CN116476523A - 一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备及方法，其制备设备包括牵引带支架，所述牵引带支架左右两侧分别安装有放卷装置和收卷装置，所述牵引带支架顶端靠近放卷装置的一侧固定有第一升降平台；本发明通过将基带卷放置在放卷装置的放卷辊上，基带头粘贴在牵引带支架内侧的牵引带上，使基带跟随着牵引带运动，并以一定速度依次经过激光放射器、喷淋装置、超声波清洗箱、紫外臭氧机、第一热风烘干机、狭缝涂布头安装架、第二热风烘干机和激光蚀刻器后缠绕在收卷装置上，即可完成柔性钙钛矿太阳能电池的全套制备工作，解决了目前柔性钙钛矿太阳能电池不能连续生产问题。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能光伏技术领域，尤其涉及一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备及方法。
背景技术
钙钛矿光电材料作为光电领域的明星材料，具有性能优越、价格低廉和加工制造工艺简单等优点，目前，基于钙钛矿材料的薄膜太阳电池、发光器件和探测器等都取得了突破性进展，展现出重要应用前景，钙钛矿薄膜太阳电池在短短10年时间内光电转换效率就从3.8％突破到25.8％以上，双结钙钛矿电池的效率超过了31％，显示了巨大的商业潜力，因此工业界正加快其产业化布局。
钙钛矿薄膜是钙钛矿薄膜器件中的核心组成部分，钙钛矿薄膜质量直接决定了钙钛矿器件性能，而溶液旋涂是实验室中溶液法制备钙钛矿薄膜及器件的常规方法，具有薄膜质量高和可控性好的特点，但只适合小面积、小批量的钙钛矿薄膜及器件制备，不匹配大面积、大批量的产业化制造工艺，所以，基于印刷技术高效率、大批量地制备高质量、均匀的大面积钙钛矿薄膜是推进钙钛矿光电器件产业化的重要途径。
在钙钛矿太阳能电池迈向商业化的快速推进中，卷对卷印刷工艺(roll-to-roll，R2R)已经由于其快速批量生产而显示出诱人的前景，R2R打印的优势有很多，诸如体积、稳定性和可重复性已在有机太阳能电池中得到充分证明，与印刷在刚性基板上相比，R2R制备的本质上要求基材和产品可弯曲至少达到一定程度，这增加了制备高效钙钛矿太阳能电池的难点，灵活是R2R制备钙钛矿电池拥有的不可独一无二的优点，例如轻量级和灵活性，扩大了钙钛矿电池的适用性进入各种移动电子设备，建筑和车辆集成太阳能电池。
学术界的持久研究工作,意味着通过R2R工艺打印钙钛矿的柔性电池组件是高性能柔性钙钛矿电池走向产业化的快速之路，因此，要以高通量技术加快钙钛矿太阳能电池的发展，器件中其他功能层和电极层制备也应适应R2R工艺。
在当前阶段，可打印电极的开发是实现完全R2R打印钙钛矿组件的瓶颈，虽然银纳米线、碳纳米管、石墨烯和有机材料表现出作为顶级表现的潜力用于柔性PSC的电极，其中大部分用于代替导电氧化物而不是金属电极，与硬质钙钛矿太阳能电池中的蒸镀或溅射工艺相比，这些制备工艺也造成了器件效率的降低。
除上述这些电极材料外，还需要开发更有效电极制备技术，一方面可以满足快速的R2R产线的制备技术，另一方面还要保证电池组件顶电极的质量和稳定性，因此，本发明提出一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备及方法用以解决现有技术中存在的问题。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提出一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备及方法，解决现有的柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备以及制备方法不能实现提高柔性钙钛矿太阳能电池的器件效率、稳定性及快速制备的问题。
为了实现本发明的目的，本发明通过以下技术方案实现：一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，包括牵引带支架，所述牵引带支架左右两侧分别安装有放卷装置和收卷装置，所述牵引带支架顶端靠近放卷装置的一侧固定有第一升降平台，所述第一升降平台靠近放卷装置的一侧安装有激光放射器，所述第一升降平台远离放卷装置的一侧设有安装于牵引带支架顶端的喷淋装置，所述喷淋装置设有两组且两组所述喷淋装置之间对称设有位于牵引带支架内部下方的超声波清洗箱，位于右侧的所述喷淋装置的右侧设有安装于牵引带支架顶端的紫外臭氧机，所述紫外臭氧机和喷淋装置之间设有第一热风烘干机，所述紫外臭氧机远离第一热风烘干机的一侧设有三组呈等距分布的狭缝涂布头安装架，所述狭缝涂布头安装架上安装有狭缝涂布头，三组所述狭缝涂布头安装架靠近收卷装置的一侧均设有第二热风烘干机，所述牵引带支架顶端靠近收卷装置的一侧固定有第二升降平台，所述第二升降平台远离收卷装置的一侧安装有激光蚀刻器。
进一步改进在于：所述放卷装置包括固定于牵引带支架上的安装板和对称安装于安装板上的收膜电机，两组所述收膜电机的输出端均通过轴承贯穿安装板并连接有收膜辊，两组所述收膜辊之间设有放卷辊，两组所述收膜电机之间设有安装于安装板上的磁粉制动器，所述磁粉制动器和放卷辊之间通过联轴器连接。
进一步改进在于：所述牵引带支架右侧安装有牵引带电机，所述牵引带支架内侧设有通过电机驱动传送的牵引带，所述牵引带支架内侧牵引带从左至右依次穿过第一升降平台、喷淋装置、超声波清洗箱、紫外臭氧机、第一热风烘干机、狭缝涂布头安装架、第二热风烘干机和第二升降平台。
进一步改进在于：所述激光放射器和激光蚀刻器分别通过螺丝安装于第一升降平台和第二升降平台上，所述激光放射器和激光蚀刻器的镜头均对准在牵引带支架内侧牵引带上的基带上。
进一步改进在于：所述超声波清洗箱内部设有对牵引带支架内侧牵引带进行导向的导向辊，所述超声波清洗箱内存储有水并通过超声波发生器对基带进行清洗，所述喷淋装置的进水口端连接有水泵且喷淋口端对准在牵引带支架内侧牵引带上的基带上。
进一步改进在于：所述狭缝涂布头上安装有注射泵并通过注射泵将预先配置的溶液经注射至狭缝涂布头内，所述狭缝涂布头上设有唇口并通过唇口将溶液涂抹在牵引带支架内侧牵引带上的基带上。
进一步改进在于：还包括主控系统和触摸屏，所述放卷装置、收卷装置、激光放射器、喷淋装置、超声波清洗箱、紫外臭氧机、第一热风烘干机、狭缝涂布头、第二热风烘干机和激光蚀刻器均与主控系统电性连接。
一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备的使用方法，包括以下步骤：
S1：先开启制备设备的电源，待制备设备的主控系统启动后通过制备设备的触摸屏设置制备设备的控制参数；
S2：待控制参数设置完毕后，先利用放卷装置对基带卷进行放卷，再利用牵引带电机启动牵引带支架内侧的牵引带传送，并将基带卷的基带头固定在牵引带上，同时将基带上下两层保护膜头固定在上下两组收膜辊上，接着启动收膜电机，使基带上的保护膜被自动收卷，基带则跟随牵引带传送；
S3：带基带跟随牵引带传送至激光放射器下方时，启动激光放射器按照固定程序在基带上进行激光蚀刻；
S4：蚀刻完毕后基带跟随牵引带传送至喷淋装置下方，此时启动喷淋装置对基带进行喷淋并冲去激光蚀刻产生的碎屑，喷淋完成后基带跟随牵引带传送至超声波清洗箱进行超声波清洗，超声波清洗后再进行二次喷淋冲洗；
S5：经二次喷淋冲洗的基带再跟随牵引带传送至第一热风烘干机处进行加热烘干，待基带表面的液体烘干后传送至紫外臭氧机处进行臭氧浸润；
S6：待基带经臭氧浸润后传送至狭缝涂布头安装架处，此时利用狭缝涂布头在基带表面涂布预先配置的溶液，完成涂布后再传送至第二热风烘干机处进行加热烘干，直至完成三次涂布和烘干；
S7：涂布完成的基带再传送至激光蚀刻器下方，此时启动激光蚀刻器按照固定程序在基带上进行激光蚀刻，完成所需要的电池形态，即获得柔性钙钛矿太阳能电池，然后将柔性钙钛矿太阳能电池头部固定在收卷装置的收卷辊上并启动收卷电机进行收卷，最后将卷绕完成的柔性钙钛矿太阳能电池从收卷辊上取下并摆放到指定位置进行存储。
进一步改进在于：所述步骤S1中，设置的控制参数包括：
收膜电机的转速和收膜的时间；
激光放射器和激光蚀刻器的激光强度和蚀刻图案；
喷淋装置的喷淋速度；
超声波清洗箱中超声波清洗器的功率；
第一热风烘干机和第二热风烘干机的温度和风速；
紫外臭氧机的光照时间；
收卷装置的收卷转速。
本发明的有益效果为：本发明通过将基带卷放置在放卷装置的放卷辊上，基带头粘贴在牵引带支架内侧的牵引带上，使基带跟随着牵引带运动，并以一定速度依次经过激光放射器、喷淋装置、超声波清洗箱、紫外臭氧机、第一热风烘干机、狭缝涂布头安装架、第二热风烘干机和激光蚀刻器后缠绕在收卷装置上，即可完成柔性钙钛矿太阳能电池的全套制备工作，解决了目前柔性钙钛矿太阳能电池不能连续生产问题，对改善钙钛矿太阳能电池的器件性能和稳定性具有很大推动作用，能实现提高柔性钙钛矿太阳能电池的器件效率、稳定性及快速制备。
附图说明
图1是本发明实施例一的旋转90°后的制备设备正视图；
图2是本发明实施例一的放卷装置结构示意图。
其中：1、牵引带支架；2、放卷装置；3、收卷装置；4、第一升降平台；5、激光放射器；6、喷淋装置；7、超声波清洗箱；8、紫外臭氧机；9、第一热风烘干机；10、狭缝涂布头安装架；11、狭缝涂布头；12、第二热风烘干机；13、第二升降平台；14、激光蚀刻器,15、牵引带电机；201、安装板；202、收膜电机；203、收膜辊；204、放卷辊；205、磁粉制动器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
参见图1、图2，本实施例提供了一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，包括内置牵引带的牵引带支架1，牵引带支架1右侧通过螺栓固定连接有牵引带电机15，牵引带支架1内侧的牵引带通过电机驱动传送，牵引带支架1顶端的左侧通过螺栓固定安装有用于对待加工基带放卷的放卷装置2，牵引带支架1顶端的右侧通过螺栓固定安装有用于对加工完毕的柔性钙钛矿太阳能电池进行收卷的收卷装置3，牵引带支架1顶端靠近放卷装置2的一侧通过螺栓固定连接有第一升降平台4，第一升降平台4左侧通过螺丝固定连接有激光放射器5，激光放射器5的镜头对准在牵引带支架1内侧牵引带上的基带上，第一升降平台4右侧设有两组呈左右对称分布的喷淋装置6，且喷淋装置6通过螺栓固定于牵引带支架1顶端，两组喷淋装置6之间设有位于牵引带支架1内部下方的超声波清洗箱7，超声波清洗箱7设有两组且呈左右对称分布，超声波清洗箱7通过螺栓固定连接于牵引带支架1内侧，位于右侧的喷淋装置6的右侧设有紫外臭氧机8，紫外臭氧机8通过螺栓固定连接于牵引带支架1顶端，紫外臭氧机8和喷淋装置6之间设有通过螺栓固定于牵引带支架1顶端的第一热风烘干机9，紫外臭氧机8右侧设有通过螺栓固定连接于牵引带支架1顶端的狭缝涂布头安装架10，狭缝涂布头安装架10共设有三组且呈等距分布，狭缝涂布头安装架10右侧下部通过螺栓连接有狭缝涂布头11，三组狭缝涂布头安装架10靠近收卷装置3的一侧均设有通过螺栓固定连接于牵引带支架1顶端的第二热风烘干机12，牵引带支架1顶端靠近收卷装置3的一侧通过螺栓固定连接有第二升降平台13，第二升降平台13远离收卷装置3的一侧通过螺丝固定连接有激光蚀刻器14，激光蚀刻器14的镜头对准在牵引带支架1内侧牵引带上的基带上。
放卷装置2包括安装板201和收膜电机202，其中安装板201通过螺栓固定于牵引带支架1上，收膜电机202设有两组并对称安装于安装板201上，两组收膜电机202的输出端均通过轴承贯穿安装板201并通过螺栓连接有收膜辊203，两组收膜辊203之间设有放卷辊204，两组收膜电机202之间设有通过螺栓固定于安装板201上的磁粉制动器205，磁粉制动器205和放卷辊204之间通过联轴器连接。
牵引带支架1内侧牵引带从左至右依次穿过第一升降平台4、喷淋装置6、超声波清洗箱7、紫外臭氧机8、第一热风烘干机9、狭缝涂布头安装架10、第二热风烘干机12和第二升降平台13。
超声波清洗箱7内部设有导向辊，用于对牵引带支架1内侧牵引带进行导向，超声波清洗箱7上安装有超声波发生器，超声波清洗箱7内存储有水并通过超声波发生器对基带进行清洗，喷淋装置6的进水口端连接有水泵，喷淋装置6的喷淋口端对准在牵引带支架1内侧牵引带上的基带上。
狭缝涂布头11上安装有注射泵，通过注射泵将预先配置的溶液经针筒注射至狭缝涂布头11内，狭缝涂布头11上设有唇口，通过唇口将注射泵注射的溶液涂抹在牵引带支架1内侧牵引带上的基带上。
还包括主控系统和用于输入设备控制参数的触摸屏，主控系统与制备设备的PLC控制系统连接，用于控制制备设备中的放卷装置2、收卷装置3、激光放射器5、喷淋装置6、超声波清洗箱7、紫外臭氧机8、第一热风烘干机9、狭缝涂布头11、第二热风烘干机12和激光蚀刻器14运行。
本实施例中，只要将基带卷放置在放卷装置2的放卷辊204上，基带头粘贴在牵引带支架1内侧的牵引带上，使基带跟随着牵引带运动，并以一定速度依次经过激光放射器5、喷淋装置6、超声波清洗箱7、紫外臭氧机8、第一热风烘干机9、狭缝涂布头安装架10、第二热风烘干机12和激光蚀刻器13后缠绕在收卷装置上，即可完成柔性钙钛矿太阳能电池的全套制备工作。
实施例二
本实施例提供了一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备的使用方法，包括以下步骤：
S1：先开启制备设备的电源，待制备设备的主控系统启动后通过制备设备的触摸屏设置制备设备的控制参数，设置的控制参数包括：
收膜电机202的转速和收膜的时间；
激光放射器5和激光蚀刻器14的激光强度和蚀刻图案；
喷淋装置6的喷淋速度；
超声波清洗箱7中超声波清洗器的功率；
第一热风烘干机9和第二热风烘干机12的温度和风速；
紫外臭氧机8的光照时间；
收卷装置3的收卷转速；
S2：待控制参数设置完毕后，先利用放卷装置2对基带卷进行放卷，再利用牵引带电机15启动牵引带支架1内侧的牵引带传送，并将基带卷的基带头固定在牵引带上，同时将基带上下两层保护膜头固定在上下两组收膜辊203上，接着启动收膜电机202，使基带上的保护膜被自动收卷，基带则跟随牵引带传送；
S3：带基带跟随牵引带传送至激光放射器5下方时，启动激光放射器5按照固定程序在基带上进行激光蚀刻；
S4：蚀刻完毕后基带跟随牵引带传送至喷淋装置6下方，此时启动喷淋装置6对基带进行喷淋并冲去激光蚀刻产生的碎屑，喷淋完成后基带跟随牵引带传送至超声波清洗箱7进行超声波清洗，超声波清洗后再进行二次喷淋冲洗；
S5：经二次喷淋冲洗的基带再跟随牵引带传送至第一热风烘干机9处进行加热烘干，待基带表面的液体烘干后传送至紫外臭氧机8处进行臭氧浸润；
S6：待基带经臭氧浸润后传送至狭缝涂布头安装架10处，此时利用狭缝涂布头11在基带表面涂布预先配置的溶液，完成涂布后再传送至第二热风烘干机12处进行加热烘干，直至完成三次涂布和烘干；
S7：涂布完成的基带再传送至激光蚀刻器14下方，此时启动激光蚀刻器14按照固定程序在基带上进行激光蚀刻，完成所需要的电池形态，即获得柔性钙钛矿太阳能电池，然后将柔性钙钛矿太阳能电池头部固定在收卷装置3的收卷辊上并启动收卷电机进行收卷，最后将卷绕完成的柔性钙钛矿太阳能电池从收卷辊上取下并摆放到指定位置进行存储。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (9)
1.一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：包括牵引带支架(1)，所述牵引带支架(1)左右两侧分别安装有放卷装置(2)和收卷装置(3)，所述牵引带支架(1)顶端靠近放卷装置(2)的一侧固定有第一升降平台(4)，所述第一升降平台(4)靠近放卷装置(2)的一侧安装有激光放射器(5)，所述第一升降平台(4)远离放卷装置(2)的一侧设有安装于牵引带支架(1)顶端的喷淋装置(6)，所述喷淋装置(6)设有两组且两组所述喷淋装置(6)之间对称设有位于牵引带支架(1)内部下方的超声波清洗箱(7)，位于右侧的所述喷淋装置(6)的右侧设有安装于牵引带支架(1)顶端的紫外臭氧机(8)，所述紫外臭氧机(8)和喷淋装置(6)之间设有第一热风烘干机(9)，所述紫外臭氧机(8)远离第一热风烘干机(9)的一侧设有三组呈等距分布的狭缝涂布头安装架(10)，所述狭缝涂布头安装架(10)上安装有狭缝涂布头(11)，三组所述狭缝涂布头安装架(10)靠近收卷装置(3)的一侧均设有第二热风烘干机(12)，所述牵引带支架(1)顶端靠近收卷装置(3)的一侧固定有第二升降平台(13)，所述第二升降平台(13)远离收卷装置(3)的一侧安装有激光蚀刻器(14)。
2.根据权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：所述放卷装置(2)包括固定于牵引带支架(1)上的安装板(201)和对称安装于安装板(201)上的收膜电机(202)，两组所述收膜电机(202)的输出端均通过轴承贯穿安装板(201)并连接有收膜辊(203)，两组所述收膜辊(203)之间设有放卷辊(204)，两组所述收膜电机(202)之间设有安装于安装板(201)上的磁粉制动器(205)，所述磁粉制动器(205)和放卷辊(204)之间通过联轴器连接。
3.根据权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：所述牵引带支架(1)右侧安装有牵引带电机(15)，所述牵引带支架(1)内侧设有通过电机驱动传送的牵引带，所述牵引带支架(1)内侧牵引带从左至右依次穿过第一升降平台(4)、喷淋装置(6)、超声波清洗箱(7)、紫外臭氧机(8)、第一热风烘干机(9)、狭缝涂布头安装架(10)、第二热风烘干机(12)和第二升降平台(13)。
4.根据权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：所述激光放射器(5)和激光蚀刻器(14)分别通过螺丝安装于第一升降平台(4)和第二升降平台(13)上，所述激光放射器(5)和激光蚀刻器(14)的镜头均对准在牵引带支架(1)内侧牵引带上的基带上。
5.根据权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：所述超声波清洗箱(7)内部设有对牵引带支架(1)内侧牵引带进行导向的导向辊，所述超声波清洗箱(7)内存储有水并通过超声波发生器对基带进行清洗，所述喷淋装置(6)的进水口端连接有水泵且喷淋口端对准在牵引带支架(1)内侧牵引带上的基带上。
6.根据权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：所述狭缝涂布头(11)上安装有注射泵并通过注射泵将预先配置的溶液经注射至狭缝涂布头(11)内，所述狭缝涂布头(11)上设有唇口并通过唇口将溶液涂抹在牵引带支架(1)内侧牵引带上的基带上。
7.根据权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备，其特征在于：还包括主控系统和触摸屏，所述放卷装置(2)、收卷装置(3)、激光放射器(5)、喷淋装置(6)、超声波清洗箱(7)、紫外臭氧机(8)、第一热风烘干机(9)、狭缝涂布头(11)、第二热风烘干机(12)和激光蚀刻器(14)均与主控系统电性连接。
8.应用于权利要求1所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：先开启制备设备的电源，待制备设备的主控系统启动后通过制备设备的触摸屏设置制备设备的控制参数；
S2：待控制参数设置完毕后，先利用放卷装置(2)对基带卷进行放卷，再利用牵引带电机(15)启动牵引带支架(1)内侧的牵引带传送，并将基带卷的基带头固定在牵引带上，同时将基带上下两层保护膜头固定在上下两组收膜辊(203)上，接着启动收膜电机(202)，使基带上的保护膜被自动收卷，基带则跟随牵引带传送；
S3：带基带跟随牵引带传送至激光放射器(5)下方时，启动激光放射器(5)按照固定程序在基带上进行激光蚀刻；
S4：蚀刻完毕后基带跟随牵引带传送至喷淋装置(6)下方，此时启动喷淋装置(6)对基带进行喷淋并冲去激光蚀刻产生的碎屑，喷淋完成后基带跟随牵引带传送至超声波清洗箱(7)进行超声波清洗，超声波清洗后再进行二次喷淋冲洗；
S5：经二次喷淋冲洗的基带再跟随牵引带传送至第一热风烘干机(9)处进行加热烘干，待基带表面的液体烘干后传送至紫外臭氧机(8)处进行臭氧浸润；
S6：待基带经臭氧浸润后传送至狭缝涂布头安装架(10)处，此时利用狭缝涂布头(11)在基带表面涂布预先配置的溶液，完成涂布后再传送至第二热风烘干机(12)处进行加热烘干，直至完成三次涂布和烘干；
S7：涂布完成的基带再传送至激光蚀刻器(14)下方，此时启动激光蚀刻器(14)按照固定程序在基带上进行激光蚀刻，完成所需要的电池形态，即获得柔性钙钛矿太阳能电池，然后将柔性钙钛矿太阳能电池头部固定在收卷装置(3)的收卷辊上并启动收卷电机进行收卷，最后将卷绕完成的柔性钙钛矿太阳能电池从收卷辊上取下并摆放到指定位置进行存储。
9.根据权利要求8所述的一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备的使用方法，其特征在于：所述步骤S1中，设置的控制参数包括：
收膜电机(202)的转速和收膜的时间；
激光放射器(5)和激光蚀刻器(14)的激光强度和蚀刻图案；
喷淋装置(6)的喷淋速度；
超声波清洗箱(7)中超声波清洗器的功率；
第一热风烘干机(9)和第二热风烘干机(12)的温度和风速；
紫外臭氧机(8)的光照时间；
收卷装置(3)的收卷转速。
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|---|---|---|---|
| CN202310643322.7A CN116476523A (zh) | 2023-06-01 | 2023-06-01 | 一种卷对卷印刷柔性钙钛矿太阳能电池的制备设备及方法 |
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