CN116609909A - 致动器 - Google Patents

Abstract

一种用于使光学要素振动的致动器，即使在光学要素以比较高的频率连续地振动的情况下，也能够提高作为保持光学要素的可动体的转动支点的支点部的耐久性。在致动器(1)中，作为可动体(3)相对于固定体(4)转动的支点的支点部(6)具备陶瓷制的球体(11)、安装在可动体上并用于保持球体的球体保持部件(12)、以及安装在固定体上的球体支撑部件(13)。球体配置在形成为有底筒状的球体保持部件的筒部的内周侧，在球体保持部件的底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于使配置在筒部的内周侧的球体的一部分配置在球体保持部件的外部。形成在球体支撑部件上的凹曲面状的接触面以规定的接触压力与配置在球体保持部件外部的球体的一部分接触。

Description

致动器

技术领域

本发明涉及一种用于使光学要素振动的致动器。

背景技术

以往，已知有用于使透射投射光的玻璃板(光学玻璃)振动的像素偏移装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的像素偏移装置装设于投影仪。该像素偏移装置具备固定玻璃板的玻璃框架和可转动地保持玻璃框架的基座。玻璃框架和基座形成为四边形的框状。玻璃板配置在玻璃框架的内周侧。玻璃框架配置在基座的内周侧。

在专利文献1所记载的像素偏移装置中，在玻璃框架与基座之间配置有成为玻璃框架相对于基座转动的支点的轴承及芯轴。芯轴以在呈四边形框状的玻璃框架的一个对角线上向玻璃框架的外周侧突出的方式固定于玻璃框架。轴承在呈四边形框状的基座的一个对角线上的角部固定在基座上。轴承是形成为圆筒状的滑动轴承。芯轴插入到轴承的内周侧。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-215466号公报

发明内容

在专利文献1所记载的像素偏移装置中，玻璃框架与玻璃板一起以比较高的频率连续地振动。例如，在该像素偏移装置中，玻璃框架以60Hz连续振动。因此，在该像素偏移装置中，优选提高成为玻璃框架相对于基座转动的支点的支点部的耐久性。

因此，本发明的课题在于提供一种用于使光学要素振动的致动器，即使在光学要素以比较高的频率连续振动的情况下，也能够提高作为保持光学要素的可动体的转动支点的支点部的耐久性。

为了解决上述课题，本发明的致动器的特征在于，具备：可动体，其保持光学要素；固定体，其形成为在内周侧配置有可动体的框状，并且将可动体保持为能够转动；磁驱动机构，其使可动体在可动体相对于固定体倾斜的方向上转动；以及支点部，其成为可动体相对于固定体转动的支点，支点部具备：陶瓷制的球体；球体保持部件，其安装于可动体和固定体中的任意一方，并且用于保持球体；以及球体支撑部件，其形成有以规定的接触压力与球体的一部分接触的凹曲面状的接触面，并且安装于可动体和固定体中的任意另一方，球体保持部件形成为有底的筒状，该有底的筒状具有形成为筒状的筒部和与筒部的一端连接的底部，球体配置于筒部的内周侧，在底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于使配置于筒部的内周侧的球体的一部分配置于球体保持部件的外部，接触面与配置于球体保持部件的外部的球体的一部分接触。

在本发明的致动器中，支点部具备陶瓷制的球体。因此，在本发明中，即使在光学要素以比较高的频率连续振动的情况下，也能够提高支点部的耐久性。另外，在本发明中，用于保持球体的球体保持部件形成为有底的筒状，该有底的筒状具有将球体配置在内周侧的筒部和与筒部的一端连接的底部，在底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于将配置在筒部的内周侧的球体的一部分配置在球体保持部件的外部。因此，在本发明中，即使球体由陶瓷形成，另外，即使球体的外径变小，也能够使用球体保持部件将一部分在球体保持部件的外部与球体支撑部件的接触面接触的球体容易地安装在可动体或固定体上。

在本发明中，例如，光学要素形成为平板状，支点部配置在与光学要素的厚度方向正交的第一正交方向上的可动体的两端侧。

在本发明中，例如，球体保持部件安装于可动体，球体支撑部件安装于固定体，在可动体上形成有朝向第一正交方向的两侧突出并且插入筒部的突起部，在突起部的前端面上形成有配置球体的一部分的凹部，接触面从第一正交方向的外侧与球体的一部分接触。在该情况下，由于在突起部的前端面形成有配置球体的一部分的凹部，因此能够使安装在可动体上的球体的状态稳定。

在本发明中，优选球体支撑部件是形成为U形状的板簧，从光学要素的厚度方向观察时的板簧的形状为U形状。若这样构成，则与从与光学要素的厚度方向和第一正交方向正交的方向观察时的板簧的形状为U形状的情况相比，能够在光学要素的厚度方向上使板簧小型化。因此，能够在光学要素的厚度方向上使致动器小型化。

在本发明中，也可以是，致动器具备板簧，该板簧具有分别配置在第一正交方向上的可动体的两端侧的球体支撑部件和连接两个球体支撑部件的平板状的连接部，连接部形成为框状，并且固定在可动体或固定体的光学要素的厚度方向上的一侧的面上。

在这种情况下，由于两个球体支撑部件通过连接部而一体化，因而与设置有分体形成的两个球体支撑部件的情况相比，能够削减致动器的部件数量。另外，在这种情况下，由于通过将连接部固定在可动体或固定体上而将两个球体支撑部件安装在可动体或固定体上，因此与将分体形成的两个球体支撑部件分别固定在可动体或固定体上的情况相比，能够削减致动器的组装工时。

而且，在这种情况下，通过将框状的连接部固定于可动体或固定体，两个球体支撑部件安装于可动体或固定体，因此，能够确保连接部相对于可动体或固定体的固定面积，能够提高球体支撑部件相对于可动体或固定体的安装强度。另外，在这种情况下，两个球体支撑部件通过连接部而一体化，两个球体支撑部件的相对位置的偏差由板簧的部件精度决定，因此，与分体形成的两个球体支撑部件分别固定在可动体或固定体上的情况相比，能够抑制两个球体支撑部件的相对位置的偏差。

在本发明中，优选在球体支撑部件上形成有加强用的肋。若这样构成，则即使球体支撑部件的厚度变薄，也能够确保球体支撑部件的强度。

如上所述，在本发明中，在用于使光学要素振动的致动器中，即使在光学要素以比较高的频率连续地振动的情况下，也能够提高作为保持光学要素的可动体的转动支点的支点部的耐久性。

附图说明

图1是本发明实施方式的致动器的立体图。

图2是图1所示的致动器的俯视图。

图3是图1所示的致动器的分解立体图。

图4的(A)是图2的E-E截面的剖视图，图4(B)的是图2的F-F截面的剖视图。

图5是图3所示的球体、球体保持部件以及球体支撑部件的放大图。

图6是用于说明图2的G部的结构的放大图。

图7是本发明其他实施方式的板簧的图，(A)是俯视图，(B)是立体图。

图8是用于说明本发明其他实施方式的支点部的结构的俯视图。

图9是图7的(B)的J部的放大图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(致动器的整体结构)

图1是本发明实施方式的致动器1的立体图。图2是图1所示的致动器1的俯视图。图3是图1所示的致动器1的分解立体图。

在以下的说明中，如图1等所示，将相互正交的三个方向分别设为X方向、Y方向及Z方向，将X方向设为左右方向，将Y方向设为前后方向，将Z方向设为上下方向。另外，将作为左右方向的一侧的图1等的X1方向侧设为“右”侧，将作为其相反侧的图1等的X2方向侧设为“左”侧，将作为前后方向的一侧的图1等的Y1方向侧设为“前”侧，将作为其相反侧的图1等的Y2方向侧设为“后”侧，将作为上下方向的一侧的图1等的Z1方向侧设为“上”侧，将作为其相反侧的图1等的Z2方向侧设为“下”侧。

本实施方式的致动器1是用于使作为光学要素的光学玻璃2振动的装置，装设在投影仪中使用。光学玻璃2是具有光的透过性的玻璃板，形成为正方形的平板状。光学玻璃2构成投影仪的投影光学系统的一部分。为了提高投影仪投影的图像的图像质量，致动器1使光学玻璃2以规定的频率振动一定角度，周期性地改变光学玻璃2的姿势。例如，致动器1使光学玻璃2以60Hz振动。

致动器1整体形成为上下方向的厚度薄的扁平的长方体状。致动器1具备保持光学玻璃2的可动体3和可转动地保持可动体3的固定体4。可动体3和固定体4形成为框状。光学玻璃2配置在可动体3的内周侧。可动体3配置在固定体4的内周侧。另外，致动器1具备：磁驱动机构5，其使可动体3向可动体3相对于固定体4倾斜的方向转动而使光学玻璃2振动；支点部6，其成为可动体3相对于固定体4转动的支点；以及保持用磁铁7及磁性板8、9，其用于在可动体3相对于固定体4的转动方向即可动体转动方向上将可动体3相对于固定体4保持在固定位置。

在本实施方式中，在不向构成磁驱动机构5的一部分的后述驱动用线圈16提供电流时(即，驱动用线圈16为非通电状态时)，在可动体转动方向上，可动体3相对于固定体4配置在规定的基准位置。在可动体转动方向上，当可动体3相对于固定体4配置在基准位置时，光学玻璃2的厚度方向与上下方向一致。

另外，在可动体转动方向上，当可动体3相对于固定体4配置在基准位置时，在装设于投影仪的致动器1中，光学玻璃2的厚度方向与投影仪的投影光学系统的光轴方向一致，并且投影仪的投影光学系统的光轴通过光学玻璃2的中心。另外，光学玻璃2振动时的可动体3相对于固定体4的转动角度例如小于0.5°,非常小。因此，无论光学玻璃2是否振动，光学玻璃2的厚度方向都与上下方向大致一致。

当从固定体4的外周侧观察时，可动体3能够在可动体3相对于固定体4倾斜的方向上转动。另外，可动体3能够以与光学玻璃2的厚度方向正交的第一正交方向(图2的V方向)为转动的轴向相对于固定体4转动。即，可动体3能够以将第一正交方向作为轴线方向的轴线L1(参照图2)为转动中心相对于固定体4转动。第一正交方向与上下方向正交。另外，在从上侧观察时，第一正交方向为相对于前后方向向图2的顺时针方向偏移45°的方向。当从光学玻璃2的厚度方向观察时，轴线L1通过光学玻璃2的中心。支点部6配置在可动体3的第一正交方向上的两端侧。

可动体3是保持光学玻璃2的玻璃保持架。可动体3由非磁性材料形成。另外，可动体3由树脂材料形成。如上所述，可动体3形成为框状。具体地说，可动体3形成为正方形或长方形的框状。在可动体转动方向上，当可动体3相对于固定体4配置在基准位置时，构成外形为正方形或长方形的可动体3的外周面的4边中的2边与左右方向平行，剩余的2边与前后方向平行。

在可动体3上形成有配置构成磁驱动机构5的一部分的后述驱动用磁铁15的磁铁配置凹部3a和配置保持用磁铁7的磁铁配置凹部3b。磁铁配置用凹部3a从可动体3的右端向左侧凹陷。磁铁配置凹部3b从可动体3的左端向右侧凹陷。磁铁配置凹部3a、3b形成在光学玻璃2的厚度方向上的可动体3的整个区域。

另外，在可动体3上形成有朝向第一正交方向的两侧突出的突起部3c。即，在可动体3上形成有向右后侧突出的突起部3c和向左前侧突出的突起部3c。突起部3c形成为圆柱状。形成为圆柱状的突起部3c的轴向与第一正交方向一致。在突起部3c的前端面形成有凹部3d(参照图4)，该凹部3d配置有构成支点部6的一部分的后述球体11的一部分。凹部3d从突起部3c的前端面向第一正交方向的内侧凹陷。另外，凹部3d形成为圆形状。形成为圆形状的凹部3d的中心配置在形成为圆柱状的突起部3c的轴心上。

如上所述，光学玻璃2配置在可动体3的内周侧。光学玻璃2被固定在可动体3上。在可动体转动方向上，当可动体3相对于固定体4配置在基准位置时，构成外形为正方形的光学玻璃2的外周面的4边中的2边与左右方向平行，剩余的2边与前后方向平行。

固定体4由非磁性材料形成。此外，固定体4由树脂材料形成。如上所述，固定体4形成为框状。具体地说，固定体4形成为正方形或长方形的框状。构成外形为正方形或长方形的固定体4的外周面的4边中的2边与左右方向平行，剩余的2边与前后方向平行。在固定体4上形成有配置构成磁驱动机构5的一部分的后述驱动用线圈16的线圈配置凹部4a和配置磁性板9的磁性板配置凹部4b。

线圈配置凹部4a和磁性板配置凹部4b形成在固定体4的右边部。线圈配置凹部4a从固定体4的右边部的左端向右侧凹陷。线圈配置凹部4a形成在固定体4的上下方向的整个区域。磁性板配置凹部4b形成在线圈配置凹部4a的右侧。磁性板配置凹部4b比线圈配置凹部4a更向右侧凹陷。磁性板配置凹部4b未形成在固定体4的上下方向的整个区域，在固定体4的右边部的下端侧形成有载置磁性板9的磁性板载置部4c(参照图2)。磁性板载置部4c的上表面成为与上下方向正交的平面。

另外，在固定体4上形成有：弹簧配置部4d，其配置有构成支点部6的一部分的后述板簧13；以及磁性板配置孔4e，其配置并固定磁性板8。弹簧配置部4d形成在形成为正方形或长方形的框状的固定体4的一个对角线上的两个角部。具体而言，弹簧配置部4d形成于固定体4的右后端的角部和左前端的角部。磁性板配置孔4e形成在固定体4的左边部。磁性板配置孔4e是在上下方向上贯通固定体4的贯穿孔。另外，磁性板配置孔4e是在前后方向上细长的长方形的方孔。

如上所述，支点部6配置在第一正交方向上的可动体3的两端侧。即，支点部6配置在致动器1的右后端的角部和左前端的角部。支点部6具备：形成为球状的球体(ball)11；用于保持球体11的球体保持部件12；以及作为球体支撑部件的板簧13，该板簧13形成有以规定的接触压力与球体11的一部分接触的凹曲面状的接触面13a(参照图4等)。稍后将描述支点部6的具体结构。

磁驱动机构5具备驱动用磁铁15和与驱动用磁铁15相对配置的驱动用线圈16。驱动用磁铁15固定在可动体3上。具体地说，驱动用磁铁15配置在磁铁配置凹部3a中，固定在可动体3的右面侧。驱动用磁铁15形成为在前后方向上细长的长方体状。驱动用磁铁15由在光学玻璃2的厚度方向上被极化的两个磁化部15a构成。

驱动用线圈16例如是通过将导线卷绕成空心状而形成的空心线圈。驱动用线圈16安装在柔性印刷基板17上。另外，驱动用线圈16配置在线圈配置凹部4a中。柔性印刷基板17固定在固定体4上。驱动用线圈16通过柔性印刷基板17固定在固定体4上。驱动用磁铁15和驱动用线圈16在左右方向上相对。

磁驱动机构5以第一正交方向为转动的轴向使可动体3相对于固定体4转动。另外，在柔性印刷电路板17上安装有用于检测可动体3相对于固定体4的转动位置的霍尔传感器(省略图示)。霍尔传感器与驱动用磁铁15相对配置。基于霍尔传感器的检测结果向驱动用线圈16提供电流。

保持用磁铁7被固定在可动体3上。具体地说，保持用磁铁7配置在磁铁配置凹部3b中，固定在可动体3的左面侧。保持用磁铁7形成为在前后方向上细长的长方体状。另外，保持用磁铁7与驱动用磁铁15同样地构成，由在光学玻璃2的厚度方向上被极化的两个磁化部7a构成。

如图2所示，保持用磁铁7的前后方向的中心与驱动用磁铁15的前后方向的中心在前后方向上错开。具体地说，保持用磁铁7的前后方向的中心配置在驱动用磁铁15的前后方向的中心的后侧。在本实施方式中，从光学玻璃2的厚度方向观察时，保持用磁铁7和驱动用磁铁15相对于可动体3的中心呈点对称地配置。另外，从光学玻璃2的厚度方向观察时，保持用磁铁7和驱动用磁铁15相对于光学玻璃2的中心呈点对称地配置。

磁性板8由具有磁性的金属材料形成。磁性板8形成为平板状。具体而言，磁性板8形成为细长的长方形状的平板状。磁性板8的厚度薄。例如，磁性板8的厚度为0.1～0.2(mm)左右。磁性板8以磁性板8的厚度方向与左右方向一致的方式配置。另外，磁性板8以形成为长方形状的平板状的磁性板8的长边方向与前后方向一致的方式配置。磁性板8配置在磁性板配置孔4e中，并固定在磁性板配置孔4e中。即，磁性板8固定在固定体4上。磁性板8通过粘接剂固定在固定体4上。在本实施方式中，在将磁性板8固定于固定体4之前，调整磁性板8在上下方向上的位置。

磁性板9与磁性板8同样地构成。磁性板9以磁性板9的厚度方向与左右方向一致的方式配置。另外，磁性板9以形成为长方形状的平板状的磁性板9的长边方向与前后方向一致的方式配置。磁性板9配置在磁性板配置凹部4b中。磁性板9载置在磁性板载置部4c上，磁性板9的下端面与磁性板载置部4c的上表面接触。即，磁性板9在上下方向上被定位。另外，磁性板9固定在柔性印刷基板17上，通过柔性印刷基板17固定在固定体4上。

磁性板8配置在保持用磁铁7的左侧，磁性板9配置在驱动用磁铁15的右侧。在本实施方式中，在磁性板8与保持用磁铁7之间以及磁性板9与驱动用磁铁15之间，产生用于在驱动用线圈16为非通电状态时在可动体转动方向上将可动体3保持在固定位置的磁吸引力。具体而言，在磁性板8与保持用磁铁7之间以及磁性板9与驱动用磁铁15之间，产生用于在驱动用线圈16为非通电状态时在可动体转动方向上将可动体3保持在基准位置的磁吸引力。

另外，在本实施方式中，通过调整磁性板8在上下方向上的位置，能够调整驱动用线圈16为非通电状态时的可动体转动方向上的可动体3的位置。即，在本实施方式中，通过磁性板8的上下方向的位置来规定驱动用线圈16为非通电状态时的可动体转动方向上的可动体3的位置。

(支点部以及支点部的周边部分的构成)

图4的(A)是图2的E-E截面的剖视图，图4的(B)是图2的F-F截面的剖视图。图5是图3所示的球体11、球体保持部件12及板簧13的放大图。图6是用于说明图2的G部的结构的放大图。

如上所述，支点部6具备球体11、球体保持部件12和板簧13。球体11由陶瓷形成。例如，球体11由氧化锆形成。球体保持部件12由金属材料形成。球体保持部件12形成为有底的筒状，具有形成为筒状的筒部12a和与筒部12a的一端连接的底部12b。具体地说，筒部12a形成为圆筒状，球体保持部件12形成为有底的圆筒状。筒部12a的内径比球体11的外径大。

球体保持部件12安装在可动体3上。具体而言，球体保持部件12固定于可动体3的突起部3c。突起部3c插入到筒部12a内。另外，突起部3c从第一正交方向的内侧被轻轻压入筒部12a的内周侧。球体保持部件12通过粘接剂固定在突起部3c上。球体11配置在筒部12a的内周侧。底部12b配置在比突起部3c的前端面靠第一正交方向外侧的位置。在突起部3c的前端面与底部12b之间形成有用于配置球体11的间隙。

在底部12b上形成有贯穿孔12c，该贯穿孔12c用于使配置在筒部12a内周侧的球体11的一部分配置在球体保持部件12的外部。贯穿孔12c形成在底部12b的中心。另外，贯穿孔12c形成为圆形状。因此，底部12b形成为圆环状。贯穿孔12c的内径比球体11的外径小。如上所述，球体11配置在筒部12a的内周侧。球体11与凹部3d的底面接触，并且与贯穿孔12c的边缘接触。球体11的一部分配置在比底部12b靠第一正交方向的外侧的位置。即，球体11的一部分配置在球体保持部件12的外部。球体11由突起部3c和球体保持部件12保持在可动体3上。

板簧13通过将具有弹性的不锈钢板等金属板折弯成规定形状而形成。本实施方式的板簧13形成为U形状，由形成为平板状的第一平板部13b及第二平板部13c、以及连接第一平板部13b的一端与第二平板部13c的一端的曲板状的曲板部13d构成。板簧13以从上下方向观察时的板簧13的形状为U形状的方式配置于弹簧配置部4d。即，从上下方向观察时的板簧13的形状为U形状。另外，如上所述，由于光学玻璃2的厚度方向与上下方向大致一致，因此从光学玻璃2的厚度方向观察时的板簧13的形状也成为U形状。

第一平板部13b以第一平板部13b的厚度方向与第一正交方向一致的方式配置，第二平板部13c以第二平板部13c的厚度方向与第一正交方向一致的方式配置。第一平板部13b在第一正交方向上配置于比第二平板部13c靠外侧的位置。在配置于固定体4的右后端的角部的弹簧配置部4d的板簧13中，第一平板部13b的右前端和第二平板部13c的右前端通过曲板部13d连接。在配置于固定体4的左前端的角部的弹簧配置部4d的板簧13中，第一平板部13b的左后端和第二平板部13c的左后端通过曲板部13d连接。

从光学玻璃2的厚度方向观察时，配置在右后端的板簧13和配置在左前端的板簧13相对于光学玻璃2的中心呈点对称地配置。板簧13以被定位的状态下固定于弹簧配置部4d。即，板簧13安装在固定体4上。另外，板簧13通过粘接剂固定在弹簧配置部4d上。

在第一平板部13b的前端部形成有上述接触面13a。接触面13a是朝向第一正交方向的外侧凹陷的凹曲面。在第二平板部13c上形成有插通球体保持部件12的贯穿孔13e。贯穿孔13e的内径比球体保持部件12的外径大。在第二平板部13c的形成有贯穿孔13e的部分的上下方向的两端，形成有用于确保该部分的强度的加强部13f。加强部13f从第二平板部13c的上下方向的两端向第一正交方向的外侧稍微延伸。

接触面13a从第一正交方向的外侧以规定的接触压力与配置在球体保持部件12外部的球体11的一部分接触。板簧13朝向第一正交方向的内侧对球体11施力。另外，在弹簧配置部4d上配置板簧13时，成为固定在可动体3上的状态的球体保持部件12插通在贯穿孔13e中的状态。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，支点部6具备陶瓷制的球体11。因此，在本实施方式中，即使在光学玻璃2以比较高的频率连续振动的情况下，也能够提高支点部6的耐久性。另外，在本实施方式中，球体保持部件12形成为有底的筒状，其具有在内周侧配置有球体11的筒部12a和与筒部12a的一端连接的底部12b，在底部12b上形成有用于将球体11的一部分配置在球体保持部件12的外部的贯穿孔12c。因此，在本实施方式中，即使球体11由陶瓷形成，另外，即使球体11的外径变小，也能够使用球体保持部件12将一部分在球体保持部件12的外部与板簧13的接触面13a接触的球体11容易地安装在可动体3上。

在本实施方式中，在可动体3的突起部3c的前端面形成有配置球体11的一部分的凹部3d。因此，在本实施方式中，能够通过突起部3c和球体保持部件12使保持在可动体3上的球体11的状态稳定。另外，在本实施方式中，由于固定在可动体3上的球体保持部件12穿过固定在固定体4上的板簧13的贯穿孔13e，因此能够防止可动体3从固定体4向上侧或下侧脱落。

(板簧的变形例)

图7是本发明其他实施方式的板簧23的图，(A)是俯视图，(B)是立体图。图8是用于说明本发明其他实施方式的支点部6的结构的俯视图。图9是图7的(B)的J部的放大图。

在上述实施方式中，分体形成的两个板簧13配置在第一正交方向上的可动体3的两端侧，但致动器1也可以具备一个板簧23来代替两个板簧13。板簧23通过将具有弹性的不锈钢板等金属板折弯成规定形状而形成。板簧23的厚度例如为0.2(mm)。板簧23具备：分别配置于第一正交方向上的可动体3的两端侧的作为球体支撑部件的弹簧部23b；以及连接两个弹簧部23b的平板状的连接部23c。在该变形例中，板簧23由两个弹簧部23b和连接部23c构成。

连接部23c形成为框状。具体而言，连接部23c形成为大致正方形或大致长方形的框状。连接部23c固定于形成为框状的固定体4的上端面。即，连接部23c固定在固定体4的光学玻璃2的厚度方向上的一侧的面上。如图3等所示，固定体4的上端面为与上下方向正交的平面。连接部23c以形成为平板状的连接部23c的厚度方向与上下方向一致的方式固定于固定体4的上端面。另外，连接部23c通过粘接剂固定于固定体4的上端面。

构成外形呈大致正方形或大致长方形的连接部23c的外周面的4边中的2边与左右方向平行，剩余的2边与前后方向平行。形成为框状的连接部23c的内周侧的一部分与形成为框状的可动体3的外周侧的一部分在上下方向上重叠。连接部23c还起到限制可动体3相对于固定体4向上侧的移动范围的功能。另外，在固定体4上形成有限制可动体3相对于固定体4向下侧的移动范围的限制部。

弹簧部23b分别与连接部23c的第一正交方向上的两端连接。弹簧部23b形成为平板状。弹簧部23b被配置成弹簧部23b的厚度方向与第一正交方向一致。弹簧部23b配置在连接部23c的下侧。即，第一正交方向上的板簧23的两端部朝向下侧折弯成直角。在连接部23c的右后端的角部，成为一个弹簧部23b的基端部的弹簧部23b的右前端部与连接部23c连接，在连接部23c的左前端的角部，成为另一个弹簧部23b的基端部的弹簧部23b的左后端部与连接部23c连接。

从光学玻璃2的厚度方向观察时，两个弹簧部23b相对于光学玻璃2的中心呈点对称地配置。如上所述，连接部23c固定于固定体4的上端面。即，与连接部23c一体形成的两个弹簧部23b经由连接部23c安装在固定体4上。

在弹簧部23b的前端部形成有与板簧13的接触面13a相当的接触面23a(参照图7的(B))。即，在弹簧部23b上形成有以规定的接触压力与球体11的一部分接触的凹曲面状的接触面23a。接触面23a是朝向第一正交方向的外侧凹陷的凹曲面。接触面23a从第一正交方向的外侧以规定的接触压力与配置在球体保持部件12外部的球体11的一部分接触。弹簧部23b朝向第一正交方向的内侧对球体11施力。在该变形例中，由球体11、球体保持部件12和弹簧部23b构成支点部6。

在弹簧部23b上形成有加强用的肋23d。肋23d通过对弹簧部23b的一部分进行拉深加工而形成。肋23d朝向第一正交方向的外侧突出。从第一正交方向观察时的肋23d的形状为L形状。

在该变形例中，两个弹簧部23b经由连接部23c而一体化，因此，与如上述实施方式那样设置有分体形成的两个板簧13的情况相比，能够削减致动器1的部件数量。另外，在该变形例中，通过将连接部23c固定于固定体4而将两个弹簧部23b安装于固定体4，因此，与如上述实施方式那样将分体形成的两个板簧13分别固定于固定体4的情况相比，能够削减致动器1的组装工时。

而且，在该变形例中，通过将框状的连接部23c粘接固定于框状的固定体4而将两个弹簧部23b安装于固定体4，因此能够确保连接部23c相对于固定体4的粘接面积，从而能够提高弹簧部23b相对于固定体4的安装强度。另外，在该变形例中，两个弹簧部23b经由连接部23c一体化，两个弹簧部23b的相对位置的偏差由板簧23的部件精度决定，因此，与如上述实施方式那样将分体形成的两个板簧13分别固定于固定体4的情况相比，能够抑制两个接触面23a的相对位置的偏差。

另外，在该变形例中，由于在弹簧部23b上形成有加强用的肋23d，因此即使板簧23的厚度变薄，也能够确保弹簧部23b的强度。另外，只要能够确保弹簧部23b的强度，也可以在弹簧部23b上不形成肋23d。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式的一例，但并不限定于此，在不改变本发明的主旨的范围内能够进行各种变形实施。

在上述实施方式中，板簧13也可以以曲板部13d成为板簧13的下端部的方式配置在弹簧配置部4d上。即，第一平板部13b的下端和第二平板部13c的下端通过曲板部13d连接，从右斜前侧观察时(或从左斜后侧观察时)的板簧13的形状也可以为U形状。但是，如上述实施方式那样，在以从上下方向观察时的板簧13的形状成为U形状的方式在弹簧配置部4d配置板簧13的情况下，能够在上下方向上使板簧13小型化，因此，能够在上下方向上使致动器1小型化。

在上述实施方式中，也可以将板簧13安装在可动体3上，将球体保持部件12安装在固定体4上。在这种情况下，球体11保持在固定体4上。另外，在这种情况下，板簧13的接触面13a从第一正交方向的内侧以规定的接触压力与露出到球体保持部件12的外部的球体11的一部分接触。另外，在上述变形例中，也可以将板簧23的连接部23c固定在可动体3上，将球体保持部件12安装在固定体4上。在这种情况下，板簧23的接触面23a从第一正交方向的内侧以规定的接触压力与露出在球体保持部件12的外部的球体11的一部分接触。

在上述实施方式中，致动器1也可以装设于投影仪以外的装置来使用。在该情况下，光学玻璃2以外的光学要素也可以保持在可动体3上。例如，也可以将透镜、棱镜、反射板或光学滤波器等光学元件保持在可动体3上。另外，摄像元件也可以保持在可动体3上。在可动体3上保持有摄像元件的情况下，致动器1例如装设于照相机。本说明书中的“光学要素”也包括摄像元件。

符号说明

1 致动器

2 光学玻璃(光学要素)

3 可动体

3c突起部

3d凹部

4 固定体

5 磁驱动机构

6 支点部

11球体

12球体保持部件

12a筒部

12b底部

12c贯穿孔

13板簧(球体支撑部件)

13a接触面

23板簧

23a接触面

23b弹簧部(球体支撑部件)

23c连接部

23d肋

V第一正交方向。

Claims (6)

1.一种致动器，其特征在于，具备：可动体，该可动体保持光学要素；固定体，该固定体形成为在内周侧配置有所述可动体的框状，并且将所述可动体保持为能够转动；磁驱动机构，该磁驱动机构使所述可动体在所述可动体相对于所述固定体倾斜的方向上转动；以及支点部，该支点部成为所述可动体相对于所述固定体的转动的支点，

所述支点部具备：陶瓷制的球体；球体保持部件，该球体保持部件安装在所述可动体和所述固定体中的任意一方上，并且用于保持所述球体；以及球体支撑部件，该球体支撑部件形成有以规定的接触压力与所述球体的一部分接触的凹曲面状的接触面，并且安装在所述可动体和所述固定体中的任意另一方上，

所述球体保持部件形成为有底的筒状，该有底的筒状具有形成为筒状的筒部和与所述筒部的一端连接的底部，

所述球体配置在所述筒部的内周侧，

在所述底部形成有贯穿孔，该贯穿孔用于使配置在所述筒部的内周侧的所述球体的一部分配置在所述球体保持部件的外部，

所述接触面与配置在所述球体保持部件的外部的所述球体的一部分接触。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

所述光学要素形成为平板状，

所述支点部配置在与所述光学要素的厚度方向正交的第一正交方向上的所述可动体的两端侧。

3.根据权利要求2所述的致动器，其特征在于，

所述球体保持部件安装于所述可动体，

所述球体支撑部件安装于所述固定体，

在所述可动体上形成有朝向所述第一正交方向的两侧突出并且插入到所述筒部中的突起部，

在所述突起部的前端面形成有配置所述球体的一部分的凹部，

所述接触面从所述第一正交方向的外侧与所述球体的一部分接触。

4.根据权利要求2或3所述的致动器，其特征在于，

所述球体支撑部件是形成为U形状的板簧，

从所述光学要素的厚度方向观察时的所述板簧的形状为U形状。

5.根据权利要求2或3所述的致动器，其特征在于，

具备板簧，该板簧具有分别配置于所述第一正交方向上的所述可动体的两端侧的所述球体支撑部件和连接两个所述球体支撑部件的平板状的连接部，

所述连接部形成为框状，并且固定在所述可动体或所述固定体的所述光学要素的厚度方向上的一侧的面上。

6.根据权利要求5所述的致动器，其特征在于，

在所述球体支撑部件上形成有加强用的肋。