置的凸块（16），且第一半框（1）和第二半框（2）利用螺杆（17）与凸块（16）配合对应限定。
3.根据权利要求2所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，其特征在于：
所述第一半框（1）和第二半框（2）内部均设置有滑板（18），两个滑板（18）内侧面分别贴合在外环（7）两端面，所述转筒（4）对应依次贯穿两个滑板（18）的中心处，进气管（9）内侧端依次贯穿第一半框（1）以及第一半框（1）内部的滑板（18），所述滑板（18）外侧面的四个拐角处均设置有滑套（19），且第一半框（1）和第二半框（2）内部均设置有多个滑套（19）对应的内杆（20），滑套（19）对应套接于内杆（20）表面，所述内杆（20）表面设置有弹性件（21）。
4.根据权利要求3所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，其特征在于：
所述滑板（18）内侧面设置有内框（22），所述内框（22）的四个拐角均利用螺钉与滑板（18）内侧面连接，所述第一半框（1）和第二半框（2）的内侧开口处均设置有框边（23），且内框（22）利用柔性套（24）与框边（23）内侧壁连接，两个滑板（18）与两个柔性套（24）配合形成套筒件，且套筒件对应套接于外环（7）外侧。
5.根据权利要求4所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，其特征在于：
所述第一半框（1）和第二半框（2）的框边（23）内侧均设置有限定环（25），所述限定环（25）对应套接于外环（7）外侧，且限定环（25）圆周外侧面利用连接杆与框边（23）连接。
6.一种泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理工艺，其特征在于：所述治理工艺应用权利要求5所述的泛半导体行业含油低浓度VOCs废气治理设备，包括以下步骤：
S1、第一半框（1）和第二半框（2）均利用限定环（25）对应套接于外环（7）外侧时，此时转筒（4）两端分别贯穿第一半框（1）和第二半框（2），将转筒（4）两端分别连接电机输出端和抽气泵（5）输入端；
S2、利用螺杆（17）与凸块（16）的配合，第一半框（1）和第二半框（2）的开口处均利用双层胶圈（3）卡扣配合，完成第一半框（1）和第二半框（2）之间的密封处理；
S3、废气通过进气管（9）通入到第一半框（1）内侧后，废气迅速在蔓延在第一半框（1）和第二半框（2）内侧；
S4、启动抽气泵（5），由于外环（7）两端面分别与两个滑板（18）内侧面相对贴合，废气通过过滤结构净化处理后进入到内环（6）内侧，处理后的废气通过通孔（8）和转筒（4）进入到抽气泵（5）内部。
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