CN116397318B - 一种单晶坩埚装载装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及单晶炉技术领域，尤其是指一种单晶坩埚装载装置；包括上滑柱，所述上滑柱的顶部固接有对接盘，所述对接盘的顶部设置有坩埚托盘，所述坩埚托盘呈圆盘形设置，所述坩埚托盘包括三个体积相同的瓣片，所述坩埚托盘的顶面中部固接有环形的锁定环，所述瓣片的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片在对接盘的顶部滑动，通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域，尤其是指一种单晶坩埚装载装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在使用单晶炉生产单晶硅时，单晶硅的原料需要通过坩埚来盛放；
单晶炉中需要使用两种坩埚，一种是最为底承的石墨坩埚，内部存在电阻，另一种是放置在石墨坩埚中的石英坩埚，石英坩埚不存在电阻，为了将坩埚安稳的放置在单晶炉中，需要在单晶炉中设置装载坩埚的设备；
传动的装载设备结构较为简单，只能单纯的固定坩埚底部，但是坩埚在每次使用后，都需要将石英坩埚和石墨坩埚取出进行检查和清理，传统的装载设备，在执行此过程时，无法提供协助，导致生产周期延长。
发明内容
为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中，装载设备结构较为简单，只能单纯的固定坩埚底部，但是坩埚在每次使用后，都需要将石英坩埚和石墨坩埚取出进行检查和清理，传统的装载设备，在执行此过程时，无法提供协助，导致生产周期延长的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种单晶坩埚装载装置，包括上滑柱，所述上滑柱的顶部固接有对接盘，所述对接盘的顶部设置有坩埚托盘，所述坩埚托盘呈圆盘形设置，所述坩埚托盘包括三个体积相同的瓣片，所述坩埚托盘的顶面中部固接有环形的锁定环，所述瓣片的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片在对接盘的顶部滑动，通过坩埚托盘结构设置，将坩埚托盘分割成三个等体积的瓣片，三个瓣片放置三瓣石墨坩埚，在安放石墨坩埚时，先从底部将上滑柱向上顶，让整个坩埚托盘向上移动，通过驱动组件让三个瓣片相互分开，石墨坩埚的底部开设有与锁定环相适配的卡口槽，可以将石墨坩埚卡合在瓣片的锁定环上，之后通过驱动组件让三个瓣片合并，让石墨坩埚变为一个整体，再将石英坩埚装配在石墨坩埚中，完成两个坩埚与单晶炉的转载，之后让上滑柱和坩埚托盘下沉，加热整个单晶炉进行单晶制备工作，制备结束后，从外界上顶上滑柱，让坩埚托盘上升，再通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程。
在本发明的一个实施例中，所述驱动组件包括传动杆，所述上滑柱的顶部开设有贯穿至底部的顶槽，所述传动杆穿过顶槽与上滑柱滑动连接，所述坩埚托盘的顶面中部开设有贯穿至底部的分离槽，所述分离槽呈上窄下宽设置，所述分离槽位于传动杆的正上方，通过在单晶炉底部上顶传动杆，让传动杆的顶部插入分离槽中，分离槽的上窄下宽设置，在传动杆插入时，会将三个瓣片向外顶，通过此种设置，有效的实现了三个瓣片的分离效果，且整体结构厚实、传动稳定，可以在高温的单晶炉中长期使用。
在本发明的一个实施例中，所述上滑柱的底部转动连接有下滑柱，所述传动杆的底部贯穿至下滑柱的底部，并与下滑柱中部滑动连接，所述下滑柱的外侧套接有套筒一，所述套筒一的外侧固接有中心架，所述中心架的顶部靠两端均固接有液压杆，所述中心架与下滑柱之间设置有支撑组件，所述支撑组件用于支撑下滑柱，需要上顶和下落坩埚托盘时，只需通过两个液压杆的伸缩，就能带动中心架进行沉降，进而带动下滑柱、上滑柱和坩埚托盘进行沉降工作，便于坩埚的取出和装载过程，而液压杆连接在单晶炉的外壁上，不会过分扩大单晶炉的占用体积。
在本发明的一个实施例中，所述支撑组件包括两个底撑，所述底撑固接在中心架的中部，所述底撑位于套筒一的下方，所述底撑的顶部固接有压力感应器，所述下滑柱的底部放置在两个压力感应器上方，在单晶生产过程中，若是出现漏硅现象，会迅速导致整个批次的单晶硅制作失败，为了不让问题迅速扩大，需要实时监控坩埚的状态，为了能够及早的得知生产过程中漏硅问题，通过两个压力感应器的设置，下滑柱的所有重量压在两个压力感应器顶部，而压力感应器被中心架托住，因此中心架的沉降还是还可以控制下滑柱的沉降，同时压力感应器也能够检测到坩埚托盘顶部承托的质量变化，当压力感应器感应的压力与预定数值不匹配时，就能及时发现坩埚内部出现问题，让工作人员及时做出反应，减少损失扩大。
在本发明的一个实施例中，所述中心架的一侧固接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的外侧固接有套筒二，所述套筒二活动套接在传动杆的外侧，通过电动伸缩杆的伸缩，就能带动传动杆在上滑柱和下滑柱的内侧滑动，从而将瓣片向外侧顶开，此操作简单方便。
在本发明的一个实施例中，所述传动杆的横截面呈六边形设置，所述传动杆的外侧靠顶部固接有从动齿轮，所述从动齿轮的外侧啮合有主动齿轮，所述主动齿轮的顶部固接有驱动电机，所述中心架远离电动伸缩杆的一侧固接有外延臂，所述外延臂与驱动电机的外侧固接，坩埚在加热单晶硅过程中，需要坩埚在单晶炉中不断旋转，配合驱动电机的旋转，带动主动齿轮转动，进而带动从动齿轮和传动杆旋转，由于传动杆的结构设置，传动杆可以带动上滑柱旋转，同时还可以在传动杆中自由滑动，而下滑柱顶部开的槽为圆柱形，传动杆的旋转不会带动下滑柱旋转，让下滑柱保持静止，不会与压力感应器发生摩擦，保证压力感应器的检测精准，通过此种设置，有效的实现了带动坩埚托盘进行旋转的效果，让坩埚在单晶炉中充分旋转加热。
在本发明的一个实施例中，所述主动齿轮的厚度大于从动齿轮的厚度，所述传动杆的顶部固接有顶杆，所述顶杆的顶部和分离槽的边缘均呈圆滑过渡设置，顶杆和分离槽的圆滑设置，让瓣片的向外顶出过程更加丝滑，减少移动过程中受到的阻力，同时在传动杆在上下移动时，从动齿轮和主动齿轮会相对移动，通过将主动齿轮设计的较厚，让从动齿轮和主动齿轮一直保持啮合。
在本发明的一个实施例中，所述瓣片的底面中部固接有复位臂，所述复位臂呈弧形设置，所述复位臂的底部呈椭球形设置，所述复位臂为实心金属材料，为了让坩埚托盘下沉时就能完成聚拢效果，通过弧形复位臂的设置，单晶炉的内壁也为越向下越窄的弧形，随着坩埚托盘的下沉，复位臂会与单晶炉内壁挤压贴合，弧形的复位臂会受到一个向内挤压的力度，从而可以将三个瓣片向中心聚拢，通过控制液压杆的伸缩数值，当三个瓣片合拢后，再让液压杆将下滑柱上顶几公分，让整个坩埚托盘的质量还是支撑在压力感应器上，通过此种设置，实现了自动聚拢瓣片的效果，因此在装配坩埚时，只需将三瓣石墨坩埚与三个瓣片对接，再将石英坩埚放置在石墨坩埚中，就完成了所有准备工作，之后只需等待坩埚托盘聚拢，就能完成坩埚的装配工作，且整个复位臂为一体式结构，可以在高温中正常使用。
在本发明的一个实施例中，所述对接盘的顶端开设有三个呈环形排列的滑槽，所述瓣片的底部固接有与滑槽适配的滑块，所述滑槽的底部滑动卡接有对接座，所述瓣片的顶面上开设有贯穿滑块的螺栓槽，在装配瓣片和对接盘时，只需将瓣片底部的滑块与滑槽对接，之后使用螺栓穿过瓣片与滑槽中的对接座螺栓连接，就能完成装配，此时瓣片可以稳定的在对接盘上方滑动，需要拆卸瓣片时，只需将螺栓从顶部取出即可解除连接。
在本发明的一个实施例中，所述中心架的外侧固接有保护框，所述保护框的顶部呈开口设置，所述液压杆的顶部固接有固定座，保护框用来保护中心架外侧的零件结构，减少外界环境对其的影响，的固定座顶部为弧形结构，用于适配单晶炉弧形的外表面。
本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
本发明所述的一种单晶坩埚装载装置，通过坩埚托盘结构设置，将坩埚托盘分割成三个等体积的瓣片，三个瓣片放置三瓣石墨坩埚，再将石英坩埚装配在石墨坩埚中，完成两个坩埚与单晶炉的转载，制备结束后，从外界上顶上滑柱，让坩埚托盘上升，再通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程；
通过在单晶炉底部上顶传动杆，让传动杆的顶部插入分离槽中，分离槽的上窄下宽设置，在传动杆插入时，会将三个瓣片向外顶，通过此种设置，有效的实现了三个瓣片的分离效果，且整体结构厚实、传动稳定，可以在高温的单晶炉中长期使用。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明的立体图；
图2是本发明中心架和下滑柱的立体图；
图3是本发明中心架和外延臂的立体图；
图4是本发明中心架和电动伸缩杆的立体图；
图5是本发明瓣片的立体图；
图6是本发明瓣片和对接盘的立体图；
说明书附图标记说明：1、坩埚托盘；2、复位臂；3、上滑柱；4、下滑柱；5、液压杆；6、固定座；7、保护框；8、传动杆；9、顶杆；10、中心架；11、从动齿轮；12、电动伸缩杆；13、外延臂；14、驱动电机；15、主动齿轮；16、压力感应器；17、套筒一；18、套筒二；19、底撑；20、分离槽；21、滑块；22、瓣片；23、锁定环；24、滑槽；25、对接座；26、对接盘。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
参照图1至图6所示，本发明的一种单晶坩埚装载装置，包括上滑柱3，所述上滑柱3的顶部固接有对接盘26，所述对接盘26的顶部设置有坩埚托盘1，所述坩埚托盘1呈圆盘形设置，所述坩埚托盘1包括三个体积相同的瓣片22，所述坩埚托盘1的顶面中部固接有环形的锁定环23，所述瓣片22的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片22在对接盘26的顶部滑动；
工作时，坩埚托盘1位于单晶炉内部，上滑柱3的底部穿过单晶炉底部并漏在外侧，在单晶生产中，需要先将石墨坩埚放入单晶炉中，再将石英坩埚放置到石墨坩埚内部，而单晶硅的生产在石英坩埚中进行，由于每次单晶生产结束后，都需要将石英坩埚和石墨坩埚取出进行检查和清理，且石墨坩埚在现在成熟的技术下，变为可拆解的三瓣石墨坩埚，此种坩埚更加方便与拆解和组成，通过坩埚托盘1结构设置，将坩埚托盘1分割成三个等体积的瓣片22，三个瓣片22放置三瓣石墨坩埚，在安放石墨坩埚时，先从底部将上滑柱3向上顶，让整个坩埚托盘1向上移动，通过驱动组件让三个瓣片22相互分开，石墨坩埚的底部开设有与锁定环23相适配的卡口槽，可以将石墨坩埚卡合在瓣片22的锁定环23上，之后通过驱动组件让三个瓣片22合并，让石墨坩埚变为一个整体，再将石英坩埚装配在石墨坩埚中，完成两个坩埚与单晶炉的转载，之后让上滑柱3和坩埚托盘1下沉，加热整个单晶炉进行单晶制备工作，制备结束后，从外界上顶上滑柱3，让坩埚托盘1上升，再通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程。
参照图2至图5所示，所述驱动组件包括传动杆8，所述上滑柱3的顶部开设有贯穿至底部的顶槽，所述传动杆8穿过顶槽与上滑柱3滑动连接，所述坩埚托盘1的顶面中部开设有贯穿至底部的分离槽20，所述分离槽20呈上窄下宽设置，所述分离槽20位于传动杆8的正上方；
工作时，通过在单晶炉底部上顶传动杆8，让传动杆8的顶部插入分离槽20中，分离槽20的上窄下宽设置，在传动杆8插入时，会将三个瓣片22向外顶，通过此种设置，有效的实现了三个瓣片22的分离效果，且整体结构厚实、传动稳定，可以在高温的单晶炉中长期使用。
参照图2至图4所示，所述上滑柱3的底部转动连接有下滑柱4，所述传动杆8的底部贯穿至下滑柱4的底部，并与下滑柱4中部滑动连接，所述下滑柱4的外侧套接有套筒一17，所述套筒一17的外侧固接有中心架10，所述中心架10的顶部靠两端均固接有液压杆5，所述中心架10与下滑柱4之间设置有支撑组件，所述支撑组件用于支撑下滑柱4；
工作时，需要上顶和下落坩埚托盘1时，只需通过两个液压杆5的伸缩，就能带动中心架10进行沉降，进而带动下滑柱4、上滑柱3和坩埚托盘1进行沉降工作，便于坩埚的取出和装载过程，而液压杆5连接在单晶炉的外壁上，不会过分扩大单晶炉的占用体积。
参照图3至图4所示，所述支撑组件包括两个底撑19，所述底撑19固接在中心架10的中部，所述底撑19位于套筒一17的下方，所述底撑19的顶部固接有压力感应器16，所述下滑柱4的底部放置在两个压力感应器16上方；
工作时，在单晶生产过程中，若是出现漏硅现象，会迅速导致整个批次的单晶硅制作失败，为了不让问题迅速扩大，需要实时监控坩埚的状态，为了能够及早的得知生产过程中漏硅问题，通过两个压力感应器16的设置，下滑柱4的所有重量压在两个压力感应器16顶部，而压力感应器16被中心架10托住，因此中心架10的沉降还是还可以控制下滑柱4的沉降，同时压力感应器16也能够检测到坩埚托盘1顶部承托的质量变化，当压力感应器16感应的压力与预定数值不匹配时，就能及时发现坩埚内部出现问题，让工作人员及时做出反应，减少损失扩大。
参照图3至图4所示，所述中心架10的一侧固接有电动伸缩杆12，所述电动伸缩杆12的外侧固接有套筒二18，所述套筒二18活动套接在传动杆8的外侧，工作时，通过电动伸缩杆12的伸缩，就能带动传动杆8在上滑柱3和下滑柱4的内侧滑动，从而将瓣片22向外侧顶开，此操作简单方便。
参照图2至图5所示，所述传动杆8的横截面呈六边形设置，所述传动杆8的外侧靠顶部固接有从动齿轮11，所述从动齿轮11的外侧啮合有主动齿轮15，所述主动齿轮15的顶部固接有驱动电机14，所述中心架10远离电动伸缩杆12的一侧固接有外延臂13，所述外延臂13与驱动电机14的外侧固接；
工作时，坩埚在加热单晶硅过程中，需要坩埚在单晶炉中不断旋转，配合驱动电机14的旋转，带动主动齿轮15转动，进而带动从动齿轮11和传动杆8旋转，由于传动杆8的结构设置，传动杆8可以带动上滑柱3旋转，同时还可以在传动杆8中自由滑动，而下滑柱4顶部开的槽为圆柱形，传动杆8的旋转不会带动下滑柱4旋转，让下滑柱4保持静止，不会与压力感应器16发生摩擦，保证压力感应器16的检测精准，通过此种设置，有效的实现了带动坩埚托盘1进行旋转的效果，让坩埚在单晶炉中充分旋转加热。
参照图3至图5所示，所述主动齿轮15的厚度大于从动齿轮11的厚度，所述传动杆8的顶部固接有顶杆9，所述顶杆9的顶部和分离槽20的边缘均呈圆滑过渡设置；
工作时，顶杆9和分离槽20的圆滑设置，让瓣片22向外顶出的过程更加丝滑，减少移动过程中受到的阻力，同时在传动杆8在上下移动时，从动齿轮11和主动齿轮15会相对移动，通过将主动齿轮15设计的较厚，让从动齿轮11和主动齿轮15一直保持啮合。
参照图1至图5所示，所述瓣片22的底面中部固接有复位臂2，所述复位臂2呈弧形设置，所述复位臂2的底部呈椭球形设置，所述复位臂2为实心金属材料；
工作时，为了让坩埚托盘1下沉时就能完成聚拢效果，通过弧形复位臂2的设置，单晶炉的内壁也为越向下越窄的弧形，随着坩埚托盘1的下沉，复位臂2会与单晶炉内壁挤压贴合，弧形的复位臂2会受到一个向内挤压的力度，从而可以将三个瓣片22向中心聚拢，通过控制液压杆5的伸缩数值，当三个瓣片22合拢后，再让液压杆5将下滑柱4上顶几公分，让整个坩埚托盘1的质量还是支撑在压力感应器16上，通过此种设置，实现了自动聚拢瓣片22的效果，因此在装配坩埚时，只需将三瓣石墨坩埚与三个瓣片22对接，再将石英坩埚放置在石墨坩埚中，就完成了所有准备工作，之后只需等待坩埚托盘1聚拢，就能完成坩埚的装配工作，且整个复位臂2为一体式结构，可以在高温中正常使用。
参照图5至图6所示，所述对接盘26的顶端开设有三个呈环形排列的滑槽24，所述瓣片22的底部固接有与滑槽24适配的滑块21，所述滑槽24的底部滑动卡接有对接座25，所述瓣片22的顶面上开设有贯穿滑块21的螺栓槽；
工作时，在装配瓣片22和对接盘26时，只需将瓣片22底部的滑块21与滑槽24对接，之后使用螺栓穿过瓣片22与滑槽24中的对接座25螺栓连接，就能完成装配，此时瓣片22可以稳定的在对接盘26上方滑动，需要拆卸瓣片22时，只需将螺栓从顶部取出即可解除连接。
参照图1至图4所示，所述中心架10的外侧固接有保护框7，所述保护框7的顶部呈开口设置，所述液压杆5的顶部固接有固定座6，工作时，保护框7用来保护中心架10外侧的零件结构，减少外界环境对其的影响，的固定座6顶部为弧形结构，用于适配单晶炉弧形的外表面。
工作时，通过坩埚托盘1结构设置，将坩埚托盘1分割成三个等体积的瓣片22，三个瓣片22放置三瓣石墨坩埚，在安放石墨坩埚时，先从底部将上滑柱3向上顶，让整个坩埚托盘1向上移动，通过驱动组件让三个瓣片22相互分开，石墨坩埚的底部开设有与锁定环23相适配的卡口槽，可以将石墨坩埚卡合在瓣片22的锁定环23上，之后通过驱动组件让三个瓣片22合并，让石墨坩埚变为一个整体，再将石英坩埚装配在石墨坩埚中，完成两个坩埚与单晶炉的转载，之后让上滑柱3和坩埚托盘1下沉，加热整个单晶炉进行单晶制备工作，制备结束后，从外界上顶上滑柱3，让坩埚托盘1上升，再通过驱动组件让三个石墨坩埚分离，此时石墨坩埚和石英坩埚相互分离，两者直接存在缝隙，可以更加便捷的将石英坩埚取出，且相互分离的石墨坩埚也更加方便取出，通过此种设置，不仅方便了石英坩埚的取出过程，同时也方便了石墨坩埚的安放和取出过程；
通过在单晶炉底部上顶传动杆8，让传动杆8的顶部插入分离槽20中，分离槽20的上窄下宽设置，在传动杆8插入时，会将三个瓣片22向外顶，通过此种设置，有效的实现了三个瓣片22的分离效果，且整体结构厚实、传动稳定，可以在高温的单晶炉中长期使用；
需要上顶和下落坩埚托盘1时，只需通过两个液压杆5的伸缩，就能带动中心架10进行沉降，进而带动下滑柱4、上滑柱3和坩埚托盘1进行沉降工作，便于坩埚的取出和装载过程，而液压杆5连接在单晶炉的外壁上，不会过分扩大单晶炉的占用体积；
在单晶生产过程中，若是出现漏硅现象，会迅速导致整个批次的单晶硅制作失败，为了不让问题迅速扩大，需要实时监控坩埚的状态，为了能够及早的得知生产过程中漏硅问题，通过两个压力感应器16的设置，下滑柱4的所有重量压在两个压力感应器16顶部，而压力感应器16被中心架10托住，因此中心架10的沉降还是还可以控制下滑柱4的沉降，同时压力感应器16也能够检测到坩埚托盘1顶部承托的质量变化，当压力感应器16感应的压力与预定数值不匹配时，就能及时发现坩埚内部出现问题，让工作人员及时做出反应，减少损失扩大；
通过电动伸缩杆12的伸缩，就能带动传动杆8在上滑柱3和下滑柱4的内侧滑动，从而将瓣片22向外侧顶开，此操作简单方便；
坩埚在加热单晶硅过程中，需要坩埚在单晶炉中不断旋转，配合驱动电机14的旋转，带动主动齿轮15转动，进而带动从动齿轮11和传动杆8旋转，由于传动杆8的结构设置，传动杆8可以带动上滑柱3旋转，同时还可以在传动杆8中自由滑动，而下滑柱4顶部开的槽为圆柱形，传动杆8的旋转不会带动下滑柱4旋转，让下滑柱4保持静止，不会与压力感应器16发生摩擦，保证压力感应器16的检测精准，通过此种设置，有效的实现了带动坩埚托盘1进行旋转的效果，让坩埚在单晶炉中充分旋转加热；
顶杆9和分离槽20的圆滑设置，让瓣片22向外顶出的过程更加丝滑，减少移动过程中受到的阻力，同时在传动杆8在上下移动时，从动齿轮11和主动齿轮15会相对移动，通过将主动齿轮15设计的较厚，让从动齿轮11和主动齿轮15一直保持啮合；
为了让坩埚托盘1下沉时就能完成聚拢效果，通过弧形复位臂2的设置，单晶炉的内壁也为越向下越窄的弧形，随着坩埚托盘1的下沉，复位臂2会与单晶炉内壁挤压贴合，弧形的复位臂2会受到一个向内挤压的力度，从而可以将三个瓣片22向中心聚拢，通过控制液压杆5的伸缩数值，当三个瓣片22合拢后，再让液压杆5将下滑柱4上顶几公分，让整个坩埚托盘1的质量还是支撑在压力感应器16上，通过此种设置，实现了自动聚拢瓣片22的效果，因此在装配坩埚时，只需将三瓣石墨坩埚与三个瓣片22对接，再将石英坩埚放置在石墨坩埚中，就完成了所有准备工作，之后只需等待坩埚托盘1聚拢，就能完成坩埚的装配工作，且整个复位臂2为一体式结构，可以在高温中正常使用；
在装配瓣片22和对接盘26时，只需将瓣片22底部的滑块21与滑槽24对接，之后使用螺栓穿过瓣片22与滑槽24中的对接座25螺栓连接，就能完成装配，此时瓣片22可以稳定的在对接盘26上方滑动，需要拆卸瓣片22时，只需将螺栓从顶部取出即可解除连接。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (1)
1.一种单晶坩埚装载装置，其特征在于：包括上滑柱（3），所述上滑柱（3）的顶部固接有对接盘（26），所述对接盘（26）的顶部设置有坩埚托盘（1），所述坩埚托盘（1）呈圆盘形设置，所述坩埚托盘（1）包括三个体积相同的瓣片（22），所述坩埚托盘（1）的顶面中部固接有环形的锁定环（23），所述瓣片（22）的外侧设置有驱动组件，所述驱动组件用于带动瓣片（22）在对接盘（26）的顶部滑动，通过坩埚托盘（1）的结构设置，将坩埚托盘（1）分割成三个等体积的瓣片，三个瓣片放置三瓣石墨坩埚；
所述驱动组件包括传动杆（8），所述上滑柱（3）的顶部开设有贯穿至底部的顶槽，所述传动杆（8）穿过顶槽与上滑柱（3）滑动连接，所述坩埚托盘（1）的顶面中部开设有贯穿至底部的分离槽（20），所述分离槽（20）呈上窄下宽设置，所述分离槽（20）位于传动杆（8）的正上方；
所述上滑柱（3）的底部转动连接有下滑柱（4），所述传动杆（8）的底部贯穿至下滑柱（4）的底部，并与下滑柱（4）中部滑动连接，所述下滑柱（4）的外侧套接有套筒一（17），所述套筒一（17）的外侧固接有中心架（10），所述中心架（10）的顶部靠两端均固接有液压杆（5），所述中心架（10）与下滑柱（4）之间设置有支撑组件，所述支撑组件用于支撑下滑柱（4）；
所述支撑组件包括两个底撑（19），所述底撑（19）固接在中心架（10）的中部，所述底撑（19）位于套筒一（17）的下方，所述底撑（19）的顶部固接有压力感应器（16），所述下滑柱（4）的底部放置在两个压力感应器（16）上方；
所述中心架（10）的一侧固接有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）的外侧固接有套筒二（18），所述套筒二（18）活动套接在传动杆（8）的外侧；
所述传动杆（8）的横截面呈六边形设置，所述传动杆（8）的外侧靠顶部固接有从动齿轮（11），所述从动齿轮（11）的外侧啮合有主动齿轮（15），所述主动齿轮（15）的顶部固接有驱动电机（14），所述中心架（10）远离电动伸缩杆（12）的一侧固接有外延臂（13），所述外延臂（13）与驱动电机（14）的外侧固接；
所述主动齿轮（15）的厚度大于从动齿轮（11）的厚度，所述传动杆（8）的顶部固接有顶杆（9），所述顶杆（9）的顶部和分离槽（20）的边缘均呈圆滑过渡设置；
所述瓣片（22）的底面中部固接有复位臂（2），所述复位臂（2）呈弧形设置，所述复位臂（2）的底部呈椭球形设置，所述复位臂（2）为实心金属材料，单晶炉的内壁为越向下越窄的弧形，复位臂（2）与单晶炉内壁挤压贴合过程中，弧形的复位臂（2）会受到一个向内挤压的力度，三个瓣片（22）会因此向中心聚拢；
所述对接盘（26）的顶端开设有三个呈环形排列的滑槽（24），所述瓣片（22）的底部固接有与滑槽（24）适配的滑块（21），所述滑槽（24）的底部滑动卡接有对接座（25），所述瓣片（22）的顶面上开设有贯穿滑块（21）的螺栓槽；
所述中心架（10）的外侧固接有保护框（7），所述保护框（7）的顶部呈开口设置，所述液压杆（5）的顶部固接有固定座（6）。
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