CN116553094A - 适用于滑动件换向移动的动力传输机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种适用于滑动件换向移动的动力传输机构，包括滑轨组成、第一传动组件、第二传动组件以及第三传动组件。滑轨组成包括第一滑轨、第二滑轨及升降滑轨。升降滑轨能够对接第一滑轨和第二滑轨，以共同供移动台滑动。第一传动组件和第二传动组件能够配合带动移动台在加工腔室及准备腔室中转移，第三传动组件能够在移动台由第一滑轨转移至第二滑轨或由第二滑轨转移至第一滑轨的过程中，带动升降滑轨上升并与第一滑轨和第二滑轨对接。本发明提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构有效的为密封门的密封提供足够的空间，避免升降滑轨与密封门出现干涉，进而保证密封门的密封效果，保证加工腔室处于真空的环境中，实用性强。

Description

适用于滑动件换向移动的动力传输机构

技术领域

本发明属于传动技术领域，具体涉及一种适用于滑动件换向移动的动力传输机构。

背景技术

在机械工程中，通常会遇到待加工的产品在两个腔室内的相互转移，以分别进行不同的加工操作，例如，涉及到在真空环境中进行，常设置加工腔室及准备腔室，二者之间通过密封门进行分隔，待加工的产品放入准备腔室中的移动台，并在准备腔室抽真空后由移动台转移进入加工腔室中。

现有技术中，移动台需要在加工腔室和准备腔室之间往复的转移，因此为了保证传动机构能够一直带动移动台移动，即保证移动台在加工腔室和准备腔室之间运动的连续性，需要传动机构与移动台持续保持连接关系，但是加工腔室与准备腔室之间的通道需要通过密封门进行分隔，而传动机构的设置需要占用部分通道，进而会与密封门出现干涉，导致密封门无法封挡通道，无法保障加工腔室内的真空环境；而且将传动机构对密封门进行避让后，经常导致移动台卡在通道处，无法保证其连续性，影响传动机构对移动台的动力传输，实用性差。

发明内容

本发明实施例提供一种适用于滑动件换向移动的动力传输机构，旨在能够解决现有的关于移动台转移采用的传动机构实用性差的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种适用于滑动件换向移动的动力传输机构，包括：

滑轨组成，包括第一滑轨、第二滑轨及升降滑轨；所述第一滑轨位于加工腔室中；所述第二滑轨位于准备腔室中，并与所述第一滑轨间隔设置；所述升降滑轨位于准备腔室中，且位于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间，并靠近通道设置，所述升降滑轨用于对接所述第一滑轨和所述第二滑轨，以共同供移动台滑动；

第一传动组件，设置在加工腔室中，用于将滑入所述第一滑轨上的移动台拉入至加工腔室，或推动所述第一滑轨上的移动台经过所述升降滑轨后进入所述第二滑轨；

第二传动组件，设置在准备腔室中，用于将滑入所述第二滑轨上的移动台拉入至准备腔室，或推动所述第二滑轨上的移动台经过所述升降滑轨后进入所述第一滑轨；以及

第三传动组件，设置在准备腔室中，用于在移动台由所述第一滑轨转移至所述第二滑轨或由所述第二滑轨转移至所述第一滑轨的过程中，带动所述升降滑轨上升并与所述第一滑轨和所述第二滑轨对接。

在一种可能的实现方式中，设定所述第一滑轨的长度方向为第一方向，与所述第一方向垂直的水平方向为第二方向；所述第三传动组件包括滑动底座、拉杆、滑块、推动结构、齿轮以及驱动马达；所述滑动底座沿着竖直方向滑动设置在准备腔室中，且位于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间，所述滑动底座用于供升降滑轨固定安装；所述拉杆设有两个，两个所述拉杆沿着所述第二方向分别位于所述滑动底座的两侧，每个所述拉杆的一端与所述滑动底座铰接；所述滑块设有两个，两个所述滑块沿着所述第二方向分别位于所述滑动底座的两侧，且分别与两个所述拉杆一一对应，每个所述滑块均与对应的所述拉杆的另一端铰接，每个所述滑块远离所述滑动底座的一端设有第一楔形面；所述推动结构沿着所述第一方向滑动设置在准备腔室中，所述推动结构设有两个分别与两个所述滑块一一对应的延伸端，每个所述延伸端上均具有与所述第一楔形面适配的第二楔形面，所述推动结构还设有沿着所述第一方向设置的齿条部；所述齿轮转动设置在准备腔室中，且与所述齿条部啮合；所述驱动马达固设在准备腔室中，动力输出端与所述齿轮相连；

其中，准备腔室中设有供滑动底座滑动的第一滑动空间，且设有供各所述滑块滑动的第二滑孔空间。

在一种可能的实现方式中，所述第三传动组件还包括弹簧，所述弹簧位于两个所述滑块之间，且所述弹簧的两端分别与两个所述滑块抵接，所述弹簧用于弹动两个所述滑块相背移动。

在一种可能的实现方式中，所述推动结构包括横杆、尾杆、顶杆以及补偿部；所述横杆沿着所述第二方向设置；所述尾杆位于所述横杆远离通道的一侧，且沿着所述第一方向设置，所述尾杆位于所述横杆长度方向的中间位置，所述尾杆的一端与所述横杆固定连接，所述齿条部固设在所述尾杆上；所述顶杆设有两个，两个所述顶杆分别与所述横杆的两端固定连接，且每个所述顶杆均沿着所述第一方向设置，每个所述顶杆的伸出的端部为所述延伸端；所述补偿部设有两个，两个所述补偿部分别与两个所述顶杆一一对应设置，每个所述补偿部均位于所述延伸端处，且沿着所述第二方向位于对应的所述顶杆的一侧，并与对应的所述顶杆可拆卸连接，所述补偿部与所述顶杆的所述延伸端共同形成所述第二楔形面。

在一种可能的实现方式中，所述第一传动组件包括第一安装架、第一导杆、第一滑动座、第一丝杠、第一电磁铁以及第一驱动器；所述第一安装架固设在加工腔室中；所述第一导杆设有两个，两个所述第一导杆均沿着所述第一滑轨的长度方向设置在所述第一安装架上，且沿着与所述第一滑轨长度方向垂直的水平方向间隔设置；所述第一滑动座滑动设置在两个所述第一导杆上；所述第一丝杠转动设置在所述第一安装架上，且与所述第一滑动座上的丝母部螺旋配合连接；所述第一电磁铁固设在所述第一滑动座上；所述第一驱动器固设在所述第一安装架上，且与所述第一丝杠相连；

其中，移动台靠近加工腔室的一端设有与所述第一电磁铁适配的第一永磁体。

在一种可能的实现方式中，所述第二传动组件包括第二安装架、第二导杆、第二滑动座、第二丝杠、第二电磁铁以及第二驱动器；所述第二安装架固设在加工腔室中；所述第二导杆设有两个，两个所述第二导杆均沿着所述第二滑轨的长度方向设置在所述第二安装架上，且沿着与所述第一滑轨长度方向垂直的水平方向间隔设置；所述第二滑动座滑动设置在两个所述第二导杆上；所述第二丝杠转动设置在所述第二安装架上，且与所述第二滑动座上的丝母部螺旋配合连接；所述第二电磁铁固设在所述第二滑动座上；所述第二驱动器固设在所述第二安装架上，且与所述第二丝杠相连；

其中，移动台靠近准备腔室的一端设有与所述第二电磁铁适配的第二永磁体。

本实现方式中，第一滑轨和第二滑轨可保证移动台的移动稳定性，进而保证移动台在加工腔室和准备腔室之间的转移。而升降滑轨能够将第一滑轨和第二滑轨进行对接，进而保证移动台在第一滑轨和第二滑轨之间转移的连续性。采用第一传动组件及第二传动组件的配合共同对移动台进行推动或拉动，能够保证移动台在加工腔室和准备腔室之间的换向移动。第三传动组件带动升降滑轨移动，可防止其占用通道处的空间，有效的为密封门的密封提供足够的空间，避免升降滑轨与密封门出现干涉，进而保证密封门的密封效果，保证加工腔室处于真空的环境中，实用性强。

附图说明

图1为本发明实施例提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构的结构示意图（主视且剖视）。

图2为图1实施例提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构的结构示意图（密封箱体局部隐藏）。

图3为本发明实施例提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构的第三传动组件结构示意图。

图4为本发明实施例提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构的第一传动组件结构示意图。

图5为本发明实施例提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构的第二传动组件结构示意图。

附图标记说明：

10、滑轨组成；11、第一滑轨；12、第二滑轨；13、升降滑轨；20、第一传动组件；21、第一安装架；22、第一导杆；23、第一滑动座；24、第一丝杠；25、第一电磁铁；26、第一驱动器；27、第一永磁铁；30、第二传动组件；31、第二安装架；32、第二导杆；33、第二滑动座；34、第二丝杠；35、第二电磁铁；36、第二驱动器；37、第二永磁铁；40、第三传动组件；41、滑动底座；42、拉杆；43、滑块；431、第一楔形面；44、推动结构；441、横杆；442、尾杆；443、顶杆；444、补偿部；445、齿条部；446、第二楔形面；45、齿轮；46、驱动马达；47、弹簧；50、密封箱体；51、加工腔室；52、准备腔室；53、通道；54、第一密封盖；55、第二密封盖；60、密封结构；61、滑门；62、伸缩结构；70、移动台。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请一并参阅图1至图5，现对本发明提供的适用于滑动件换向移动的动力传输机构进行说明。所述适用于滑动件换向移动的动力传输机构，包括滑轨组成10、第一传动组件20、第二传动组件30以及第三传动组件40。滑轨组成10包括第一滑轨11、第二滑轨12及升降滑轨13。第一滑轨11位于加工腔室51中。第二滑轨12位于准备腔室52中，并与第一滑轨11间隔设置。升降滑轨13位于准备腔室52中，且位于第一滑轨11和第二滑轨12之间，并靠近通道53设置，升降滑轨13能够对接第一滑轨11和第二滑轨12，以共同供移动台70滑动。第一传动组件20设置在加工腔室51中，能够将滑入第一滑轨11上的移动台70拉入至加工腔室51，或推动第一滑轨11上的移动台70经过升降滑轨13后进入第二滑轨12。第二传动组件30设置在准备腔室52中，能够将滑入第二滑轨12上的移动台70拉入至准备腔室52，或推动第二滑轨12上的移动台70经过升降滑轨13后进入第一滑轨11。第三传动组件40设置在准备腔室52中，能够在移动台70由第一滑轨11转移至第二滑轨12或由第二滑轨12转移至第一滑轨11的过程中，带动升降滑轨13上升并与第一滑轨11和第二滑轨12对接。

本实施例提供的能够转移的传动机构，与现有技术相比，第一滑轨11和第二滑轨12可保证移动台70的移动稳定性，进而保证移动台70在加工腔室51和准备腔室52之间的转移。而升降滑轨13能够将第一滑轨11和第二滑轨12进行对接，进而保证移动台70在第一滑轨11和第二滑轨12之间转移的连续性。采用第一传动组件20及第二传动组件30的配合共同对移动台70进行推动或拉动，能够保证移动台70在加工腔室51和准备腔室52之间的换向移动。第三传动组件40带动升降滑轨13移动，可防止其占用通道53处的空间，有效的为密封门的密封提供足够的空间，避免升降滑轨13与密封门出现干涉，进而保证密封门的密封效果，保证加工腔室51处于真空的环境中，实用性强。

在一些实施例中，上述第三传动组件40可以采用如图3所示结构。参见图3，设定第一滑轨11的长度方向为第一方向，与第一方向垂直的水平方向为第二方向。第三传动组件40包括滑动底座41、拉杆42、滑块43、推动结构44、齿轮45以及驱动马达46。滑动底座41沿着竖直方向滑动设置在准备腔室52中，且位于第一滑轨11和第二滑轨12之间，滑动底座41能够供升降滑轨13固定安装。拉杆42设有两个，两个拉杆42沿着第二方向分别位于滑动底座41的两侧，每个拉杆42的一端与滑动底座41铰接。滑块43设有两个，两个滑块43沿着第二方向分别位于滑动底座41的两侧，且分别与两个拉杆42一一对应，每个滑块43均与对应的拉杆42的另一端铰接，每个滑块43远离滑动底座41的一端设有第一楔形面431。推动结构44沿着第一方向滑动设置在准备腔室52中，推动结构44设有两个分别与两个滑块43一一对应的延伸端，每个延伸端上均具有与第一楔形面431适配的第二楔形面446，推动结构44还设有沿着第一方向设置的齿条部445。齿轮45转动设置在准备腔室52中，且与齿条部445啮合。驱动马达46固设在准备腔室52中，动力输出端与齿轮45相连。

其中，准备腔室52中设有供滑动底座41滑动的第一滑动空间，且设有供各滑块43滑动的第二滑孔空间。

通过驱动马达46带动齿轮45旋转，并带动齿条部445，使推动结构44能够推动滑块43，因第一楔形面431和第二楔形面446的适配，能够将动力由第一方向转化至第二方向，进而滑块43通过拉杆42实现滑动底座41的上升，使升降滑轨13对接第一滑轨11和第二滑轨12。因滑动底座41的升降移动，可避免升降滑轨13占用通道53处的空间，进而保证密封门能够完全将通道53进行封堵，而且无需再对密封门进行异形处理，能够有效的保证加工腔室51的真空度。

本实施例中，为了防止滑动底座41过度上升，可在滑动底座41的上方设置限位部，以保证升降滑轨13与第一滑轨11和第二滑轨12的准确对接。另外，在升降滑轨13、第一滑轨11及第二滑轨12的对接端处设置倒角，以保证移动台70能够平滑的过渡。另外，第一滑轨11、第二滑轨12及升降滑轨13可均由两个平行且间隔设置的圆柱形光杆组成。

在一些实施例中，上述第三传动组件40可以采用如图3所示结构。参见图3，第三传动组件40还包括弹簧47，弹簧47位于两个滑块43之间，且弹簧47的两端分别与两个滑块43抵接，弹簧47能够弹动两个滑块43相背移动。因两个滑块43可在滑动底座41重力的作用下相背移动，可通过弹簧47进一步对两个滑块43进行弹动，保证其快速反应，有效的增加升降滑轨13升降移动的灵敏度，结构简单，实用性强。

在一些实施例中，上述第三传动组件40可以采用如图3所示结构。参见图3，推动结构44包括横杆441、尾杆442、顶杆443以及补偿部444。横杆441沿着第二方向设置。尾杆442位于横杆441远离通道53的一侧，且沿着第一方向设置，尾杆442位于横杆441长度方向的中间位置，尾杆442的一端与横杆441固定连接，齿条部445固设在尾杆442上。顶杆443设有两个，两个顶杆443分别与横杆441的两端固定连接，且每个顶杆443均沿着第一方向设置，每个顶杆443的伸出的端部为延伸端。补偿部444设有两个，两个补偿部444分别与两个顶杆443一一对应设置，每个补偿部444均位于延伸端处，且沿着第二方向位于对应的顶杆443的一侧，并与对应的顶杆443可拆卸连接，补偿部444与顶杆443的延伸端共同形成第二楔形面446。

因为涉及到滑块43的滑动行程相对较大，顶杆443需要保证在第二方向的宽度，此时如果直接增大顶杆443的沿着第二方向的宽度后，势必会增加材料的成本，同时也会增加顶杆443自身的重量，进而增加动力输出的功率，因此设置的补偿部444可仅在顶杆443的延伸端处增加第二楔形面446沿着第二方向的宽度，即能够增加第二楔形面446作用第一楔形面431的面积，进而有效的保证滑块43的行程。另外，补偿部444的可拆卸设置，还能够对第二楔形面446的面积进行调节，进而保证滑块43的行程为可调节，可有效的避免因磨损而出现的升降滑轨13与第一滑轨11和第二滑轨12间的对接误差。

本实施例中，在准备腔室52中可设置供尾杆442及顶杆443限位滑动的滑腔。

在一些实施例中，上述第一传动组件20可以采用如图4所示结构。参见图4，第一传动组件20包括第一安装架21、第一导杆22、第一滑动座23、第一丝杠24、第一电磁铁25以及第一驱动器26。第一安装架21固设在加工腔室51中。第一导杆22设有两个，两个第一导杆22均沿着第一滑轨11的长度方向设置在第一安装架21上，且沿着与第一滑轨11长度方向垂直的水平方向间隔设置。第一滑动座23滑动设置在两个第一导杆22上。第一丝杠24转动设置在第一安装架21上，且与第一滑动座23上的丝母部螺旋配合连接。第一电磁铁25固设在第一滑动座23上。第一驱动器26固设在第一安装架21上，且与第一丝杠24相连。其中，移动台70靠近加工腔室51的一端设有与第一电磁铁25适配的第一永磁体。通过第一丝杠24带动第一滑动座23移动，能够推动移动台70或拉动移动台70，进而使移动台70在加工腔室51和准备腔室52内的转移。

在一些实施例中，上述第二传动组件30可以采用如图5所示结构。参见图5，第二传动组件30包括第二安装架31、第二导杆32、第二滑动座33、第二丝杠34、第二电磁铁35以及第二驱动器36。第二安装架31固设在加工腔室51中。第二导杆32设有两个，两个第二导杆32均沿着第二滑轨12的长度方向设置在第二安装架31上，且沿着与第一滑轨11长度方向垂直的水平方向间隔设置。第二滑动座33滑动设置在两个第二导杆32上。第二丝杠34转动设置在第二安装架31上，且与第二滑动座33上的丝母部螺旋配合连接。第二电磁铁35固设在第二滑动座33上。第二驱动器36固设在第二安装架31上，且与第二丝杠34相连。其中，移动台70靠近准备腔室52的一端设有与第二电磁铁35适配的第二永磁体。通过第二丝杠34带动第二滑动座33移动，能够推动移动台70或拉动移动台70，进而使移动台70在加工腔室51和准备腔室52内的转移。

具体的工作原理为：当移动台70在准备腔室52内，即第二滑轨12上且放置好待加工的产品后，第二丝杠34带动第二滑动座33，第二电磁铁35推动第二永磁铁37，使移动台70向加工腔室51一侧滑动，当第二滑动座33推动移动台70至极限位置时，此时移动台70的一端已经过升降滑轨13后并位于第一滑轨11上，此时启动第一丝杠24，使第一滑动座23靠近第一永磁铁27，并通过第一电磁铁25将第一永磁体进行吸引，随后将移动台70拉入至第一滑轨11上，并使移动台70完全进入至加工腔室51中。反之，移动台70进入准备腔室52中。

上述的实施例中，为了便于理解，可参见图1至图2，关于形成两个腔室的主体设备可包括密封箱体50、密封结构60以及移动台70。密封箱体50具有加工腔室51及准备腔室52，且具有连通加工腔室51和准备腔室52的通道53。密封结构60位于准备腔室52中，能够对通道53进行封堵。移动台70与传动机构相连。

密封结构60可包括滑门61以及伸缩结构62。滑门61沿着竖直方向滑动设置在准备腔室52的内壁上。伸缩结构62能够驱动滑门61滑动，以将通道53进行密封。通过伸缩结构62带动滑门61升降移动，可保证对通道53的封堵，进而保证加工腔室51的真空度，伸缩结构62可为液压缸，当时当顶部空间受限时也可采用剪叉式伸缩架。另外，可在准备腔室52的侧壁上设有供滑门61滑动的限位滑腔。滑门61可包括门本体、密封条以及充气泵，门本体可为矩形板体外形结构，在门本体靠近通道53的板面上设有环形凹槽。密封条环着环形凹槽嵌装在其中，密封条具有充气腔，且密封条与充气泵连通，能够在充气口膨胀，并围绕着通道53与准备腔室52的侧壁紧密抵接，实现对通道53的封堵。

需要进行说明的是，对应的通道53可为矩形开口。

密封箱体50上可设有第一密封盖54和第二密封盖55，第一密封盖54位于加工腔室51上，第二密封盖55位于准备腔室52上。第一密封盖54主要能够保证将加工腔室51打开，以保证工作人员对加工腔室51内进行维护，而第二密封盖55能够将准备腔室52打开，以保证将待加工的产品放入移动台70上，或者将加工好的产品在准备腔室52内取出。第一密封盖54和第二密封盖55均可采用现有技术。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.适用于滑动件换向移动的动力传输机构，其特征在于，包括：

滑轨组成，包括第一滑轨、第二滑轨及升降滑轨；所述第一滑轨位于加工腔室中；所述第二滑轨位于准备腔室中，并与所述第一滑轨间隔设置；所述升降滑轨位于准备腔室中，且位于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间，并靠近通道设置，所述升降滑轨用于对接所述第一滑轨和所述第二滑轨，以共同供移动台滑动；

第一传动组件，设置在加工腔室中，用于将滑入所述第一滑轨上的移动台拉入至加工腔室，或推动所述第一滑轨上的移动台经过所述升降滑轨后进入所述第二滑轨；

第二传动组件，设置在准备腔室中，用于将滑入所述第二滑轨上的移动台拉入至准备腔室，或推动所述第二滑轨上的移动台经过所述升降滑轨后进入所述第一滑轨；以及

第三传动组件，设置在准备腔室中，用于在移动台由所述第一滑轨转移至所述第二滑轨或由所述第二滑轨转移至所述第一滑轨的过程中，带动所述升降滑轨上升并与所述第一滑轨和所述第二滑轨对接。

2.如权利要求1所述的适用于滑动件换向移动的动力传输机构，其特征在于，设定所述第一滑轨的长度方向为第一方向，与所述第一方向垂直的水平方向为第二方向；

所述第三传动组件包括：

滑动底座，沿着竖直方向滑动设置在准备腔室中，且位于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间，所述滑动底座用于供升降滑轨固定安装；

拉杆，设有两个，两个所述拉杆沿着所述第二方向分别位于所述滑动底座的两侧，每个所述拉杆的一端与所述滑动底座铰接；

滑块，设有两个，两个所述滑块沿着所述第二方向分别位于所述滑动底座的两侧，且分别与两个所述拉杆一一对应，每个所述滑块均与对应的所述拉杆的另一端铰接，每个所述滑块远离所述滑动底座的一端设有第一楔形面；

推动结构，沿着所述第一方向滑动设置在准备腔室中，所述推动结构设有两个分别与两个所述滑块一一对应的延伸端，每个所述延伸端上均具有与所述第一楔形面适配的第二楔形面，所述推动结构还设有沿着所述第一方向设置的齿条部；

齿轮，转动设置在准备腔室中，且与所述齿条部啮合；

驱动马达，固设在准备腔室中，动力输出端与所述齿轮相连；

其中，准备腔室中设有供滑动底座滑动的第一滑动空间，且设有供各所述滑块滑动的第二滑孔空间。

3.如权利要求2所述的适用于滑动件换向移动的动力传输机构，其特征在于，所述第三传动组件还包括弹簧，所述弹簧位于两个所述滑块之间，且所述弹簧的两端分别与两个所述滑块抵接，所述弹簧用于弹动两个所述滑块相背移动。

4.如权利要求2所述的适用于滑动件换向移动的动力传输机构，其特征在于，所述推动结构包括：

横杆，沿着所述第二方向设置；

尾杆，位于所述横杆远离通道的一侧，且沿着所述第一方向设置，所述尾杆位于所述横杆长度方向的中间位置，所述尾杆的一端与所述横杆固定连接，所述齿条部固设在所述尾杆上；

顶杆，设有两个，两个所述顶杆分别与所述横杆的两端固定连接，且每个所述顶杆均沿着所述第一方向设置，每个所述顶杆的伸出的端部为所述延伸端；

补偿部，设有两个，两个所述补偿部分别与两个所述顶杆一一对应设置，每个所述补偿部均位于所述延伸端处，且沿着所述第二方向位于对应的所述顶杆的一侧，并与对应的所述顶杆可拆卸连接，所述补偿部与所述顶杆的所述延伸端共同形成所述第二楔形面。

5.如权利要求1所述的适用于滑动件换向移动的动力传输机构，其特征在于，所述第一传动组件包括第一安装架、第一导杆、第一滑动座、第一丝杠、第一电磁铁以及第一驱动器；所述第一安装架固设在加工腔室中；所述第一导杆设有两个，两个所述第一导杆均沿着所述第一滑轨的长度方向设置在所述第一安装架上，且沿着与所述第一滑轨长度方向垂直的水平方向间隔设置；所述第一滑动座滑动设置在两个所述第一导杆上；所述第一丝杠转动设置在所述第一安装架上，且与所述第一滑动座上的丝母部螺旋配合连接；所述第一电磁铁固设在所述第一滑动座上；所述第一驱动器固设在所述第一安装架上，且与所述第一丝杠相连；

其中，移动台靠近加工腔室的一端设有与所述第一电磁铁适配的第一永磁体。

6.如权利要求1所述的适用于滑动件换向移动的动力传输机构，其特征在于，所述第二传动组件包括第二安装架、第二导杆、第二滑动座、第二丝杠、第二电磁铁以及第二驱动器；所述第二安装架固设在加工腔室中；所述第二导杆设有两个，两个所述第二导杆均沿着所述第二滑轨的长度方向设置在所述第二安装架上，且沿着与所述第一滑轨长度方向垂直的水平方向间隔设置；所述第二滑动座滑动设置在两个所述第二导杆上；所述第二丝杠转动设置在所述第二安装架上，且与所述第二滑动座上的丝母部螺旋配合连接；所述第二电磁铁固设在所述第二滑动座上；所述第二驱动器固设在所述第二安装架上，且与所述第二丝杠相连；

其中，移动台靠近准备腔室的一端设有与所述第二电磁铁适配的第二永磁体。