CN116399128A - 一种烧结炉气氛均匀调节系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种烧结炉气氛均匀调节系统,包括固定底座和固定在固定底座上方的烧结炉,所述烧结炉的一侧设置有与烧结炉内腔连通的真空泵组,所述烧结炉的内腔开设有气氛腔,所述烧结炉的内腔固定连接有用于对气氛腔进行隔断的间距板,本发明涉及烧结炉技术领域。该烧结炉气氛均匀调节系统,通过陶瓷基板进行隔热,温度达到之后,将第二空孔暴露出,此时受热的高温气体,通过均匀设置的第二空孔进入烧结炉内,对陶瓷工件进行均匀的烧结,通过气氛腔的设置使得内部受热更加均匀,使陶瓷工件在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态。
Description
技术领域
本发明涉及烧结炉技术领域,具体为一种烧结炉气氛均匀调节系统。
背景技术
中国专利CN207365687U公开了一种ITO靶材烧结炉,能够使炉膛内的温度快速地上升或下降,进而实现快速并精确地调节升降温速率的目的,使ITO靶材在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态,大大提高了ITO靶材的烧结质量,但是在进行加热时,炉体内腔容易受热不均匀,导致靶材各个面受热温度不一,无法保证成品质量,靶材不能得到均匀的受热,并且进出料操作不方便,需要停机等待较长时间,容易导致大量热量逸散。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种烧结炉气氛均匀调节系统,解决了上述提出的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种烧结炉气氛均匀调节系统,包括固定底座和固定在固定底座上方的烧结炉,所述烧结炉的一侧设置有与烧结炉内腔连通的真空泵组,所述烧结炉的内腔开设有气氛腔,所述烧结炉的内腔固定连接有用于对气氛腔进行隔断的间距板,所述气氛腔的内腔驱动有与间距板的顶部滑动连接的遮挡板,所述间距板的表面开设有第一空孔,所述遮挡板的表面开设有与第一空孔交错设置的第二空孔,所述真空泵组通过真空管道与气氛腔的内腔连通,使用时通过热电偶对硅钼棒发热丝控制在气氛腔内进行加热,并且此时通过真空泵组注入调节气氛的混合气体,气体在气氛腔内进行加热,间距板为多孔陶瓷基板,在加热时,遮挡板表面的第二空孔和遮挡板表面的第一空孔交错进行遮挡,混合气体在气氛腔内进行预热,通过陶瓷基板进行隔热,温度达到之后,通过动力机构驱动遮挡板滑动,带动第二空孔运动到第一空孔上方,将第二空孔暴露出,此时受热的高温气体,通过均匀设置的第二空孔进入烧结炉内,对陶瓷工件进行均匀的烧结,通过气氛腔的设置使得内部受热更加均匀,使陶瓷工件在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态。
作为本发明进一步的方案:所述遮挡板为在烧结炉内腔环状设置的陶瓷基板,第二空孔设置有多个,且在其表面均匀分布。
作为本发明进一步的方案:所述烧结炉的内腔滑动连接有工件放置架,所述工件放置架的两端均固定连接有与烧结炉的两端适配的密封门板,所述工件放置架的中部固定连接有在烧结炉的内腔滑动设置的间隔板,工件放置架的长度为烧结炉内腔长度的两倍,通过左右交错的设置方式,可以在烧结炉内左右滑动,通过密封门板和间隔板进行密封,一半的工件放置架位于烧结炉内腔进行加热,另外一半位于烧结炉的外侧进行上下料操作,两边循环进行操作,无需等待进出料的时间,加工效率更高。
作为本发明进一步的方案:所述间隔板的内腔开设有凹槽,所述凹槽的内腔固定连接有膨胀气囊,膨胀气囊通过进气管道与真空泵组的输出端连接,所述膨胀气囊为耐热材质,通过真空泵组注入热气膨胀对烧结炉的内腔进行封堵,密封效果更好。
作为本发明进一步的方案:两个所述密封门板的底部均转动连接有导向轮,通过导向轮使得工件放置架运动的更加顺畅。
作为本发明进一步的方案:所述固定底座的表面固定连接有吹风扇,所述吹风扇设置有多个,且均朝向烧结炉的两侧,对烧结炉的两侧进行吹风,快速的对烧结炉进行冷却。
作为本发明进一步的方案:所述烧结炉的两端内腔均固定连接有金属气体收纳腔,所述金属气体收纳腔也通过连通管道与真空泵组连通,所述金属气体收纳腔的表面套设有保温密封棉,在使用时通过真空泵组将抽出的高温气氛输送到金属气体收纳腔内,不仅能对气体进行保温,并且可以通过金属气体收纳腔的膨胀带动保温密封棉膨胀进行更完善的密封。
在加热时,通过左右交错的设置方式,可以在烧结炉内左右滑动,通过密封门板和间隔板进行密封,一半的工件放置架位于烧结炉内腔进行加热,另外一半位于烧结炉的外侧进行上下料操作,两边循环进行操作,无需等待进出料的时间,加工效率更高,遮挡板表面的第二空孔和遮挡板表面的第一空孔交错进行遮挡,混合气体在气氛腔内进行预热,通过陶瓷基板进行隔热,温度达到之后,通过动力机构驱动遮挡板滑动,带动第二空孔运动到第一空孔上方,将第二空孔暴露出,此时受热的高温气体,通过均匀设置的第二空孔进入烧结炉内,对陶瓷工件进行均匀的烧结,通过气氛腔的设置使得内部受热更加均匀,使陶瓷工件在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态。
本发明与现有技术相比具备以下有益效果:
1、本发明,通过陶瓷基板进行隔热,温度达到之后,将第二空孔暴露出,此时受热的高温气体,通过均匀设置的第二空孔进入烧结炉内,对陶瓷工件进行均匀的烧结,通过气氛腔的设置使得内部受热更加均匀,使陶瓷工件在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态。
2、本发明,工件放置架在烧结炉内左右滑动,通过密封门板和间隔板进行密封,一半的工件放置架位于烧结炉内腔进行加热,另外一半位于烧结炉的外侧进行上下料操作,两边循环进行操作,无需等待进出料的时间,加工效率更高。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的结构剖视图;
图3为本发明图2中A处的局部放大图;
图4为本发明图2中B处的局部放大图。
图中:1、固定底座;2、烧结炉;3、密封门板;5、间隔板;6、膨胀气囊;7、导向轮;8、工件放置架;9、凹槽;10、金属气体收纳腔;11、保温密封棉;12、连通管道;13、进气管道;14、吹风扇;15、真空管道;16、真空泵组;17、气氛腔;18、间距板;19、第二空孔;20、遮挡板;21、第一空孔。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
请参阅图1-4,本发明提供一种技术方案:一种烧结炉气氛均匀调节系统,包括固定底座1和固定在固定底座1上方的烧结炉2,烧结炉2的一侧设置有与烧结炉2内腔连通的真空泵组16,烧结炉2的内腔开设有气氛腔17,烧结炉2的内腔固定连接有用于对气氛腔17进行隔断的间距板18,气氛腔17的内腔驱动有与间距板18的顶部滑动连接的遮挡板20,间距板18的表面开设有第一空孔21,遮挡板20的表面开设有与第一空孔21交错设置的第二空孔19,真空泵组16通过真空管道15与气氛腔17的内腔连通,使用时通过热电偶对硅钼棒发热丝控制在气氛腔17内进行加热,并且此时通过真空泵组16注入调节气氛的混合气体,气体在气氛腔17内进行加热,间距板18为多孔陶瓷基板,在加热时,遮挡板20表面的第二空孔19和遮挡板20表面的第一空孔21交错进行遮挡,混合气体在气氛腔17内进行预热,通过陶瓷基板进行隔热,温度达到之后,通过动力机构驱动遮挡板20滑动,带动第二空孔19运动到第一空孔21上方,将第二空孔19暴露出,此时受热的高温气体,通过均匀设置的第二空孔19进入烧结炉2内,对陶瓷工件进行均匀的烧结,通过气氛腔17的设置使得内部受热更加均匀,使陶瓷工件在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态。
遮挡板20为在烧结炉2内腔环状设置的陶瓷基板,第二空孔19设置有多个,且在其表面均匀分布。
烧结炉2的内腔滑动连接有工件放置架8,工件放置架8的两端均固定连接有与烧结炉2的两端适配的密封门板3,工件放置架8的中部固定连接有在烧结炉2的内腔滑动设置的间隔板5,工件放置架8的长度为烧结炉2内腔长度的两倍,通过左右交错的设置方式,可以在烧结炉2内左右滑动,通过密封门板3和间隔板5进行密封,一半的工件放置架8位于烧结炉2内腔进行加热,另外一半位于烧结炉2的外侧进行上下料操作,两边循环进行操作,无需等待进出料的时间,加工效率更高。
间隔板5的内腔开设有凹槽9,凹槽9的内腔固定连接有膨胀气囊6,膨胀气囊6通过进气管道13与真空泵组16的输出端连接,膨胀气囊6为耐热材质,通过真空泵组16注入热气膨胀对烧结炉2的内腔进行封堵,密封效果更好。
两个密封门板3的底部均转动连接有导向轮7,通过导向轮7使得工件放置架8运动的更加顺畅。
固定底座1的表面固定连接有吹风扇14,吹风扇14设置有多个,且均朝向烧结炉2的两侧,对烧结炉2的两侧进行吹风,快速的对烧结炉2进行冷却。
烧结炉2的两端内腔均固定连接有金属气体收纳腔10,金属气体收纳腔10也通过连通管道12与真空泵组16连通,金属气体收纳腔10的表面套设有保温密封棉11,在使用时通过真空泵组16将抽出的高温气氛输送到金属气体收纳腔10内,不仅能对气体进行保温,并且可以通过金属气体收纳腔10的膨胀带动保温密封棉11膨胀进行更完善的密封。
在加热时,通过左右交错的设置方式,可以在烧结炉2内左右滑动,通过密封门板3和间隔板5进行密封,一半的工件放置架8位于烧结炉2内腔进行加热,另外一半位于烧结炉2的外侧进行上下料操作,两边循环进行操作,无需等待进出料的时间,加工效率更高,遮挡板20表面的第二空孔19和遮挡板20表面的第一空孔21交错进行遮挡,混合气体在气氛腔17内进行预热,通过陶瓷基板进行隔热,温度达到之后,通过动力机构驱动遮挡板20滑动,带动第二空孔19运动到第一空孔21上方,将第二空孔19暴露出,此时受热的高温气体,通过均匀设置的第二空孔19进入烧结炉2内,对陶瓷工件进行均匀的烧结,通过气氛腔17的设置使得内部受热更加均匀,使陶瓷工件在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭示如上,然而并非用以限定本发明,任何本领域技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (7)
1.一种烧结炉气氛均匀调节系统,包括固定底座(1)和固定在固定底座(1)上方的烧结炉(2),所述烧结炉(2)的一侧设置有与烧结炉(2)内腔连通的真空泵组(16),其特征在于:所述烧结炉(2)的内腔开设有气氛腔(17),所述烧结炉(2)的内腔固定连接有用于对气氛腔(17)进行隔断的间距板(18),所述气氛腔(17)的内腔驱动有与间距板(18)的顶部滑动连接的遮挡板(20),所述间距板(18)的表面开设有第一空孔(21),所述遮挡板(20)的表面开设有与第一空孔(21)交错设置的第二空孔(19),所述真空泵组(16)通过真空管道(15)与气氛腔(17)的内腔连通,使用时通过热电偶对硅钼棒发热丝控制在气氛腔(17)内进行加热,并且此时通过真空泵组(16)注入调节气氛的混合气体,气体在气氛腔(17)内进行加热。
2.根据权利要求1所述的一种烧结炉气氛均匀调节系统,其特征在于:所述遮挡板(20)为在烧结炉(2)内腔环状设置的陶瓷基板,第二空孔(19)设置有多个,且在其表面均匀分布。
3.根据权利要求1所述的一种烧结炉气氛均匀调节系统,其特征在于:所述烧结炉(2)的内腔滑动连接有工件放置架(8),所述工件放置架(8)的两端均固定连接有与烧结炉(2)的两端适配的密封门板(3),所述工件放置架(8)的中部固定连接有在烧结炉(2)的内腔滑动设置的间隔板(5),工件放置架(8)的长度为烧结炉(2)内腔长度的两倍。
4.根据权利要求3所述的一种烧结炉气氛均匀调节系统,其特征在于:所述间隔板(5)的内腔开设有凹槽(9),所述凹槽(9)的内腔固定连接有膨胀气囊(6),膨胀气囊(6)通过进气管道(13)与真空泵组(16)的输出端连接,所述膨胀气囊(6)为耐热材质。
5.根据权利要求3所述的一种烧结炉气氛均匀调节系统,其特征在于:两个所述密封门板(3)的底部均转动连接有导向轮(7)。
6.根据权利要求1所述的一种烧结炉气氛均匀调节系统,其特征在于:所述固定底座(1)的表面固定连接有吹风扇(14),所述吹风扇(14)设置有多个,且均朝向烧结炉(2)的两侧。
7.根据权利要求1所述的一种烧结炉气氛均匀调节系统,其特征在于:所述烧结炉(2)的两端内腔均固定连接有金属气体收纳腔(10),所述金属气体收纳腔(10)也通过连通管道(12)与真空泵组(16)连通,所述金属气体收纳腔(10)的表面套设有保温密封棉(11)。
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