CN116412753A - 伯努利夹盘可靠性的测试方法 - Google Patents
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- 238000010998 test method Methods 0.000 title description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 236
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 216
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 230000009191 jumping Effects 0.000 claims description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 18
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 235000000177 Indigofera tinctoria Nutrition 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229940097275 indigo Drugs 0.000 description 1
- COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N indigo powder Natural products N1C2=CC=CC=C2C(=O)C1=C1C(=O)C2=CC=CC=C2N1 COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明提出的伯努利夹盘可靠性的测试方法，先通过激光位移计对伯努利夹盘的水平和跳动进行检测，排除伯努利夹盘本身结构和装配对伯努利夹盘的水平和跳动性能的影响，再通过激光位移计对伯努利夹盘夹持测试片作业时测试片的水平和跳动进行检测，排除伯努利夹盘气路对伯努利夹盘的水平和跳动性能的影响，采用该方法对伯努利夹盘可靠性进行测试，一方面有效简化了操作流程，另一方面提高了伯努利夹盘测试和检修的准确度。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地，涉及一种伯努利夹盘可靠性的测试方法。
背景技术
背面清洗设备用于晶圆背面清洗或者湿法刻蚀工艺。背面清洗设备包括腔体和设于腔体内部的晶圆保持装置。晶圆保持装置具有伯努利夹盘，伯努利夹盘表面开设有若干个气孔，若干个气孔连接气路。气路向若干个气孔提供气体，如N2，使得晶圆悬浮并保持在伯努利夹盘的上方，整个过程中晶圆正面不与伯努利夹盘接触。
在执行晶圆背面湿法刻蚀工艺时，需要关注晶圆正面边缘的微小刻蚀宽度和刻蚀宽度均一性。晶圆正面边缘刻蚀宽度的均一性与伯努利夹盘的可靠性有着直接联系，其中，伯努利夹盘的可靠性是指伯努利夹盘自身的水平和跳动，以及伯努利夹盘携带晶圆作业时晶圆的水平和跳动。
目前，行业内表征水平和跳动的手段分别是通过水平仪和千分尺实现的。水平仪测伯努利夹盘(或晶圆)水平存在以下几个弊端：1)需要打开腔体作业；2)需要佩戴安全防护用具操作；3)夹盘中心位置人为确定会存在误差；
4)水平仪放置位置不同，得到的数据会存在差别，测量误差较大等。千分尺测伯努利夹盘(或晶圆)跳动存在的弊端：1)需打开腔体作业；2)需佩戴安全防护用具；3)千分尺测夹盘跳动为接触式，夹盘转速不能太高；4)千分尺精度低，测量误差大；5)需要特制的夹具，操作不方便。
因此，有必要开发一种简单易操作且测量精确的伯努利夹盘可靠性测量方法。
发明内容
本发明的目的是提供一种伯努利夹盘可靠性的测试方法，能够简单方便且准确地对伯努利夹盘的水平和跳动，以及采用伯努利夹盘携带测试片作业时测试片的水平和跳动进行检测，其中，测试片可以为晶圆。
为实现上述目的，本发明提供的一种伯努利夹盘可靠性的测试方法，包括以下步骤：
步骤1，采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平和/或跳动；
步骤2，判断伯努利夹盘的水平和跳动是否处于设定范围，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤1；若伯努利夹盘的水平和跳动处于设定范围内，则执行步骤3；
步骤3，提供一测试片，由伯努利夹盘保持测试片，采用激光位移计检测测试片的水平和/或跳动；
步骤4，判断测试片的水平和跳动是否处于设定范围，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤3，若测试片的水平和跳动处于设定范围内，则测试结束。
激光位移计可以选用彩色激光同轴位移计，利用光谱共焦原理，彩色激光同轴位移计的光学单元产生的可见光穿过透镜组(探头)，分散为红色、橙色、黄色、绿色、蓝色、靛蓝和紫色七种颜色，然后利用反射原理将反射波长转换成相应的位移值。彩色激光同轴位移计测量精度高，误差小，且为非接触式测量，在对伯努利夹盘可靠性进行测量时，伯努利夹盘转速可以更高，与接触式测量方式相比，不再受伯努利夹盘转速的限制。
将彩色激光同轴位移计应用到背面清洗设备内部进行伯努利夹盘(以及测试片)的跳动和水平实时测量，测量时无需打开腔体，操作简单，可用于设备月保养时监控伯努利夹盘的状态，也可作为设备日常监控的项目。
作为本发明的一种可选方案，在伯努利夹盘(或测试片)的跳动检测中，在伯努利夹盘(或测试片)转动的同时，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘(或测试片)的边缘位置上各点的位移信息，根据第一激光位移计采集的位移信息，模拟伯努利夹盘(或测试片)的跳动波形图，完成伯努利夹盘(或测试片)的跳动检测。
作为本发明的一种可选方案，在伯努利夹盘(或测试片)的水平检测中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度，在伯努利夹盘(或测试片)的转动的同时，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘(或测试片)的边缘位置上各点的位移信息，通过第二激光位移计采集伯努利夹盘(或测试片)中心位置的位移信息，以伯努利夹盘(或测试片)的中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算伯努利夹盘(或测试片)的边缘位置上各点的倾斜角度，模拟出伯努利夹盘(或测试片)的水平波形图，完成伯努利夹盘(或测试片)的水平测试。
作为本发明的一种可选方案，在伯努利夹盘(或测试片)的水平检测中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度，在伯努利夹盘(或测试片)转动的同时，第一激光位移计沿伯努利夹盘(或测试片)的径向自边缘位置向中心位置移动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘(或测试片)上各点的位移信息，通过第二激光位移计采集伯努利夹盘(或测试片)中心位置的位移信息，以伯努利夹盘(或测试片)中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算伯努利夹盘(或测试片)上各点的倾斜角度，模拟伯努利夹盘(或测试片)水平的空间3D立体图像，完成伯努利夹盘(或测试片)的水平测试。
在本发明中，先通过激光位移计对伯努利夹盘的水平和跳动进行检测，排除伯努利夹盘本身结构和装配对伯努利夹盘的水平和跳动性能的影响，再通过激光位移计对伯努利夹盘夹持测试片作业时测试片的水平和跳动进行检测，排除伯努利夹盘气路对伯努利夹盘的水平和跳动性能的影响，采用该方法对伯努利夹盘可靠性进行测试，一方面有效简化了操作流程，另一方面提高了伯努利夹盘测试和检修的准确度。
附图说明
图1为本发明一实施例背面清洗设备测试伯努利夹盘水平和跳动的示意图；
图2为本发明一实施例背面清洗设备测试测试片水平和跳动的示意图，其中，测试片保持在伯努利夹盘上；
图3为本发明一实施例伯努利夹盘可靠性的测试流程图；
图4为本发明一实施例伯努利夹盘的跳动波形图；以及
图5为本发明一实施例伯努利夹盘的水平波形图。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所达成目的及效果，下面将结合实施例并配合图式予以详细说明。
参见图1和图2，背面清洗设备包括腔体101和晶圆保持装置102，晶圆保持装置102位于腔体101内。晶圆保持装置102具有伯努利夹盘1021、旋转轴1022和驱动器1023，驱动器1023通过旋转轴1022驱动伯努利夹盘1021旋转。通常在晶圆保持装置102的外围设置有护罩103，防止晶圆作业时液体飞溅。伯努利夹盘1021上开设有若干个气孔10211，若干个气孔10211相对伯努利夹盘1021的轴线倾斜设置，若干个气孔10211与一气路104相连，气路104用于向若干个气孔10211提供气体，例如N2。参见图2，伯努利夹盘1021通过若干个气孔10211向晶圆的正面提供气体，以使晶圆悬浮并保持在伯努利夹盘1021的上方。
再次参见图1和图2，在本发明一实施例中，腔体101内部还设置有用于检测伯努利夹盘1021可靠性的测试装置105。测试装置105包括驱动轴1051和摆臂1052，驱动轴1051用于驱动摆臂1052摆动，摆臂1052上可移动地安装有第一激光位移计1053和第二激光位移计1054，具体地，摆臂1052上设置有驱动马达(图未示出)和导轨(图未示出)，驱动马达驱动第一激光位移计1053和第二激光位移计1054沿摆臂1052上的导轨平移，如图1或图2中虚线箭头所示。测试装置105可以与一控制器(图未示出)信号连接，控制器控制测试装置105的动作，例如控制器根据预设程序控制驱动轴1051带动摆臂1052在初始位置和工作位置摆动，当摆臂1052位于工作位置时，摆臂1052在伯努利夹盘1021上的投影与伯努利夹盘1021的直径重叠。控制器具有数据接收器、数据处理器和显示器，数据接收器用于接收第一激光位移计或第二激光位移计采集的位移信息，数据处理器用于对采集的位移信息进行处理，模拟生成对应的图表，显示器用于显示数据处理器对采集的位移信息处理后的结果。此外，控制器还与晶圆保持装置信号连接，用于控制伯努利夹盘的旋转以及向伯努利夹盘供气的气路。
参见图3，揭示了根据本发明一实施例的用于检测伯努利夹盘可靠性的测试方法，该测试方法包括以下步骤：
步骤1，采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平和/或跳动；
步骤2，判断伯努利夹盘的水平和跳动是否处于设定范围，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤1；若伯努利夹盘的水平和跳动处于设定范围内，则执行步骤3；
步骤3，提供一测试片，由伯努利夹盘保持并旋转测试片，采用激光位移计检测测试片的水平和/或跳动；
步骤4，判断测试片的水平和跳动是否处于设定范围，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤3，若测试片的水平和跳动处于设定范围内，则测试结束。
在步骤2中，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘的结构进行检修。
在步骤4中，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘的气路进行检修。
伯努利夹盘可靠性的测试结束后，设备正常，则可以出机正常使用。此外，伯努利夹盘可靠性的测试方法还可以用于客户端日常监控或月度保养，测试片可以为测试专用晶圆，也可以为待工艺晶圆。若测试片采用待工艺晶圆，晶圆的水平和跳动处于设定范围后，则可直接对晶圆执行背面清洗工艺。在其他实施例中，每片晶圆在执行背面清洗工艺之前以及每片晶圆在执行背面清洗工艺的过程中，均可以执行步骤3和步骤4，实时监控晶圆的水平和跳动是否处于设定范围，及时发现问题。
下面将结合图1，详细介绍一实施例中采用激光位移计检测伯努利夹盘跳动的步骤。
通过第一激光位移计1053发射激光照射在伯努利夹盘1021的边缘位置。如图1所示，测试装置105的摆臂1051摆动至工作位置，第一激光位移计1053定位在伯努利夹盘1021的边缘位置的正上方，第一激光位移计1053发射的激光正好照射在伯努利夹盘1021的边缘位置。
接下来，旋转轴1022驱动伯努利夹盘1021转动，在伯努利夹盘1021转动的同时，通过第一激光位移计1053采集伯努利夹盘1021边缘位置上各点的位移信息，该位移信息为伯努利夹盘1021边缘位置上各点相对第一激光位移计1053的位移。第一激光位移计1053采集的位移信息以伯努利夹盘1021旋转一圈为一个周期，在伯努利夹盘1021上可以设置标记，作为第一激光位移计1053采集数据周期的起始点。
然后根据第一激光位移计1053采集的位移信息，模拟伯努利夹盘1021的跳动波形图，完成伯努利夹盘1021的跳动测试。图4示例一伯努利夹盘测试的跳动波形图，其中，x轴为伯努利夹盘1021的旋转角度，y轴为伯努利夹盘1021测试点的跳动幅度，观察跳动波形图每个周期内的波峰波谷的差值，若该差值超过设定的最大跳动幅度，则判定伯努利夹盘1021的跳动异常，需要对伯努利夹盘1021的结构及装配进行检修。
下面将结合图1，详细介绍一实施例中采用激光位移计检测伯努利夹盘1021水平的步骤。
如图1所示，测试装置105的摆臂1051摆动至工作位置，第一激光位移计1053和第二激光位移计1054定位在同一高度，第一激光位移计1053定位在伯努利夹盘1021的边缘位置，第二激光位移计1054定位在伯努利夹盘1021的中心位置。通过第一激光位移计1053发射激光照射在伯努利夹盘1021的边缘位置，通过第二激光位移计1054发射激光照射在伯努利夹盘1021的中心位置。
接下来，驱动伯努利夹盘1021转动，通过第一激光位移计1053采集伯努利夹盘1021边缘位置上各点的位移信息，通过第二激光位移计1054采集伯努利夹盘1021中心位置的位移信息。
然后，以伯努利夹盘1021中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，计算伯努利夹盘1021的边缘位置上各点的倾斜角度，模拟出伯努利夹盘1021的水平波形图，完成伯努利夹盘1021的水平测试。图5示例一伯努利夹盘测试的水平波形图，其中，x轴为伯努利夹盘1021的旋转角度，y轴为伯努利夹盘1021测试点的倾斜角度，观察水平波形图每个周期内的倾斜角度，若该倾斜角度超过设定的最大倾斜角度，则判定伯努利夹盘1021的水平异常，需要对伯努利夹盘1021的结构及装配进行检修。
在本实施例中，可以同时对伯努利夹盘1021的水平和跳动进行测试。具体地，数据处理器根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，模拟出伯努利夹盘1021的水平波形图，根据第一激光位移计1053采集的伯努利夹盘1021边缘位置上各点的位移信息，模拟出伯努利夹盘1021的跳动波形图，实现伯努利夹盘1021的水平和跳动的同步测试，简化测试流程和步骤。
下面将结合图1，详细介绍另一实施例中采用激光位移计检测伯努利夹盘1021的水平的步骤。
如图1所示，测试装置105的摆臂1051摆动至工作位置，第一激光位移计1053和第二激光位移计1054定位在同一高度，第一激光位移计1053定位在伯努利夹盘1021的边缘位置，第二激光位移计1054定位在伯努利夹盘1021的中心位置。通过第一激光位移计1053发射激光照射在伯努利夹盘1021的边缘位置，通过第二激光位移计1054发射激光照射在伯努利夹盘1021的中心位置。
接下来，驱动伯努利夹盘1021转动，通过第二激光位移计1054采集伯努利夹盘1021中心位置的位移信息，第一激光位移计1053沿伯努利夹盘1021的径向自边缘位置向中心位置移动，通过第一激光位移计1053采集伯努利夹盘1021上各点的位移信息。
然后，以伯努利夹盘1021中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，计算伯努利夹盘1021上各点的倾斜角度，模拟伯努利夹盘1021水平的空间3D立体图像，完成伯努利夹盘1021的水平测试。伯努利夹盘1021水平的空间3D立体图像能够更为直观地展示伯努利夹盘1021水平的测试结果，观察3D立体图像上各测试点的倾斜角度，若该倾斜角度超过设定的最大倾斜角度，则判定伯努利夹盘1021的水平异常，需要对伯努利夹盘1021的结构及装配进行检修。
同样地，在本实施例中，可以同时对伯努利夹盘1021的水平和跳动进行测试。具体地，数据处理器根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，模拟出伯努利夹盘1021水平的空间3D立体图像，根据第一激光位移计1053采集的伯努利夹盘1021边缘位置上各点的位移信息，模拟出伯努利夹盘1021的跳动波形图。
采用激光位移计检测测试片水平和跳动的步骤与采用激光位移计检测伯努利夹盘水平和跳动的步骤基本相同，区别在于，采用激光位移计检测测试片水平和跳动的步骤中，需先将测试片保持在伯努利夹盘上，然后再对测试片进行水平和跳动测试，其他步骤可参考采用激光位移计检测伯努利夹盘水平和跳动的步骤。
下面将结合图2，详细介绍一实施例中采用激光位移计检测测试片跳动的步骤。
伯努利夹盘1021通过气路104和若干个气孔10211向测试片的正面提供气体，以使测试片非接触式地保持在伯努利夹盘1021上方。
测试装置105的摆臂1051摆动至工作位置，第一激光位移计1053定位在测试片的边缘位置，第一激光位移计1053发射的激光正好照射在测试片的边缘位置。
接下来，旋转轴1022驱动伯努利夹盘1021和测试片同步转动，与此同时，通过第一激光位移计1053采集测试片边缘位置上各点的位移信息，该位移信息为测试片边缘位置上各点相对第一激光位移计1053的位移。第一激光位移计1053采集的位移信息以测试片旋转一圈为一个周期，当第一激光位移计1053发射的激光照射在测试片缺口位置处时，数据接收器开始记录数据，测试片旋转一圈，当第一激光位移计1053发射的激光再次照射在测试片缺口位置处，作为一个数据记录周期。
然后根据第一激光位移计1053采集的位移信息，模拟测试片的跳动波形图，完成测试片的跳动测试。根据测试片的跳动波形图判断伯努利夹盘1021携带测试片转动时，测试片的跳动是否正常。
下面将结合图2，详细介绍另一实施例中采用激光位移计检测测试片水平的步骤。
伯努利夹盘1021通过气路104和若干个气孔10211向测试片的正面提供气体，以使测试片非接触式地保持在伯努利夹盘1021上方。
如图2所示，测试装置105的摆臂1051摆动至工作位置，第一激光位移计1053和第二激光位移计1054定位在同一高度，第一激光位移计1053定位在测试片的边缘位置，第二激光位移计1054定位在测试片的中心位置。通过第一激光位移计1053发射激光照射在测试片的边缘位置，通过第二激光位移计1054发射激光照射在测试片的中心位置。
接下来，驱动伯努利夹盘1021和测试片同步转动，通过第一激光位移计1053采集测试片边缘位置上各点的位移信息，通过第二激光位移计1054采集测试片中心位置的位移信息。
然后，以测试片中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，计算测试片的边缘位置上各点的倾斜角度，模拟出测试片的水平波形图，完成测试片的水平测试。根据测试片的水平波形图判断伯努利夹盘1021携带测试片转动时，测试片的水平是否异常。
在本实施例中，可以同时对测试片的水平和跳动进行测试。具体地，数据处理器根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，模拟出测试片的水平波形图，根据第一激光位移计1053采集测试片边缘位置上各点的位移信息，模拟出测试片的跳动波形图。
下面将结合图2，详细介绍另一实施例中采用激光位移计检测测试片水平的步骤。
伯努利夹盘1021通过气路104和若干个气孔10211向测试片的正面提供气体，以使测试片非接触式地保持在伯努利夹盘1021上方。
如图2所示，测试装置105的摆臂1051摆动至工作位置，第一激光位移计1053和第二激光位移计1054定位在同一高度，第一激光位移计1053定位在测试片的边缘位置，第二激光位移计1054定位在测试片的中心位置。通过第一激光位移计1053发射激光照射在测试片的边缘位置，通过第二激光位移计1054发射激光照射在测试片的中心位置。
接下来，驱动伯努利夹盘1021和测试片同步转动，通过第二激光位移计1054采集测试片中心位置的位移信息，第一激光位移计1053沿测试片的径向自边缘位置向中心位置移动，通过第一激光位移计1053采集测试片上各点的位移信息。
然后，以测试片中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，计算测试片上各点的倾斜角度，模拟测试片水平的空间3D立体图像，完成测试片的水平测试。测试片水平的空间3D立体图像能够更为直观地展示测试片水平的测试结果，观察测试片水平的空间3D立体图像上各测试点的倾斜角度，若该倾斜角度超过设定的最大倾斜角度，则判定测试片的水平异常，需要对伯努利夹盘1021的气路104进行检修。
同样地，在本实施例中，可以同时对测试片的水平和跳动进行测试。具体地，数据处理器根据第一激光位移计1053和第二激光位移计1054采集的位移信息，模拟出测试片水平的空间3D立体图像，根据第一激光位移计1053采集的测试片边缘位置上各点的位移信息，模拟出测试片的跳动波形图。
综上所述，本发明通过上述实施方式及相关图式说明，己具体、详实的揭露了相关技术，使本领域的技术人员可以据以实施。而以上所述实施例只是用来说明本发明，而不是用来限制本发明的，本发明的权利范围，应由本发明的权利要求来界定。至于本文中所述元件数目的改变或等效元件的代替等仍都应属于本发明的权利范围。
Claims (10)
1.一种伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平和/或跳动；
步骤2，判断伯努利夹盘的水平和跳动是否处于设定范围，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤1；若伯努利夹盘的水平和跳动处于设定范围内，则执行步骤3；
步骤3，提供一测试片，由伯努利夹盘保持测试片，采用激光位移计检测测试片的水平和/或跳动；
步骤4，判断测试片的水平和跳动是否处于设定范围，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤3，若测试片的水平和跳动处于设定范围内，则测试结束。
2.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，
在步骤2中，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘的结构进行检修；
在步骤4中，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘的气路进行检修。
3.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测伯努利夹盘的跳动包括以下步骤：
通过第一激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的边缘位置；
驱动伯努利夹盘转动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘边缘位置上各点的位移信息；
根据第一激光位移计采集的位移信息，模拟伯努利夹盘的跳动波形图，完成伯努利夹盘的跳动测试。
4.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平包括以下步骤：
通过第一激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的边缘位置，通过第二激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的中心位置，其中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度；
驱动伯努利夹盘转动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘边缘位置上各点的位移信息，通过第二激光位移计采集伯努利夹盘中心位置的位移信息；
以伯努利夹盘中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算伯努利夹盘的边缘位置上各点的倾斜角度，模拟出伯努利夹盘的水平波形图，完成伯努利夹盘的水平测试。
5.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平包括以下步骤：
通过第一激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的边缘位置，通过第二激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的中心位置，其中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度；
驱动伯努利夹盘转动，通过第二激光位移计采集伯努利夹盘中心位置的位移信息，第一激光位移计沿伯努利夹盘的径向自伯努利夹盘的边缘位置向中心位置移动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘上各点的位移信息；
以伯努利夹盘中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算伯努利夹盘上各点的倾斜角度，模拟伯努利夹盘水平的空间3D立体图像，完成伯努利夹盘的水平测试。
6.根据权利要求4或5所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，还包括根据第一激光位移计采集的伯努利夹盘边缘位置上各点的位移信息，模拟伯努利夹盘的跳动波形图，完成伯努利夹盘的跳动测试。
7.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测测试片的跳动包括以下步骤：
测试片保持在伯努利夹盘上；
通过第一激光位移计发射激光照射在测试片的边缘位置；
驱动伯努利夹盘和测试片同步转动，通过第一激光位移计采集测试片边缘位置上各点的位移信息；
根据第一激光位移计采集的位移信息，模拟测试片的跳动波形图，完成测试片的跳动测试。
8.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测测试片的水平包括以下步骤：
测试片保持在伯努利夹盘上；
通过第一激光位移计发射激光照射在测试片的边缘位置，通过第二激光位移计发射激光照射在测试片的中心位置，其中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度；
驱动伯努利夹盘和测试片同步转动，通过第一激光位移计采集测试片边缘位置上各点的位移信息，通过第二激光位移计采集测试片中心位置的位移信息；
以测试片中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算测试片的边缘位置上各点的倾斜角度，模拟出测试片的水平波形图，完成测试片的水平测试。
9.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测测试片的水平测试包括以下步骤：
测试片保持在伯努利夹盘上；
通过第一激光位移计发射激光照射在测试片的边缘位置，通过第二激光位移计发射激光照射在测试片的中心位置，其中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度；
驱动伯努利夹盘和测试片同步转动，通过第二激光位移计采集测试片中心位置的位移信息，第一激光位移计沿测试片的径向自测试片的边缘位置向中心位置移动，通过第一激光位移计采集测试片上各点的位移信息；
以测试片中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算测试片上各点的倾斜角度，模拟测试片水平的空间3D立体图像，完成测试片的水平测试。
10.根据权利要求8或9所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，还包括根据第一激光位移计采集的测试片边缘位置上各点的位移信息，模拟测试片的跳动波形图，完成测试片的跳动测试。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111649531.XA CN116412753A (zh) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | 伯努利夹盘可靠性的测试方法 |
| TW111150635A TW202326890A (zh) | 2021-12-30 | 2022-12-29 | 伯努利夾盤可靠性的測試方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202111649531.XA CN116412753A (zh) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | 伯努利夹盘可靠性的测试方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116412753A true CN116412753A (zh) | 2023-07-11 |
Family
ID=87053279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202111649531.XA Pending CN116412753A (zh) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | 伯努利夹盘可靠性的测试方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116412753A (zh) |
| TW (1) | TW202326890A (zh) |
-
2021
- 2021-12-30 CN CN202111649531.XA patent/CN116412753A/zh active Pending
-
2022
- 2022-12-29 TW TW111150635A patent/TW202326890A/zh unknown
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW202326890A (zh) | 2023-07-01 |
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