CN210082129U - 一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机及其使用方法，包括张力调节机构和片厚调节机构，所述张力调节机构的上端面安装有片厚调节机构,张力调节机构包括底座，底座为内部空心结构，底座的上端面上开有线槽，底座内部上端面后侧的左端与前侧的右端均设有安装架，安装架的内部安装有支撑杆，支撑杆侧壁的中部通过轴承安装有辅助线轮。本实用新型可以解决现有多线切割机调节片厚时安装柄杆的拆卸和安装困难，安装柄杆根据不同间距需要准备多个安装柄杆和切片机切割线的张力调节机构使用复杂等问题，可以实现切片机片厚和张力参数的简单快速调节，具有操作简单、无需备用不同片厚的安装柄杆和张力调节简单方便的优点。

Description

一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机

技术领域

本实用新型涉及多媒体教学设备中集成电路的硅片加工技术领域，特别涉及一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机。

背景技术

随着科学技术的进步，硅片的用途也越来越广泛，尤其在多媒体教学设备的集成电路上应用较多，不同多媒体教学设备的使用环境和用途对于集成电路中硅片的厚度要求也是不一样的，因此，在硅片生产加工中的切片流程就需要合理的控制好硅片的厚度，现在的硅片切割最常见的方法就是内圆切割法和多线切割法，两者都能降低损耗，也各有优缺点。

对于多线切割法而言，其切割效率高，但是也存在一定的弊端，由于硅片使用环境不同，硅片需要的厚度不同，而采用多线切割时硅片的厚度有安装柄杆上沟槽的间距决定，如果需要调节间距就需要更换安装柄杆，安装柄杆的拆卸和安装过程复杂，费时费力，同时需要制备不同间距的安装柄杆备用，造成一定的资源浪费，多线切割在工作时会根据需要来调节切割线的张力，而现有切片机切割线的张力调节复杂，使用很不方便。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，可以解决现有多线切割机调节片厚时安装柄杆的拆卸和安装困难，安装柄杆根据不同间距需要准备多个安装柄杆和切片机切割线的张力调节机构使用复杂等问题，可以实现切片机片厚和张力参数的简单快速调节，具有操作简单、无需备用不同片厚的安装柄杆和张力调节简单方便的优点。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案，一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，包括张力调节机构和片厚调节机构，所述张力调节机构的上端面安装有片厚调节机构。

所述的张力调节机构包括底座，底座为内部空心结构，底座的上端面上开有线槽，底座内部上端面后侧的左端与前侧的右端均设有安装架，安装架的内部安装有支撑杆，支撑杆侧壁的中部通过轴承安装有辅助线轮，底座内部上端面的中部安装有张力调节支链，张力调节支链包括支撑架，支撑架前后侧板的中部设有调节槽，调节槽内通过滑动配合的方式连接有滑动板，前后调节槽内的滑动板之间安装有连接杆，连接杆侧壁的中部通过轴承安装有调节线轮，支撑架的前后侧面前后对称设有调节连接板，调节连接板的前端设有螺纹孔，螺纹孔内通过螺纹连接的方式连接有螺杆，螺杆的上端和下端通过轴承安装在支撑板上，支撑板的后端面安装在支撑架的前端面上，螺杆的下端面穿过支撑板且与张力调节电机的输出轴相连接，张力调节电机通过电机座安装在底座内部的下端面上，工作时，张力调节电机通过联轴器带动螺杆转动，螺杆带动调节连接板上下移动，调节板上下移动带动调节线轮上下移动，既可以调节经过调节线轮的切割线，从而可以简单方便的调节切割线的张力。

所述的片厚调节机构包括螺纹杆，螺纹杆侧壁的前端安装在前侧板上，前侧板的下端面安装在底座上端面的前端，螺纹杆侧壁的后端通过轴承安装在后侧板上，后侧板的下端面安装在底座上端面的后端，螺纹杆的侧壁上从前往后均匀设有片厚调节支链，螺纹杆的前端面安装有转动支链，转动支链包括长杆，线槽轮上沿其周向方向均匀设有通孔，通孔内通过滑动配合的方式安装有长杆，长杆的前端安装在圆板上，圆板为中部空心结构，圆板的外侧壁通过轴承安装在前侧板上，圆板的内侧壁通过轴承安装在螺纹杆侧壁上，圆板的中部设有凹槽，凹槽内安装有转动内齿轮，螺纹杆侧壁的前端安装有螺纹杆内齿轮，螺纹杆内齿轮的外端啮合有外齿轮，外齿轮、螺纹杆内齿轮与转动内齿轮的高度、宽度与齿间距均相同，外齿轮安装在连接筒上，连接筒的前端面通过联轴器与转动电机的输出轴相连接，转动电机安装在电机架上，电机架下端面的左右端左右对称安装有调节电动滑块，调节电动滑块通过滑动配合的方式安装在滑动槽内，滑动槽在支撑台上端面的左右端左右对称设有，支撑台的下端面安装在底座上端面的前端，片厚调节支链包括螺纹板，螺纹杆的侧壁上螺纹连接有螺纹板，螺纹板的前端面沿其周向方向均匀设有固定孔，螺纹板的侧壁通过轴承安装有线槽轮，线槽轮、辅助线轮和调节线轮之间通过切割线连接，线槽轮的前侧面沿其周向方向均匀设有推杆槽，推杆槽内安装有电动推杆，电动推杆的顶端安装有延长板，延长板后侧面的下端安装有固定杆，固定杆的后端呈圆头结构且固定杆的直径与固定孔的直径相同，工作时，根据需要转换外齿轮与螺纹杆内齿轮或转动内齿轮的连接关系，当需要调节片厚时，调节电动滑块向前移动转动电机向前移动，转动电机向前移动可以带动外齿轮向前移动，既外齿轮与转动内齿轮分离与螺纹杆内齿轮啮合，电动推杆伸缩运动将固定杆推到固定孔内，然后将线槽轮固定，转动电机转动带动螺纹板前后移动，螺纹板前后移动即线槽轮前后移动，当螺纹杆后端的线槽轮间距达到需要的间距时，达到需要间距的线槽轮上的电动推杆伸缩运动，将固定杆从固定孔中分离，采用同样的方法依次将线槽轮调节到合适的间距即可，当需要线槽轮转动切割晶棒时，调节电动滑块向后运动，外齿轮与螺纹杆内齿轮分离与转动内齿轮啮合，转动电机转动带动圆板转动，圆板通过长杆带动线槽轮转动，既可以带动切割线转动对晶棒进行切割。

此外，本实用新型还提供了一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机的使用方法，主要包括以下步骤：

S1、片厚调节准备：根据需要转换外齿轮与螺纹杆内齿轮或转动内齿轮的连接关系，当需要调节片厚时，调节电动滑块向前移动转动电机向前移动，转动电机向前移动可以带动外齿轮向前移动，既外齿轮与转动内齿轮分离与螺纹杆内齿轮啮合，电动推杆伸缩运动将固定杆推到固定孔内，然后将线槽轮固定；

S2、片厚调节：转动电机转动带动螺纹板前后移动，螺纹板前后移动即线槽轮前后移动，当螺纹杆后端的线槽轮间距达到需要的间距时，达到需要间距的线槽轮上的电动推杆伸缩运动，将固定杆从固定孔中分离，采用同样的方法依次将线槽轮调节到合适的间距即可；

S3、切割：当需要线槽轮转动切割晶棒时，调节电动滑块向后运动，外齿轮与螺纹杆内齿轮分离与转动内齿轮啮合，转动电机转动带动圆板转动，圆板通过长杆带动线槽轮转动，既可以带动切割线转动对晶棒进行切割；

S4、张力调节：张力调节电机带动螺杆转动，螺杆带动调节连接板上下移动，调节板上下移动带动调节线轮上下移动，既可以调节经过调节线轮的切割线，调节线轮向下移动，切割线张力变大，即切割线变紧，当调节线轮向上移动，切割线张力变小，即切割线边松。

本实用新型的有益效果在于：

一、本实用新型可以解决现有多线切割机调节片厚时安装柄杆的拆卸和安装困难，安装柄杆根据不同间距需要准备多个安装柄杆和切片机切割线的张力调节机构使用复杂等问题，可以实现切片机片厚和张力参数的简单快速调节，具有操作简单、无需备用不同片厚的安装柄杆和张力调节简单方便的优点。

二、本实用新型设置有张力调节机构，张力调节机构可以根据切割线需要的张力进行调节，张力调节机构操作简单方便；

三、本实用新型设置有片厚调节机构，片厚调节无需拆卸安装柄杆，片厚调节简单高效，避免了多个不同间距的安装柄杆来回切换，节省了大量的时间。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的第一立体结构示意图；

图2是本实用新型的长杆、螺纹杆、片厚调节支链与切割线之间的立体结构示意图；

图3是本实用新型图1的剖面图；

图4是本实用新型图3的A向放大示意图；

图5是本实用新型切割线与张力调节支链之间的立体结构示意图；

图6是本实用新型图5的B向放大示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图6所示，一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，包括张力调节机构1和片厚调节机构2，所述张力调节机构1的上端面安装有片厚调节机构2。

所述的张力调节机构1包括底座11，底座11为内部空心结构，底座11的上端面上开有线槽，底座11内部上端面后侧的左端与前侧的右端均设有安装架12，安装架12的内部安装有支撑杆13，支撑杆13侧壁的中部通过轴承安装有辅助线轮14，底座11内部上端面的中部安装有张力调节支链15，张力调节支链15包括支撑架151，支撑架151前后侧板的中部设有调节槽，调节槽内通过滑动配合的方式连接有滑动板152，前后调节槽内的滑动板152之间安装有连接杆153，连接杆153侧壁的中部通过轴承安装有调节线轮154，支撑架151的前后侧面前后对称设有调节连接板16，调节连接板16的前端设有螺纹孔，螺纹孔内通过螺纹连接的方式连接有螺杆161，螺杆161的上端和下端通过轴承安装在支撑板162上，支撑板162的后端面安装在支撑架151的前端面上，螺杆161的下端面穿过支撑板162且与张力调节电机163的输出轴相连接，张力调节电机163通过电机座164安装在底座11内部的下端面上，工作时，张力调节电机163通过联轴器带动螺杆161转动，螺杆161带动调节连接板16上下移动，调节板上下移动带动调节线轮154上下移动，既可以调节经过调节线轮154的切割线26，从而可以简单方便的调节切割线26的张力。

所述的片厚调节机构2包括螺纹杆21，螺纹杆21侧壁的前端安装在前侧板22上，前侧板22的下端面安装在底座11上端面的前端，螺纹杆21侧壁的后端通过轴承安装在后侧板23上，后侧板23的下端面安装在底座11上端面的后端，螺纹杆21的侧壁上从前往后均匀设有片厚调节支链24，螺纹杆21的前端面安装有转动支链25，转动支链25包括长杆251，线槽轮上沿其周向方向均匀设有通孔，通孔内通过滑动配合的方式安装有长杆251，长杆251的前端安装在圆板252上，圆板252为中部空心结构，圆板252的外侧壁通过轴承安装在前侧板22上，圆板252的内侧壁通过轴承安装在螺纹杆21侧壁上，圆板252的中部设有凹槽，凹槽内安装有转动内齿轮253，螺纹杆21侧壁的前端安装有螺纹杆内齿轮254，螺纹杆内齿轮254的外端啮合有外齿轮255，外齿轮255、螺纹杆内齿轮254与转动内齿轮253的高度、宽度与齿间距均相同，外齿轮255安装在连接筒256上，连接筒256的前端面通过联轴器与转动电机257的输出轴相连接，转动电机257安装在电机架上，电机架下端面的左右端左右对称安装有调节电动滑块258，调节电动滑块258通过滑动配合的方式安装在滑动槽内，滑动槽在支撑台259上端面的左右端左右对称设有，支撑台259的下端面安装在底座11上端面的前端，片厚调节支链24包括螺纹板241，螺纹杆21的侧壁上螺纹连接有螺纹板241，螺纹板241的前端面沿其周向方向均匀设有固定孔，螺纹板241的侧壁通过轴承安装有线槽轮242，线槽轮242、辅助线轮14和调节线轮154之间通过切割线26连接，线槽轮242的前侧面沿其周向方向均匀设有推杆槽，推杆槽内安装有电动推杆243，电动推杆243的顶端安装有延长板244，延长板244后侧面的下端安装有固定杆245，固定杆245的后端呈圆头结构且固定杆245的直径与固定孔的直径相同，工作时，根据需要转换外齿轮255与螺纹杆内齿轮254或转动内齿轮253的连接关系，当需要调节片厚时，调节电动滑块258向前移动转动电机257向前移动，转动电机257向前移动可以带动外齿轮255向前移动，既外齿轮255与转动内齿轮253分离与螺纹杆内齿轮254啮合，电动推杆243伸缩运动将固定杆245推到固定孔内，然后将线槽轮242固定，转动电机257转动带动螺纹板241前后移动，螺纹板241前后移动即线槽轮242前后移动，当螺纹杆21后端的线槽轮242间距达到需要的间距时，达到需要间距的线槽轮242上的电动推杆243伸缩运动，将固定杆245从固定孔中分离，采用同样的方法依次将线槽轮242调节到合适的间距即可，当需要线槽轮242转动切割晶棒时，调节电动滑块258向后运动，外齿轮255与螺纹杆内齿轮254分离与转动内齿轮253啮合，转动电机257转动带动圆板252转动，圆板252通过长杆251带动线槽轮242转动，既可以带动切割线26转动对晶棒进行切割。

此外，本实用新型还提供了一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机的使用方法，主要包括以下步骤：

S1、片厚调节准备：根据需要转换外齿轮255与螺纹杆内齿轮254或转动内齿轮253的连接关系，当需要调节片厚时，调节电动滑块258向前移动转动电机257向前移动，转动电机257向前移动可以带动外齿轮255向前移动，既外齿轮255与转动内齿轮253分离与螺纹杆内齿轮254啮合，电动推杆243伸缩运动将固定杆245推到固定孔内，然后将线槽轮242固定；

S2、片厚调节：转动电机257转动带动螺纹板241前后移动，螺纹板241前后移动即线槽轮242前后移动，当螺纹杆21后端的线槽轮242间距达到需要的间距时，达到需要间距的线槽轮242上的电动推杆243伸缩运动，将固定杆245从固定孔中分离，采用同样的方法依次将线槽轮242调节到合适的间距即可；

S3、切割：当需要线槽轮242转动切割晶棒时，调节电动滑块258向后运动，外齿轮255与螺纹杆内齿轮254分离与转动内齿轮253啮合，转动电机257转动带动圆板252转动，圆板252通过长杆251带动线槽轮242转动，既可以带动切割线26转动对晶棒进行切割；

S4、张力调节：张力调节电机163带动螺杆161转动，螺杆161带动调节连接板16上下移动，调节板上下移动带动调节线轮154上下移动，既可以调节经过调节线轮154的切割线26，调节线轮154向下移动，切割线26张力变大，即切割线26变紧，当调节线轮154向上移动，切割线26张力变小，即切割线26边松。

本实用新型实现了切片机片厚和张力参数的简单快速调节，解决了现有多线切割机调节片厚时安装柄杆的拆卸和安装困难，安装柄杆根据不同间距需要准备多个安装柄杆和切片机切割线26的张力调节机构1使用复杂等问题，达到了目的。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，包括张力调节机构(1)和片厚调节机构(2)，其特征在于：所述张力调节机构(1)的上端面安装有片厚调节机构(2)；其中：

所述的张力调节机构(1)包括底座(11)，底座(11)为内部空心结构，底座(11)的上端面上开有线槽，底座(11)内部上端面后侧的左端与前侧的右端均设有安装架(12)，安装架(12)的内部安装有支撑杆(13)，支撑杆(13)侧壁的中部通过轴承安装有辅助线轮(14)，底座(11)内部上端面的中部安装有张力调节支链(15)；

所述的片厚调节机构(2)包括螺纹杆(21)，螺纹杆(21)侧壁的前端安装在前侧板(22)上，前侧板(22)的下端面安装在底座(11)上端面的前端，螺纹杆(21)侧壁的后端通过轴承安装在后侧板(23)上，后侧板(23)的下端面安装在底座(11)上端面的后端，螺纹杆(21)的侧壁上从前往后均匀设有片厚调节支链(24)，螺纹杆(21)的前端面安装有转动支链(25)；

所述的片厚调节支链(24)包括螺纹板(241)，螺纹杆(21)的侧壁上螺纹连接有螺纹板(241)，螺纹板(241)的前端面沿其周向方向均匀设有固定孔，螺纹板(241)的侧壁通过轴承安装有线槽轮(242)，线槽轮(242)的前侧面沿其周向方向均匀设有推杆槽，推杆槽内安装有电动推杆(243)，电动推杆(243)的顶端安装有延长板(244)，延长板(244)后侧面的下端安装有固定杆(245)，固定杆(245)的后端呈圆头结构且固定杆(245)的直径与固定孔的直径相同。

2.根据权利要求1所述的一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，其特征在于：所述的张力调节支链(15)包括支撑架(151)，支撑架(151)前后侧板(23)的中部设有调节槽，调节槽内通过滑动配合的方式连接有滑动板(152)，前后调节槽内的滑动板(152)之间安装有连接杆(153)，连接杆(153)侧壁的中部通过轴承安装有调节线轮(154)，支撑架(151)的前后侧面前后对称设有调节连接板(16)。

3.根据权利要求1所述的一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，其特征在于：所述的转动支链(25)包括长杆(251)，线槽轮(242)上沿其周向方向均匀设有通孔，通孔内通过滑动配合的方式安装有长杆(251)，长杆(251)的前端安装在圆板(252)上，圆板(252)为中部空心结构，圆板(252)的外侧壁通过轴承安装在前侧板(22)上，圆板(252)的内侧壁通过轴承安装在螺纹杆(21)侧壁上，圆板(252)的中部设有凹槽，凹槽内安装有转动内齿轮(253)，螺纹杆(21)侧壁的前端安装有螺纹杆内齿轮(254)，螺纹杆内齿轮(254)的外端啮合有外齿轮(255)，外齿轮(255)、螺纹杆内齿轮(254)与转动内齿轮(253)的高度、宽度与齿间距均相同。

4.根据权利要求2所述的一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，其特征在于：所述调节连接板(16)的前端设有螺纹孔，螺纹孔内通过螺纹连接的方式连接有螺杆(161)，螺杆(161)的上端和下端通过轴承安装在支撑板(162)上，支撑板(162)的后端面安装在支撑架(151)的前端面上，螺杆(161)的下端面穿过支撑板(162)且与张力调节电机(163)的输出轴相连接，张力调节电机(163)通过电机座(164)安装在底座(11)内部的下端面上。

5.根据权利要求3所述的一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，其特征在于：所述的外齿轮(255)安装在连接筒(256)上，连接筒(256)的前端面通过联轴器与转动电机(257)的输出轴相连接，转动电机(257)安装在电机架上，电机架下端面的左右端左右对称安装有调节电动滑块(258)，调节电动滑块(258)通过滑动配合的方式安装在滑动槽内，滑动槽在支撑台(259)上端面的左右端左右对称设有，支撑台(259)的下端面安装在底座(11)上端面的前端。

6.根据权利要求1所述的一种用于多媒体教学集成电路的硅片生产用切片机，其特征在于：所述的线槽轮(242)、辅助线轮(14)和调节线轮(154)之间通过切割线(26)连接。

Images