CN207498511U - 一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置 - Google Patents
一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置 Download PDFInfo
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Abstract
一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,包括接缝密封带、密封盘和卡槽密封圈。接缝密封带包括密封环盘和密封条带。密封环盘套设于三瓣坩埚底部凸台外侧,密封条带呈Y字型固定于密封环盘外侧。密封盘压设于密封条带末端交汇处上方,卡槽密封圈扣设固定于三瓣坩埚顶部。本实用新型通过接缝密封带覆盖三瓣坩埚接缝的内、外两侧,配合密封盘和卡槽密封圈对接缝密封带的位置进行固定,组装简便、封闭可靠、可重复使用。同时,本实用新型各组件均为石墨材质,采用组装的方式与三瓣坩埚进行固定,高温下不产生有害挥发物,有利于保证产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉热场器件技术领域,尤其涉及一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置。
背景技术
石墨坩埚使单晶炉热场中重要的组成器件,现有石墨坩埚多被打造成2~3个单体结构,以便于拆装清洗和降低制造成本,目前较多采用的是三瓣坩埚。
由于石墨坩埚距离硅料和加热器较近,在拉晶过程中,保护气体热气流不可避免的自三瓣坩埚单体接缝处穿透,加速埚体老化,缩短使用寿命,导致生产成本的提高。现有解决技术方案中,采用贴设封条的方式对接缝进行封闭,虽具有较好的隔离气流的效果,但由于单晶硅结晶要求较高的清洁度,而粘合剂在高温下挥发产物不利于结晶生产;且封条不能进行重复利用,造成资源浪费。
实用新型内容
本实用新型提供一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,以解决上述现有技术不足。通过接缝密封带覆盖三瓣坩埚接缝的内、外两侧,配合密封盘和卡槽密封圈对接缝密封带的位置进行固定,组装简便、封闭可靠、可重复使用。同时,本实用新型各组件均为石墨材质,采用组装的方式与三瓣坩埚进行固定,高温下不产生有害挥发物,有利于保证产品质量。
为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术:
一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,其特征在于,包括接缝密封带、密封盘和卡槽密封圈,所述接缝密封带包括密封环盘和密封条带,所述密封环盘套设于三瓣坩埚底部凸台外侧,所述密封条带呈Y字型固定于所述密封环盘外侧,所述密封条带贴合覆盖于所述三瓣坩埚两单体间的接缝外侧,并在所述瓣坩埚顶部向内弯折,覆盖于所述接缝内侧,所述密封条带末端交汇于所述三瓣坩埚底部内壁处,所述密封盘压设于所述密封条带末端交汇处上方,所述卡槽密封圈扣设固定于所述三瓣坩埚顶部。
进一步,所述密封环盘和所述密封盘采用厚度为1mm~3mm的石墨板。
进一步,所述密封条带采用厚度为0.05mm~0.1mm的超薄石墨纸。
进一步,所述密封盘的直径与所述三瓣坩埚底部内径相匹配。
进一步,所述卡槽密封圈采用柔性石墨材质。
本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过接缝密封带覆盖三瓣坩埚接缝的内、外两侧,配合密封盘和卡槽密封圈对接缝密封带的位置进行固定。拆装方便、快捷,对接缝的封闭效果可靠,可重复使用。
2、本实用新型各组件均为石墨材质,采用组装的方式与三瓣坩埚进行固定,高温下不产生有害挥发物,有利于保证产品质量。
附图说明
图1示出了本实用新型与三瓣坩埚组装后剖视结构示意图。
图2示出了本实用新型与三瓣坩埚组装后俯视结构示意图。
图3示出了本实用新型与三瓣坩埚组装后仰视结构示意图。
具体实施方式
如图1~图3所示,一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,包括接缝密封带1、密封盘2和卡槽密封圈3。所述接缝密封带1用于封闭三瓣坩埚4处各单体42组装后形成的各接缝43,以避免在拉晶生产中保护气体穿透所述接缝43而对所述三瓣坩埚4产生的老化,从而延长所述三瓣坩埚4的使用寿命。所述密封盘2和所述卡槽密封圈3用于固定所述接缝密封带1与所述三瓣坩埚4的相对位置关系,且所述密封盘2还具有对所述三瓣坩埚4底部进一步密封隔离的作用。
所述接缝密封带1包括密封环盘11和密封条带12。所述密封环盘11套设于三瓣坩埚4底部凸台41外侧,用于快速定位和固定所述接缝密封带1相对所述三瓣坩埚4的相对位置的作用,且对所述三瓣坩埚4底部外壁进行局部隔离封闭。所述密封条带12呈Y字型固定于所述密封环盘11外侧,所述密封条带12贴合覆盖于所述三瓣坩埚4两单体42间的接缝43外侧,并在所述瓣坩埚4顶部向内弯折,覆盖于所述接缝43内侧,所述密封条带12末端交汇于所述三瓣坩埚4底部内壁处。所述密封条带12全面覆盖所述接缝43的内侧,并与所述密封环盘11配合覆盖所述接缝43外侧大部分区域。
所述密封盘2采用厚度为1mm~3mm的石墨板,压设于所述密封条带12末端交汇处上方。所述密封盘2利用其自身重量对所述密封条带12进行预压定位,当进行生产时,所述三瓣坩埚4内部嵌入的石英坩埚将压设于所述密封盘2上,此时,所述密封盘2和石英坩埚两者共同压设固定位于所述密封盘2底部的所述密封条带12末端,从而保证所述密封条带12与所述接缝43的位置恒定,以提供可靠、稳定封闭隔离作用。同时,所述密封盘2填补了所述接缝密封带1所留存的所述凸台41处的所述接缝43,从而实现了对所述接缝43两侧的全面覆盖。
所述卡槽密封圈3采用柔性石墨材质,扣设固定于所述三瓣坩埚4顶部。进一步固定所述密封条带12与所述接缝43的位置关系;同时具有辅助固定所述单体42拼接关系的作用。
所述密封盘2的直径与所述三瓣坩埚1底部内径相匹配。所述三瓣坩埚4底部具有倒角,所述密封盘2直径应与底部水平面相匹配,以保证所述密封盘2与所述三瓣坩埚4底部具有充足的贴合面,有利于提高所述密封盘2对所述密封条带12末端的固定效果。
结合实施例阐述本实用新型具体实施方式如下:
根据所述三瓣坩埚4底部水平面直径加工所述密封盘,根据所述凸台41直径加工所述密封环盘11内环直径,预留充足长度的所述述密封条带12。
将所述密封环盘11设置于石墨托盘9上,使其内环位于所述石墨托盘9的凹槽上方。依次将2组所述单体42装入石墨托盘9上,使各所述单体42底部用于形成所述凸台41的部分贯穿所述密封环盘11落入所述石墨托盘9的凹槽中,将所述单体42组装成所述三瓣坩埚4。
旋转所述密封环盘11,使所述密封条带12位于所述接缝43处。向上提拉所述密封条带12,使其覆盖于所述接缝43外侧,至所述三瓣坩埚4顶部。向内折叠所述密封条带12,将其置入所述三瓣坩埚4内,对所述接缝43内侧进行覆盖。依次完成所述密封条带12对各所述接缝43的覆盖后,采用剪刀修剪所述密封条带12末端,使其在所述单体42交汇点处交汇,并进行适当重叠。
将所述密封盘2放入所述三瓣坩埚4的底部上方,对所述密封条带12末端进行压设后,利用所述卡槽密封圈3槽体扣设固定于所述三瓣坩埚4顶部,定位固定所述密封条带12的位置。
对隔离覆盖处进行检查后,确定所述接缝43被全面覆盖。将石英坩埚放入所述三瓣坩埚4内,并压设于所述密封盘2上方。
Claims (5)
1.一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,其特征在于,包括接缝密封带(1)、密封盘(2)和卡槽密封圈(3),所述接缝密封带(1)包括密封环盘(11)和密封条带(12),所述密封环盘(11)套设于三瓣坩埚(4)底部凸台(41)外侧,所述密封条带(12)呈Y字型固定于所述密封环盘(11)外侧,所述密封条带(12)贴合覆盖于所述三瓣坩埚(4)两单体(42)间的接缝(43)外侧,并在所述瓣坩埚(4)顶部向内弯折,覆盖于所述接缝(43)内侧,所述密封条带(12)末端交汇于所述三瓣坩埚(4)底部内壁处,所述密封盘(2)压设于所述密封条带(12)末端交汇处上方,所述卡槽密封圈(3)扣设固定于所述三瓣坩埚(4)顶部。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,其特征在于,所述密封环盘(11)和所述密封盘(2)采用厚度为1mm~3mm的石墨板。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,其特征在于,所述密封条带(12)采用厚度为0.05mm~0.1mm的超薄石墨纸。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,其特征在于,所述密封盘(2)的直径与所述三瓣坩埚(4)底部内径相匹配。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置,其特征在于,所述卡槽密封圈(3)采用柔性石墨材质。
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