CN116540506A - 一种光刻胶剥离液及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光刻胶剥离液制备技术领域，具体为一种光刻胶剥离液及其制备方法，光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺30‑40％、极性有机溶剂20‑30％、表面活性剂8‑15％、乳化剂3‑5％、螯合剂1‑4％，其余为纯水；有益效果为：本发明提出的光刻胶剥离液及其制备方法通过两种乳化剂的配比，能采用较少的乳化剂达到极好的乳化效果，但是仍会引进有害的金属离子，通过螯合剂配比加入，能以极小的量去除乳化剂中的金属离子，同时，微量的螯合剂进入混合管中，能进一步去除光刻胶剥离液的金属离子，使得生产出的光刻胶剥离液，剥离效果好，不会侵蚀铝、银基材，没有发黑、变质现象产生。同时，剥离后，用水清洗极易去除，无残留。
Description
技术领域
本发明涉及光刻胶剥离液制备技术领域，具体为一种光刻胶剥离液及其制备方法。
背景技术
光刻胶剥离是通过剥离液和光刻胶的化学反应，使光刻胶膨胀、软化并溶解。一般的剥离液由(CH3)2SO按7∶3的重量比组成，是无色透明，有刺激性气味的液体。DMSO在反应中起到反应溶剂、反应试剂的双重作用，使某些不能实现的反应在DMSO中能顺利进行，对某些化学反应具有加速、催化作用，提高收率，改革产品性能，在这里的作用是使光刻胶膨润。MEA的作用是浸透光刻胶/膜的界面，使光刻胶脱离并溶解。
现有技术中，液晶面板和触摸屏等制造过程中，还需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路，形成微电路之后，进一步用光刻胶剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。在电容式触摸屏生产中，采用真空镀膜方式在玻璃基板上溅镀上底层ITO镀层之后，需要采用旋涂方式在ITO玻璃基板上多次制作光刻胶层、曝光显影及脱模工序。液晶显示装置的彩色滤光片制造过程中，利用旋转涂布、狭缝涂布或狭缝与旋转涂布等方法涂布光刻胶的过程中，不可避免地将光刻胶涂布于基板边缘或背面，这些多余的光刻胶会造成设备污染，从而增加了清洗设备的生产成本，因此必须用光刻胶剥离液去除多余光刻胶。
但是，传统的国内生产的光刻胶剥离液一般由两种方式：
邻二氯苯剥离液，其优点是邻二氯苯具有较好的水溶性以及油溶性，但是其缺陷是它不能对金属化后进行剥离，对于蒸铝、蒸银剥离时，氯会对铝和银材质造成侵蚀，使得产品发黑变质；
苯酚剥离液，剥离容易，但是由于苯酚存在油溶性好水溶性差的缺陷，不便剥离后的后续清洗。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光刻胶剥离液及其制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻胶剥离液，所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺30-40％、极性有机溶剂20-30％、表面活性剂8-15％、乳化剂3-5％、螯合剂1-4％，其余为纯水。
优选的，所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺30％、极性有机溶剂20％、表面活性剂8％、乳化剂3％、螯合剂1％，其余为纯水。
优选的，所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺33％、极性有机溶剂23％、表面活性剂10％、乳化剂4％、螯合剂2％，其余为纯水。
优选的，所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺36％、极性有机溶剂27％、表面活性剂12％、乳化剂4％、螯合剂3％，其余为纯水。
优选的，所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺40％、极性有机溶剂30％、表面活性剂15％、乳化剂5％、螯合剂4％，其余为纯水。
优选的，所述有机胺为选自一乙醇胺、二乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺中的至少一种。
优选的，所述极性有机溶液为选自乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚的至少一种。
优选的，所述乳化剂为OP-10与TX-100按0.5-2:1混合而成。
优选的，所述螯合剂为选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸或次氮基三乙酸中的至少一种。
一种光刻胶剥离液的光刻胶剥离液制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
在混合罐中加入有机胺、极性有机溶剂以及表面活性剂后混合均匀，得到混合溶液A；
将乳化剂采用纯水稀释，向稀释后的乳化剂溶液中加入螯合剂，混合均匀，并对混合后的溶液过滤，将过滤后的混合液加入至混合溶液A中进行混合，过滤后制得光刻胶剥离液。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明提出的光刻胶剥离液及其制备方法通过两种乳化剂的配比，能采用较少的乳化剂达到极好的乳化效果，但是仍会引进有害的金属离子，通过螯合剂配比加入，能以极小的量去除乳化剂中的金属离子，同时，微量的螯合剂进入混合管中，能进一步去除光刻胶剥离液的金属离子，使得生产出的光刻胶剥离液，剥离效果好，不会侵蚀铝、银基材，没有发黑、变质现象产生。同时，剥离后，用水清洗极易去除，无残留。
附图说明
图1为本发明方法流程图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种光刻胶剥离液及其制备方法，在混合罐中加入一乙醇胺和二乙醇胺混合物30％、乙二醇单甲醚和乙二醇单乙醚混合物20％以及表面活性剂8％后混合均匀，得到混合溶液A；
将OP-10与TX-100按0.5-2:1混合物3％采用纯水稀释，向稀释后的乳化剂溶液中加入乙二胺四乙酸和乙二胺四乙酸二钠盐混合物1％，混合均匀，并对混合后的溶液过滤，将过滤后的混合液加入至混合溶液A中进行混合，过滤后制得光刻胶剥离液。
实施例二
一种光刻胶剥离液及其制备方法，在混合罐中加入N-甲基二乙醇胺、N和N-二甲基乙醇胺混合物胺30％、乙二醇单丁醚和乙二醇单苯醚混合物20％以及表面活性剂8％后混合均匀，得到混合溶液A；
将OP-10与TX-100按0.5-2:1混合物3％采用纯水稀释，向稀释后的乳化剂溶液中加入二亚乙基三胺五乙酸和三亚乙基四胺六乙酸混合物1％，混合均匀，并对混合后的溶液过滤，将过滤后的混合液加入至混合溶液A中进行混合，过滤后制得光刻胶剥离液。
实施例三
一种光刻胶剥离液及其制备方法，在混合罐中加入异丙醇胺和二异丙醇胺混合物30％、二乙二醇单丁醚和二乙二醇单乙醚混合物20％以及表面活性剂8％后混合均匀，得到混合溶液A；
将OP-10与TX-100按0.5-2:1混合物3％采用纯水稀释，向稀释后的乳化剂溶液中加入乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸和三亚乙基四胺六乙酸混合物1％，混合均匀，并对混合后的溶液过滤，将过滤后的混合液加入至混合溶液A中进行混合，过滤后制得光刻胶剥离液。
实施例四
一种光刻胶剥离液及其制备方法，在混合罐中加入二异丙醇胺和三异丙醇胺混合物胺30％、二丙二醇单甲醚和二丙二醇单乙醚混合物20％以及表面活性剂8％后混合均匀，得到混合溶液A；
将OP-10与TX-100按0.5-2:1混合物3％采用纯水稀释，向稀释后的乳化剂溶液中加入三亚乙基四胺六乙酸和次氮基三乙酸混合物1％，混合均匀，并对混合后的溶液过滤，将过滤后的混合液加入至混合溶液A中进行混合，过滤后制得光刻胶剥离液。
上述四组实施例制备出的光刻剥离液均满足，通过两种乳化剂的配比，能采用较少的乳化剂达到极好的乳化效果，但是仍会引进有害的金属离子，通过螯合剂配比加入，能以极小的量去除乳化剂中的金属离子，同时，微量的螯合剂进入混合管中，能进一步去除光刻胶剥离液的金属离子，使得生产出的光刻胶剥离液，剥离效果好，不会侵蚀铝、银基材，没有发黑、变质现象产生。同时，剥离后，用水清洗极易去除，无残留。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺30-40％、极性有机溶剂20-30％、表面活性剂8-15％、乳化剂3-5％、螯合剂1-4％，其余为纯水。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺30％、极性有机溶剂20％、表面活性剂8％、乳化剂3％、螯合剂1％，其余为纯水。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺33％、极性有机溶剂23％、表面活性剂10％、乳化剂4％、螯合剂2％，其余为纯水。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺36％、极性有机溶剂27％、表面活性剂12％、乳化剂4％、螯合剂3％，其余为纯水。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述光刻胶剥离液组分重量百分比如下：有机胺40％、极性有机溶剂30％、表面活性剂15％、乳化剂5％、螯合剂4％，其余为纯水。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述有机胺为选自一乙醇胺、二乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述极性有机溶液为选自乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚的至少一种。
8.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述乳化剂为OP-10与TX-100按0.5-2:1混合而成。
9.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液，其特征在于：所述螯合剂为选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸或次氮基三乙酸中的至少一种。
10.一种根据权利要求1-9任意一项所述的光刻胶剥离液的光刻胶剥离液制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：
在混合罐中加入有机胺、极性有机溶剂以及表面活性剂后混合均匀，得到混合溶液A；
将乳化剂采用纯水稀释，向稀释后的乳化剂溶液中加入螯合剂，混合均匀，并对混合后的溶液过滤，将过滤后的混合液加入至混合溶液A中进行混合，过滤后制得光刻胶剥离液。
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