CN116480783A - 在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构 - Google Patents

Abstract

涉及一种在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构，该方法的S1提供了一种多联阀结构，包括共用阀座、设置在共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀。该方法还包括：S2以滴漏切换阀的全通供给模式与滴漏模式的在线切换、S3以阀道约束方式第一次调节该滴漏在线预定义阀,在线预定义滴漏开度、S4基于该在线预定义滴漏开度的对照,在线重定义该滴漏切换阀的滴漏开度、S5以阀道释放方式第二次调节该滴漏在线预定义阀,该滴漏在线预定义阀不再对多联阀有开度约束或是只能缩小定义多联阀的全通供给开度。本方法与对应结构实现了免拆阀免旁通在生产线上阀滴漏开度的调整。

Description

在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构

技术领域

本发明涉及滴漏阀的技术领域，尤其是涉及一种在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构，其中一种具体应用是半导体生产设备的超纯水补水和溢流。

背景技术

现有的流体开关阀的主要目的都是在实现可开关的供给流体的功能，在阀关闭时要阻止流体的滴漏，一般正常的改善措施都是为了防止滴漏。但是，近来还有一种被要求反向设计的滴漏阀的市场需求，希望在阀关闭时能进行稳定的流体滴漏、阀开通时能进行大流量的流体补充。具体比如但不是用于限定的市场需求，应用于半导体晶圆单片清洗机的应用，供给机体的流道管路上需要装设滴漏阀，开与关分别用于控制电子超纯水槽的大量补水和溢流。

应用于自来水管路终端控制的全开与全关的简单应用领域中，实用新型专利号CN2042140U公开了一种防止流体滴（溢）漏的控制阀，采用双滑阀串联结构，主阀的闭合元件沿阀座直线滑移开启或关闭流体通道，副阀随主阀相应动作，自行调节流量，同时限定主阀芯位置。当流体管路中没有压力时，主阀芯利用其自身力解脱副阀限位，自动关闭流体通道，具有防滴漏和失压保护功能。控制阀的开关是流体开通与流体关闭防止滴漏的两种模式。现有相关技术中，没有考虑到在阀关闭时希望稳定保持在阀滴漏阶段的市场需求。

应用于花盆浇水的控制滴漏的开与关的简单应用领域中，发明专利公开号CN104145787A公开了一种滴漏，包括容器、盖、针体、阀门，盖旋接在容器的出口上，针体包括带有通孔的且固定在盖上的插针、旋接在插针尾部的固定套、固定套内孔设置有止面，插针尾部位于盖内侧，阀门设置在插针尾部与固定套止面间，容器的底部设置有通气孔。现有相关技术中，滴漏结构是利用自然重力的非阀体开关模式，只具有滴漏开启与滴漏关闭两种模式以及在滴漏开启与滴漏关闭之间的可调非稳定的模式。

在生产线上动态调整阀滴漏与阀大流道供给的切换，容易想得到的是生产机台上各装设一个重力滴漏与一个流体开关阀，进行旁通切换，但是这样结构会有一个滴漏入口与一个大流量流体入口，且占据较大设备空间。如何以一个滴漏阀的结构体进行大流量流体供给与滴漏开启的快速切换以及在生产线上不停机、免拆阀、免旁通进行阀滴漏开度的稳定调整，是目前遭遇到的技术难关。另外，本领域技术人员容易想得到的技术是对滴漏流量进行时时线上监测，即增加了生产线上的一个监测点，过程需要持续耗电，并且滴漏流通量与大流量流通量的差距值颇大，不利于滴漏流量的微观监测的数值准确化。

发明内容

本发明的主要目的一是提供一种在线调整阀滴漏开度的方法，主要进步在于解决了使用大流量切换与滴漏模式切换的多联阀在生产线上不停机、免拆阀、免旁通进行阀滴漏开度的稳定调整的技术问题，不需要时时监测滴漏流量，大流量流通量也不会造成滴漏流量的微观监测的数值准确度。

本发明的主要目的二是提供一种多联阀结构，能够应用于实施在线调整阀滴漏开度的方法。

本发明的主要目的一是通过以下技术方案得以实现的：

提出一种在线调整阀滴漏开度的方法，包括以下步骤：

S1、提供多联阀结构，所述多联阀结构包括共用阀座、设置在所述共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀，所述滴漏切换阀与所述滴漏在线预定义阀之间为流道串连的关系；

S2、在所述滴漏在线预定义阀处于阀开通状态下，以所述滴漏切换阀的开启与关闭方式，实现所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式的在线切换，所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第一在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；

S3、在所述滴漏切换阀开启阶段或关闭阶段下，第一次调节所述滴漏在线预定义阀，以所述滴漏在线预定义阀的开度在线重新定义出所述多联阀结构的第二在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时，所述第二在线滴漏开度小于所述第一在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于开启阶段时，所述第二在线滴漏开度大于或小于所述第一在线滴漏开度；

S4、在所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度处于所述第二在线滴漏开度的状态，调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，所述滴漏切换阀调整后的关闭阶段具有第三在线滴漏开度，所述第三在线滴漏开度与所述第二在线滴漏开度的差值小于所述第三在线滴漏开度与所述第一在线滴漏开度的差值；

S5、第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度，使处于接近或大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第三在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度。

此一基础方法实施例的实施原理为，利用S2以滴漏切换阀的全通供给模式与滴漏模式的在线切换、S3以阀道约束方式第一次调节该滴漏在线预定义阀,在线预定义滴漏开度、S4基于该在线预定义滴漏开度的对照,在线重定义该滴漏切换阀的滴漏开度、S5以阀道释放方式第二次调节该滴漏在线预定义阀,该滴漏在线预定义阀不再对多联阀有开度约束或是只能缩小定义多联阀的全通供给开度,本方法实现了免拆阀免旁通在生产线上阀滴漏开度的调整。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，所述滴漏在线预定义阀的第二次调节状态提供所述多联阀结构的第二在线全通供给开度，所述第二在线全通供给开度小于由所述滴漏切换阀开启提供的所述第一在线全通供给开度。

通过采用上述方法的优选技术特点，利用步骤S5中所述滴漏在线预定义阀的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，第二在线全通供给开度，作为该多联阀的开启开度，以修正并取代所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，故所述滴漏在线预定义阀除了具有在线预定义滴漏开度的作用，还具有缩小化重定义该多联阀的全通供给开度的功能。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，由所述滴漏切换阀的开关切换分别在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度。

通过采用上述方法的优选技术特点，利用步骤S5中所述滴漏在线预定义阀的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，使得所述滴漏切换阀的开关切换过程中，所述滴漏在线预定义阀不影响由所述滴漏切换阀在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度的切换，所述滴漏在线预定义阀而能有更好的耐用度。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S4中，所述多联阀结构处于由所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度至由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第三在线滴漏开度的滴漏模拟变化；

在步骤S3中，当在所述滴漏切换阀处于关闭阶段，所述多联阀结构处于处于由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第一在线滴漏开度至所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度的滴漏调节连续变化；或者，所述多联阀结构不受所述滴漏切换阀的开启在线提供的第一在线全通供给开度的影响，预先调节所述滴漏在线预定义阀的开度在线模拟所述第一在线滴漏开度,待所述滴漏切换阀切换到开启阶段，再调节所述滴漏在线预定义阀的开度至所述第二在线滴漏开度的滴漏连续调节变化。

通过采用上述方法的优选技术特点，利用步骤S4中所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度作为滴漏开度的预定义进行参考对照，随后将所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第一在线滴漏开度调整为第三在线滴漏开度，故所述滴漏在线预定义阀的调节能作为所述滴漏切换阀的第三在线滴漏开度在调整前的滴漏模拟变化对照，不需要数位化讯息模拟，以纯机械方式进行先调节后模拟调整在线滴漏开度，耗电量为零或接近零。步骤S4的整个模拟调整过程为，所述多联阀处于预定义滴漏状态至模拟调整的重新定义滴漏阶段，没有突然大流量的发生。

通过采用上述方法的优选技术特点，利用步骤S3中所述滴漏在线预定义阀提供的所述第二在线滴漏开度，基于其是否大于或小于所述滴漏切换阀的所述第一在线滴漏开度，所述滴漏切换阀有不同的操作，当大于（滴漏开度需要开大，即滴漏目标值大于滴漏实际值），则所述滴漏切换阀处于开启阶段，当小于（滴漏开度需要开小，即滴漏目标值小于滴漏实际值），则所述滴漏切换阀可以处于开启阶段或关闭阶段，这表示如果是要调小，保持在多联阀的滴漏阶段能进行在线滴漏开度的往小调节（所述滴漏切换阀保持关闭的不切换）与往小调整；如果是要调大，则需要比较复杂的操作，先将所述滴漏在线预定义阀的开度调节为接近或小于所述滴漏切换阀的所述第一在线滴漏开度，再将所述滴漏切换阀切换为第一在线全通供给开度，最后再将所述滴漏在线预定义阀调节为比第一在线滴漏开度更大的第二在线滴漏开度。因此，无论是原本第一在线滴漏开度小于或大于待模拟的第二在线滴漏开度，所述滴漏在线预定义阀的调节开度变小或变大，步骤S3的整个调节过程为，所述多联阀处于原本滴漏阶段至模拟调大或调小的滴漏状态，没有突然大流量的发生。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S4中，以设置在所述滴漏切换阀的阀体上的滴漏调整件来调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，所述滴漏调整件具有能垫高所述滴漏切换阀的切换阀杆下限移动的厚度或相对于切换阀杆的高度位置。

通过采用上述方法的优选技术特点，利用设置在所述滴漏切换阀的阀体上的滴漏调整件，选用适合厚度的滴漏调整件，改变了所述滴漏切换阀切换在关闭阶段下的在线滴漏开度。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S1中，所述滴漏在线预定义阀具有调节旋帽；在步骤S4中，所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度对应指向所述调节旋帽的调节刻度，由所述调节旋帽的调节刻度确定所述滴漏调整件的厚度尺寸或所述滴漏调整件相对于切换阀杆的高度位置。

通过采用上述方法的优选技术特点，利用所述滴漏在线预定义阀的旋帽的旋转来调节所述滴漏在线预定义阀的开度，实现开度调节的连续变化，旋帽的调节刻度能指向该调节开度，在有对照指标下能确定所述滴漏调整件的厚度尺寸或是所述滴漏调整件相对于切换阀杆的高度位置。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：所述调节旋帽在该调节刻度下的高度水平与所述滴漏切换阀的阀体高度之间的高度差对应于所述滴漏调整件的厚度或相对于切换阀杆的高度位置；优选的，当所述滴漏在线预定义阀的调节开度为零时，所述多联阀结构处于为滴漏关闭的状态。

通过采用上述优选方法的技术特点，利用所述滴漏在线预定义阀的旋帽与所述滴漏切换阀的阀体高度之间的水平高度差，能更快找到厚度适合的滴漏调整件。例如在第一在线滴漏开度时，原本滴漏调整件的上表面与模拟第一在线滴漏开度的旋帽上表面两者有在共用阀座上相同的高度，用于替换的滴漏调整件的上表面相对于已调节到第二在线滴漏开度的旋帽上表面也应当有相同的高度；或者，在第一在线滴漏开度时，可拆卸连接于切换阀杆的原本滴漏调整件的上表面与模拟第一在线滴漏开度的旋帽上表面两者有在共用阀座上相同的高度，调节在切换阀杆上的高度位置后，在所述滴漏切换阀的关闭阶段下滴漏调整件的上表面相对于已调节到第二在线滴漏开度的旋帽上表面也应当有相同的高度，故以上两种方式都能很容易就知道需要用于替换的滴漏调整件的厚度或相对于切换阀杆进行调节的高度位置。

本发明在较佳示例中可以进一步配置为：所述滴漏切换阀具体为气动流量切换阀，所述滴漏在线预定义阀具体为旋转方式连续调节流量的调节阀，所述滴漏切换阀与所述滴漏在线预定义阀适用于相同尺寸的阀室并包含有相同尺寸可共用的阀膜，所述滴漏切换阀更靠近流体输入端，所述滴漏在线预定义阀更靠近流体输出。

通过采用上述优选技术特点，利用气动流量切换阀作为在线的流量全通模式与滴漏模式的切换，利用旋转方式连续调节流量的调节阀作为需要调整出目标滴漏开度的在线预定义，两阀的阀膜具有通用性，形成在共用阀座上不同功能阀的内部关键零组件的通用。更优选的，还利用滴漏切换阀更靠近流体输入端，所述滴漏在线预定义阀更靠近流体输出，在此连接形态下将使得所述滴漏切换阀首先承受在全通供给大流量的外部流体压力，保护所述滴漏在线预定义阀的调节准确度，即使长时间使用下所述滴漏切换阀的滴漏模式下发生滴漏误差、或者刚装机时所述滴漏切换阀的滴漏模式需要进行适配性的校正，所述滴漏在线预定义阀能在生产线上保持滴漏过程中以调节方式预先定义滴漏开度，再以调整方式重新确定所述滴漏切换阀的滴漏开度。

本发明的主要目的二是通过以下技术方案得以实现的：

提出一种用于实现阀滴漏开度在线调整的多联阀结构，包括：

共用阀座，具有流道相互串连的第一阀室与第二阀室；

滴漏切换阀，设置在所述共用阀座的第一阀室上，用于在线切换所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式，以在线切换所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第一在线滴漏开度；

滴漏在线预定义阀，设置在所述共用阀座的第二阀室上，以调节方式在线提供所述多联阀结构在滴漏模式的第二在线滴漏开度；基于对所述第二在线滴漏开度的在线模拟，能调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，使所述滴漏切换阀能够在线切换所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度，所述第三在线滴漏开度与所述第二在线滴漏开度的差值小于所述第三在线滴漏开度与所述第一在线滴漏开度的差值。

通过采用上述结构的基础技术特点，利用共用阀座上同时设置存在的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀，实现了实现能大流量与滴漏之间切换的滴漏阀在线调整其滴漏开度。

本发明在较佳结构示例中可以进一步配置为：

所述共用阀座的流道包括输入流道段、中间流道段及输出流道段，所述输入流道段的流出口对准于所述第一阀室的底部，所述输出流道段的流入口对准于所述第二阀室的底部；

所述滴漏切换阀具体为气动流量切换阀，包括能切换所述第一阀室内流量模式的切换阀膜、连接于所述切换阀膜的切换阀杆、供所述切换阀杆轴向分段移动的切换阀体、用于驱动所述切换阀杆下移的切换弹性体、结合于所述切换阀杆上用于约束所述切换阀杆下移止点的阻挡件、设置于所述切换阀体上的滴漏调整件；优选的，所述切换阀体包括下阀体与上阀体，所述上阀体具有相对于所述下阀体的内挡止部，用于约束所述切换阀杆上移止点；更优选的，所述切换阀杆的所述切换驱动盘的外围下表面设有笔直的导杆，以增加所述切换驱动盘上下升降的导引依托；更具体的，所述上阀体设有上气动孔，所述下阀体设有下气动孔，所述切换阀杆连接的切换驱动盘活动于所述上气动孔与所述下气动孔之间高度差的平行空间；所述切换弹性体设置在所述上阀体与所述驱动盘之间；更具体的，所述滴漏调整件与所述切换阀杆为可拆卸连接，所述滴漏调整件具有垫片环结构，所述阻挡件设置在所述切换阀杆远离所述上阀体的一端；更具体的，所述下阀体还开设有底通气孔；

所述滴漏在线预定义阀具体为旋转方式连续调节流量的调节阀，包括能封闭所述第二阀室内流量的调节阀膜、连接于所述调节阀膜的调节阀杆、供所述调节阀杆轴向连续移动的调节阀体、用于驱动所述调节阀杆上移的调节弹性体、设置于所述调节阀体上用于约束所述调节阀体上移位置的旋帽，所述旋帽或所述旋帽的束止部相对于所述调节阀体为高度可调节；具体的，所述旋帽与所述调节阀体之间为螺接关系，所述旋帽与所述调节阀杆之间为接触关系，所述调节阀杆还设置有相对于所述调节阀体的防脱结构；优选的，所述调节阀体内还设置有内阀环，所述调节弹性体设置于所述调节阀杆的调节驱动盘与所述内阀环之间，所述内阀环配合所述共用阀座在所述第二阀室的周缘以夹合所述调节阀膜的周边；更优选的，所述调节阀体开设有外通气孔，所述内阀环开设有内通气孔，所述内阀环的外侧或/与所述调节阀体的内侧开设有连通所述外通气孔与所述内通气孔的通气槽；所述内阀环相对于所述调节阀体为可旋转的气密接触关系。上述结构的优选技术特点的个别作用与组合效果另记载在具体实施方式中。

综上所述，本发明示例关于方法或结构的技术方案包括以下至少一种对现有技术作出贡献的技术效果：

1.在阀开关切换大流量开通与微流量滴漏的新应用领域中，对于在能大流量全通供给模式与滴漏模式在线切换的多联阀结构中实现了免拆阀免旁通在生产线上阀滴漏开度的调整，打破阀关闭必须具备防滴漏的固有思维；

2.多联阀结构的具体产品应用于大流量的补水和小流量的滴漏（保证水流动的）。例如以人工方式设定好所述滴漏在线预定义阀的滴漏开度后，作为所述滴漏切换阀的滴漏开度的在线调整参考，在放开所述滴漏在线预定义阀的开度约束后，后续只需要通过具体如气动位的所述滴漏在线预定义阀实现全通大流量模式和微流量滴漏模式的快速切换；

3.多联阀结构能符合在大流量全通与微流量滴漏切换下流量稳定性非常高的要求，同时也符合对阀门的流道设置要求不能有死区的要求。例如一具体应用中对于十二英寸晶圆前道单片清洗槽能保证稳定的270±10ml/min微流量滴漏效果；

4.将多个阀功能集成一个阀产品，满足半导体前道清洗设备的紧凑空间要求。

附图说明

图1绘示本发明一些较佳实施例的在线调整阀滴漏开度的方法的流程方块图；

图2绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S1提供的多联阀结构的立体示意图；

图3绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S1提供的多联阀结构的爆炸分解示意图；

图4绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S1提供的多联阀结构在全通供给模式沿着流道方向剖切的示意图；（还可对应步骤S2、滴漏在线预定义阀的开度处于开通状态、滴漏切换阀的开度处于第一在线全通供给开度）

图5绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S1提供的多联阀结构在垂直流道方向剖切滴漏切换阀的示意图；

图6绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S1提供的多联阀结构在垂直流道方向剖切滴漏在线预定义阀的示意图；

图7绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S2提供的多联阀结构在待调整滴漏模式沿着流道方向剖切的示意图；（滴漏在线预定义阀的开度处于开通状态、滴漏切换阀的开度切换至第一在线滴漏开度）

图8绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S3提供的多联阀结构在待调整较小滴漏模式且在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时沿着流道方向剖切的示意图；（滴漏在线预定义阀的开度调节至第二在线滴漏开度、滴漏切换阀的开度处于第一在线滴漏开度，第二在线滴漏开度小于第一在线滴漏开度）

图9绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S4提供的多联阀结构对应步骤S3提供的多联阀结构在调整出较小滴漏模式且在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时沿着流道方向剖切的示意图；（滴漏在线预定义阀的开度处于第二在线滴漏开度、滴漏切换阀的开度调整至第三在线滴漏开度，第三在线滴漏开度接近或等于第二在线滴漏开度）

图10绘示本发明一些较佳实施例的方法中对应步骤S5在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时提供的多联阀结构沿着流道方向剖切的示意图；（滴漏在线预定义阀的开度调节至第二在线全通供给开度、滴漏切换阀的开度处于第三在线滴漏开度）

图11绘示本发明另一些较佳实施例的方法中对应步骤S3提供的多联阀结构在待调整较大滴漏模式且在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时沿着流道方向剖切的示意图；（滴漏在线预定义阀的开度调节至第二在线滴漏开度、滴漏切换阀的开度切换至第一在线全通供给开度之前，第二在线滴漏开度大于第一在线滴漏开度）

图12绘示本发明另一些较佳实施例的方法中对应步骤S4提供的多联阀结构在调整出较大滴漏模式且在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时沿着流道方向剖切的示意图；（滴漏在线预定义阀的开度处于第二在线滴漏开度、滴漏切换阀的开度调整至第三在线滴漏开度，第三在线滴漏开度接近或等于第二在线滴漏开度）

图13绘示本发明另一些较佳实施例的多联阀结构中滴漏切换阀的切换阀杆与切换阀体的组合剖切示意图；

图14绘示本发明另一些较佳实施例的多联阀结构中滴漏切换阀的切换阀杆与切换阀体的下阀体相互配合的立体示意图。

附图标记：10、共用阀座；11、第一阀室；12、第二阀室；13、流体输入端；14、流体输出端；15、输入流道段；16、中间流道段；17、输出流道段；18、输入套管；19、输出套管；20、滴漏切换阀；20A、第一在线全通供给开度；20B、第一在线滴漏开度；20C、第三在线滴漏开度；21、滴漏调整件；22、切换阀杆；22A、切换驱动盘；22B、导杆；23、切换阀膜；24、切换阀体；241、下阀体；241A、下气动孔；241B、底通气孔；242、上阀体；242A、上气动孔；242B、内挡止部；25、切换弹性体；26、阻挡件；30、滴漏在线预定义阀；30A、第二在线滴漏开度；30B、第二在线全通供给开度；31、旋帽；32、调节阀杆；32A、防脱结构；32B、调节驱动盘；33、调节阀膜；34、调节阀体；34A、外通气孔；35、调节弹性体；36、内阀环；36A、内通气孔；36B、通气槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是作为理解本发明的发明构思一部分实施例，而不能代表全部的实施例，也不作唯一实施例的解释。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在理解本发明的发明构思前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围内。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。为了更方便理解本发明的技术方案，以下将本发明的在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构做进一步详细描述与解释，但不作为本发明限定的保护范围。

文中所述的开度的调整与开度的调节属于不同的技术概念，开度的调整为能承受阀开关阶段之间的分段切换，开度的调节为开度不分段的状态至状态的连续变化，而开度的切换为阶段之间的分段快速切换。对应“切换”的阀流通情况为“阶段”，主要指向滴漏切换阀，改变切换某阶段开度的手段称为“调整”；即，“阶段”与“阶段”之间为某节至某节的分段形态，其开关操作称为“切换”，其矫正修改操作称为“调整”，例如滴漏切换阀的调改由第一在线滴漏开度至第三在线滴漏开度的“调整”，其生产时分段变化操作称为“切换”，例如通常的，“切换”需要时间会比“调整”需要时间与“调节”需要时间来得更短，例如滴漏切换阀的第一或第三在线滴漏开度至在线全通供给开度或者反向的在线切换所需要时间是短的；对应“调节”的阀流通情况为“状态”，主要指向滴漏在线预定义阀，“状态”与“状态”之间为不分段的连续变化，其操作通常称之为“调节”，例如滴漏在线预定义阀调改到的第二在线滴漏开度的“调节”。

参阅图1，本申请实施例首先提供一种在线调整阀滴漏开度的方法，包括的步骤依序为：步骤S1、提供多联阀结构，包括共用阀座、设置在共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀；步骤S2、以滴漏切换阀的开启与关闭方式，实现多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式的在线切换；步骤S3、第一次调节所述滴漏在线预定义阀，以重新定义出所述多联阀结构的第二在线滴漏开度；步骤S4、基于第二在线滴漏开度，调整所述滴漏切换阀的关闭阶段；步骤S5、第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度。在此方法下，在生产线的滴落过程中完成了多联阀结构可切换滴漏开度的调整。

本申请在一些较佳实施例中，图2至图6绘示一种在线调整阀滴漏开度的方法中步骤S1提供的多联阀结构。基于说明书的记载，附图所示能代表多个实施例具有共性的部分，也能代表个别实施例的特有部分，不同实施例之间具有差异或区别的部分另以文字方式描述或是与图面对比的方式呈现。因此，应当基于产业特性与技术本质，熟知本领域的技术人员应正确且合理的理解与判断以下所述的个别技术特征或其任意多个的组合是否能够表征到同一实施例，或者是多个技术本质互斥的技术特征仅能分别表征到不同变化实施例。

如图2至图6所示，本发明一些实施例在步骤S1提供的一种用于实现阀滴漏开度在线调整的多联阀结构。图2绘示多联阀结构的立体示意图；图3绘示多联阀结构的爆炸分解示意图；图4绘示多联阀结构在全通供给模式沿着流道方向剖切的示意图；图5绘示多联阀结构在垂直流道方向剖切滴漏切换阀的示意图；图6绘示多联阀结构在垂直流道方向剖切滴漏在线预定义阀的示意图。步骤S1的作用是让能大流量全通供给与微流量滴漏之间切换的滴漏切换阀20在同一阀座10上整合滴漏在线预定义阀30，以组成一体的多联阀结构。该多联阀结构的一种具体示例结构主要包括：共用阀座10、滴漏切换阀20以及滴漏在线预定义阀30。

参阅图2至图6所示的共用阀座10，具有流道相互串连的第一阀室11与第二阀室12；如图3对照图2与图4所示，示例是以共用阀座10下方的个别的底板并通过由上往下的结合杆穿过对应的滴漏切换阀20的阀体与滴漏在线预定义阀30的阀体结合至个别的底板，以分别固定滴漏切换阀20与滴漏在线预定义阀30在同一共用阀座10上；但不限于可以使用其它常规阀体与阀座的结合手段。

参阅图2至图5所示的滴漏切换阀20，设置在所述共用阀座10的第一阀室11上，用于在线切换所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式，以在线切换所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A与第一在线滴漏开度20B（分别如图4与图7所示）；其中，第一在线滴漏开度20B所指具体为该多联阀的待调整的滴漏开度，通常是多联阀实际在线使用时的具体滴漏开度。

参阅图2至图4与图6所示的滴漏在线预定义阀30，设置在所述共用阀座10的第二阀室12上，以调节方式在线提供所述多联阀结构在滴漏模式的第二在线滴漏开度30A（如图8所示）；基于对所述第二在线滴漏开度30A的在线模拟，能调整所述滴漏切换阀20的关闭阶段，使所述滴漏切换阀20能够在线切换所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A与第三在线滴漏开度20C（第三在线滴漏开度20C见于如图9所示），所述第三在线滴漏开度20C与所述第二在线滴漏开度30A的差值小于所述第三在线滴漏开度20C与所述第一在线滴漏开度20B的差值。其中，第二在线滴漏开度30A具体是该多联阀的在线预定义的滴漏开度，作为多联阀实际在线使用的目标滴漏开度；所述第三在线滴漏开度20C所指具体为该多联阀的调整后重新设定的重定义滴漏开度，通常是该多联阀实际在线使用中新修正的滴漏开度；所述第三在线滴漏开度20C基于第二在线滴漏开度30A的过程中调节出现的基础前提下才能调整设定。

通过采用上述结构的基础技术特点，参阅图4与图7，利用共用阀座10上同时设置存在的滴漏切换阀20与滴漏在线预定义阀30，流体由流体输入端13进入共用阀座10的流道,具体是输入流道段15,优选是先通过滴漏切换阀20下方的第一阀室11，通过中间流道段16，再通过滴漏在线预定义阀30的第二阀室12，通过输出流道段17，最后流体由流体输出端14导出，滴漏切换阀20的全通供给模式下流体为大流道供给，滴漏切换阀20的滴漏模式下流体为微流量的滴漏供给，滴漏过程中多联阀的滴漏开度为先是切换设置的第一在线滴漏开度20B、再变化为调节设置的第二在线滴漏开度30A、最后终变化为调整设置的第三在线滴漏开度20C，其后再次切换下还是能直接切换成第三在线滴漏开度20C，实现了实现能大流量与滴漏之间切换的滴漏阀在线调整其滴漏开度。

在较佳结构示例中，参阅图4至图7，所述共用阀座10的流道包括输入流道段15、中间流道段16及输出流道段17，所述输入流道段15的流出口对准于所述第一阀室11的底部，所述输出流道段17的流入口对准于所述第二阀室12的底部；中间流道段16连通所述第一阀室11与所述第二阀室12。因此，由图4与图7可见，流体的流入压力与流出压力在异常变化下的压力方向都分别与所述滴漏切换阀20以及滴漏在线预定义阀30的对应阀杆轴向移动方向一致，在大流量开通与滴漏开起的切换之间产生的流体压力变化不直接作用于所述滴漏切换阀20的切换阀膜23与滴漏在线预定义阀30的调节阀膜33的软膜部位。所述滴漏切换阀20的切换阀杆22与滴漏在线预定义阀30的调节阀杆32不容易受到流体压力变化的偏心力，能准确控制所述多联阀的滴漏开度。在所述多联阀的使用过程中，以输入套管18对流体输入端13的旋转紧迫方式将流体供给的外部管路固定于共用阀座10的流体输入端13，以输出套管19对流体输出端14的旋转紧迫方式将连通到机台的供给管路固定于共用阀座10的流体输出端14，共用阀座10提供了所述滴漏切换阀20对所述滴漏在线预定义阀30的调整基础。

参阅图2至图5，所述滴漏切换阀20具体为气动流量切换阀，包括能切换所述第一阀室11内流量模式的切换阀膜23、连接于所述切换阀膜23的切换阀杆22、供所述切换阀杆22轴向分段移动的切换阀体24、用于驱动所述切换阀杆22下移的切换弹性体25、结合于所述切换阀杆22上用于约束所述切换阀杆22下移止点的阻挡件26、设置于所述切换阀体24上的滴漏调整件21。切换阀膜23在其中心部位的升降阶段分别表现了所述滴漏切换阀20的第一在线全通供给开度20A与第一在线滴漏开度20B（如图4与图7所示），经过调整可表现为第一在线全通供给开度20A与第三在线滴漏开度20C（如图4与图10所示），分别对应到所述多联阀结构的全通供给模式与调整后的滴漏模式。第三在线滴漏开度20C不相同于第一在线滴漏开度20B，可以大于，也可以小于。在所述滴漏切换阀20的切换操作，切换阀膜23的中心部位的最下沉位置应控制在不封闭所述输入流道段15在所述第一阀室11底部的开口，但是要足够的接近以形成滴漏模式，使所述输入流道段15与所述中间流道段16之间保持微量流通。

优选示例中，所述切换阀体24包括下阀体241与上阀体242，所述上阀体242具有相对于所述下阀体241的内挡止部242B（具体如图5与图13所示），用于约束所述切换阀杆22上移止点，所述切换阀杆22的切换驱动盘22A在内挡止部242B的阻挡下就不会再往上移动；当所述切换阀杆22连接的切换驱动盘22A的上缘接触到所述内挡止部242B，所述切换阀膜23的中心部位位于所述第一阀室11相对较高的位置，表示所述滴漏切换阀20处于所述第一在线全通供给开度20A（如图4所示）。

更具体示例中，所述上阀体242设有上气动孔242A，所述下阀体241设有下气动孔241A，所述切换阀杆22连接的切换驱动盘22A（具体如图3、图5、图13与图14所示，图4与图7-图10有对应的部位）活动于所述上气动孔242A与所述下气动孔241A之间高度差的平行空间；所述切换弹性体25设置在所述上阀体242与所述切换驱动盘22A之间。当所述下气动孔241A导入的气体压力（或为下腔流质压力）大于所述下气动孔241A导入的气体压力（或为上腔流质压力）加上所述切换弹性体25施力于所述切换驱动盘22A的下压弹力以及相关组件的重力，所述切换阀杆22往上移动至所述上移止点，具体是切换驱动盘22A的上缘接触到所述上阀体242的所述内挡止部242B。当所述下气动孔241A导入的气体压力（或为下腔流质压力）小于所述下气动孔241A导入的气体压力（或为上腔流质压力）加上所述切换弹性体25施力于所述切换驱动盘22A的下压弹力以及相关组件的重力，利用所述滴漏调整件21相对于所述切换阀杆22的连接位置，所述滴漏调整件21的下表面接触到所述切换阀体24的顶部；或者是，利用所述滴漏调整件21的厚度，位于所述切换阀杆22上端的阻挡件26接触到所述滴漏调整件21的上表面，以上两者取决于所述滴漏调整件21的中间孔是与所述切换阀杆22螺接的内螺孔（或被限位固定）还是供所述切换阀杆22穿设移动的通孔。所述切换阀杆22往下移动至所述下移止点，所述切换阀膜23的中心部位位于所述第一阀室11相对较低的位置，表示所述滴漏切换阀20处于所述第一在线滴漏开度20B或所述第三在线滴漏开度20B（如图7与图10所示）。所述滴漏切换阀20的关闭阶段不会造成输入流道段15在所述第一阀室11底部的出口被所述切换阀膜23的中心部位完全封闭。

更具体示例中，所述滴漏调整件21与所述切换阀杆22为可拆卸连接，所述滴漏调整件21具有垫片环结构，所述阻挡件26设置在所述切换阀杆22远离所述上阀体242的一端；更具体的，所述下阀体241还开设有底通气孔241B（具体如图13所示，在图4、图7-图10有对应部位的孔结构，朝向所述滴漏在线预定义阀30的底部）。所述“可拆卸连接”的可拆卸是指所述滴漏调整件21可由所述切换阀杆22拆解而出，在拆卸之前应先拆出所述阻挡件26；所述“可拆卸连接”的连接是指所述滴漏调整件21与所述切换阀杆22的连接关系是螺接或是被限位固定或是可滑动的接触。当选用螺接的可拆卸连接关系，在所述切换阀杆22保持不转动的情况下，旋转方式调整所述滴漏调整件21，可改变所述滴漏调整件21在所述切换阀杆22的杆身上的相对高度位置，在关闭阶段的下移止点时，所述切换阀膜23的中心部位位于所述第一阀室11中的相对高度位置会产生改变，进而改变所述滴漏切换阀20在关闭阶段时形成的滴漏模式的在线滴漏开度也会改变。底通气孔241B则是连通到所述下阀体21中所述切换阀膜23的软膜部无流体一侧，有利于所述切换阀膜23中心部位的升降切换，而底通气孔241B与下气动孔241A之间无气体连通关系。所述滴漏切换阀20内部与所述滴漏在线预定义阀30内部可设有如附图所示的弹性密封圈，在此不予细述。

参阅图2至图4与图6，所述滴漏在线预定义阀30具体为旋转方式连续调节流量的调节阀，包括能封闭所述第二阀室12内流量的调节阀膜33、连接于所述调节阀膜33的调节阀杆32、供所述调节阀杆32轴向连续移动的调节阀体34、用于驱动所述调节阀杆32上移的调节弹性体35、设置于所述调节阀体34上用于约束所述调节阀体34上移位置的旋帽31，所述旋帽31或所述旋帽31的束止部相对于所述调节阀体34为高度可调节。所述束止部具体但非限定地可位于所述旋帽31的轴孔中心点，也可以是所述旋帽31能约束并停止所述调节阀体34上移的其他部位，例如口径小于所述调节阀体34直径的套环、或支杆组合、或中心凸点。所述旋帽31具体可利用旋转方式改变所述调节阀杆32的高度，例如人工手动旋转或电动旋转或机械齿轮驱动，在调节弹性体35的弹力作用下，调节阀杆32的上端保持与所述旋帽31的束止部接触，故所述旋帽31的旋转能改变调节阀杆32的高度位置。而基于调节阀杆32的高度位置变化，所述调节阀膜33在所述第二阀室12内的高度也随之改变；具体是，所述调节阀膜33的中心部位能封闭所述输出流道段17在所述第二阀室12底部的开口。在不使用所述多联阀时，所述输出流道段17与所述中间流道段16之间能被所述调节阀膜33阻断。在使用所述多联阀时，所述输出流道段17与所述中间流道段16之间保持流通，所述滴漏在线预定义阀30不影响所述滴漏切换阀20在开关操作下的全供给模式与滴漏模式的切换。

具体示例中，所述旋帽31与所述调节阀体34之间为螺接关系，所述旋帽31与所述调节阀杆32之间为接触关系，所述调节阀杆32还设置有相对于所述调节阀体34的防脱结构32A；所述防脱结构32A具有导引所述调节阀杆32不自旋与不由调节阀体34脱出的双重作用，所述防脱结构32A具体是结合于所述调节阀杆32杆身的横杆（可对照图3、图4与图6），所述调节阀体34内设有对应的导槽。

优选示例中，所述调节阀体34内还设置有内阀环36（可对照图4与图6），所述调节弹性体35设置于所述调节阀杆32的调节驱动盘32B与所述内阀环36之间，所述内阀环36配合所述共用阀座10在所述第二阀室12的周缘以夹合所述调节阀膜33的周边；所述调节弹性体35对所述内阀环36提供往下压弹力，对所述调节驱动盘32B及其连接的所述调节阀杆32提供往上弹力。所述调节阀杆32受到的往上弹力又被所述旋帽31压制，故所述旋帽31带动所述调节阀杆32及其下端固定的调节阀膜33越往下移动，所述调节弹性体35被压缩的弹力越大，所述内阀环36对所述调节阀膜33的周边部位的夹合压力也就越大；对应的，所述滴漏在线预定义阀30的调节开度也就越小，所述内阀环36的弹力加大以抵抗调节开度变小的流体压力。

更优选示例中，所述调节阀体34开设有外通气孔34A，所述内阀环36开设有内通气孔36A，所述内阀环36的外侧或/与所述调节阀体34的内侧开设有连通所述外通气孔34A与所述内通气孔36A的通气槽36B；所述内阀环36相对于所述调节阀体34为可旋转的气密接触关系。本示例中,基于外缘加工成形度优于内缘加工成形度的方便性，通气槽36B可位于所述内阀环36的外侧，通气槽36B的宽度可略为大于所述外通气孔34A的孔径，所述内阀环36相对于所述调节阀体34的高度变化下，所述外通气孔34A与所述内通气孔36A仍保持气体流通，流通至所述第二阀室12以所述调节阀膜33隔开没有流体的一侧空间，有利于所述调节阀膜33中心部位的升降调节。

请再参阅图4与图7，在所述在线调整阀滴漏开度的方法步骤S2中，在所述滴漏在线预定义阀30处于阀开通状态下，以所述滴漏切换阀20的开启与关闭方式，实现所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式的在线切换，所述滴漏切换阀20的关闭阶段提供所述多联阀结构的第一在线滴漏开度20B，所述滴漏切换阀20的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A。步骤S2的作用是确认所述多联阀在安装好之后能正常地进行在线大流量开通与微流量滴漏的模式切换。在所述多联阀的安装初始或是使用一段时间后，第一在线滴漏开度20B为实际在线滴漏开度，但是与目标在线滴漏开度产生误差。

请参阅图7与图8，在所述在线调整阀滴漏开度的方法步骤S3中，在所述滴漏切换阀20开启阶段或关闭阶段下（图中示例为关闭阶段），第一次调节所述滴漏在线预定义阀30，以所述滴漏在线预定义阀30的开度在线重新定义出所述多联阀结构的第二在线滴漏开度30A，即是以所述滴漏在线预定义阀30的调节方式先找到目标在线滴漏开度；一些实施例中在所述滴漏切换阀20处于关闭阶段时，所述滴漏切换阀20处于所述第一在线滴漏开度20B，所述滴漏在线预定义阀30的所述第二在线滴漏开度30A小于所述第一在线滴漏开度20B；又或者，另一些实施例中在所述滴漏切换阀20处于开启阶段时，所述第二在线滴漏开度30A大于或小于所述第一在线滴漏开度20B，整体多联阀的滴漏开度由所述滴漏在线预定义阀30的所述第二在线滴漏开度30A确定。步骤S3的作用是在线预先定义出可模拟的目标在线滴漏开度在所述滴漏在线预定义阀30。

请参阅图8与图9，在所述在线调整阀滴漏开度的方法步骤S4中，在所述滴漏在线预定义阀30的第一次调节开度处于所述第二在线滴漏开度30A的状态，调整所述滴漏切换阀20的关闭阶段，所述滴漏切换阀20调整后的关闭阶段具有第三在线滴漏开度20C，所述第三在线滴漏开度20C与所述第二在线滴漏开度30A的差值小于所述第三在线滴漏开度20C与所述第一在线滴漏开度20B的差值。步骤S4的作用是基于所述滴漏在线预定义阀30在线模拟的目标在线滴漏开度，在线重新定义出可开关操作的目标在线滴漏开度在所述滴漏切换阀20。

请参阅图9与图10，在所述在线调整阀滴漏开度的方法步骤S5中，第二次调节所述滴漏在线预定义阀30的调节开度，使处于接近或大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A；所述滴漏切换阀20的关闭阶段提供所述多联阀结构的第三在线滴漏开度20C，所述滴漏切换阀20的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A。步骤S5的作用是解除所述滴漏在线预定义阀30在线模拟的目标在线滴漏开度，所述滴漏切换阀20在线切换为关闭阶段提供的在线滴漏开度能符合目标在线滴漏开度。步骤S5还有一个作用是：所述滴漏在线预定义阀30释放了在线阀滴漏开度的控制，改由所述滴漏切换阀20的关闭阶段来控制在线阀滴漏开度，由步骤S4至步骤S5的滴漏微流量的变化是否过大来判断步骤S4中对所述滴漏切换阀20的调整是否不合格或者是否需要重新调整。

本方法实施例的实施原理为，利用S2以滴漏切换阀20的全通供给模式与滴漏模式的在线切换、S3以阀道约束方式第一次调节该滴漏在线预定义阀30,在线预定义滴漏开度、S4基于该在线预定义滴漏开度的对照,在线重定义该滴漏切换阀20的滴漏开度、S5以阀道释放方式第二次调节该滴漏在线预定义阀30,该滴漏在线预定义阀30不再对多联阀有开度约束或是只能缩小定义多联阀的全通供给开度,本方法实现了免拆阀免旁通在生产线上对阀滴漏开度的调整。

在较佳示例中，在步骤S5中，参阅图9与图10，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀30的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A，所述滴漏在线预定义阀30的第二次调节状态提供所述多联阀结构的第二在线全通供给开度30B（具体可见于图10），所述第二在线全通供给开度30B优选示例中可以小于由所述滴漏切换阀20开启阶段提供的所述第一在线全通供给开度20A（具体可见于图4）。利用步骤S5中所述滴漏在线预定义阀30的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A，以第二在线全通供给开度30B作为该多联阀的开启开度，以修正并取代所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A，故所述滴漏在线预定义阀30除了具有在线预定义滴漏开度的作用，还具有缩小化重定义该多联阀的全通供给开度的功能。

在另一变化较佳示例中，在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀30的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A，由所述滴漏切换阀20的开关切换分别在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A与第三在线滴漏开度20C。利用步骤S5中所述滴漏在线预定义阀30的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A，使得所述滴漏切换阀20的开关切换过程中，所述滴漏在线预定义阀30不影响由所述滴漏切换阀20在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度20A与第三在线滴漏开度20C的切换，所述滴漏在线预定义阀30而能有更好的耐用度。

在较佳示例中，在步骤S4中，参阅图8与图9，所述多联阀结构处于由所述滴漏在线预定义阀30的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度30A至由所述滴漏切换阀20的关闭在线提供的第三在线滴漏开度20C的滴漏模拟变化。利用步骤S4中所述滴漏在线预定义阀30的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度30A作为滴漏开度的预定义进行参考对照，随后将所述滴漏切换阀20的关闭在线提供的第一在线滴漏开度20B调整为第三在线滴漏开度20C，故所述滴漏在线预定义阀30的调节能作为所述滴漏切换阀20的第三在线滴漏开度20C在调整前的滴漏模拟变化对照，不需要数位化讯息模拟，以纯机械方式进行先调节后模拟调整在线滴漏开度，耗电量为零或接近零。步骤S4的整个模拟调整过程为，所述多联阀处于预定义滴漏状态至模拟调整的重新定义滴漏阶段，没有突然大流量的发生。

参阅图8，一些实施例在步骤S3中，当在所述滴漏切换阀20处于关闭阶段，所述多联阀结构处于处于由所述滴漏切换阀20的关闭在线提供的第一在线滴漏开度20B至所述滴漏在线预定义阀30的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度30A的滴漏调节连续变化。故在步骤S3中，在线滴漏开度是由大往小的调节，所述多联阀结构始终处于在线滴漏的供给状态。

或者，参阅图11，另一些实施例在步骤S3中，所述多联阀结构不受所述滴漏切换阀20的开启在线提供的第一在线全通供给开度20A的影响；在步骤S3的前置操作，预先调节所述滴漏在线预定义阀30的开度在线模拟所述第一在线滴漏开度20B,后在步骤S3将所述滴漏切换阀20切换到开启阶段，再调节所述滴漏在线预定义阀30的开度至所述第二在线滴漏开度30A的由小往大的滴漏连续调节变化。附图可见，图11中第二在线滴漏开度30A大于第一在线滴漏开度20B（如图11所示），以上为图例方便表现所绘，实际操作时则是在滴漏在线预定义阀30的开度调节至第二在线滴漏开度30A时，滴漏切换阀20的开度先行切换至第一在线全通供给开度20A（图未示出），如此所述滴漏在线预定义阀30的所述第二在线滴漏开度30A才能作为所述多联阀的在线滴漏开度，而没有受到所述滴漏切换阀20较小的第一在线滴漏开度20B的影响。参阅图12，另一些实施例在步骤S4中，滴漏在线预定义阀30的开度处于第二在线滴漏开度30A、滴漏切换阀20的开度调整至第三在线滴漏开度20C，第三在线滴漏开度20C接近或等于第二在线滴漏开度30A。

因此，利用步骤S3中所述滴漏在线预定义阀30调节的所述第二在线滴漏开度30A，基于其是否大于或小于所述滴漏切换阀20的所述第一在线滴漏开度20B，所述滴漏切换阀20有不同的操作，当大于（滴漏开度需要开大，即滴漏目标值大于滴漏实际值），则所述滴漏切换阀20处于开启阶段，开启前所述滴漏在线预定义阀30预先模拟调节出所述滴漏切换阀20的所述第一在线滴漏开度20B，当小于（滴漏开度需要开小，即滴漏目标值小于滴漏实际值），则所述滴漏在线预定义阀30调节后，所述滴漏切换阀20可以处于开启阶段或关闭阶段，这表示如果是要调小，保持在多联阀的滴漏阶段能进行在线滴漏开度的往小调节（所述滴漏切换阀20保持关闭的不切换）与往小调整；如果是要调大，则需要比较复杂的操作，先将所述滴漏在线预定义阀30的开度调节为接近或小于所述滴漏切换阀20的所述第一在线滴漏开度20B，再将所述滴漏切换阀20切换为第一在线全通供给开度20A，最后再将所述滴漏在线预定义阀30调节为比第一在线滴漏开度20B更大的第二在线滴漏开度30A。整个步骤S3的操作过程都是在所述多联阀的滴漏阶段/状态。因此，无论是待模拟的第二在线滴漏开度30A小于或大于原本第一在线滴漏开度20B，所述滴漏在线预定义阀30的调节开度变小或变大，步骤S3的整个调节过程为，所述多联阀处于所述滴漏切换阀20控制的原本滴漏阶段至所述滴漏在线预定义阀30控制的模拟调小或调大的滴漏状态，都没有突然大流量的发生。

在较佳示例中，在步骤S4中，对照图9或图12，以设置在所述滴漏切换阀20的阀体上的滴漏调整件21来调整所述滴漏切换阀20的关闭阶段，所述滴漏调整件21具有能垫高所述滴漏切换阀20的切换阀杆22下限移动的厚度或相对于切换阀杆22的高度位置。利用设置在所述滴漏切换阀20的阀体上的滴漏调整件21，选用适合厚度的滴漏调整件21，改变了所述滴漏切换阀20切换在关闭阶段下的在线滴漏开度。本实施例中，所述滴漏调整件21螺接于所述切换阀杆22，改变所述滴漏调整件21相对于所述切换阀杆22的相对高度位置，就能改变所述切换阀膜23与所述输入流道段15的出口之间的间隙，从而将第一在线滴漏开度20B改变成第三在线滴漏开度20C（对照图7与图10右侧的滴漏切换阀20的状态）。至于前述改变是否有用则可由步骤S5中放开所述滴漏在线预定义阀30的第二在线滴漏开度30A来检查在线滴漏流量有没有明显变化来确认，如果没有明显变化，表示所述滴漏切换阀20关闭阶段时的第三在线滴漏开度20C是有效调整。

在较佳示例中，再参阅图2、图4与图6，回到步骤S1中，所述滴漏在线预定义阀30具有调节旋帽31；在步骤S4中，所述滴漏在线预定义阀30的第一次调节开度对应指向所述调节旋帽31的调节刻度，由所述调节旋帽31的调节刻度确定所述滴漏调整件21的厚度尺寸或所述滴漏调整件21相对于切换阀杆22的高度位置。所述滴漏调整件21与所述切换阀杆22的连接关系可以是螺接、可以是通孔套接、也可以是通孔套接与限位板固定的连接关系。利用所述滴漏在线预定义阀30的旋帽31的旋转来调节所述滴漏在线预定义阀30的开度，实现开度调节的连续变化，旋帽31的调节刻度能指向该调节开度，在有对照指标下能确定所述滴漏调整件21的厚度尺寸或是所述滴漏调整件21相对于切换阀杆22的高度位置。

关于所述滴漏调整件21相对于切换阀杆22的高度位置来调整第三在线滴漏开度20C的方案一，示例的附图中，所述滴漏调整件21具有螺接于所述切换阀杆22的螺孔（具体如图8与图9所示），旋转所述滴漏调整件21以改变所述滴漏调整件21在所述切换阀杆22上的相对高度位置，也就调整了所述切换阀杆22的移动下止点，此时，所述滴漏调整件21的下表面抵触于所述切换阀体24的顶部，在所述滴漏切换阀20的关闭阶段即能保持不封闭流道的滴漏微流量。而所述阻挡件26或其它限位板部件可进一步锁入以限制所述滴漏调整件21的旋转移动，故该方案一具有第三在线滴漏开度20C调整快的效果。

关于以改变所述滴漏调整件21的厚度尺寸来调整第三在线滴漏开度20C的方案二，变化示例中，所述滴漏调整件21具有供所述切换阀杆22穿套的通孔（具体如图11与图12所示），所述滴漏调整件21不随所述切换阀杆22的开关升降移动而移动，所述滴漏调整件21保持在切换阀体24的顶部，以改变所述滴漏调整件21的厚度的方式，调整所述切换阀杆22的移动下止点，此时，所述阻挡件26的底部抵触于所述滴漏调整件21的上表面切换阀体24，在所述滴漏切换阀20的关闭阶段也能保持不封闭流道的滴漏微流量。在所述滴漏切换阀20由开至关的快速切换下，所述阻挡件26会撞击到所述滴漏调整件21，只要所述滴漏调整件21的厚度不发生改变，所述切换阀杆22的移动下止点位置就不会改变，故该方案二具有第三在线滴漏开度20C调整准确且耐用的效果。也由此可知，所述滴漏调整件21较佳是选用刚性材料，例如金属垫圈。

更优选的，方案一中所述滴漏调整件21与所述所述切换阀体24的接触表面，或者方案二中所述滴漏调整件21与所述阻挡件26的接触表面，可形成有消音或吸收声音的涂层（图未绘示）。

在较佳示例中，再参阅图2与图6，所述调节旋帽31在该调节刻度下的高度水平与所述滴漏切换阀20的阀体高度之间的高度差对应于所述滴漏调整件21的厚度或相对于切换阀杆22的高度位置；优选示例中，当所述滴漏在线预定义阀30的调节开度为零时，所述多联阀结构处于为滴漏关闭的状态。利用所述滴漏在线预定义阀30的旋帽31与所述滴漏切换阀20的阀体高度之间的水平高度差，能更快找到厚度适合的滴漏调整件21。例如在第一在线滴漏开度20B时，原本滴漏调整件21的上表面与模拟第一在线滴漏开度20B的旋帽31上表面两者有在共用阀座10上相同的高度，用于替换的滴漏调整件21的上表面相对于已调节到第二在线滴漏开度30A的旋帽31上表面也应当有相同的高度；或者，在第一在线滴漏开度20B时，可拆卸连接于切换阀杆22的原本滴漏调整件21的上表面与模拟第一在线滴漏开度20B的旋帽31上表面两者有在共用阀座10上相同的高度，调节在切换阀杆22上的高度位置后，在所述滴漏切换阀20的关闭阶段下滴漏调整件21的上表面相对于已调节到第二在线滴漏开度30A的旋帽31上表面也应当有相同的高度，故以上两种方式都能很容易就知道需要用于替换的滴漏调整件21的厚度或相对于切换阀杆22进行调节的高度位置。

在较佳示例中，再参阅图2与图6，所述滴漏切换阀20具体为气动流量切换阀，所述滴漏在线预定义阀30具体为旋转方式连续调节流量的调节阀，所述滴漏切换阀20与所述滴漏在线预定义阀30适用于相同尺寸的阀室并包含有相同尺寸可共用的阀膜，所述滴漏切换阀20更靠近流体输入端13，所述滴漏在线预定义阀30更靠近流体输出。利用旋转方式连续调节流量的调节阀作为需要调整出目标滴漏开度的在线预定义，两阀的阀膜具有通用性，形成在共用阀座10上不同功能阀的内部关键零组件的通用。更优选示例中，还利用滴漏切换阀20更靠近流体输入端13，所述滴漏在线预定义阀30更靠近流体输出端14，在此连接形态下将使得所述滴漏切换阀20首先承受在全通供给大流量的外部流体压力，保护所述滴漏在线预定义阀30的调节准确度，即使长时间使用下所述滴漏切换阀20的滴漏模式下发生滴漏误差、或者刚装机时所述滴漏切换阀20的滴漏模式需要进行适配性的校正，所述滴漏在线预定义阀30能在生产线上保持滴漏过程中以调节方式预先定义滴漏开度，再以调整方式重新确定所述滴漏切换阀20的滴漏开度。

在本方法的实施例中，所述多联阀结构装设在生产线的机台中或机台一侧，连接机台的溢流口，机台具体可以是半导体前道清洗设备，实现先安装多联阀随后调整滴漏开度以及在线调整滴漏开度的效果。一种具体应用是十二英寸晶圆前道单片清洗槽能够保证稳定的270±10ml/min微流量滴漏的应用以及大流量的开通与微流量滴漏之间的快速切换，大流量的开通流量可为滴漏微流量的五倍以上。现有技术或是常规技术手段的组合上，即使使用了具有固定滴漏开度的滴漏阀也会因为受到安装环境的重力、温度、流体粘度、流体输入压力以及滴漏阀安装位置、使用时间等等的影响产生滴漏微流量的不准确，而安装后也很难进行设备在线生产的滴落过程的微幅调整并稳定其滴漏开度，本发明示例的方法与多联阀对于可切换到大流量开通阶段的滴漏阀进行滴落开度的在线调整具有积极的技术优势。

在本发明的多联阀示例中，可参阅图13与图14，进一步说明其滴漏切换阀20的组装方法，先放入切换阀杆22的切换驱动盘22A在下阀体241的气动阀室中，上阀体242的气动阀室内安装切换弹性体25，当下阀体241与上阀体242组装成切换阀体24，上阀体242的内挡止部242B会内凸出于侧壁，以限制切换阀杆22的切换驱动盘22A的上移止点。切换阀杆22具有突出于下阀体241的连接端（如图13与图14中的下螺杆部），以连接切换阀膜23；切换阀杆22还具有突出于上阀体242的连接端（如图13与图14中的上螺杆部），以可拆式连接滴漏调整件21与阻挡件26。如图13所示，上阀体242的外顶部具体为平坦状，以供切换阀杆22到达下移止点时，以供随杆同步移动的垫片状滴漏调整件21的接触或者是不随杆同步移动的垫片状滴漏调整件21的放置。切换阀杆22的杆身适当部位与切换驱动盘22A的外缘可设置有可安装弹性密封圈的凹槽，示例的图14中切换阀杆22的凹槽为三个不同直径大小的凹槽，由上到下为直径呈小大中的排序。优选示例中，切换阀杆22的切换驱动盘22A的外围下表面设有笔直的导杆22B，在不增加切换驱动盘22A的厚度下，增加切换驱动盘22A上下升降不歪斜的导引依托，使得所述滴漏切换阀20进行在线全通供给开度与在线滴漏开度的开关切换中更加耐用，当切换驱动盘22A不偏斜也有利于在线滴漏开度的精度提高。

本具体实施方式的实施例均作为方便理解或实施本发明技术方案的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应被涵盖于本发明的请求保护范围内。

Claims (10)

1.一种在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，包括：

S1、提供多联阀结构，所述多联阀结构包括共用阀座、设置在所述共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀，所述滴漏切换阀与所述滴漏在线预定义阀之间为流道串连的关系；

S2、在所述滴漏在线预定义阀处于阀开通状态下，以所述滴漏切换阀的开启与关闭方式，实现所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式的在线切换，所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第一在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；

S3、在所述滴漏切换阀开启阶段或关闭阶段下，第一次调节所述滴漏在线预定义阀，以所述滴漏在线预定义阀的开度在线重新定义出所述多联阀结构的第二在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时，所述第二在线滴漏开度小于所述第一在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于开启阶段时，所述第二在线滴漏开度大于或小于所述第一在线滴漏开度；

S4、在所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度处于所述第二在线滴漏开度的状态，调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，使所述滴漏切换阀调整后的关闭阶段具有第三在线滴漏开度，所述第三在线滴漏开度与所述第二在线滴漏开度的差值小于所述第三在线滴漏开度与所述第一在线滴漏开度的差值；

S5、第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度，使处于接近或大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第三在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度。

2.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，所述滴漏在线预定义阀的第二次调节状态提供所述多联阀结构的第二在线全通供给开度，所述第二在线全通供给开度小于由所述滴漏切换阀开启提供的所述第一在线全通供给开度。

3.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，由所述滴漏切换阀的开关切换分别在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度。

4.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S4中，所述多联阀结构处于由所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度至由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第三在线滴漏开度的滴漏模拟变化；

在步骤S3中，当在所述滴漏切换阀处于关闭阶段，所述多联阀结构处于处于由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第一在线滴漏开度至所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度的滴漏调节连续变化；或者，所述多联阀结构不受所述滴漏切换阀的开启在线提供的第一在线全通供给开度的影响，预先调节所述滴漏在线预定义阀的开度在线模拟所述第一在线滴漏开度,待所述滴漏切换阀切换到开启阶段，再调节所述滴漏在线预定义阀的开度至所述第二在线滴漏开度的滴漏连续调节变化。

5.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S4中，以设置在所述滴漏切换阀的阀体上的滴漏调整件来调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，所述滴漏调整件具有能垫高所述滴漏切换阀的切换阀杆下限移动的厚度或相对于切换阀杆的高度位置。

6.根据权利要求5所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S1中，所述滴漏在线预定义阀具有调节旋帽；在步骤S4中，所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度对应指向所述调节旋帽的调节刻度，由所述调节旋帽的调节刻度确定所述滴漏调整件的厚度尺寸或是所述滴漏调整件相对于切换阀杆的高度位置。

7.根据权利要求6所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，所述调节旋帽在该调节刻度下的高度水平与所述滴漏切换阀的阀体高度之间的高度差对应于所述滴漏调整件的厚度或相对于切换阀杆的高度位置；优选的，当所述滴漏在线预定义阀的调节开度为零时，所述多联阀结构处于为滴漏关闭的状态。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，所述滴漏切换阀具体为气动流量切换阀，所述滴漏在线预定义阀具体为旋转方式连续调节流量的调节阀，所述滴漏切换阀与所述滴漏在线预定义阀适用于相同尺寸的阀室并包含有相同尺寸可共用的阀膜，所述滴漏切换阀更靠近流体输入端，所述滴漏在线预定义阀更靠近流体输出端。

9.一种多联阀结构，其特征在于，用于实现阀滴漏开度的在线调整，该多联阀结构包括：

共用阀座，具有流道相互串连的第一阀室与第二阀室；

滴漏切换阀，设置在所述共用阀座的第一阀室上，用于在线切换所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式，以在线切换所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第一在线滴漏开度；

滴漏在线预定义阀，设置在所述共用阀座的第二阀室上，以调节方式在线提供所述多联阀结构在滴漏模式的第二在线滴漏开度；基于对所述第二在线滴漏开度的在线模拟，能调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，使所述滴漏切换阀能够在线切换所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度，所述第三在线滴漏开度与所述第二在线滴漏开度的差值小于所述第三在线滴漏开度与所述第一在线滴漏开度的差值。

10.根据权利要求9所述的多联阀结构，其特征在于：所述共用阀座的流道包括输入流道段、中间流道段及输出流道段，所述输入流道段的流出口对准于所述第一阀室的底部，所述输出流道段的流入口对准于所述第二阀室的底部；

所述滴漏切换阀具体为气动流量切换阀，包括能切换所述第一阀室内流量模式的切换阀膜、连接于所述切换阀膜的切换阀杆、供所述切换阀杆轴向分段移动的切换阀体、用于驱动所述切换阀杆下移的切换弹性体、结合于所述切换阀杆上用于约束所述切换阀杆下移止点的阻挡件、设置于所述切换阀体上的滴漏调整件；

优选的，所述切换阀体包括下阀体与上阀体，所述上阀体具有相对于所述下阀体的内挡止部，用于约束所述切换阀杆上移止点；

更优选的，所述切换阀杆的所述切换驱动盘的外围下表面设有笔直的导杆，以增加所述切换驱动盘上下升降的导引依托；

更具体的，所述上阀体设有上气动孔，所述下阀体设有下气动孔，所述切换阀杆连接的切换驱动盘活动于所述上气动孔与所述下气动孔之间高度差的平行空间；所述切换弹性体设置在所述上阀体与所述驱动盘之间；

更具体的，所述滴漏调整件与所述切换阀杆为可拆卸连接，所述滴漏调整件具有垫片环结构，所述阻挡件设置在所述切换阀杆远离所述上阀体的一端；

更具体的，所述下阀体还开设有底通气孔；

所述滴漏在线预定义阀具体为旋转方式连续调节流量的调节阀，包括能封闭所述第二阀室内流量的调节阀膜、连接于所述调节阀膜的调节阀杆、供所述调节阀杆轴向连续移动的调节阀体、用于驱动所述调节阀杆上移的调节弹性体、设置于所述调节阀体上用于约束所述调节阀体上移位置的旋帽，所述旋帽或所述旋帽的束止部相对于所述调节阀体为高度可调节；

具体的，所述旋帽与所述调节阀体之间为螺接关系，所述旋帽与所述调节阀杆之间为接触关系，所述调节阀杆还设置有相对于所述调节阀体的防脱结构；

优选的，所述调节阀体内还设置有内阀环，所述调节弹性体设置于所述调节阀杆的调节驱动盘与所述内阀环之间，所述内阀环配合所述共用阀座在所述第二阀室的周缘以夹合所述调节阀膜的周边；

更优选的，所述调节阀体开设有外通气孔，所述内阀环开设有内通气孔，所述内阀环的外侧或/与所述调节阀体的内侧开设有连通所述外通气孔与所述内通气孔的通气槽；所述内阀环相对于所述调节阀体为可旋转的气密接触关系。