CN116540503A - 一种激光直写样品的固定装置及工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法，固定装置包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的适配常规刻写模式的第一固定组件，或适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，或适配光纤端面刻写模式的第三固定组件；第一固定组件为边沿限位式定位槽结构；第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。与现有技术相比，本发明提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。

Description

一种激光直写样品的固定装置及工作方法

技术领域

本发明涉及超精密光学加工技术领域，尤其是涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法。

背景技术

激光直写技术因其无掩膜、高分辨率、加工可控性高等特点，在不同领域的多种微纳结构的加工中得到了广泛的探索和应用。例如微纳光学领域的光波导，微透镜的加工、生物领域的仿生模型，细胞支架的加工、微流体领域的微流控芯片及相关器件的加工，机械材料领域的超表面的加工等。

在激光直写设备中，应用多种尺寸的硅片作为刻写样品，面对不同的加工需求，对样品的固定方式也有更高的要求。在对样品进行装夹时需要考虑以下需求：

（1）对样品的中心位置需要进行初步的定位功能，方便进行全局刻写；

（2）适配多种尺寸的刻写样品；

（3）进行大尺度三维加工时，需要承载大量液态光刻胶，需要一定深度的容器，形成光刻胶池，避免液态光刻胶外溢；

（4）需要适配在光纤端面等特殊材料上加工时的定位和夹持。

在传统的激光直写设备中，通常采用真空吸附或静电吸附的方式对样品进行固定，无法确定样品的中心位置；同时在进行大尺度的三维加工时，液态光刻胶容易溢出样品外，污染设备；由于结构限制也无法对光纤端面进行定位和夹持。

因此，目前亟需构建一种能够实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，且适配多种加工场景的激光直写样品固定装置。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷，提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

本发明第一方面提供一种激光直写样品的固定装置，包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的：

适配常规刻写模式的第一固定组件，所述第一固定组件为边沿限位式定位槽结构，以此实现晶圆的定位；

或，

适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，所述第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；

或，

适配光纤端面刻写模式的第三固定组件，所述第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。

进一步地，所述的样品台框架上设有弹性压紧单元，所述弹性压紧单元能够对第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿进行弹性压紧。

进一步地，所述弹性压紧单元包括弹簧固定柱、弹簧、载物片压板，其中具体地：

弹簧固定柱，其固定于所述样品台框架上；

弹簧，其一端与所述弹簧固定柱连接；

载物片压板，其与所述弹簧的另一端连接，所述载物片压板能够弹性压紧于第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿。

进一步地，所述弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架上的顶丝；

所述顶丝设于所述载物片压板的下方，所述顶丝能够抵于所述第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的侧沿。

进一步地，所述第一固定组件包括第一载物片、晶圆压板，具体地：

第一载物片，其边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第一载物片的侧沿被多个顶丝抵接限位，所述第一载物片上设有晶圆装载槽；

晶圆压板，其轴接于所述第一载物片上，所述晶圆压板能够旋转并使得其局部压设于晶圆的边沿上。

进一步地，所述第二固定组件包括第二载物片、三层叠套筒，具体地：

第二载物片，其边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第二载物片的侧沿被多个顶丝抵接限位，所述第二载物片的中部设有凹槽；

三层叠套筒，设于所述第二载物片的凹槽中，晶圆和光刻胶设于三层叠套筒中。

进一步地，所述三层叠套筒包括载胶杯外筒、载胶杯中筒、载胶杯内筒，具体地：

载胶杯外筒，其设于所述第二载物片的中部的凹槽中，用于光刻胶的防溢出；

载胶杯中筒，其嵌设于所述载胶杯外筒中，晶圆设于所述载胶杯中筒中；

载胶杯内筒，其嵌设于所述载胶杯中筒中，通过内外径配合限位，同时对晶圆进行压紧固定。

进一步地，所述第三固定组件包括：第三载物片、光纤夹具框架，具体地：

第三载物片，其边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第三载物片的侧沿被多个顶丝抵接限位，所述第三载物片的中部设有凹槽；

光纤夹具框架，其设于所述凹槽中，所述光纤夹具框架上可拆卸设有2片光纤压板，光纤夹设于2片光纤压板之间。

进一步地，所述光纤夹具框架为桥式框架结构；

2片光纤压板的相向夹持侧设有均设有匹配的凹槽，所述光纤夹持限位于所述凹槽构成的腔体中。

本发明第二方面提供一种如上所述激光直写样品的固定装置的工作方法，所述工作方法为：

确定激光直写样品的种类，基于激光直写样品的种类对应选择以下过程中的一种：

A：将晶圆放置在第一载物片上，并通过晶圆压板进行压紧，将第一载物片推入样品台框架中，通过顶丝对一载物片进行限位，并通过载物片压板压紧限位；

B：将晶圆放置在载胶杯中筒的凹槽中，并通过载胶杯内筒进行内外径配合压紧限位，之后一并放入载胶杯外筒中，并将外筒置于第二载物片上，通过载物片压板压紧，并将光刻胶倒入载胶杯内筒的空腔中，将物镜浸入光刻胶中；

C：将光纤夹设于光纤后压板和光纤前压板之间，通过紧固件将光纤后压板和光纤前压板固定，并将光纤夹具框架固定于第三载物片上。

与现有技术相比，本发明具有以下技术优势：

（1）可以对样品的中心位置需要进行初步的定位功能，方便进行全局刻写。

（2）可以同时适配多种尺寸的刻写样品和多种加工模式。

（3）在大尺度三维加工时，可以防止液态光刻胶外溢，解决现有夹具无法进行大尺寸三维加工的问题，可广泛应用于激光直写加工领域。

附图说明

图1是本发明中一种激光直写样品的固定装置的结构示意图；

图2是实施例1中在常规刻写模式下对载物片进行限位的结构示意图；

图3是实施例1中在常规刻写模式下对载物片进行固定的结构示意图；

图4是实施例2中在大尺寸浸入式刻写模式下固定样品的结构示意图；

图5是实施例2中在大尺寸浸入式刻写模式下物镜浸入的结构示意图；

图6是实施例3中在光纤端面刻写模式下光纤固定的结构示意图；

图7是实施例4中适配不同尺寸样品的载物片的结构示意图。

其中：1、样品台框架；2、侧边限位块；3、载物片压板；4、四寸晶圆；5、晶圆压板；6、四寸载物片；7、顶丝；8、弹簧；9、弹簧固定柱；10、1寸晶圆；11、载胶杯内筒；12、载胶杯中筒；13、载胶杯外筒；14、物镜；15、光纤；16、光纤夹具框架；17、光纤前压板；18、光纤后压板；19、二寸多片载物片；20、二寸铬板载物片；21、二寸载物片；22、30mm载物片；23、一寸载物片。

具体实施方式

首先对本发明中的固定装置进行逐层的说明，其中涉及的具体性表述为下位举例说明，具体实施时可以根据实际情况进行选择。

本发明中激光直写样品的固定装置及其工作方法，包括可适配三种刻写模式的样品夹具，所述样品夹具包括三组对应组件及适配不同尺寸的载物片。分别为常规刻写模式，大尺寸浸入式刻写模式，光纤端面刻写模式。

具体实施时，本发明中激光直写样品的固定装置，包括样品台框架1，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架1上的：适配常规刻写模式的第一固定组件，所述第一固定组件为边沿限位式定位槽结构，以此实现晶圆的定位；或，适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，所述第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；或，适配光纤端面刻写模式的第三固定组件，所述第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤15夹持定位。

具体实施时，样品台框架1上设有弹性压紧单元，所述弹性压紧单元能够对第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿进行弹性压紧。

具体实施时，弹性压紧单元包括弹簧固定柱9、弹簧8、载物片压板3，弹簧固定柱9固定于所述样品台框架1上；弹簧8一端与所述弹簧固定柱9连接；载物片压板3与所述弹簧8的另一端连接，所述载物片压板3能够弹性压紧于第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿。弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架1上的顶丝7；顶丝7设于所述载物片压板3的下方，所述顶丝7能够抵于所述第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的侧沿。

具体实施时，第一固定组件包括第一载物片、晶圆压板5，第一载物片边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第一载物片的侧沿被多个顶丝7抵接限位，所述第一载物片上设有晶圆装载槽；晶圆压板5轴接于所述第一载物片上，所述晶圆压板5能够旋转并使得其局部压设于晶圆的边沿上。

具体实施时，第二固定组件包括第二载物片、三层叠套筒，第二载物片边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第二载物片的侧沿被多个顶丝7抵接限位，所述第二载物片的中部设有凹槽；三层叠套筒设于所述第二载物片的凹槽中，晶圆和光刻胶设于三层叠套筒中。

具体实施时，三层叠套筒包括载胶杯外筒13、载胶杯中筒12、载胶杯内筒11，载胶杯外筒13设于所述第二载物片的中部的凹槽中，用于光刻胶的防溢出；载胶杯中筒12嵌设于所述载胶杯外筒13中，晶圆设于所述载胶杯中筒12中；载胶杯内筒11嵌设于所述载胶杯中筒12中，通过内外径配合限位，同时对晶圆进行压紧固定。

具体实施时，第三固定组件包括第三载物片、光纤夹具框架16，第三载物片边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第三载物片的侧沿被多个顶丝7抵接限位，所述第三载物片的中部设有凹槽；光纤夹具框架16设于所述凹槽中，所述光纤夹具框架16上可拆卸设有2片光纤压板，光纤15夹设于2片光纤压板之间。

具体实施时，光纤夹具框架16为桥式框架结构，光纤夹具框架16可以通过紧固件固定。2片光纤压板的相向夹持侧设有均设有匹配的凹槽，所述光纤15夹持限位于所述凹槽构成的腔体中。

本发明中激光直写样品的固定装置的工作方法：确定激光直写样品的种类，基于激光直写样品的种类对应选择以下过程中的一种：

A：将晶圆放置在第一载物片上，并通过晶圆压板5进行压紧，将第一载物片推入样品台框架1中，通过顶丝7对一载物片进行限位，并通过载物片压板3压紧限位；

B：将晶圆放置在载胶杯中筒12的凹槽中，并通过载胶杯内筒11进行内外径配合压紧限位，之后一并放入载胶杯外筒13中，并将外筒13置于第二载物片上，通过载物片压板3压紧，并将光刻胶倒入载胶杯内筒11的空腔中，将物镜14浸入光刻胶中；

C：将光纤15夹设于光纤后压板17和光纤前压板18之间，通过紧固件将光纤后压板17和光纤前压板18固定，并将光纤夹具框架16固定于第三载物片上。

具体实施时，其中第一固定组件适配常规刻写模式，第二固定组件适配大尺寸浸入式刻写模式，第三固定组件适配光纤端面刻写模式。第一固定组件中将四寸晶圆放置在四寸载物片6上，并通过晶圆压板进行压紧，将四寸载物片6推入样品台框架1中，通过侧边顶丝进行限位，并通过载物片压板3自动压紧；第二固定组件中将一寸晶圆放置在载胶杯中筒12的凹槽中，并通过载胶杯内筒11进行压紧，再将其一并放入载胶杯外筒13中，通过载物片压板3自动压紧，并将光刻胶倒入载胶杯内筒11的空腔中，物镜14浸入光刻胶中；第三固定组件中将光纤15放置在光纤后压板17和光纤前压板18的凹槽中，并通过顶丝推动光纤前压板18从而将光纤15夹紧。本发明可以对样品的中心位置需要进行初步的定位功能，方便进行全局刻写，可以同时适配多种尺寸的刻写样品和多种加工模式，并在大尺度三维加工时，可以防止液态光刻胶外溢，解决现有夹具无法进行大尺寸三维加工的问题，可广泛应用于激光直写加工领域。

载物片压板3能够弹性压紧于第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿。弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架1上的顶丝7；顶丝7设于所述载物片压板3的下方，所述顶丝7能够抵于所述第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的侧沿弹簧8通过弹簧固定柱9固定在载物品压板3和样品台框架1之间，弹簧8处于拉伸状态，使载物品压板3始终有向下的压力。通过侧边限位块2对载物片压板3进行水平方向上的限位。顶丝通过螺纹固定到载物片压板3中，并对载物片产生限位的作用。

具体实施时，第二固定组件用于大尺寸浸入式刻写模式。此模式用于加工厘米级高度的三维结构，加工时需要将液态胶充满整个加工高度，因此需要避免光刻胶外溢，同时对光刻胶中的样品进行固定和限位。所述第二固定组件包括载胶杯内筒11，载胶杯中筒12，载胶杯外筒13。

载胶杯外筒13嵌入样品台框架1的中空部分中，通过内外径配合限位，用于盛放液态光刻胶，防止光刻胶外溢。载胶杯中筒12嵌入载胶杯外筒13中，通过内外径配合限位，同时配置凹槽用于放置1寸晶圆10，对其进行限位。载胶杯内筒11嵌入载胶杯中筒中，通过内外径配合限位，同时对1寸晶圆10进行压紧固定；晶圆压板对载胶杯内筒11进行压紧。加工时液态胶在载胶杯内筒11的空腔中，物镜14浸入到光刻胶中，取样品时，1寸晶圆10，载胶杯内筒11，载胶杯中筒12需一起取出，液态光刻胶通过载胶杯中筒12的侧壁的排液槽流入载胶杯外筒13。

具体实施时，第三固定组件用于光纤端面刻写模式。此模式用于在光纤端面进行加工。所述第三固定组件包括光纤夹具框架16，光纤前压板17，光纤后压板18。光纤夹具框架16通过螺丝固定在样品台框架1上。光纤后压板17和光纤前压板18通过螺丝固定在光纤夹具框架16上。光纤15放置在光纤后压板17和光纤前压板18的凹槽中，并通过顶丝推动光纤前压板18从而将光纤15夹紧。

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。本技术方案中如未明确说明的部件型号、材料名称、连接结构、控制方法、算法等特征，均视为现有技术中公开的常见技术特征。

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。本领域技术人员在理解本发明的技术方案基础上进行修改或等同替换，而未脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的保护范围内。

实施例1

常规刻写模式下，对直径101.6mm标准晶圆进行固定，采用一种激光直写样品的固定装置，如图1所示，包括样品台框架1，侧边限位块2，载物片压板3，晶圆压板5，顶丝7，弹簧8，弹簧固定柱9。

具体的，侧边限位块2对第一固定组件进行水平限位。

具体的，晶圆压板5通过螺丝固定在四寸载物片6上，并对中心的四寸晶圆进行压紧。

具体的，载物片压板3能够弹性压紧于第一固定组件的边沿。

弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架1上的顶丝7；顶丝7设于所述载物片压板3的下方，所述顶丝7能够抵于所述第一固定组件的侧沿弹簧8通过弹簧固定柱9固定在载物品压板3和样品台框架1之间，弹簧8处于拉伸状态，使载物品压板3始终有向下的压力。通过侧边限位块2对载物片压板3进行水平方向上的限位。顶丝通过螺纹固定到载物片压板3中，并对载物片产生限位的作用。

具体使用时，首先将四寸晶圆放置在四寸载物片6的凹槽上，并通过晶圆压板进行压紧，将四寸载物片6推入样品台框架1中，如图2所示，通过侧边顶丝进行限位，如图3所示，弹簧8通过弹簧固定柱9固定在载物品压板3和样品台框架1之间，弹簧处于拉伸状态，使载物品压板3始终有向下的压力，从而将四寸载物片6自动压紧。

实施例2

大尺寸浸入式刻写模式下，对直径25.4mm标准晶圆进行固定，采用一种激光直写样品的固定装置，如图4所示，包括样品台框架1，侧边限位块2，载物片压板3，顶丝7，弹簧8，弹簧固定柱9。

固定装置还包括载胶杯内筒11，载胶杯中筒12，载胶杯外筒13。

具体的，载物片压板3能够弹性压紧于第二固定组件的边沿。

本实施例中采用的弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架1上的顶丝7；顶丝7设于所述载物片压板3的下方，所述顶丝7能够抵于所述第二固定组件的侧沿弹簧8通过弹簧固定柱9固定在载物品压板3和样品台框架1之间，弹簧8处于拉伸状态，使载物品压板3始终有向下的压力。通过侧边限位块2对载物片压板3进行水平方向上的限位。顶丝通过螺纹固定到载物片压板3中，并对载物片产生限位的作用。

内外径配合限位为的形式为：载胶杯外筒13与载胶杯中筒12，载胶杯中筒12与载胶杯内筒11的内外径配合限位为间隙配合，配合公差为0.05mm，如图5所示，载胶杯中筒12底部有凹槽，将晶圆放置凹槽中，再放入内筒压紧，通过顶部螺丝将外筒-中筒-内筒固定后即可以实现晶圆固定。

具体使用时，首先将一寸晶圆放置在载胶杯中筒12的凹槽中，并通过载胶杯内筒11进行压紧，再将其一并放入载胶杯外筒13中，通过载物片压板3自动压紧，其中，筒与筒之间通过内外径配合限位，最后将光刻胶倒入载胶杯内筒11的空腔中，物镜14浸入光刻胶中。

实施例3

光纤端面刻写模式下，对标准尺寸光纤进行固定，采用一种激光直写样品的固定装置，如图6所示，包括样品台框架1，侧边限位块2，载物片压板3，顶丝7，弹簧8，弹簧固定柱9。

固定装置还包括光纤夹具框架16，光纤前压板17，光纤后压板18。

具体的，载物片压板3能够弹性压紧于第三固定组件的边沿。

本实施例中采用的弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架1上的顶丝7；顶丝7设于所述载物片压板3的下方，所述顶丝7能够抵于所述第三固定组件的侧沿弹簧8通过弹簧固定柱9固定在载物品压板3和样品台框架1之间，弹簧8处于拉伸状态，使载物品压板3始终有向下的压力。通过侧边限位块2对载物片压板3进行水平方向上的限位。顶丝通过螺纹固定到载物片压板3中，并对载物片产生限位的作用。

具体使用时，首先将光纤15放置在光纤后压板17和光纤前压板18的凹槽中，并通过顶丝推动光纤前压板18从而将光纤15夹紧。其中光纤后压板17和光纤前压板18通过螺丝固定在光纤夹具框架16上，光纤夹具框架16通过螺丝固定在样品台框架1上。

实施例4

具体实施时，第一固定组件还可以拓展式采用适配不同尺寸的载物片，参见图7，适配直径101.6mm标准晶圆的四寸载物片6；适配直径50.8mm标准晶圆的二寸多片载物片19，二寸载物片21；适配边长50.8mm方形铬板的四寸载物片20；适配直径30mm石英片的30mm载物片22；适配直径25.4mm标准晶圆的一寸载物片23。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

上述的对实施例的描述是为便于该技术领域的普通技术人员能理解和使用发明。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本发明不限于上述实施例，本领域技术人员根据本发明的揭示，不脱离本发明范畴所做出的改进和修改都应该在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光直写样品的固定装置，包括样品台框架（1），其特征在于，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架（1）上的：

适配常规刻写模式的第一固定组件，所述第一固定组件为边沿限位式定位槽结构，以此实现晶圆的定位；

或，

适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，所述第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；

或，

适配光纤端面刻写模式的第三固定组件，所述第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤（15）夹持定位。

2.根据权利要求1所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述的样品台框架（1）上设有弹性压紧单元，所述弹性压紧单元能够对第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿进行弹性压紧。

3.根据权利要求2所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述弹性压紧单元包括：

弹簧固定柱（9），其固定于所述样品台框架（1）上；

弹簧（8），其一端与所述弹簧固定柱（9）连接；

载物片压板（3），其与所述弹簧（8）的另一端连接，所述载物片压板（3）能够弹性压紧于第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的边沿。

4.根据权利要求3所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述弹性压紧单元还包括通过紧固件固定于样品台框架（1）上的顶丝（7）；

所述顶丝（7）设于所述载物片压板（3）的下方，所述顶丝（7）能够抵于所述第一固定组件或第二固定组件或第三固定组件的侧沿。

5.根据权利要求4所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述第一固定组件包括：

第一载物片，其边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第一载物片的侧沿被多个顶丝（7）抵接限位，所述第一载物片上设有晶圆装载槽；

晶圆压板（5），其轴接于所述第一载物片上，所述晶圆压板（5）能够旋转并使得其局部压设于晶圆的边沿上。

6.根据权利要求4所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述第二固定组件包括：

第二载物片，其边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第二载物片的侧沿被多个顶丝（7）抵接限位，所述第二载物片的中部设有凹槽；

三层叠套筒，设于所述第二载物片的凹槽中，晶圆和光刻胶设于三层叠套筒中。

7.根据权利要求6所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述三层叠套筒包括：

载胶杯外筒（13），其设于所述第二载物片的中部的凹槽中，用于光刻胶的防溢出；

载胶杯中筒（12），其嵌设于所述载胶杯外筒（13）中，晶圆设于所述载胶杯中筒（12）中；

载胶杯内筒（11），其嵌设于所述载胶杯中筒（12）中，通过内外径配合限位，同时对晶圆进行压紧固定。

8.根据权利要求4所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述第三固定组件包括：

第三载物片，其边沿被多个所述弹性压紧单元弹性压紧，且所述第三载物片的侧沿被多个顶丝（7）抵接限位，所述第三载物片的中部设有凹槽；

光纤夹具框架（16），其设于所述凹槽中，所述光纤夹具框架（16）上可拆卸设有2片光纤压板，光纤（15）夹设于2片光纤压板之间。

9.根据权利要求8所述的一种激光直写样品的固定装置，其特征在于，所述光纤夹具框架（16）为桥式框架结构；

2片光纤压板的相向夹持侧设有均设有匹配的凹槽，所述光纤（15）夹持限位于所述凹槽构成的腔体中。

10.一种如权利要求1至9中任意一项所述激光直写样品的固定装置的工作方法，其特征在于，所述工作方法为：

确定激光直写样品的种类，基于激光直写样品的种类对应选择以下过程中的一种：

A：将晶圆放置在第一载物片上，并通过晶圆压板（5）进行压紧，将第一载物片推入样品台框架（1）中，通过顶丝（7）对一载物片进行限位，并通过载物片压板（3）压紧限位；

B：将晶圆放置在载胶杯中筒（12）的凹槽中，并通过载胶杯内筒（11）进行内外径配合压紧限位，之后一并放入载胶杯外筒（13）中，并将外筒（13）置于第二载物片上，通过载物片压板（3）压紧，并将光刻胶倒入载胶杯内筒（11）的空腔中，将物镜（14）浸入光刻胶中；

C：将光纤（15）夹设于光纤后压板（17）和光纤前压板（18）之间，通过紧固件将光纤后压板（17）和光纤前压板（18）固定，并将光纤夹具框架（16）固定于第三载物片上。