CN116357784B - 超纯水用高纯度止回阀 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种超纯水用高纯度止回阀，包括阀体组件、阀板组件和指示组件；阀体组件包括阀体，阀体呈向左开口的管状且右端面设有阀门孔；阀板组件设置在阀门孔处，阀板组件包括阀板，阀板包括主板体和连接在主板体上方的转轴部，阀板由其转轴部安装在阀体上；转轴部设有上部呈弧形的推动板；指示组件包括指示杆、透明罩和弹簧，指示杆包括杆部和位于杆部下方的底座板，底座板的下端面中央设有左厚右薄的辅助推动板；透明罩安装在指示杆连接基座上，弹簧套在指示杆的杆部上，且透明罩套在弹簧外对弹簧作上下限位；推动板的弧形部位抵在辅助推动板的下端面而使指示杆的上下运动能与阀板的转动联动。该止回阀的启闭设计巧妙且使用寿命较长。

Description

超纯水用高纯度止回阀

技术领域

本发明涉及阀门领域，特别涉及一种用于半导体制造的止回阀。

背景技术

目前国内半导体及光伏领域正在高速发展，而硅片是光伏发电的主要材料，半导体硅材料是最主要的元素半导体材料，因此光伏属于泛半导体行业。在半导体制造中，需要非常高频率的使用超纯水，而目前国内半导体12寸晶圆28nm以下高端制程中，对超纯水离子析出含量要求小于PPT级别（1ppt=1ng/L=1μg/ml），则在超纯水输送过程中需要使用高纯度的止回阀，现有的止回阀产品的纯度达不到PPT级别离子析出含量，且板式止回阀打开后容易与法兰适配器干涉，在输送过程中突然启动或停止时阀板容易断裂。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种使用寿命较长且不易于法兰适配器干涉的适于半导体制造的超纯水用高纯度止回阀。

实现本发明目的的技术方案是提供一种超纯水用高纯度止回阀，包括阀体组件以及安装在阀体组件上用于控制启闭的阀板组件、安装在阀体组件上用于指示启闭状态的指示组件；

阀体组件包括阀体，阀体呈向左开口的管状，阀体的管部右部设有指示杆连接基座，指示杆连接基座内设有上下贯通的连接孔；阀体的右端面设有阀门孔；阀板组件设置在阀门孔处，阀板组件包括阀板，阀板包括主板体和连接在主板体上方的转轴部，阀板由其转轴部安装在阀体上，且整个阀板组件能以转轴部为转动轴向左向上旋转开启或向右向下旋转关闭；转轴部的右侧中央及右侧中央与主板体的连接处设有上部呈弧形的推动板；指示组件包括指示杆、透明罩和弹簧，指示杆包括杆部和位于杆部下方的底座板，底座板的下端面中央设有左厚右薄的辅助推动板；透明罩开口向下，设有开口向下的上小下大的两段式盲孔，指示杆由其杆部的上中部插入设置在指示杆连接基座的下段孔部内，透明罩安装在指示杆连接基座上，弹簧套在指示杆的杆部上，且透明罩的两段式盲孔的较大下段孔部套在弹簧外对弹簧作上下限位，指示杆的杆部上部能在透明罩内上下运动；推动板的弧形部位抵在辅助推动板的下端面而使指示杆的上下运动能与阀板的转动联动。

进一步的，阀体组件还包括两个定位块和四个定位螺丝；阀体的右端上方和下方均设有用于与法兰适配器连接的法兰连接耳；阀体的右端面在中部偏下处设有圆形的左右贯通的阀门孔，则阀门孔相较于整个阀体的轴线是偏心孔。阀体的内部上端面设有横截面呈劣弧形的加强部，加强部的下端面前后两侧设有对称设置的阀板阻挡条；加强部的下端面中部右侧设有指示杆限位座，指示杆限位座是前后对称设置的两块板构成的限位结构；阀体的内部位于加强部下方的前部和后部的对称位置设有转轴座，转轴座位于阀体的内部最右侧，位于前侧的转轴座设有开口向后的槽，位于后侧的转轴座开口向前的槽，转轴座的槽体上方为圆形，下方为榫槽结构，转轴座的下部设有两个定位螺丝孔。阀体的管部右部近法兰连接耳侧的正上部设有指示杆连接基座，指示杆连接基座的连接孔为上大下小的二段孔，其中上段孔为内螺孔，且连接孔位于指示杆限位座内正中；定位块的形状与转轴座的下部对应，其左右端面设有连接榫，上端面设有近阀体中央侧厚、另一侧薄的平衡斜面，两个定位块分别通过榫槽接插设置在相应的转轴座的下部内，再通过相应的两个定位螺丝穿过前侧的转轴座的定位螺丝孔后旋合进一个定位块内而固定，再通过相应的两个定位螺丝穿过后侧的转轴座的定位螺丝孔后旋合进另一个定位块内而固定，定位块的上端面与相应的转轴座的圆槽部分形成平整的开口向阀体的中央的槽体即转轴槽。

更进一步的，阀体组件还包括第一O型圈、和第二O型圈；阀体的左右端面均设有开口向外的阀体密封圈槽；第一O型圈和第二O型圈分别设置在阀体的左右端面的相应阀体密封圈槽内。第一O型圈和第二O型圈均采用全氟醚橡胶制品。

进一步的，阀板组件还包括盖板和垫圈。阀板的主板体呈圆形，其直径大于阀体的阀门孔的直径，主板体的右端面设有环形的垫圈槽；主板体的左端面与阀板阻挡条对应的位置设有相应的两块限位板，限位板呈在左右方向下大上小的刀形；转轴部的大小、形状与阀体的两个转轴座形成的转轴槽对应，在推动板的前后两侧设有限位槽。盖板的直径略小于阀体的阀门孔，盖板的厚度与阀体的右端面厚度一致，盖板通过紧固件安装在阀板的主板体正中央。呈环状的垫圈设置在阀板的垫圈槽内，垫圈的外径大于阀门孔的直径、内径小于盖板的直径，从而垫圈的内圈部设置于盖板的边缘与阀板之间；阀板由其转轴部的前后两端插入阀体组件的转轴槽内而使得整个阀板组件能以转轴部为转动轴向左向上旋转至限位板抵至阀体组件的相应的阀板阻挡条处而被阻挡，阀板组件向右向下回位时被阀体所阻挡，且垫圈的外圈部设置于阀板与阀体之间以密封。

更进一步的，阀板组件还包括四个外六角螺丝。阀板的主板体的中央设有四个呈十字分布的具有内螺纹的盲孔；盖板上设有与阀板的四个呈十字分布的具有内螺纹的盲孔的位置对应的连接通孔，盖板通过四个外六角螺丝穿过相应的连接通孔后旋合在阀板的相应的盲孔内而连接在阀板上。外六角螺丝采用PVDF-UHP材料制成。

更进一步的，指示杆的中上部呈从下到上渐小的三段状，其最下方的第一段杆部与指示杆连接基座的下段孔部大小对应；指示杆的下部设置底座板，底座板的左部前后两侧设有推动限位板，从而形成与推动板的大小对应的推动板限位结构，且底座板的下端面中央设有左厚右薄的辅助推动板。弹簧包括第一弹簧和第二弹簧；第一弹簧的外径与指示杆的第一段杆部对应，内径与第二段杆部对应；第二弹簧的外径与第一弹簧的内径，内径与指示杆的的第三段杆部对应。透明罩的下部设有与指示杆连接基座对应的外螺纹，透明罩上设有指示阀板的启闭状态的标记。第一弹簧套在指示杆的第二段和第三段杆部上，第二弹簧套在指示杆的第三段杆部上，指示杆的第一段杆部插入设置在指示杆连接基座的下段孔部内，指示杆的第三段杆部向上穿过指示杆连接基座露出，透明罩由其下部旋合在指示杆连接基座的内螺孔部内而连接在阀体上，且透明罩的两段式盲孔的较大下段孔部套在第一弹簧外对第一弹簧和第二弹簧作上下限位，指示杆的第三段杆部能在透明罩内上下运动。指示杆的推动板限位结构包覆在推动板外且位于指示杆限位座内，且与推动板和指示杆限位座均间隙配合。

进一步的，指示组件还包括两个第三O型圈和第四O型圈。指示杆的第一段杆部的中上部设有两个环形的第三O型圈槽；指示杆连接基座的上端开口处设有第四O型圈槽；两个第三O型圈分别设置在相应的第三O型圈槽内，第四O型圈设置在第四O型圈槽内。第三O型圈和第四O型圈均采用全氟醚橡胶制品。

进一步的，阀体、阀板、盖板、定位块和定位螺丝均采用PVDF-UHP材料制成，垫圈采用全氟醚橡胶制品。

进一步的，阀体由其法兰连接耳与法兰适配器通过紧固件连接，阀体组件能在阀体的内腔内向左向上翻转及向右向下复位；输送介质时，介质输送压力从右向左推开阀板组件以阀板的转轴部为转轴向左向上翻转直至阀板的限位板抵至阀体的阀板阻挡条，阀板组件完全打开，同时，阀板的推动板由其弧形部位在转动时向上推动指示杆的辅助推动板，辅助推动板左厚右薄的设计易于推动指示杆向上运动，指示杆受力向上运动而压缩第一弹簧和第二弹簧，指示杆的第三段杆部向上运动指示阀体组件打开程度，最大至限位板抵至阀体的阀板阻挡条时，指示杆的底座板抵至阀体的加强部的下端面，指示杆的推动限位板卡入推动板的前后两侧的限位槽中；当介质停止输送时，第一弹簧和第二弹簧的弹力推动指示杆向下运动，阀板组件在指示杆的推动和自重的施力下，向下向右运动至垫圈抵至阀体上，阀板组件闭合后，垫圈在第一弹簧和第二弹簧的弹力下与阀板、阀体压缩密封。

本发明具有积极的效果：（1）本发明的超纯水用高纯度止回阀的整个阀板组件能以转轴部为转动轴向左向上旋转开启或向右向下旋转关闭；转轴部的右侧中央及右侧中央与主板体的连接处设有上部呈弧形的推动板；透明罩的两段式盲孔的较大下段孔部套在弹簧外对弹簧作上下限位，指示杆的杆部上部能在透明罩内上下运动；推动板的弧形部位抵在辅助推动板的下端面而使指示杆的上下运动能与阀板的转动联动，该设计巧妙，在阀板打开时由于弹簧的施力，不会猛烈的撞击阀体以导致损坏，而阀板阻挡条与限位板的设计可以有效进一步减少对阀体的冲击，且阀体的加强部的设计有效增加了使用寿命。

（2）本发明的超纯水用高纯度止回阀的指示杆的推动板限位结构包覆在推动板外且位于指示杆限位座内，且与推动板和指示杆限位座均间隙配合，推动板的弧形部位抵在辅助推动板的下端面，由于推动板的弧形部位及辅助推动板的左厚右薄的设计而易于在转动时推动指示杆上下运动。推动板限位结构的设计使得结构稳定，推动板的弧形部位及辅助推动板的左厚右薄的设计巧妙，指示杆在指示启闭状态的同时，可以对阀板的打开起缓冲作用，同时对于阀板的关闭起控制及密封作用。

（3）本发明的超纯水用高纯度止回阀的转轴座的槽体上方为圆形，下方为榫槽结构，转轴座的下部设有两个定位螺丝孔；定位块的形状与转轴座的下部对应，其左右端面设有连接榫，上端面设有近阀体中央侧厚、另一侧薄的平衡斜面，两个定位块分别通过榫槽接插设置在相应的转轴座的下部内，再通过相应的两个定位螺丝穿过前侧的转轴座的定位螺丝孔后旋合进一个定位块内而固定，再通过相应的两个定位螺丝穿过后侧的转轴座的定位螺丝孔后旋合进另一个定位块内而固定，定位块的上端面与相应的转轴座的圆槽部分形成平整的开口向阀体的中央的槽体即转轴槽，定位块的设计使得形成稳定的转轴槽的同时，整个阀体组件同时易于拆解更换，只需卸下定位螺丝即可，进而指示组件也易于更换。

（4）本发明的超纯水用高纯度止回阀直接解决半导体28nm以下高端制程的超纯水输送止回阀使用需求，在满足PPT级别的离子析出要求的基础上，使用过程中产品可靠性较好，结构设计巧妙，体积较小，适于半导体制造使用。

附图说明

图1为本发明的超纯水用高纯度止回阀的一种结构示意图（主视图）；

图2为图1的左视图；

图3为图2的A-A面剖视图；

图4为本发明的超纯水用高纯度止回阀的一种立体结构示意图；

图5为图4中的阀体的结构示意图；

图6为图4中的定位块的结构示意图；

图7为图4中的阀板的结构示意图；

图8为图4中的指示杆的结构示意图。

上述附图中的标记如下：

阀体11，法兰连接耳11-1，加强部11-2，阀板阻挡条11-3，指示杆限位座11-4，转轴座11-5，指示杆连接基座11-6，第一O型圈12，第二O型圈13，定位块14，定位螺丝15，

阀板21，主板体21-1，转轴部21-2，限位板21-3，推动板21-4，盖板22，外六角螺丝23，垫圈24，

指示杆31，辅助推动板31-1，第一弹簧32，第二弹簧33，透明罩34，第三O型圈35，第四O型圈36。

具体实施方式

见图1至图4，本实施例的超纯水用高纯度止回阀包括阀体组件以及安装在阀体组件上用于控制启闭的阀板组件、安装在阀体组件上用于指示启闭状态的指示组件。

阀体组件包括阀体11、第一O型圈12、第二O型圈13、两个定位块14和四个定位螺丝15，见图5，其中阀体11呈向左开口的管状，其左右端面均设有开口向外的阀体密封圈槽，其右端上方和下方均设有用于与法兰适配器连接的法兰连接耳11-1；阀体11的右端面在中部偏下处设有圆形的左右贯通的阀门孔，则阀门孔相较于整个阀体11的轴线是偏心孔。阀体11的内部上端面设有横截面呈劣弧形的加强部11-2，加强部11-2的下端面前后两侧设有对称设置的阀板阻挡条11-3；加强部11-2的下端面中部右侧设有指示杆限位座11-4，指示杆限位座11-4是前后对称设置的两块板构成的限位结构；阀体11的内部位于加强部11-2下方的前部和后部的对称位置设有转轴座11-5，转轴座11-5位于阀体11的内部最右侧，位于前侧的转轴座11-5设有开口向后的槽，位于后侧的转轴座11-5开口向前的槽，转轴座11-5的槽体上方为圆形，下方为榫槽结构，转轴座11-5的下部设有两个定位螺丝孔。阀体11的管部右部近法兰连接耳侧的正上部设有指示杆连接基座11-6，指示杆连接基座11-6内设有上下贯通的连接孔，连接孔为上大下小的二段孔，其中上段孔为内螺孔，且连接孔位于指示杆限位座11-4内正中；指示杆连接基座11-6的上端开口处设有第四O型圈槽。第一O型圈12和第二O型圈13分别设置在阀体11的左右端面的相应阀体密封圈槽内。见图6，定位块14的形状与转轴座11-5的下部对应，其左右端面设有连接榫，上端面设有近阀体11中央侧厚、另一侧薄的平衡斜面，两个定位块14分别通过榫槽接插设置在相应的转轴座11-5的下部内，再通过相应的两个定位螺丝15穿过前侧的转轴座11-5的定位螺丝孔后旋合进一个定位块14内而固定，再通过相应的两个定位螺丝15穿过后侧的转轴座11-5的定位螺丝孔后旋合进另一个定位块14内而固定，由于定位块14的平衡斜面的设计，使得定位块14的上端面与相应的转轴座11-5的圆槽部分形成平整的开口向阀体11的中央的槽体即转轴槽。

阀板组件包括阀板21、盖板22、四个外六角螺丝23和垫圈24。见图7，阀板21包括主板体21-1和连接在主板体21-1上方的转轴部21-2，主板体21-1呈圆形，其直径大于阀体11的阀门孔的直径，主板体21-1的右端面设有环形的垫圈槽，中央设有四个呈十字分布的具有内螺纹的盲孔；主板体21-1的左端面与阀板阻挡条11-3对应的位置设有相应的两块限位板21-3，限位板21-3呈在左右方向下大上小的刀形；转轴部21-2的大小、形状与阀体11的两个转轴座11-5形成的转轴槽对应，转轴部21-2的右侧中央及右侧中央与主板体21-1的连接处设有上部呈弧形的推动板21-4，在推动板21-4的前后两侧设有限位槽。盖板22的直径略小于阀体11的阀门孔，盖板22的厚度与阀体11的右端面厚度一致，盖板22上设有与阀板21的四个呈十字分布的具有内螺纹的盲孔的位置对应的连接通孔，盖板22通过四个外六角螺丝23穿过相应的连接通孔后旋合在阀板21的相应的盲孔内而连接在阀板21上。呈环状的垫圈24设置在阀板21的垫圈槽内，垫圈24的外径大于阀门孔的直径、内径小于盖板22的直径，从而垫圈24的内圈部设置于盖板22的边缘与阀板21之间；阀板21由其转轴部21-2的前后两端插入阀体组件的转轴槽内而使得整个阀板组件能以转轴部21-2为转动轴向左向上旋转至限位板21-3抵至阀体组件的相应的阀板阻挡条11-3处而被阻挡，阀板组件向右向下回位时被阀体11所阻挡，且垫圈24的外圈部设置于阀板21与阀体11之间以密封。

指示组件包括指示杆31、第一弹簧32、第二弹簧33、透明罩34、两个第三O型圈35和第四O型圈36。见图8，指示杆31的中上部呈从下到上渐小的三段状，其最下方的第一段杆部与指示杆连接基座11-6的下段孔部大小对应，第一段杆部的中上部设有两个环形的第三O型圈槽；指示杆31的下部设置底座板，底座板的左部前后两侧设有推动限位板，从而形成与推动板21-4的大小对应的推动板限位结构，且底座板的下端面中央设有左厚右薄的辅助推动板31-1。第一弹簧32的外径与指示杆31的第一段杆部对应，内径与第二段杆部对应；第二弹簧33的外径与第一弹簧32的内径，内径与指示杆31的的第三段杆部对应。透明罩34开口向下，其下部设有与指示杆连接基座11-6对应的外螺纹，设有开口向下的上小下大的两段式盲孔，透明罩34上设有指示阀板21的启闭状态的标记。第一弹簧32套在指示杆31的第二段和第三段杆部上，第二弹簧33套在指示杆31的第三段杆部上，指示杆31的第一段杆部插入设置在指示杆连接基座11-6的下段孔部内，指示杆31的第三段杆部向上穿过指示杆连接基座11-6露出，透明罩34由其下部旋合在指示杆连接基座11-6的内螺孔部内而连接在阀体11上，且透明罩34的两段式盲孔的较大下段孔部套在第一弹簧32外对第一弹簧32和第二弹簧33作上下限位，指示杆31的第三段杆部能在透明罩34内上下运动。两个第三O型圈35分别设置在相应的第三O型圈槽内，第四O型圈36设置在第四O型圈槽内。指示杆31的推动板限位结构包覆在推动板21-4外且位于指示杆限位座11-4内，且与推动板21-4和指示杆限位座11-4均间隙配合，推动板21-4的弧形部位抵在辅助推动板31-1的下端面，由于推动板21-4的弧形部位及辅助推动板31-1的左厚右薄的设计而易于在转动时推动指示杆31上下运动。

上述各部件中，所有与超纯水接触的阀体11、阀板21、盖板22、外六角螺丝23、定位块14和定位螺丝15均采用超纯PVDF-UHP材料，第一O型圈12、第二O型圈13、第三O型圈35、第四O型圈36和垫圈24均采用全氟醚橡胶制品，满洲超纯水的离子析出要求。第一弹簧32和第二弹簧33均采用316不锈钢弹簧。

仍见图1至图4，本实施例的超纯水用高纯度止回阀使用时，阀体11由其法兰连接耳11-1与法兰适配器通过紧固件连接，通过第一O型圈12和第二O型圈13与法兰适配器端面密封，阀体组件能在阀体11的内腔内向左向上翻转及向右向下复位；输送例如超纯水的介质时，超纯水输送压力从右向左推开阀板组件以阀板21的转轴部21-2为转轴向左向上翻转直至阀板21的限位板21-3抵至阀体11的阀板阻挡条11-3，阀板组件完全打开，同时，阀板21的推动板21-4由其弧形部位在转动时向上推动指示杆31的辅助推动板31-1，辅助推动板31-1左厚右薄的设计易于推动指示杆31向上运动，指示杆31受力向上运动而压缩第一弹簧32和第二弹簧33，指示杆31的第三段杆部向上运动指示阀体组件打开程度，最大至限位板21-3抵至阀体11的阀板阻挡条11-3时，指示杆31的底座板抵至阀体11的加强部11-2的下端面，指示杆31的推动限位板卡入推动板21-4的前后两侧的限位槽中；当超纯水停止输送时，第一弹簧32和第二弹簧33的弹力推动指示杆31向下运动，阀板组件在指示杆31的推动和自重的施力下，向下向右运动至垫圈24抵至阀体11上，阀板组件闭合后，垫圈24在第一弹簧32和第二弹簧33的弹力下与阀板21、阀体11压缩密封。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：包括阀体组件以及安装在阀体组件上用于控制启闭的阀板组件、安装在阀体组件上用于指示启闭状态的指示组件；

阀体组件包括阀体（11），阀体（11）呈向左开口的管状，阀体（11）的管部右部设有指示杆连接基座（11-6），指示杆连接基座（11-6）内设有上下贯通的连接孔；阀体（11）的右端面设有阀门孔；阀板组件设置在阀门孔处，阀板组件包括阀板（21），阀板（21）包括主板体（21-1）和连接在主板体（21-1）上方的转轴部（21-2），阀板（21）由其转轴部（21-2）安装在阀体（11）上，且整个阀板组件能以转轴部（21-2）为转动轴向左向上旋转开启或向右向下旋转关闭；转轴部（21-2）的右侧中央及右侧中央与主板体（21-1）的连接处设有上部呈弧形的推动板（21-4）；指示组件包括指示杆（31）、透明罩（34）和弹簧，指示杆（31）包括杆部和位于杆部下方的底座板，底座板的下端面中央设有左厚右薄的辅助推动板（31-1）；透明罩（34）开口向下，设有开口向下的上小下大的两段式盲孔，指示杆（31）由其杆部的上中部插入设置在指示杆连接基座（11-6）的下段孔部内，透明罩（34）安装在指示杆连接基座（11-6）上，弹簧套在指示杆（31）的杆部上，且透明罩（34）的两段式盲孔的较大下段孔部套在弹簧外对弹簧作上下限位，指示杆（31）的杆部上部能在透明罩（34）内上下运动；推动板（21-4）的弧形部位抵在辅助推动板（31-1）的下端面而使指示杆（31）的上下运动能与阀板（21）的转动联动；

阀体组件还包括两个定位块（14）和四个定位螺丝（15）；阀体（11）的右端上方和下方均设有用于与法兰适配器连接的法兰连接耳（11-1）；阀体（11）的右端面在中部偏下处设有圆形的左右贯通的阀门孔，则阀门孔相较于整个阀体（11）的轴线是偏心孔；阀体（11）的内部上端面设有横截面呈劣弧形的加强部（11-2），加强部（11-2）的下端面前后两侧设有对称设置的阀板阻挡条（11-3）；加强部（11-2）的下端面中部右侧设有指示杆限位座（11-4），指示杆限位座（11-4）是前后对称设置的两块板构成的限位结构；阀体（11）的内部位于加强部（11-2）下方的前部和后部的对称位置设有转轴座（11-5），转轴座（11-5）位于阀体（11）的内部最右侧，位于前侧的转轴座（11-5）设有开口向后的槽，位于后侧的转轴座（11-5）开口向前的槽，转轴座（11-5）的槽体上方为圆形，下方为榫槽结构，转轴座（11-5）的下部设有两个定位螺丝孔；阀体（11）的管部右部近法兰连接耳侧的正上部设有指示杆连接基座（11-6），指示杆连接基座（11-6）的连接孔为上大下小的二段孔，其中上段孔为内螺孔，且连接孔位于指示杆限位座（11-4）内正中；定位块（14）的形状与转轴座（11-5）的下部对应，其左右端面设有连接榫，上端面设有近阀体（11）中央侧厚、另一侧薄的平衡斜面，两个定位块（14）分别通过榫槽接插设置在相应的转轴座（11-5）的下部内，再通过相应的两个定位螺丝（15）穿过前侧的转轴座（11-5）的定位螺丝孔后旋合进一个定位块（14）内而固定，再通过相应的两个定位螺丝（15）穿过后侧的转轴座（11-5）的定位螺丝孔后旋合进另一个定位块（14）内而固定，定位块（14）的上端面与相应的转轴座（11-5）的圆槽部分形成平整的开口向阀体（11）的中央的槽体即转轴槽。

2.根据权利要求1所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：阀体组件还包括第一O型圈（12）和第二O型圈（13）；阀体（11）的左右端面均设有开口向外的阀体密封圈槽；第一O型圈（12）和第二O型圈（13）分别设置在阀体（11）的左右端面的相应阀体密封圈槽内；第一O型圈（12）和第二O型圈（13）均采用全氟醚橡胶制品。

3.根据权利要求1所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：阀板组件还包括盖板（22）和垫圈（24）；阀板（21）的主板体（21-1）呈圆形，其直径大于阀体（11）的阀门孔的直径，主板体（21-1）的右端面设有环形的垫圈槽；主板体（21-1）的左端面与阀板阻挡条（11-3）对应的位置设有相应的两块限位板（21-3），限位板（21-3）呈在左右方向下大上小的刀形；转轴部（21-2）的大小、形状与阀体（11）的两个转轴座（11-5）形成的转轴槽对应，在推动板（21-4）的前后两侧设有限位槽；盖板（22）的直径略小于阀体（11）的阀门孔，盖板（22）的厚度与阀体（11）的右端面厚度一致，盖板（22）通过紧固件安装在阀板（21）的主板体（21-1）正中央；呈环状的垫圈（24）设置在阀板（21）的垫圈槽内，垫圈（24）的外径大于阀门孔的直径、内径小于盖板（22）的直径，从而垫圈（24）的内圈部设置于盖板（22）的边缘与阀板（21）之间；阀板（21）由其转轴部（21-2）的前后两端插入阀体组件的转轴槽内而使得整个阀板组件能以转轴部（21-2）为转动轴向左向上旋转至限位板（21-3）抵至阀体组件的相应的阀板阻挡条（11-3）处而被阻挡，阀板组件向右向下回位时被阀体（11）所阻挡，且垫圈（24）的外圈部设置于阀板（21）与阀体（11）之间以密封。

4.根据权利要求3所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：阀板组件还包括四个外六角螺丝（23）；阀板（21）的主板体（21-1）的中央设有四个呈十字分布的具有内螺纹的盲孔；盖板（22）上设有与阀板（21）的四个呈十字分布的具有内螺纹的盲孔的位置对应的连接通孔，盖板（22）通过四个外六角螺丝（23）穿过相应的连接通孔后旋合在阀板（21）的相应的盲孔内而连接在阀板（21）上；外六角螺丝（23）采用PVDF-UHP材料制成。

5.根据权利要求3所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：指示杆（31）的中上部呈从下到上渐小的三段状，其最下方的第一段杆部与指示杆连接基座（11-6）的下段孔部大小对应；指示杆（31）的下部设置底座板，底座板的左部前后两侧设有推动限位板，从而形成与推动板（21-4）的大小对应的推动板限位结构，且底座板的下端面中央设有左厚右薄的辅助推动板（31-1）；弹簧包括第一弹簧（32）和第二弹簧（33）；第一弹簧（32）的外径与指示杆（31）的第一段杆部对应，内径与第二段杆部对应；第二弹簧（33）的外径与第一弹簧（32）的内径，内径与指示杆（31）的第三段杆部对应；透明罩（34）的下部设有与指示杆连接基座（11-6）对应的外螺纹，透明罩（34）上设有指示阀板（21）的启闭状态的标记；第一弹簧（32）套在指示杆（31）的第二段和第三段杆部上，第二弹簧（33）套在指示杆（31）的第三段杆部上，指示杆（31）的第一段杆部插入设置在指示杆连接基座（11-6）的下段孔部内，指示杆（31）的第三段杆部向上穿过指示杆连接基座（11-6）露出，透明罩（34）由其下部旋合在指示杆连接基座（11-6）的内螺孔部内而连接在阀体（11）上，且透明罩（34）的两段式盲孔的较大下段孔部套在第一弹簧（32）外对第一弹簧（32）和第二弹簧（33）作上下限位，指示杆（31）的第三段杆部能在透明罩（34）内上下运动；指示杆（31）的推动板限位结构包覆在推动板（21-4）外且位于指示杆限位座（11-4）内，且与推动板（21-4）和指示杆限位座（11-4）均间隙配合。

6.根据权利要求5所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：指示组件还包括两个第三O型圈（35）和第四O型圈（36）；指示杆（31）的第一段杆部的中上部设有两个环形的第三O型圈槽；指示杆连接基座（11-6）的上端开口处设有第四O型圈槽；两个第三O型圈（35）分别设置在相应的第三O型圈槽内，第四O型圈（36）设置在第四O型圈槽内；第三O型圈（35）和第四O型圈（36）均采用全氟醚橡胶制品。

7.根据权利要求5所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：阀体（11）、阀板（21）、盖板（22）、定位块（14）和定位螺丝（15）均采用PVDF-UHP材料制成，垫圈（24）采用全氟醚橡胶制品。

8.根据权利要求5所述的超纯水用高纯度止回阀，其特征在于：阀体（11）由其法兰连接耳（11-1）与法兰适配器通过紧固件连接，阀体组件能在阀体（11）的内腔内向左向上翻转及向右向下复位；输送介质时，介质输送压力从右向左推开阀板组件以阀板（21）的转轴部（21-2）为转轴向左向上翻转直至阀板（21）的限位板（21-3）抵至阀体（11）的阀板阻挡条（11-3），阀板组件完全打开，同时，阀板（21）的推动板（21-4）由其弧形部位在转动时向上推动指示杆（31）的辅助推动板（31-1），辅助推动板（31-1）左厚右薄的设计易于推动指示杆（31）向上运动，指示杆（31）受力向上运动而压缩第一弹簧（32）和第二弹簧（33），指示杆（31）的第三段杆部向上运动指示阀体组件打开程度，最大至限位板（21-3）抵至阀体（11）的阀板阻挡条（11-3）时，指示杆（31）的底座板抵至阀体（11）的加强部（11-2）的下端面，指示杆（31）的推动限位板卡入推动板（21-4）的前后两侧的限位槽中；当介质停止输送时，第一弹簧（32）和第二弹簧（33）的弹力推动指示杆（31）向下运动，阀板组件在指示杆（31）的推动和自重的施力下，向下向右运动至垫圈（24）抵至阀体（11）上，阀板组件闭合后，垫圈（24）在第一弹簧（32）和第二弹簧（33）的弹力下与阀板（21）、阀体（11）压缩密封。