CN116423686A - 一种单晶硅片切片系统及其工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及单晶硅片生产技术领域，公开了一种单晶硅片切片系统及其工艺，包括第一金属板，第一金属板顶端一侧固定连接有第二金属板，切片机构包括有金属杆，两个金属杆一端固定连接在第二金属板一端，两个金属杆侧壁固定连接有两个放置连接架，两个放置连接架侧壁内部开设有第一对接槽，若干第一对接槽内壁活动连接有对接件，两个放置连接架内部开设有若干内槽，若干第一对接槽和若干内槽之间对齐，若干内槽内壁滑动连接有卡接件，若干卡接件内部开设有第二对接槽，若干对接槽内壁滑动连接有对接杆；本发明通过第一对接槽和卡接件实现对接件及其其他连接物快速拆装，实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果。

Description

一种单晶硅片切片系统及其工艺

技术领域

本发明属于单晶硅片生产技术领域，更具体地说，涉及一种单晶硅片切片系统及其工艺。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。在制造性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片：

申请号201810161593.8本发明公开了一种单晶硅片生产系统，它包括滚磨机、切片装置、倒角装置、研磨机和清洗槽；它还公开了单晶硅片的生产工艺。本发明的有益效果是：滚磨精度高、快速实现单晶硅棒的工装、能够滚磨不同长度的单晶硅棒、能够一次性将单晶硅棒切成数片单晶硅片、自动定心、提高倒角效率、自动化程度高、能够一次性研磨数片单晶硅片、研磨效率高、清洗效率高。但在其切片系统中的金刚丝之间的间距设置固定，只针对一种厚度规格的硅片进行切片，存在一定的局限性，降低切片设备的使用效果。

发明内容

本发明的目的是提供一种单晶硅片切片系统及其工艺，实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果。

本发明采取的技术方案具体如下：一种单晶硅片切片系统及其工艺，包括第一金属板，该系统包括：

切片机构，设置于所述系统的顶部；

放置机构，设置于所述系统的底端。

所述第一金属板顶端一侧固定连接有第二金属板，所述切片机构包括有金属杆，两个所述金属杆一端固定连接在第二金属板一端，两个所述金属杆侧壁固定连接有两个放置连接架，两个所述放置连接架侧壁内部开设有第一对接槽，若干所述第一对接槽内壁活动连接有对接件，两个所述放置连接架内部开设有若干内槽，若干所述第一对接槽和若干内槽之间对齐，若干所述内槽内壁滑动连接有卡接件，若干所述卡接件内部开设有第二对接槽，若干所述第二对接槽内壁滑动连接有对接杆，若干所述对接杆一端固定连接在若干内槽的内壁一端，若干所述卡接件底端固定连接有第一弹簧，若干所述第一弹簧一端固定连接在若干内槽的内壁一端。

可选的，若干所述对接件两端开设有进入槽，若干所述卡接件顶端活动连接在若干进入槽，若干所述对接件两端内部开设有第一内螺纹，若干所述第一内螺纹内壁螺纹连接有第一固定螺钉，若干所述第一内螺纹与若干进入槽之间相互连通。

可选的，若干个所述第一对接槽内壁底端开设有转动槽，若干所述转动槽内壁活动连接有第二固定螺钉，若干所述对接件内侧两端开设有第二内螺纹，若干所述第二固定螺钉侧壁一端螺纹连接在若干第二内螺纹的内壁。

可选的，若干所述对接件内壁固定连接有若干个第一连接杆，若干所述第一连接杆内部开设有第一放置槽，若干所述第一连接杆侧壁一端开设有第一固定槽，若干所述第一连接杆侧壁开设有限制滑槽，若干所述限制滑槽内壁滑动连接有固定件，若干所述第一放置槽内壁一端开设有若干第一滑动槽，若干所述固定件一端固定连接有若干滑动杆，若干所述滑动杆侧壁滑动连接在若干第一滑动槽的内壁，若干所述固定件一端固定连接有若干第二弹簧，若干所述第二弹簧一段固定连接在若干第一放置槽的内壁一端。

可选的，若干所述第一固定槽内壁滑动连接有固定轴，若干所述固定轴侧壁固定连接有第一轴承，若干所述第一轴承侧壁固定连接有第一导轮，若干所述固定件一端开设有第二固定槽，若干所述固定轴侧壁两端卡接连接在若干第二固定槽的内壁，若干所述第一连接杆和若干固定件之间螺纹连接有第三固定螺钉。

可选的，若干所述第一连接杆侧壁固定连接有第二连接杆，若干所述第二连接杆一端固定连接在若干对接件的内侧，若干所述第二连接杆侧壁固定连接有固定杆，若干所述固定杆侧壁固定连接有第二轴承，若干所述第二轴承侧壁固定固定连接有第二导轮。

可选的，所述第二金属板顶端两侧开设有第二滑动槽，所述第二滑动槽内壁滑动连接有滑动件，若干所述滑动件侧壁固定连接有固定架，所述固定架顶端固定连接有两个第一电机，所述第一电机输出端固定连接有收卷轮，所述第二金属板一端两侧固定连接有气缸，所述气缸输出端固定连接在固定架的一端。

可选的，所述放置机构包括有第一金属板，所述第一金属板顶端固定连接有第一放置件，所述第一金属板顶端设置有第二放置件，所述第一金属板顶端开设有若干轨道槽，所述第二放置件底端固定连接有若干轨道件，若干所述轨道件侧壁滑动连接在若干轨道槽的内壁，其中之一所述轨道槽内壁一端给固定连接有连接套件，所述连接套件一端固定连接有第二电机，若干所述第二电机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆侧壁螺纹连接在第二放置件和其中之一轨道件的内部，所述螺纹杆一端转动连接在第一放置件和第一金属板之间的内部。

可选的，所述第一放置件和第二放置件顶端开设有开槽和第二放置槽，所述第二放置槽底端开设有弧面槽。

可选的，一种单晶硅片切片系统的工艺，包括以下步骤：

S1.第一电机带动收卷轮进行转动，进而使金刚丝进行快速移动，实现后续金刚丝对单晶硅进行切割；

S2.当螺纹杆转动时会带动第二放置件在第一金属板上进行移动，通过第二放置件移动调节第一放置件和第二放置件之间的间隔距离；

S3.第二固定螺钉会转动移动脱离第二内螺纹和转动槽，当卡接件能够顺利从进入槽中脱离后，便可将对接件从放置连接架上的第一对接槽从快速脱离；

S4.当第三固定螺钉转动脱离固定件侧壁，然后推动固定件，使固定件沿着限制滑槽进行移动，便可将第一导轮从第一固定槽中移动脱离出来。

本发明取得的技术效果为：

（1）本方案通过第一对接槽和卡接件，当第二固定螺钉转动时，由于第二固定螺钉与第二内螺纹之间螺纹连接，第二固定螺钉会转动移动脱离第二内螺纹，然后将脱离第二内螺纹的第二固定螺钉从转动槽中抽出，然后转动第一内螺纹中的第一固定螺钉，使第一固定螺钉向进入槽方向移动，通过第一固定螺钉的移动推动卡接件向内槽中进行移动，当卡接件能够顺利从进入槽中脱离后，便可将对接件从放置连接架上的第一对接槽从快速脱离，通过第一对接槽和卡接件实现对接件及其其他连接物快速拆装，并且通过第一对接槽实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果；

（2）通过固定件，当第三固定螺钉转动脱离固定件侧壁，然后推动固定件，使固定件沿着限制滑槽进行移动，当固定件一端的第二固定槽移动解除对固定轴两端的卡接固定后，便可将第一导轮从第一固定槽中移动脱离出来，通过设置固定件便于第一导轮进行拆卸安装，便于后续对第一导轮进行拆卸维护或者更换；

（3）通过气缸和收卷轮，当两个第一电机带动两个收卷轮相同方向进行转动，进而使金刚丝进行快速移动，实现后续金刚丝对单晶硅进行切割，当收卷轮转动同时，运行气缸使气缸输出端进行收缩和延伸运动，进而带动连接着的固定架进行上下往复运动，使收卷轮上的金刚丝能够有规则的缠绕在收卷轮的侧壁，避免金刚丝绷紧时收卷轮上金刚丝重叠缠绕导致金刚丝之间相互作用造成损耗，通过设置气缸和收卷轮避免金刚丝之间相互作用造成损耗，大大延长金刚丝的使用寿命；

（4）通过螺纹杆和第二放置件，当运行第二电机，第二电机带动螺纹杆进行转动，由于螺纹杆与第二放置件和轨道件之间螺纹连接，当螺纹杆转动时会带动第二放置件在第一金属板上进行移动，通过第二放置件移动调节第一放置件和第二放置件之间的间隔距离，进而可以使不同直接的硅棒放置到第一放置件和第二放置件之间的第二放置槽内，通过设置螺纹杆和第二放置件实现对不同直径或者规格的硅棒进行切片处理。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图

图1为本发明一种单晶硅片切片系统及其工艺的结构示意图；

图2为本发明一种单晶硅片切片系统及其工艺的部分结构示意图；

图3为本发明一种单晶硅片切片系统及其工艺的部分结构示意图；

图4为本发明一种单晶硅片切片系统及其工艺的部分结构示意图；

图5为本发明图2中A处的放大图；

图6为本发明图2中B处的放大图；

图7为本发明图3中沿C处的放大图；

图8为本发明图3中沿D处的放大图；

图9为本发明一种单晶硅片切片系统及其工艺的剖视图；

图10为本发明图9中沿E处的放大图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、第一金属板；2、第二金属板；3、金属杆；4、放置连接架；5、第一对接槽；6、对接件；7、内槽；8、卡接件；9、第二对接槽；10、对接杆；11、第一弹簧；12、进入槽；13、第一内螺纹；14、第一固定螺钉；15、转动槽；16、第二内螺纹；17、第二固定螺钉；18、第一连接杆；19、第一放置槽；20、第一固定槽；21、限制滑槽；22、固定件；23、第一滑动槽；24、滑动杆；25、第二弹簧；26、固定轴；27、第一轴承；28、第一导轮；29、第二固定槽；30、第三固定螺钉；31、第二连接杆；32、固定杆；33、第二轴承；34、第二导轮；35、第二滑动槽；36、滑动件；37、固定架；38、第一电机；39、收卷轮；40、气缸；41、第一放置件；42、第二放置件；43、轨道槽；44、轨道件；45、连接套件；46、第二电机；47、螺纹杆；48、开槽；49、弧面槽；50、第二放置槽。

实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1、图7、图9、图10，本发明提供一种单晶硅片切片系统及其工艺，包括第一金属板1，该系统包括：

切片机构，设置于系统的顶部；

放置机构，设置于系统的底端。

第一金属板1顶端一侧固定连接有第二金属板2，切片机构包括有金属杆3，两个金属杆3一端固定连接在第二金属板2一端，两个金属杆3侧壁固定连接有两个放置连接架4，两个放置连接架4侧壁内部开设有第一对接槽5，若干第一对接槽5内壁活动连接有对接件6，两个放置连接架4内部开设有若干内槽7，若干第一对接槽5和若干内槽7之间对齐，若干内槽7内壁滑动连接有卡接件8，若干卡接件8内部开设有第二对接槽9，若干第二对接槽9内壁滑动连接有对接杆10，若干对接杆10一端固定连接在若干内槽7的内壁一端，若干卡接件8底端固定连接有第一弹簧11，若干第一弹簧11一端固定连接在若干内槽7的内壁一端，若干对接件6两端开设有进入槽12，若干卡接件8顶端活动连接在若干进入槽12，若干对接件6两端内部开设有第一内螺纹13，若干第一内螺纹13内壁螺纹连接有第一固定螺钉14，若干第一内螺纹13与若干进入槽12之间相互连通，若干个第一对接槽5内壁底端开设有转动槽15，若干转动槽15内壁活动连接有第二固定螺钉17，若干对接件6内侧两端开设有第二内螺纹16，若干第二固定螺钉17侧壁一端螺纹连接在若干第二内螺纹16的内壁。首先转动第二固定螺钉17，由于第二固定螺钉17与第二内螺纹16之间螺纹连接，第二固定螺钉17会转动移动脱离第二内螺纹16，然后将脱离第二内螺纹16的第二固定螺钉17从转动槽15中抽出，然后转动第一内螺纹13中的第一固定螺钉14，使第一固定螺钉14向进入槽12方向移动，通过第一固定螺钉14的移动推动卡接件8向内槽7中进行移动，当卡接件8能够顺利从进入槽12中脱离后，便可将对接件6从放置连接架4上的第一对接槽5从快速脱离，通过第一对接槽5和卡接件8实现对接件6及其其他连接物快速拆装，并且通过第一对接槽5实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果。

在一些实施例中，参阅图2、图3、图5、图6，若干对接件6内壁固定连接有若干个第一连接杆18，若干第一连接杆18内部开设有第一放置槽19，若干第一连接杆18侧壁一端开设有第一固定槽20，若干第一连接杆18侧壁开设有限制滑槽21，若干限制滑槽21内壁滑动连接有固定件22，若干第一放置槽19内壁一端开设有若干第一滑动槽23，若干固定件22一端固定连接有若干滑动杆24，若干滑动杆24侧壁滑动连接在若干第一滑动槽23的内壁，若干固定件22一端固定连接有若干第二弹簧25，若干第二弹簧25一段固定连接在若干第一放置槽19的内壁一端，若干第一固定槽20内壁滑动连接有固定轴26，若干固定轴26侧壁固定连接有第一轴承27，若干第一轴承27侧壁固定连接有第一导轮28，若干给固定件22一端开设有第二固定槽29，若干固定轴26侧壁两端卡接连接在若干第二固定槽29的内壁，若干第一连接杆18和若干固定件22之间螺纹连接有第三固定螺钉30。转动第三固定螺钉30脱离固定件22侧壁，然后推动固定件22，使固定件22沿着限制滑槽21进行移动，当固定件22一端的第二固定槽29移动解除对固定轴26两端的卡接固定后，便可将第一导轮28从第一固定槽20中移动脱离出来，通过设置固定件22便于第一导轮28进行拆卸安装，便于后续对第一导轮28进行拆卸维护或者更换。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图4、图8、图9，若干第一连接杆18侧壁固定连接有第二连接杆31，若干第二连接杆31一端固定连接在若干对接件6的内侧，若干第二连接杆31侧壁固定连接有固定杆32，若干固定杆32侧壁固定连接有第二轴承33，若干第二轴承33侧壁固定固定连接有第二导轮34，第二金属板2顶端两侧开设有第二滑动槽35，第二滑动槽35内壁滑动连接有滑动件36，若干滑动件36侧壁固定连接有固定架37，固定架37顶端固定连接有两个第一电机38，第一电机38输出端固定连接有收卷轮39，第二金属板2一端两侧固定连接有气缸40，气缸40输出端固定连接在固定架37的一端。首先，金刚丝一端通过螺丝固定在其中之一的收卷轮39的侧壁，然后金刚丝另一通过左端的第二导轮34进入到左端的第一导轮28的内侧，然后再进入到右端的第一导轮28的内侧，最后从右端的第二导轮34出来，然后从另外一个的卡接件8上的第二连接杆31的右端的第二导轮34重新进入，依次从右端的第一导轮28到左端的第一导轮28经过，从左端的第二导轮34出来，后续金刚丝按照上述进行走线，使金刚丝另一端固定在另外一个收卷轮39的侧壁，进而完成金刚丝走线。然后运行两个第一电机38带动两个收卷轮39相同方向进行转动，进而使金刚丝进行快速移动，实现后续金刚丝对单晶硅进行切割，当收卷轮39转动同时，运行气缸40使气缸40输出端进行收缩和延伸运动，进而带动连接着的固定架37进行上下往复运动，使收卷轮39上的金刚丝能够有规则的缠绕在收卷轮39的侧壁，避免金刚丝绷紧时收卷轮39上金刚丝重叠缠绕导致金刚丝之间相互作用造成损耗，通过设置气缸40和收卷轮39避免金刚丝之间相互作用造成损耗，大大延长金刚丝的使用寿命。

在一些实施例中，参阅图1，放置机构包括有第一金属板1，第一金属板1顶端固定连接有第一放置件41，第一金属板1顶端设置有第二放置件42，第一金属板1顶端开设有若干轨道槽43，第二放置件42底端固定连接有若干轨道件44，若干轨道件44侧壁滑动连接在若干轨道槽43的内壁，其中之一轨道槽43内壁一端给固定连接有连接套件45，连接套件45一端固定连接有第二电机46，若干第二电机46输出端固定连接有螺纹杆47，螺纹杆47侧壁螺纹连接在第二放置件42和其中之一轨道件44的内部，螺纹杆47一端转动连接在第一放置件41和第一金属板1之间的内部，第一放置件41和第二放置件42顶端开设有开槽48和第二放置槽50，第二放置槽50底端开设有弧面槽49。运行第二电机46，第二电机46带动螺纹杆47进行转动，由于螺纹杆47与第二放置件42和轨道件44之间螺纹连接，当螺纹杆47转动时会带动第二放置件42在第一金属板1上进行移动，通过第二放置件42移动调节第一放置件41和第二放置件42之间的间隔距离，进而可以使不同直接的硅棒放置到第一放置件41和第二放置件42之间的第二放置槽50内，通过设置螺纹杆47和第二放置件42实现对不同直径或者规格的硅棒进行切片处理。

本发明的工作流程及原理：首先，金刚丝一端通过螺丝固定在其中之一的收卷轮39的侧壁，然后金刚丝另一通过左端的第二导轮34进入到左端的第一导轮28的内侧，然后再进入到右端的第一导轮28的内侧，最后从右端的第二导轮34出来，然后从另外一个的卡接件8上的第二连接杆31的右端的第二导轮34重新进入，依次从右端的第一导轮28到左端的第一导轮28经过，从左端的第二导轮34出来，后续金刚丝按照上述进行走线，使金刚丝另一端固定在另外一个收卷轮39的侧壁，进而完成金刚丝走线。然后运行两个第一电机38带动两个收卷轮39相同方向进行转动，进而使金刚丝进行快速移动，实现后续金刚丝对单晶硅进行切割，当收卷轮39转动同时，运行气缸40使气缸40输出端进行收缩和延伸运动，进而带动连接着的固定架37进行上下往复运动，使收卷轮39上的金刚丝能够有规则的缠绕在收卷轮39的侧壁，避免金刚丝绷紧时收卷轮39上金刚丝重叠缠绕导致金刚丝之间相互作用造成损耗，通过设置气缸40和收卷轮39避免金刚丝之间相互作用造成损耗，大大延长金刚丝的使用寿命，运行第二电机46，第二电机46带动螺纹杆47进行转动，由于螺纹杆47与第二放置件42和轨道件44之间螺纹连接，当螺纹杆47转动时会带动第二放置件42在第一金属板1上进行移动，通过第二放置件42移动调节第一放置件41和第二放置件42之间的间隔距离，进而可以使不同直接的硅棒放置到第一放置件41和第二放置件42之间的第二放置槽50内，通过设置螺纹杆47和第二放置件42实现对不同直径或者规格的硅棒进行切片处理，首先转动第二固定螺钉17，由于第二固定螺钉17与第二内螺纹16之间螺纹连接，第二固定螺钉17会转动移动脱离第二内螺纹16，然后将脱离第二内螺纹16的第二固定螺钉17从转动槽15中抽出，然后转动第一内螺纹13中的第一固定螺钉14，使第一固定螺钉14向进入槽12方向移动，通过第一固定螺钉14的移动推动卡接件8向内槽7中进行移动，当卡接件8能够顺利从进入槽12中脱离后，便可将对接件6从放置连接架4上的第一对接槽5从快速脱离，通过第一对接槽5和卡接件8实现对接件6及其其他连接物快速拆装，并且通过第一对接槽5实现对调节金刚丝之间的间距，进而调节硅片厚度大小，提高设备的使用效果，转动第三固定螺钉30脱离固定件22侧壁，然后推动固定件22，使固定件22沿着限制滑槽21进行移动，当固定件22一端的第二固定槽29移动解除对固定轴26两端的卡接固定后，便可将第一导轮28从第一固定槽20中移动脱离出来，通过设置固定件22便于第一导轮28进行拆卸安装，便于后续对第一导轮28进行拆卸维护或者更换。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种单晶硅片切片系统，包括第一金属板（1），其特征在于，该系统包括：

切片机构，设置于该系统的顶部；

放置机构，设置于该系统的底端；

所述第一金属板（1）顶端一侧固定连接有第二金属板（2），所述切片机构包括有金属杆（3），两个所述金属杆（3）一端固定连接在第二金属板（2）一端，两个所述金属杆（3）侧壁固定连接有两个放置连接架（4），两个所述放置连接架（4）侧壁内部开设有第一对接槽（5），若干所述第一对接槽（5）内壁活动连接有对接件（6），两个所述放置连接架（4）内部开设有若干内槽（7），若干所述第一对接槽（5）和若干内槽（7）之间对齐，若干所述内槽（7）内壁滑动连接有卡接件（8），若干所述卡接件（8）内部开设有第二对接槽（9），若干所述第二对接槽（9）内壁滑动连接有对接杆（10），若干所述对接杆（10）一端固定连接在若干内槽（7）的内壁一端，若干所述卡接件（8）底端固定连接有第一弹簧（11），若干所述第一弹簧（11）一端固定连接在若干内槽（7）的内壁一端。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：若干所述对接件（6）两端开设有进入槽（12），若干所述卡接件（8）顶端活动连接在若干进入槽（12），若干所述对接件（6）两端内部开设有第一内螺纹（13），若干所述第一内螺纹（13）内壁螺纹连接有第一固定螺钉（14），若干所述第一内螺纹（13）与若干进入槽（12）之间相互连通。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：若干个所述第一对接槽（5）内壁底端开设有转动槽（15），若干所述转动槽（15）内壁活动连接有第二固定螺钉（17），若干所述对接件（6）内侧两端开设有第二内螺纹（16），若干所述第二固定螺钉（17）侧壁一端螺纹连接在若干第二内螺纹（16）的内壁。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：若干所述对接件（6）内壁固定连接有若干个第一连接杆（18），若干所述第一连接杆（18）内部开设有第一放置槽（19），若干所述第一连接杆（18）侧壁一端开设有第一固定槽（20），若干所述第一连接杆（18）侧壁开设有限制滑槽（21），若干所述限制滑槽（21）内壁滑动连接有固定件（22），若干所述第一放置槽（19）内壁一端开设有若干第一滑动槽（23），若干所述固定件（22）一端固定连接有若干滑动杆（24），若干所述滑动杆（24）侧壁滑动连接在若干第一滑动槽（23）的内壁，若干所述固定件（22）一端固定连接有若干第二弹簧（25），若干所述第二弹簧（25）一段固定连接在若干第一放置槽（19）的内壁一端。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：若干所述第一固定槽（20）内壁滑动连接有固定轴（26），若干所述固定轴（26）侧壁固定连接有第一轴承（27），若干所述第一轴承（27）侧壁固定连接有第一导轮（28），若干所述固定件（22）一端开设有第二固定槽（29），若干所述固定轴（26）侧壁两端卡接连接在若干第二固定槽（29）的内壁，若干所述第一连接杆（18）和若干固定件（22）之间螺纹连接有第三固定螺钉（30）。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：若干所述第一连接杆（18）侧壁固定连接有第二连接杆（31），若干所述第二连接杆（31）一端固定连接在若干对接件（6）的内侧，若干所述第二连接杆（31）侧壁固定连接有固定杆（32），若干所述固定杆（32）侧壁固定连接有第二轴承（33），若干所述第二轴承（33）侧壁固定固定连接有第二导轮（34）。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：所述第二金属板（2）顶端两侧开设有第二滑动槽（35），所述第二滑动槽（35）内壁滑动连接有滑动件（36），若干所述滑动件（36）侧壁固定连接有固定架（37），所述固定架（37）顶端固定连接有两个第一电机（38），所述第一电机（38）输出端固定连接有收卷轮（39），所述第二金属板（2）一端两侧固定连接有气缸（40），所述气缸（40）输出端固定连接在固定架（37）的一端。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：所述放置机构包括有第一金属板（1），所述第一金属板（1）顶端固定连接有第一放置件（41），所述第一金属板（1）顶端设置有第二放置件（42），所述第一金属板（1）顶端开设有若干轨道槽（43），所述第二放置件（42）底端固定连接有若干轨道件（44），若干所述轨道件（44）侧壁滑动连接在若干轨道槽（43）的内壁，其中之一所述轨道槽（43）内壁一端给固定连接有连接套件（45），所述连接套件（45）一端固定连接有第二电机（46），若干所述第二电机（46）输出端固定连接有螺纹杆（47），所述螺纹杆（47）侧壁螺纹连接在第二放置件（42）和其中之一轨道件（44）的内部，所述螺纹杆（47）一端转动连接在第一放置件（41）和第一金属板（1）之间的内部。

9.根据权利要求8所述的一种单晶硅片切片系统，其特征在于：所述第一放置件（41）和第二放置件（42）顶端开设有开槽（48）和第二放置槽（50），所述第二放置槽（50）底端开设有弧面槽（49）。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种单晶硅片切片系统的工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1.第一电机（38）带动收卷轮（39）进行转动，进而使金刚丝进行快速移动，实现后续金刚丝对单晶硅进行切割；

S2.当螺纹杆（47）转动时会带动第二放置件（42）在第一金属板（1）上进行移动，通过第二放置件（42）移动调节第一放置件（41）和第二放置件（42）之间的间隔距离；

S3.第二固定螺钉（17）会转动移动脱离第二内螺纹（16）和转动槽（15），当卡接件（8）能够顺利从进入槽（12）中脱离后，便可将对接件（6）从放置连接架（4）上的第一对接槽（5）从快速脱离；

S4.当第三固定螺钉（30）转动脱离固定件（22）侧壁，然后推动固定件（22），使固定件（22）沿着限制滑槽（21）进行移动，便可将第一导轮（28）从第一固定槽（20）中移动脱离出来。

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