CN116385551A - 能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置，涉及晶圆键合校验技术领域。本发明的能够原位校准的视觉系统，包括第一成像单元和第二成像单元，两个所述成像单元能够分别识别目标对象上的识别标记，其中一个所述成像单元上还设置有投影单元，所述投影单元能够将投影标记分别投影到两个所述成像单元的成像靶面上，根据所述投影标记分别在两个所述成像单元上的成像位置信息，确定两个所述成像单元的光路偏差值。能够减少视觉系统在移动过程中引入误差，从而提高对准精度。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆键合校验技术领域，特别地涉及一种能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置。
背景技术
现有技术中对两个构件的对齐检测精度要求越来越高，例如：伴随着对芯片功能的需求不断提高，通过缩小晶体管尺寸来提高性能的方式却愈发困难，因此集成电路技术逐渐由2D平面向3D集成方向发展。在3D集成技术中，晶圆级键合是实现该技术中最为重要的一个环节。
现有技术中，通常采用的是在上承载台上安装2个同轴校准眼。在对准流程中，视觉系统先移动到该同轴校准眼位置，上下两部分光路分别对该同轴校准眼内的标记图案进行拍照，通过视觉识别算法分别计算上部分光路成像图案的X和Y值、下部分光路成像图案的X和Y值，进行差值计算，计算出Δx和Δy的值。然后把Δx和Δy作为补偿值记录下来，在识别上下晶圆标记点的过程中将该值补偿进算法中。此方法的缺点是，从同轴校准眼位置，移动到晶圆标记点位置的过程中，会引入较大的误差。因此开发新的方式，对视觉系统进行校准就存在很大的价值，减少视觉系统在移动过程中引入误差，从而提高对准精度。
发明内容
本发明提供一种能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置，能够减少视觉系统在移动过程中引入误差，从而提高对准精度。
第一方面，本发明提供一种能够原位校准的视觉系统，包括第一成像单元和第二成像单元，两个所述成像单元能够分别识别目标对象上的识别标记，其中一个所述成像单元上还设置有投影单元，所述投影单元能够将投影标记分别投影到两个所述成像单元的成像靶面上，根据所述投影标记分别在两个所述成像单元上的成像位置信息，确定两个所述成像单元的光路偏差值。
在一个实施方式中，所述第一成像单元包括第一成像物镜、第一光源和第一相机，所述第二成像单元包括第二成像物镜、第二光源和第二相机，所述第一成像物镜和第二成像物镜相对设置并且二者之间能够放置所述目标对象。通过本实施方式，目标对象能够放置到第一成像单元和第二成像单元之间，能够对目标对象上的标记点进行投影以校准景深。
在一个实施方式中，所述第一成像物镜和所述第二成像物镜同轴相向设置。通过本实施方式，使第一成像物镜和第二成像物镜能够形成光路，以便于使用一个投影单元能够分别在第一成像单元和第二成像单元上进行投影。
在一个实施方式中，所述投影单元包括投影光源、投影标记、取像物镜、光路通断机构、水平折返物镜和反射镜；所述光路通断机构处于打开状态时，所述投影标记在投影光源的照射下能够通过所述取像物镜、水平折返物镜和反射镜，投影到所述第一相机的靶面上；所述光路通断机构处于关闭状态时，所述投影标记在投影光源的照射下能够通过所述取像物镜、第一成像物镜和第二成像物镜，投影到所述第二相机的靶面上。通过本实施方式，不需要移动第一成像单元和第二成像单元不需要再通过原来在承载台上的同轴眼上进行光路补偿值获取，减少视觉系统在移动过程中引入误差，提高对准精度。
在一个实施方式中，所述取像物镜与所述成像物镜同轴设置。通过本实施方式，保证取像物镜与两个成像物镜处于同一轴线上，保证光路的顺利传导。
在一个实施方式中，还包括固定架，所述第一成像单元和所述第二成像单元设置于所述固定架上，所述固定架上还设置有用于控制所述固定架升降移动的导向机构。通过本实施方式，实现视觉系统整体的升降移动。
在一个实施方式中，所述固定架上设置有分别用于控制相机移动的调节装置。通过本实施方式，便于校准相机的景深。
第二方面，本发明提出一种视觉系统校准方法，包括如下操作步骤：
校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差；
使所述第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标；
将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上；
分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值；
使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标；
根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
在一个实施方式中，校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差具体还包括如下步骤：
使校准标记位于预定位置处；
开启两个所述成像单元的光源，将校准标记投影到两个成像单元的靶面上；
判断所述校准标记的投影是否位于所述成像单元的靶面的预设区域内以及所述校准标记的投影清晰度是否满足预设条件；
当所述校准标记的投影位于所述成像单元的靶面的预设区域外时，调整两个所述成像单元的位置，直到所述校准标记位于所述靶面的预设范围内；
当所述校准标记的投影清晰度不满足预设条件时，调整两个所述成像单元的景深，直到所述校准标记的清晰度满足预设条件。
在一个实施方式中，将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使投影单元的投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上，还包括以下步骤：
将所述第一目标对象移出所述预定位置；
使光路通断结构处于关闭状态，关闭所述的第一成像单元的光源，开启投影单元的光源，使投影标记通过取像物镜、第一成像物镜和第二成像物镜，投影到第二成像单元的相机的靶面上，记录该成像位置；
使光路通断结构处于打开状态，开启投影单元的光源，使投影标记通过取像物镜、水平折返物镜和反射镜投影到第一成像单元的相机的靶面上，记录该成像位置。
第三方面，本发明提出一种视觉系统识别控制装置，包括：
校准模块：校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差；
第一坐标获取模块：使第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标；
偏差值获取模块：将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使投影单元的投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上；以及
分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值；
第二坐标获取模块：使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标；
处理模块：根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。
本发明提供的一种能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：
通过投影单元，能够在不移动视觉系统的情况下实现对第一成像单元和第二成像单元光路的偏差值获取，相比现有技术中视觉系统在进行视觉系统校准后再移动导致的新的偏差值的引入，减少视觉系统在移动中引入误差，从而提高视觉系统的识别精度。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。
图1是本发明的实施例中视觉系统装置结构示意图；
图2是目标对象位于第一成像单元和第二成像单元之间时的示意图；
图3是下晶圆位于两个成像物镜之间的示意图；
图4是图3移出下晶圆时的示意图；
图5是上晶圆位于两个成像物镜之间的示意图；
图6是本发明的识别控制方法的步骤流程示意图；
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
附图标记：
11、第一相机；12、第一光源；13、第一成像物镜；14、第一光路；21、第二相机；22、第二光源；23、第二成像物镜；24、第二光路；30、目标对象；41、投影光源；42、投影标记；43、取像物镜；44、水平折返物镜；45、光路通断机构；46、反射镜；50、固定架；51、导向机构；52、调节装置；60、承载台；70、第一目标对象；80、第二目标对象。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
实施例1
如图1和2所示，本发明提供一种能够原位校准的视觉系统，包括第一成像单元和第二成像单元，两个成像单元能够分别识别目标对象30上的识别标记，其中一个成像单元上还设置有投影单元，投影单元能够将投影标记42分别投影到两个成像单元的成像靶面上，根据投影标记42分别在两个成像单元上的成像位置信息，确定两个成像单元的光路偏差值。
具体的，通过移动第一成像单元和/或第二成像单元，以校准两个成像单元的景深。进一步地，现有技术中，通常需要视觉系统整体进行移动到指定位置进行视觉识别固定标记点的动作，从而计算上下两组视觉系统在该位置的物理偏差值，即光路偏差值，通过补偿这一物理偏差以达到校准视觉系统的工作。在识别完这一物理偏差值之后，视觉系统需要整体移动到下一个位置，即识别晶圆上标记点的位置。由于从校准位置到标记点识别位置的移动，进而引入了误差，对视觉系统的偏差补偿造成了负面影响。本申请通过在其中一个成像单元上设置投影单元，能够在不移动视觉系统的情况下实现对第一成像单元和第二成像单元光路的偏差值获取，使得视觉系统能够在移动范围内的任意位置进行自校准，从而保证视觉识别晶圆上标记点位置和视觉系统自校准位置的同一性，消除了现有技术中视觉系统在进行视觉系统校准后再移动导致的新的偏差值的引入，从而提高了视觉系统的识别精度。
在一个实施方式中，第一成像单元包括第一成像物镜13、第一光源12和第一相机11，第二成像单元包括第二成像物镜23、第二光源22和第二相机21，第一成像物镜13和第二成像物镜23之间能够放置目标对象30。通过本实施方式，目标对象30能够放置到第一成像单元和第二成像单元之间，能够对目标对象30上的标记点进行投影以校准景深和/或第一相机11与第二相机21的位置偏差。进一步地：目标对象30上具有标记(mark)，打开第二光源22,光路向上走照射目标对象30上的标记，使第一相机11可以接收到目标对象30上标记的图像，同理，打开光源第一光源12，第二相机21可以接收到目标对象30上标记的图像，对比第一相机11和第二相机21的图像，可以检测第一相机11和第二相机21的景深和位置偏差。若图像中的标记模糊，则说明景深不合适，提醒操作者调整景深；若标记在两幅图像中坐标不一致，则说明第一相机11和第二相机21目前的位置不合适；目的是让两幅图像中标记清晰，且标记在两幅图像中坐标一致，即达到检测两相机的景深和位置偏差的效果。
具体的，如图2所示，第一成像物镜13与第一相机11之间能够形成第一光路14，第二成像物镜23与第二相机21之间能够形成第二光路24。
在一个实施方式中，第一成像物镜13和第二成像物镜23同轴相向设置。通过本实施方式，使第一成像物镜13和第二成像物镜23能够形成光路，以便于使用一个投影单元能够分别在第一成像单元和第二成像单元上进行投影。
在一个实施方式中，投影单元包括投影光源41、投影标记42、取像物镜43、光路通断机构45、水平折返物镜44和反射镜46；光路通断机构45处于打开状态时，投影标记42在投影光源41的照射下能够通过取像物镜43、第一光路14、水平折返物镜44和反射镜46，然后折返回第一光路14投影到第一相机11的靶面上；光路通断机构45处于关闭状态时，投影标记42在投影光源41的照射下能够通过取像物镜43、第一光路14、第一成像物镜13、第二成像物镜23和第二光路24，投影到第二相机21的靶面上。通过本实施方式，不需要移动第一成像单元和第二成像单元不需要再通过原来在承载台60上的同轴眼上进行光路补偿值获取，减少视觉系统在移动过程中引入误差，提高对准精度。
在一个实施方式中，取像物镜43与成像物镜同轴设置。通过本实施方式，保证取像物镜43与两个成像物镜处于同一轴线上，保证光路的顺利传导。
在一个实施方式中，还包括固定架50，第一成像单元和第二成像单元设置于固定架50上，固定架50上还设置有用于控制固定架50升降移动的导向机构51。通过本实施方式，实现视觉系统整体的升降移动。
具体的，第一成像单元和第二成像单元对称设置，导向结构可外接控制结构，通过控制结构实现固定架50整体的升降移动。
在一个实施方式中，固定架50上设置有分别用于控制相机移动的调节装置52。通过本实施方式，便于校准相机的景深。
具体的，调节装置52的其中一种结构为十字滑台，相机安装在十字滑台上，使相机能够在平面上移动，当十字滑台竖直设置时，能够实现相机在水平方向以及竖直方向的移动。
实施例2
本发明提出一种视觉系统校准方法，包括如下操作步骤：
S00、校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差。
S10、使第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标。
具体地，预定位置为第一成像单元和第二成像单元能够获取第一目标位置上的标记点的空间上，例如，当目标对象为晶圆时，在对上晶圆和下晶圆键合对准精度检测时，所述预定位置为两个成像单元之间的空间。
S20、将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上。
具体的，第一目标对象为下晶圆，第二目标对象为上晶圆，下晶圆放置在承载台上，在移动下晶圆时，通过移动承载台间接实现移动下晶圆。承载台在移动的过程中，第一成像单元和第二成像单元的位置保持不动。
S30、分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值。
S40、使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标。
具体的，此时上晶圆位于两个成像单元外，即在移出上晶圆后，就保持上晶圆位于成像单元的覆盖范围外的状态。
S50、根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
实施例3
本发明提出一种视觉系统校准方法，包括如下操作步骤：
S00、校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差。
S00具体包括如下子步骤：
S01、使校准标记位于预定位置处。
S02、开启两个所述成像单元的光源，将校准标记投影到两个成像单元的靶面上。
S03、判断所述校准标记的投影是否位于所述成像单元的靶面的预设区域内。
S04、当所述校准标记的投影位于所述成像单元的靶面的预设区域外时，调整两个所述成像单元的位置，直到所述校准标记位于所述靶面的预设范围内。
S05、判断所述校准标记的投影清晰度是否满足预设条件。
S06、当所述校准标记的投影清晰度不满足预设条件时，调整两个所述成像单元的景深，直到所述校准标记的清晰度满足预设条件。
具体的，预设范围为校准标记在第一成像单元和第二成像单元上的投影位置为视场中心位置，使第一相机的成像中心接近第二相机的成像中心。校准景深偏差和校准位置偏差可以同时进行，也可以先进行位置偏差以及景深的其中一个的校准，在完成其中一个校准后再进行另一个校准。校准标记的清晰度预设条件为清晰，当校准标记的投影为清晰状态时即可满足条件，进一步地，其清晰度情况也可以根据实际的使用需求进行浮动。
S10、使第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标。
S20、将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上。
S30、分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值。
S40、使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标。
S50、根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
实施例4
本发明提出一种视觉系统校准方法，包括如下操作步骤：
S00、校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差。
S01、使校准标记位于预定位置处。
S02、开启两个所述成像单元的光源，将校准标记投影到两个成像单元的靶面上。
S03、判断所述校准标记的投影是否位于所述成像单元的靶面的预设区域内。
S04、当所述校准标记的投影位于所述成像单元的靶面的预设区域外时，调整两个所述成像单元的位置，直到所述校准标记位于所述靶面的预设范围内。
S10、使第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标。
S20、将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上。
其包括如下子步骤：
S21、将所述第一目标对象移出所述预定位置。
S22、使光路通断结构处于关闭状态，关闭所述的第一成像单元的光源，开启投影单元的光源，使投影标记通过取像物镜、第一成像物镜和第二成像物镜，投影到第二成像单元的相机的靶面上，记录该成像位置。
S23、使光路通断结构处于打开状态，开启投影单元的光源，使投影标记通过取像物镜、水平折返物镜和反射镜投影到第一成像单元的相机的靶面上，记录该成像位置。
具体的，光路通断结构控制反射镜处的光路通断，投影单元分别投影到第一成像单元和第二成像单元时的光路会有一部分重合，为避免光衰减影响成像精度，第一成像单元和第二成像单元相互独立地获取投影单元的投影标记。当光路通断结构处于关闭状态时，第一成像单元的第一光路处于隔断的状态；当光路通断结构处于打开状态时，第二成像单元的第二光路处于隔断的状态。
S30、分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值。
S40、使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标。
S50、根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
实施例5
本发明提出一种视觉系统识别控制装置，包括：
校准模块：校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差；
第一坐标获取模块：使第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标；
偏差值获取模块：将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上；以及
分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值；
第二坐标获取模块：使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标；
处理模块：根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (11)
1.一种能够原位校准的视觉系统，其特征在于，包括第一成像单元和第二成像单元，两个所述成像单元能够分别识别目标对象上的识别标记，其中一个所述成像单元上还设置有投影单元，所述投影单元能够将投影标记分别投影到两个所述成像单元的成像靶面上，根据所述投影标记分别在两个所述成像单元上的成像位置信息，确定两个所述成像单元的光路偏差值。
2.根据权利要求1所述的能够原位校准的视觉系统，其特征在于，所述第一成像单元包括第一成像物镜、第一光源和第一相机，所述第二成像单元包括第二成像物镜、第二光源和第二相机，所述第一成像物镜和第二成像物镜相对设置且二者之间能够放置所述目标对象。
3.根据权利要求2所述的能够原位校准的视觉系统，其特征在于，所述第一成像物镜和所述第二成像物镜同轴相向设置。
4.根据权利要求2所述的能够原位校准的视觉系统，其特征在于，所述投影单元包括投影光源、投影标记、取像物镜、光路通断机构、水平折返物镜和反射镜；
所述光路通断机构处于打开状态时，所述投影标记在投影光源的照射下能够通过所述取像物镜、水平折返物镜和反射镜，投影到所述第一相机的靶面上；
所述光路通断机构处于关闭状态时，所述投影标记在投影光源的照射下能够通过所述取像物镜、第一成像物镜和第二成像物镜，投影到所述第二相机的靶面上。
5.根据权利要求4所述的能够原位校准的视觉系统，其特征在于，所述取像物镜与所述成像物镜同轴设置。
6.根据权利要求2所述的能够原位校准的视觉系统，其特征在于，还包括固定架，所述第一成像单元和所述第二成像单元设置于所述固定架上，所述固定架上还设置有用于控制所述固定架升降移动的导向机构。
7.根据权利要求6所述的能够原位校准的视觉系统，其特征在于，所述固定架上设置有分别用于控制相机移动的调节装置。
8.一种视觉系统识别控制方法，其特征在于，包括如下操作步骤：
校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差；
使所述第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标；
将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上；
分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值；
使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标；
根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据所述第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
9.根据权利要求8所述的视觉系统识别控制方法，其特征在于，校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差具体包括如下步骤：
使校准标记位于预定位置内；
开启两个所述成像单元的光源，将校准标记投影到两个成像单元的靶面上；
判断所述校准标记的投影是否位于所述成像单元的靶面的预设区域内以及所述校准标记的投影清晰度是否满足预设条件；
当所述校准标记的投影位于所述成像单元的靶面的预设区域外时，调整两个所述成像单元的位置，直到所述校准标记位于所述靶面的预设范围内；
当所述校准标记的投影清晰度不满足预设条件时，调整两个所述成像单元的景深，直到所述校准标记的清晰度满足预设条件。
10.根据权利要求8所述的视觉系统识别控制方法，其特征在于，将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使投影单元的投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上，还包括以下步骤：
将所述第一目标对象移出所述预定位置；
使光路通断结构处于关闭状态，关闭所述的第一成像单元的光源，开启投影单元的光源，使投影标记通过取像物镜、第一成像物镜和第二成像物镜，投影到第二成像单元的相机的靶面上，记录该成像位置；
使光路通断结构处于打开状态，开启投影单元的光源，使投影标记通过取像物镜、水平折返物镜和反射镜投影到第一成像单元的相机的靶面上，记录该成像位置。
11.一种视觉系统识别控制装置，其特征在于，包括：
校准模块：校准第一成像单元和第二成像单元的景深偏差和位置偏差；
第一坐标获取模块：使第一成像单元获取位于预定位置的第一目标对象上的标记点的第一坐标；
偏差值获取模块：将所述第一目标对象移出所述预定位置，并且使设置于所述第一成像单元的投影单元将其投影标记分别投影到第一成像单元与第二成像单元的成像靶面上；以及
分别获取所述投影标记在两个所述成像单元的成像靶面上的位置信息，并且根据两个所述成像单元的成像靶面上的所述位置信息，确定两个所述成像单元的光路的偏差值；
第二坐标获取模块：使所述第二成像单元获取位于所述预定位置的第二目标对象上的标记点的第二坐标；
处理模块：根据所述偏差值对所述第二坐标进行补偿，以根据第一坐标和补偿后的第二坐标确定对准精度。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202310115059.4A CN116385551A (zh) | 2023-02-07 | 2023-02-07 | 能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310115059.4A CN116385551A (zh) | 2023-02-07 | 2023-02-07 | 能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置 |
Publications (1)
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| CN116385551A true CN116385551A (zh) | 2023-07-04 |
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| CN202310115059.4A Pending CN116385551A (zh) | 2023-02-07 | 2023-02-07 | 能够原位校准的视觉系统、识别控制方法及装置 |
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| CN (1) | CN116385551A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116878386A (zh) * | 2023-09-06 | 2023-10-13 | 北京华卓精科科技股份有限公司 | 上下对准视觉装置的标定方法及标定装置 |
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2023
- 2023-02-07 CN CN202310115059.4A patent/CN116385551A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116878386A (zh) * | 2023-09-06 | 2023-10-13 | 北京华卓精科科技股份有限公司 | 上下对准视觉装置的标定方法及标定装置 |
| CN116878386B (zh) * | 2023-09-06 | 2023-12-08 | 北京华卓精科科技股份有限公司 | 上下对准视觉装置的标定方法及标定装置 |
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