CN116539716A - 一种超声波扫描装置 - Google Patents

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CN116539716A CN202210092075.1A CN202210092075A CN116539716A CN 116539716 A CN116539716 A CN 116539716A CN 202210092075 A CN202210092075 A CN 202210092075A CN 116539716 A CN116539716 A CN 116539716A
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Abstract

本发明属于超声波检测技术领域，公开了一种超声波扫描装置，超声波扫描装置包括工作台、超声波探头、驱动装置、水槽和过滤装置，超声波探头活动设置于工作台上，超声波探头用于检测检测样品，驱动装置设置于工作台上，驱动装置能驱动超声波探头于工作台上移动，水槽安装于工作台上，水槽内设置有用于放置检测样品的承载机构，过滤装置与水槽连通，过滤装置用于去除水槽中液体内的杂质。本发明提供的超声波扫描装置，驱动装置驱动超声波探头于工作台上移动，使超声波探头自动对检测样品进行扫描检测，使检测结构更加精确，且过滤装置去除水槽中液体内的杂质，使水槽内的液体保持清洁，避免水槽内的液体浑浊影响检测精度。

Description

一种超声波扫描装置
技术领域
本发明涉及超声波检测技术领域，尤其涉及一种超声波扫描装置。
背景技术
超声波显微镜(SAT，Scanning Acoustic Tomography；又称为C-SAM，C-modeScanning Acoustic Microscope)是一种通过高频超声波与不同密度材料的反射速率及能量不同进行检测的机台，广泛应用于半导体后段制程中。超声波显微镜输出超声波信号，当讯号遇到不同材料的界面时会部分反射及穿透，此种发射回波强度会因为材料密度不同而有所差异，基于这个特性来检验半导体器件内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成像。
现有技术中，超声波显微镜的扫描检测过程都是手动完成的，不能准确地控制扫描位置及扫描深度。此外，超声波显微镜常用的检测方法为水浸法，检测时将检测样品与探头一起放入盛有液体的水槽中，探头距检测样品一定距离，探头发射的超声波经液体至检测样品表面再转入检测样品内部。超声波显微镜使用一段时间后，检测样品上的污染物以及空气中的颗粒物等会使水槽内的液体会变得浑浊，影响超声波显微镜检测结果，需要对水槽清洗且更换水槽内的液体，清理和更换液体的过程漫长且繁琐，增加了使用人员的劳动负担。
发明内容
本发明的目的在于提供一种超声波扫描装置，能自动对检测样品进行扫描检测，且能清理水槽内的杂质，使水槽内的液体保持清洁。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种超声波扫描装置，包括：
工作台；
超声波探头，超声波探头活动设置于工作台上，超声波探头用于检测检测样品；
驱动装置，驱动装置设置于工作台上，驱动装置能驱动超声波探头于工作台上移动；
水槽，水槽安装于工作台上，水槽内设置有用于放置检测样品的承载机构；
过滤装置，过滤装置与水槽连通，过滤装置用于去除水槽中液体内的杂质。
可选地，过滤装置包括抽水泵和过滤器，水槽、抽水泵和过滤器依次首尾连通形成循环水路，抽水泵能使循环水路内的液体往复循环，过滤器能去除循环水路内的液体内的杂质。
可选地，承载机构包括：
支撑架，支撑架安装于工作台上，支撑架设置有两个且设置于水槽相对的两侧；
调节板，两个支撑架上均活动设置有调节板；
承载台，承载台设置于水槽内且与调节板连接，承载台能通过调节调节板与支撑架之间的角度以调平。
可选地，驱动装置包括安装于工作台上的第一驱动装置，超声波探头安装于第一驱动装置上，且第一驱动装置能使超声波探头沿工作台的竖直方向移动。
可选地，第一驱动装置包括：
第一导轨，第一导轨设置于工作台上，且第一导轨沿工作台的竖直方向延伸；
第一滑块，第一滑块与第一导轨滑动连接，第一滑块上设置有夹紧装置，超声波探头安装于夹紧装置上；
第一电机，第一电机的驱动端与第一滑块传动连接，第一电机能驱动第一滑块沿第一导轨移动。
可选地，夹紧装置包括：
定夹座，定夹座与第一滑块连接；
探头夹，探头夹与定夹座可拆卸连接，探头夹与定夹座之间形成有安装孔；
探头套筒，探头套筒插接于安装孔内，超声波探头插接于探头套筒内。
可选地，驱动装置还包括安装于工作台上的第二驱动装置，第一驱动装置安装于第二驱动装置上，第二驱动装置能使第一驱动装置沿第一方向移动。
可选地，第二驱动装置包括：
第二导轨，第二导轨设置于工作台上，且第二导轨沿第一方向延伸；
第二滑块，第二滑块与第二导轨滑动连接，第二滑块上设置有第一驱动装置；
第二电机，第二电机的驱动端与第二滑块传动连接，第二电机能驱动第二滑块沿第二导轨移动。
可选地，驱动装置还包括安装于工作台上的第三驱动装置，第二驱动装置安装于第三驱动装置上，第三驱动装置能使第二驱动装置沿第二方向移动。
可选地，第三驱动装置包括：
第三导轨，第三导轨设置于工作台上，且第三导轨沿第二方向延伸；
第三滑块，第三滑块与第三导轨滑动连接，第三滑块上设置有第二驱动装置；
第三电机，第三电机的驱动端与第三滑块传动连接，第三电机能驱动第三滑块沿第三导轨移动。
有益效果：
本发明提供的超声波扫描装置，驱动装置驱动超声波探头于工作台上移动，使超声波探头自动对检测样品进行扫描检测，使检测结构更加精确；过滤装置去除水槽中液体内的杂质，使水槽内的液体保持清洁，避免水槽内的液体浑浊影响检测精度，且减轻使用人员的劳动负担。
附图说明
图1是本发明提供的工作台上的结构示意图；
图2是本发明提供的超声波扫描装置的结构示意图；
图3是本发明提供的第一驱动装置的结构示意图；
图4是本发明提供的驱动装置的局部结构示意图；
图5是本发明提供的夹紧装置的结构示意图；
图6是本发明提供的第二驱动装置的结构示意图；
图7是本发明提供的第三驱动装置的结构示意图；
图8是本发明提供的循环水路中的液体流向示意图；
图9是本发明提供的承载机构的局部结构示意图；
图10是本发明提供的承载机构的俯视图；
图11是本发明提供的超声波探头与上位机的电连接示意图。
图中：
100、工作台；110、第三安装架；
200、超声波探头；300、水槽；
400、承载机构；410、支撑架；420、调节板；430、承载台；440、第一螺接件；450、第二螺接件；460、限位柱；470、第三螺接件；480、第四螺接件；
500、过滤装置；510、抽水泵；520、过滤器；
600、第一驱动装置；610、第一导轨；620、第一滑块；630、夹紧装置；631、定夹座；632、探头夹；633、探头套筒；640、第一电机；650、第一丝杠；660、第一安装架；670、安装板；
700、第二驱动装置；710、第二导轨；720、第二滑块；730、第二电机；740、第二安装架；
800、第三驱动装置；810、第三导轨；820、第三滑块；830、第三电机；
910、装置柜；920、装置门。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
参照图1至图2所示，本实施例提供了一种超声波扫描装置，包括工作台100、超声波探头200、驱动装置、水槽300和过滤装置500，超声波探头200活动设置于工作台100上，超声波探头200用于检测检测样品，驱动装置设置于工作台100上，驱动装置能驱动超声波探头200于工作台100上移动，水槽300安装于工作台100上，水槽300内设置有用于放置检测样品的承载机构400，过滤装置500与水槽300连通，过滤装置500用于去除水槽300中液体内的杂质。
在本实施例中，驱动装置驱动超声波探头200于工作台100上移动，使超声波探头200自动对检测样品进行扫描检测，使检测结构更加精确。此外，过滤装置500去除水槽300中液体内的杂质，使水槽300内的液体保持清洁，避免水槽300内的液体浑浊影响检测精度，且减轻使用人员的劳动负担。
于本实施例中，该超声波扫描装置还包括装置柜910和装置门920，工作台100、超声波探头200、驱动装置、水槽300和过滤装置500均置于装置柜910内。装置门920与装置柜910铰接，装置门920可以密封装置柜910，有效防止空气中的污染物置于水槽300内，保证水槽300内的液体清洁。
于本实施例中，参照图3至图4所示，驱动装置包括安装于工作台100上的第一驱动装置600，超声波探头200安装于第一驱动装置600上，且第一驱动装置600能使超声波探头200沿工作台100的竖直方向移动。在本实施例中，通过第一驱动装置600使超声波探头200沿工作台100的竖直方向移动，进而使超声波探头200能自动进出水槽300内的液体内，且实现了超声波探头200的聚焦调节功能。
具体地，第一驱动装置600包括第一导轨610、第一滑块620和第一电机640，第一导轨610设置于工作台100上，且第一导轨610沿工作台100的竖直方向延伸，第一滑块620与第一导轨610滑动连接，第一滑块620上设置有夹紧装置630，超声波探头200安装于夹紧装置630上，第一电机640的驱动端与第一滑块620传动连接，第一电机640能驱动第一滑块620沿第一导轨610移动。在本实施例中，通过第一电机640驱动第一滑块620沿第一导轨610移动，进而带动超声波探头200沿工作台100的竖直方向移动。
进一步地，第一驱动装置600还包括第一丝杠650和第一螺母，第一丝杠650与第一导轨610平行设置，第一丝杠650上连接有第一螺母，第一螺母与第一滑块620固定连接，第一电机640的驱动端与第一丝杠650传动连接，第一电机640能驱动第一丝杠650转动以使第一螺母沿第一丝杠650移动，进而带动第一滑块620沿第一导轨610移动。
进一步地，第一驱动装置600还包括第一安装架660，第一安装架660设置于工作台100上，第一导轨610、第一丝杠650和第一电机640的固定端均安装于第一安装架660上。具体地，第一导轨610可以但不限于设置有两个，且两个第一导轨610安装于第一安装架660相对的两侧，第一丝杠650安装于两个第一导轨610之间，使第一驱动装置600的传动过程更加稳定，第一丝杠650可以通过轴承与第一安装架660转动连接。
进一步地，第一驱动装置600还包括安装板670，安装板670的第一侧面与第一滑块620抵接，安装板670的第二侧面安装夹紧装置630，安装板670的第一侧面与安装板670的第二侧面对应设置。
进一步地，第一驱动装置600不限于此，还可以是其他形式的，在此不再做过多限定。
于本实施例中，参照图5所示，夹紧装置630包括定夹座631、探头夹632和探头套筒633，定夹座631与第一滑块620连接，探头夹632与定夹座631可拆卸连接，探头夹632与定夹座631之间形成有安装孔，探头套筒633插接于安装孔内，超声波探头200插接于探头套筒633内。具体地，定夹座631安装于安装板670的第二侧面上，安装孔沿工作台100的竖直方向延伸。在本实施例中，通过拆卸探头夹632以将探头套筒633拆装于安装孔，进而实现超声波探头200的拆装，探头套筒633用于保护超声波探头200，有效防止定夹座631和探头夹632夹坏超声波探头200。
具体地，探头套筒633沿轴线一分为二，由两个半套筒构成，方便安装超声波探头200。优选地，定夹座631和探头夹632可以通过螺接件连接，也可以通过其他连接件连接，在此不再做详细赘述。
于本实施例中，参照图6所示，驱动装置还包括安装于工作台100上的第二驱动装置700，第一驱动装置600安装于第二驱动装置700上，第二驱动装置700能使第一驱动装置600沿第一方向移动。具体地，第一方向为工作台100的长度方向。在本实施例中，通过第二驱动装置700使第一驱动装置600沿工作台100的长度方向移动，带动超声波探头200沿工作台100的长度方向移动，进而使超声波探头200能沿工作台100的长度方向对检测样品检测。具体地，第一安装架660安装于第二驱动装置700上。
具体地，第二驱动装置700包括第二导轨710、第二滑块720和第二电机730，第二导轨710设置于工作台100上，且第二导轨710沿第一方向延伸，第二滑块720与第二导轨710滑动连接，第二滑块720上设置有第一驱动装置600，第二电机730的驱动端与第二滑块720传动连接，第二电机730能驱动第二滑块720沿第二导轨710移动。在本实施例中，通过第二电机730驱动第二滑块720沿第二导轨710移动，进而带动第一驱动装置600沿工作台100的长度方向移动。
进一步地，第二电机730为直线电机，第二电机730的驱动端与第二滑块720连接。进一步地，第二驱动装置700还包括第二安装架740，第二安装架740设置于工作台100上，第二电机730的固定端以及第二导轨710均安装于第二安装架740上。进一步地，第二电机730不限于此，还可以是其他驱动装置，在此不再做过多限定。具体地，第二导轨710可以但不限于设置有两个，且两个第二导轨710安装于第二安装架740相对的两侧，第二电机730安装于两个第二导轨710之间，使第二驱动装置700的传动过程更加稳定。
进一步地，第二驱动装置700不限于此，还可以是其他形式的，在此不再做过多限定。
于本实施例中，参照图7所示，驱动装置还包括安装于工作台100上的第三驱动装置800，第二驱动装置700安装于第三驱动装置800上，第三驱动装置800能使第二驱动装置700沿第二方向移动。具体地，第二方向为工作台100的宽度方向。在本实施例中，通过第三驱动装置800使第二驱动装置700沿工作台100的宽度方向移动，带动第二驱动装置700、第一驱动装置600以及超声波探头200沿工作台100的宽度方向移动，进而使超声波探头200能沿工作台100的宽度方向对检测样品检测。具体地，第二安装架740安装于第三驱动装置800上。
具体地，第三驱动装置800包括第三导轨810、第三滑块820和第三电机830，第三导轨810设置于工作台100上，且第三导轨810沿第二方向延伸，第三滑块820与第三导轨810滑动连接，第三滑块820上设置有第二驱动装置700，第三电机830的驱动端与第三滑块820传动连接，第三电机830能驱动第三滑块820沿第三导轨810移动。在本实施例中，通过第三电机830驱动第三滑块820沿第三导轨810移动，进而带动第二驱动装置700沿工作台100的宽度方向移动。
进一步地，第三电机830为直线电机，第三电机830的驱动端与第三滑块820连接。进一步地，工作台100上设置有第三安装架110，第三电机830的固定端以及第三导轨810均安装于第三安装架110上。进一步地，第三电机830还可以是其他驱动装置，在此不再做过多限定。具体地，第三安装架110沿工作台100的长度方向设置有两个，且水槽300设置于两个第三安装架110之间，两个第三安装架110上均设置有至少一个第三滑轨，进而使第三驱动装置800的传动过程更加稳定，其中一个第三安装架110上安装有第三电机830。
进一步地，第三驱动装置800还可以是其他形式的，在此不再做过多限定。
在本实施例中，第二驱动装置700和第三驱动装置800使超声波探头200于水平方向内移动，以实现对整个检测样品的完整扫描检测。
于本实施例中，参照图8所示，过滤装置500包括抽水泵510和过滤器520，水槽300、抽水泵510和过滤器520依次首尾连通形成循环水路，抽水泵510能使循环水路内的液体往复循环，过滤器520能去除循环水路内的液体内的杂质。具体地，抽水泵510的进水口与过滤器520的出水口连通，抽水泵510的出水口与水槽300的进水口连通，水槽300的出水口与过滤器520的进水口连通。在本实施例中，当抽水泵510开启时，液体从水槽300的出水口流出，依次流经过滤器520和抽水泵510后从水槽300的进水口重新进入水槽300内，有效防止杂质进入抽水泵510中对抽水泵510的性能造成影响，延长抽水泵510的使用寿命。通过抽水泵510抽水，使循环水路内的液体往复循环，液体于循环水路往复循环的过程中，过滤器520去除液体内的杂质，进而使循环水路内的液体保持清洁，以使水槽300内的液体保持清洁。使用人员可以每隔一段时间开启抽水泵510清理一次水槽300，也可以在检测过程中间歇或持续的开启抽水泵510，利用过滤装置500清理水槽300的方式可以是其他方式，在此不再做过多赘述。
进一步地，水槽300内的液体为去离子水，也可以为其他液体，在此不再做过多限定。
进一步地，抽水泵510可以为磁力泵，也可以为其他结构的抽水装置，在此不再做过多限定。
进一步地，过滤器520可以为反渗透过滤器520，也可以为其他形式的过滤器520，在此不再做过多限定。
于本实施例中，参照图9至图10所示，承载机构400沿工作台100的宽度方向设置有至少一个。具体地，承载机构400包括支撑架410、调节板420和承载台430，支撑架410安装于工作台100上，支撑架410设置有两个且设置于水槽300相对的两侧，两个支撑架410上均活动设置有调节板420，承载台430设置于水槽300内且与调节板420连接，承载台430能通过调节调节板420与支撑架410之间的角度以调平。在本实施例中，承载台430通过调节调节板420与支撑架410之间的角度以调平，简单易操作。
具体地，支撑架410的顶面高于水槽300的端面，调节板420搭接于支撑架410的顶面上，且调节板420沿宽度方向横跨水槽300的端面与承载台430连接。
进一步地，调节板420上设置有限位孔和第一通孔，支撑架410的顶面上设置有与第一通孔对应设置的固定孔，限位孔和固定孔内均设置有内螺纹，第一螺接件440与限位口螺接且第一螺接件440的螺纹端的端部抵靠于支撑架410的顶面上，第二螺接件450的螺纹端穿设第一通孔与固定孔螺纹连接，第二螺接件450的头部与调节板420抵接。具体地，第一限位孔可以但不限于设置有两个，且两个第一限位孔分别设置于调节板420两个宽边的边缘处，第一通孔可以但不限于设置有两个，且两个第一通孔分别设置于调节板420两个宽边的边缘处。在本实施例中，通过旋拧第一螺接件440调节调节板420与支撑架410之间的角度，进而调平承载台430，通过拧紧第二螺接件450以将调节板420固定于支撑架410上。
进一步地，调节板420和承载台430之间设置有限位柱460，限位柱460的第一端与调节板420抵接，限位柱460的第二端与承载台430抵接。具体地，调节板420上设置有第二通孔，承载台430上设置有与第二通孔对应设置的第三通孔，第三螺接件470的螺纹端穿设第二通孔与限位柱460的第一端螺接，第三螺接件470的头部与调节板420抵接，第四螺接件480的螺纹端穿设第三通孔与限位柱460的第二端螺接，第四螺接件480的头部与承载台430抵接，进而实现调节板420和承载台430之间的固定。进一步地，第二通孔可以但不限于设置有两个，且两个第二通孔分别设置于调节板420两个宽边的边缘处。
于本实施例中，参照图11所示，该超声波扫描装置还包括上位机、数据采集卡、超声波发射接收器和前置放大器(图中未示出上位机、数据采集卡、超声波发射接收器和前置放大器)，其中，上位机、数据采集卡、超声波发射接收器、前置放大器和超声波探头200依次电连接，上位机控制数据采集卡向超声波发射接收器发射超声检测信号，超声波发射接收器发射超声脉冲给前置放大器，经前置放大器放大后由超声波探头200向检测样品发出超声脉冲，超声波探头200接收检测样品反射的超声脉冲，经前置放大器放大后传递给超声波发射接收器，再由超声波发射接收器传递给数据采集卡，经数据采集卡转换后传递给上位机，上位机处理得到检测结果。在本实施例中，该超声波扫描系统能检测半导体器件，并以上位机处理得到的波形和图像来显示检测结果的一种无损检测方法，在不破坏或不损害被检材料和工件的情况下，评估其质量和使用价值。该超声波扫描系统不仅能检测器件和材料的分层、气孔、裂缝和夹杂等缺陷，还可以配合驱动装置实现A、B、C扫描，多层扫描、逐层扫描等功能。
示例性地，检测前，使用人员将检测样品置于承载台430上，如样品有翘曲，可以通过铜块压平，第三电机830驱动第三滑块820沿第三导轨810移动，进而带动第二驱动装置700沿工作台100的长度方向移动，第二电机730驱动第二滑块720沿第二导轨710移动，进而带动第一驱动装置600沿工作台100的长度方向移动，使超声波探头200置于检测样品的上部，第一电机640驱动第一丝杠650转动以使第一螺母沿第一丝杠650移动，进而带动第一滑块620朝水槽300移动，使超声波探头200置于水槽300中的液体内，并通过控制第一电机640调节超声波探头200的位置以使超声波探头200相对于检测样品聚焦。检测时，通过控制第二电机730以及第三电机830使超声波探头200于工作台100水平方向做有规律的运动，在此过程中超声波探头200发射超声波并接收检测样品反射的超声波以完成对检测样品的检测。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种超声波扫描装置，其特征在于，包括：
工作台(100)；
超声波探头(200)，所述超声波探头(200)活动设置于所述工作台(100)上，所述超声波探头(200)用于检测检测样品；
驱动装置，所述驱动装置设置于所述工作台(100)上，所述驱动装置能驱动所述超声波探头(200)于所述工作台(100)上移动；
水槽(300)，所述水槽(300)安装于所述工作台(100)上，所述水槽(300)内设置有用于放置所述检测样品的承载机构(400)；
过滤装置(500)，所述过滤装置(500)与所述水槽(300)连通，所述过滤装置(500)用于去除所述水槽(300)中液体内的杂质。
2.根据权利要求1所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述过滤装置(500)包括抽水泵(510)和过滤器(520)，所述水槽(300)、所述抽水泵(510)和所述过滤器(520)依次首尾连通形成循环水路，所述抽水泵(510)能使所述循环水路内的所述液体往复循环，所述过滤器(520)能去除所述循环水路内的所述液体内的杂质。
3.根据权利要求1所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述承载机构(400)包括：
支撑架(410)，所述支撑架(410)安装于所述工作台(100)上，所述支撑架(410)设置有两个且设置于所述水槽(300)相对的两侧；
调节板(420)，两个所述支撑架(410)上均活动设置有所述调节板(420)；
承载台(430)，所述承载台(430)设置于所述水槽(300)内且与所述调节板(420)连接，所述承载台(430)能通过调节所述调节板(420)与所述支撑架(410)之间的角度以调平。
4.根据权利要求1所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述驱动装置包括安装于所述工作台(100)上的第一驱动装置(600)，所述超声波探头(200)安装于所述第一驱动装置(600)上，且所述第一驱动装置(600)能使所述超声波探头(200)沿所述工作台(100)的竖直方向移动。
5.根据权利要求4所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述第一驱动装置(600)包括：
第一导轨(610)，所述第一导轨(610)设置于所述工作台(100)上，且所述第一导轨(610)沿所述工作台(100)的竖直方向延伸；
第一滑块(620)，所述第一滑块(620)与所述第一导轨(610)滑动连接，所述第一滑块(620)上设置有夹紧装置(630)，所述超声波探头(200)安装于所述夹紧装置(630)上；
第一电机(640)，所述第一电机(640)的驱动端与所述第一滑块(620)传动连接，所述第一电机(640)能驱动所述第一滑块(620)沿所述第一导轨(610)移动。
6.根据权利要求5所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述夹紧装置(630)包括：
定夹座(631)，所述定夹座(631)与所述第一滑块(620)连接；
探头夹(632)，所述探头夹(632)与所述定夹座(631)可拆卸连接，所述探头夹(632)与所述定夹座(631)之间形成有安装孔；
探头套筒(633)，所述探头套筒(633)插接于所述安装孔内，所述超声波探头(200)插接于所述探头套筒(633)内。
7.根据权利要求4所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述驱动装置还包括安装于所述工作台(100)上的第二驱动装置(700)，所述第一驱动装置(600)安装于所述第二驱动装置(700)上，所述第二驱动装置(700)能使所述第一驱动装置(600)沿第一方向移动。
8.根据权利要求7所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述第二驱动装置(700)包括：
第二导轨(710)，所述第二导轨(710)设置于所述工作台(100)上，且所述第二导轨(710)沿所述第一方向延伸；
第二滑块(720)，所述第二滑块(720)与所述第二导轨(710)滑动连接，所述第二滑块(720)上设置有所述第一驱动装置(600)；
第二电机(730)，所述第二电机(730)的驱动端与所述第二滑块(720)传动连接，所述第二电机(730)能驱动所述第二滑块(720)沿所述第二导轨(710)移动。
9.根据权利要求7所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述驱动装置还包括安装于所述工作台(100)上的第三驱动装置(800)，所述第二驱动装置(700)安装于所述第三驱动装置(800)上，所述第三驱动装置(800)能使所述第二驱动装置(700)沿第二方向移动。
10.根据权利要求9所述的超声波扫描装置，其特征在于，所述第三驱动装置(800)包括：
第三导轨(810)，所述第三导轨(810)设置于所述工作台(100)上，且所述第三导轨(810)沿所述第二方向延伸；
第三滑块(820)，所述第三滑块(820)与所述第三导轨(810)滑动连接，所述第三滑块(820)上设置有所述第二驱动装置(700)；
第三电机(830)，所述第三电机(830)的驱动端与所述第三滑块(820)传动连接，所述第三电机(830)能驱动所述第三滑块(820)沿所述第三导轨(810)移动。
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