CN116356259A - 蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板 - Google Patents

蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板 Download PDF

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CN116356259A CN202310354631.2A CN202310354631A CN116356259A CN 116356259 A CN116356259 A CN 116356259A CN 202310354631 A CN202310354631 A CN 202310354631A CN 116356259 A CN116356259 A CN 116356259A
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董晴晴
范刘静
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Abstract

本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：第一蒸发源，第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到待蒸镀基板的第二端，第一端与第二端相对；第二蒸发源，第二蒸发源沿第二方向从待蒸镀基板的第三端移动到待蒸镀基板的第四端，第三端与第四端相对；其中，第一方向与待蒸镀基板所在平面相平行，第二方向与待蒸镀基板所在平面相平行，且第一方向和第二方向相交。本发明有利于解决现有技术中蒸镀膜层的厚度不均匀的问题。

Description

蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板
技术领域
本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板。
背景技术
随着显示行业技术的发展，OLED以可柔性，主动发光，大视角，色纯度高，反应速度快等优势逐渐占领市场。基于蒸镀材料的开发，目前行业内普遍使用物理气相沉积(physical vapor deposition，PVD)制备OLED器件各膜层；随着显示尺寸的逐渐增加，蒸镀设备体积也日益变大，为了更好的蒸镀效果，一般较大尺寸的设备，使用线源(linearsource，LS)制备OLED器件中的各有机膜层。
但是，使用LS蒸镀时存在膜层均匀性差的问题，多层蒸镀累计后，会增加膜厚不均匀性，会影响产品的良率。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，有利于解决现有技术中蒸镀膜层的厚度不均匀的问题。
本发明提供一种蒸镀装置，包括：第一蒸发源，第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到待蒸镀基板的第二端，第一端与第二端相对；第二蒸发源，第二蒸发源沿第二方向从待蒸镀基板的第三端移动到待蒸镀基板的第四端，第三端与第四端相对；其中，第一方向与待蒸镀基板所在平面相平行，第二方向与待蒸镀基板所在平面相平行，且第一方向和第二方向相交。
基于同一思想，本发明还提供了一种蒸镀方法，采用本发明提供的蒸镀装置进行蒸镀；蒸镀方法包括：将第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到待蒸镀基板的第二端，第一端与第二端相对；在第一蒸发源蒸镀完后，将第二蒸发源沿第二方向从待蒸镀基板的第三端移动到待蒸镀基板的第四端，第三端与第四端相对；或，将第二蒸发源沿第二方向从待蒸镀基板的第三端移动到待蒸镀基板的第四端，第三端与第四端相对；在第二蒸发源蒸镀完后，将第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到待蒸镀基板的第二端，第一端与第二端相对。
基于同一思想，本发明还提供了一种有机发光显示面板，采用本发明提供的蒸镀方法形成。
与现有技术相比，本发明提供的蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，至少实现了如下的有益效果：
本发明提供的蒸镀装置包括第一蒸发源和第二蒸发源，第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到待蒸镀基板的第二端，第一端和第二端沿第一方向相对设置，即第一蒸发源沿第一方向移动在待蒸镀基板上蒸镀膜层。第二蒸发源沿第二方向从待蒸镀基板的第三端移动到待蒸镀基板的第四端，第三端与第四端沿第二方向相对设置，即第二蒸发源沿第二方向移动在待蒸镀基板上蒸镀膜层。第一方向和第二方向相交，即第一蒸发源在待蒸镀基板上蒸镀膜层时的运动方向与第二蒸发源在待蒸镀基板上蒸镀膜层时的运动方向相交，从而第一蒸发源沿第一方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向与第二蒸发源沿第二方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向不同，从而通过第一蒸发源沿第一方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源沿第二方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层的叠加，可消除在待蒸镀基板上蒸镀的膜层的膜厚偏差，从而通过第一蒸发源和第二蒸发源蒸镀完成后可得到膜厚均一性较高的薄膜。
当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1是现有技术中一种蒸镀装置的结构示意图；
图2是本发明提供的一种蒸镀装置的平面示意图；
图3是本发明提供的一种第一蒸发源的结构示意图；
图4是本发明提供的一种第二蒸发源的结构示意图；
图5是图2所述蒸镀装置的一种结构示意图；
图6是本发明提供的另一种蒸镀装置的平面示意图；
图7是图6所述蒸镀装置的一种结构示意图；
图8是图2所述蒸镀装置的另一种结构示意图；
图9是本发明提供的蒸镀装置中第一蒸发源和第一轨道的一种连接结构；
图10是本发明提供的蒸镀装置中第二蒸发源和第二轨道的一种连接结构；
图11是本发明提供的一种有机发光显示面板的平面示意图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
现有技术中，参考图1，图1是现有技术中一种蒸镀装置的结构示意图，在现有的蒸镀装置中，蒸镀装置中仅设置有一个蒸发源1，且蒸发源1沿第一方向X从待蒸镀基板2的第一端3移动到待蒸镀基板2的第二端4，和/或，蒸发源1沿第一方向X从待蒸镀基板2的第二端4移动到待蒸镀基板2的第一端3，其中，待蒸镀基板2的第一端3和待蒸镀基板2的第二端4沿第一方向X相对设置。蒸发源1通常包括多个蒸镀喷嘴，待蒸镀材料经蒸发源1中不同蒸镀喷嘴蒸发出来会有蒸镀面积的交叠，当蒸发源1沿第一方向X对待蒸镀基板2进行蒸镀时，会出现“M”或“W”型的膜层结构，即出现蒸镀膜层的厚度不均匀的问题。
基于上述研究，本申请提供了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，有利于解决现有技术中蒸镀膜层的厚度不均匀的问题，详细说明如下：
图2是本发明提供的一种蒸镀装置的平面示意图，参考图2，本实施例提供一种蒸镀装置，蒸镀装置包括第一蒸发源10和第二蒸发源20。
其中，第一蒸发源10沿第一方向X从待蒸镀基板30的第一端31移动到待蒸镀基板30的第二端32，第一端31与第二端32相对；
第二蒸发源20沿第二方向Y从待蒸镀基板30的第三端33移动到待蒸镀基板30的第四端34，第三端33与第四端34相对；
其中，第一方向X与待蒸镀基板30所在平面相平行，第二方向Y与待蒸镀基板30所在平面相平行，且第一方向X和第二方向Y相交。
具体的，本发明实施例提供的蒸镀装置包括第一蒸发源10和第二蒸发源20，第一蒸发源10沿第一方向X从待蒸镀基板30的第一端31移动到待蒸镀基板30的第二端32，第一端31和第二端32沿第一方向X相对设置，即第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层。第二蒸发源20沿第二方向Y从待蒸镀基板30的第三端33移动到待蒸镀基板30的第四端34，第三端33与第四端34沿第二方向Y相对设置，即第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层。
第一方向X和第二方向Y相交，即第一蒸发源10在待蒸镀基板30上蒸镀膜层时的运动方向与第二蒸发源20在待蒸镀基板30上蒸镀膜层时的运动方向相交，从而第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向与第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向不同，从而通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的叠加，可消除在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的膜厚偏差，从而通过第一蒸发源10和第二蒸发源20蒸镀完成后可得到膜厚均一性较高的薄膜。
继续参考图2，在一些可选实施例中，第一方向X和第二方向Y相垂直，即第一蒸发源10在待蒸镀基板30上蒸镀膜层时的运动方向与第二蒸发源20在待蒸镀基板30上蒸镀膜层时的运动方向相垂直，从而第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向与第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向完全不同，从而通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的叠加，可进一步消除在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的膜厚偏差，从而通过第一蒸发源10和第二蒸发源20蒸镀完成后可得到膜厚均一性较高的薄膜。
继续参考图2，在一些可选实施例中，第一蒸发源10和第二蒸发源20均为线状蒸发源，且第一蒸发源10和第二蒸发源20所蒸镀的材料相同。
具体的，第一蒸发源10和第二蒸发源20均为线状蒸发源，线状蒸发源用于蒸镀装置具有成膜均匀性好的优点。当然，在本发明其他实施例中，第一蒸发源10也可采用点状蒸发源或其他蒸发源，第二蒸发源20也可采用点状蒸发源或其他蒸发源，本发明在此不再一一赘述。
第一蒸发源10和第二蒸发源20所蒸镀的材料相同，第一蒸发源10和第二蒸发源20内待蒸镀材料相同，即可采用第一蒸发源10和第二蒸发源20蒸镀同一膜层，即可通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的叠加形成所需要蒸镀的同一膜层。由于第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向与第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向不同，从而通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的叠加，可消除在待蒸镀基板30上所需蒸镀的膜层的膜厚偏差，从而通过第一蒸发源10和第二蒸发源20蒸镀完成后可得到膜厚均一性较高的薄膜。
图3是本发明提供的一种第一蒸发源的结构示意图，参考图2和图3，在一些可选实施例中，第一蒸发源10包括第一坩埚11和与第一坩埚11相连接的第一蒸镀喷嘴12，第一蒸镀喷嘴12位于第一坩埚11靠近待蒸镀基板30的一侧，第一蒸镀喷嘴12与第一坩埚11之间的夹角大于45°，第一蒸镀喷嘴12的开口121的直径为5-16mm。
第一蒸发源10中，第一坩埚11内容纳有用于在待蒸镀基板30上形成膜层的待蒸镀材料。第一坩埚11在加热装置(图中未示出)的加热作用下，第一坩埚11主体内的待蒸镀材料受热熔融，当温度达到发光材料的气化温度时，待蒸镀材料被蒸发，经由第一坩埚11上的第一蒸镀喷嘴12的开口121喷射而出，第一蒸镀喷嘴12位于第一坩埚11靠近待蒸镀基板30的一侧，从而蒸汽状态的待蒸镀材料喷射至待蒸镀基板30上，进而在待蒸镀基板30上形成薄膜。
可选的，可通过调节第一蒸发源10中第一蒸镀喷嘴12的数量、第一蒸镀喷嘴12与第一坩埚11之间的夹角、以及第一蒸镀喷嘴12的开口121的直径来调节第一蒸发源10在待蒸镀基板30上形成膜层的厚度分布形状，使得第一蒸发源10在待蒸镀基板30上形成膜层的厚度更均匀。
需要说明的是，本实施例示例性的示出了第一蒸镀喷嘴12与第一坩埚11之间的夹角大于45°，第一蒸镀喷嘴12的开口121的直径为5-16mm，在本发明其他实施例中，第一蒸镀喷嘴12与第一坩埚11之间的夹角和第一蒸镀喷嘴12的开口121直径也可根据实际生产需要设置成其他数值，本发明在此不再进行赘述。
需要说明的是，图3中示例性的示出了第一坩埚11的一侧设置有三个第一蒸镀喷嘴12，在本发明其他实施例中，第一蒸发源10中还可以设置其他数值的第一蒸镀喷嘴12，且第一蒸发源10中各个第一蒸镀喷嘴12与第一坩埚11之间的夹角可以设置成相同或不同，第一蒸发源10中各个第一蒸镀喷嘴12的开口121直径也可以设置成相同或不同，可根据实际生产需要进行设置，本发明在此不再进行赘述。
图4是本发明提供的一种第二蒸发源的结构示意图，参考图2和图4，第二蒸发源20包括第二坩埚21和与第二坩埚21相连接的第二蒸镀喷嘴22，第二蒸镀喷嘴22位于第二坩埚21靠近待蒸镀基板30的一侧，第二蒸镀喷嘴22与第二坩埚21之间的夹角大于45°，第二蒸镀喷嘴22的开口的直径为5-16mm。
第二蒸发源20中，第二坩埚21内容纳有用于在待蒸镀基板30上形成膜层的待蒸镀材料。第二坩埚21在加热装置(图中未示出)的加热作用下，第二坩埚21主体内的待蒸镀材料受热熔融，当温度达到发光材料的气化温度时，待蒸镀材料被蒸发，经由第二坩埚21上的第二蒸镀喷嘴22的开口221喷射而出，第二蒸镀喷嘴22位于第二坩埚21靠近待蒸镀基板30的一侧，从而蒸汽状态的待蒸镀材料喷射至待蒸镀基板30上，进而在待蒸镀基板30上形成薄膜。
可选的，可通过调节第二蒸发源20中第二蒸镀喷嘴22的数量、第二蒸镀喷嘴22与第二坩埚21之间的夹角、以及第二蒸镀喷嘴22的开口221的直径来调节第二蒸发源20在待蒸镀基板30上形成膜层的厚度分布形状，使得第二蒸发源20在待蒸镀基板30上形成膜层的厚度更均匀。
需要说明的是，本实施例示例性的示出了第二蒸镀喷嘴22与第二坩埚21之间的夹角大于45°，第二蒸镀喷嘴22的开口121的直径为5-16mm，在本发明其他实施例中，第二蒸镀喷嘴22与第二坩埚21之间的夹角和第二蒸镀喷嘴22的开口221直径也可根据实际生产需要设置成其他数值，本发明在此不再进行赘述。
需要说明的是，图4中示例性的示出了第二坩埚21的一侧设置有四个第二蒸镀喷嘴22，在本发明其他实施例中，第二蒸发源20中还可以设置其他数值的第二蒸镀喷嘴22，且第二蒸发源20中各个第二蒸镀喷嘴22与第二坩埚21之间的夹角可以设置成相同或不同，第二蒸发源20中各个第二蒸镀喷嘴22的开口221直径也可以设置成相同或不同，可根据实际生产需要进行设置，本发明在此不再进行赘述。
需要说明的是，第一蒸发源10中第一蒸镀喷嘴12的设置结构可以与第二蒸发源20中第二蒸镀喷嘴22的设置结构相同，第一蒸发源10中第一蒸镀喷嘴12的设置结构也可以与第二蒸发源20中第二蒸镀喷嘴22的设置结构不同，可根据使得通过第一蒸发源10和第二蒸发源20蒸镀完成后得到膜厚均一性更高的薄膜的生产需求进行调节，本发明在此不再进行赘述。
继续参考图2，在一些可选实施例中，蒸镀装置还包括第一腔体40，第一蒸发源10和第二蒸发源20均位于第一腔体40内，且第一蒸发源10的待蒸镀区和第二蒸发源20的待蒸镀区至少部分重叠。
具体的，第一蒸发源10和第二蒸发源20均位于第一腔体40内，第一蒸发源10的待蒸镀区和第二蒸发源20的待蒸镀区至少部分重叠，且第一蒸发源10的待蒸镀区和第二蒸发源20的待蒸镀区相重叠区域与待蒸镀基板30向重合，即在第一腔体40内，可实现第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层，同时，可实现第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层，从而在第一腔体40内即可实现通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的叠加形成所需要蒸镀的同一膜层。
图5是图2所述蒸镀装置的一种结构示意图，参考图2和图5，在一些可选实施例中，第一蒸发源10位于第二蒸发源20远离待蒸镀基板30的一侧。
具体的，第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层，第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层，第一蒸发源10位于第二蒸发源20远离待蒸镀基板30的一侧，从而第一蒸发源10的移动与第二蒸发源20的移动互不影响，从而实现第一蒸发源10和第二蒸发源20在待蒸镀基板30上完成蒸镀。
图6是本发明提供的另一种蒸镀装置的平面示意图，图7是图6所述蒸镀装置的一种结构示意图，参考图6和图7，在一些可选实施例中，第二蒸发源20位于第一蒸发源10远离待蒸镀基板30的一侧。
具体的，第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层，第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层，第二蒸发源20位于第一蒸发源10远离待蒸镀基板30的一侧，从而第一蒸发源10的移动与第二蒸发源20的移动互不影响，从而实现第一蒸发源10和第二蒸发源20在待蒸镀基板30上完成蒸镀。
可选的，图8是图2所述蒸镀装置的另一种结构示意图，参考图2和图8，蒸镀装置还包括挡板51，当第一蒸发源10位于第二蒸发源20远离待蒸镀基板30的一侧时，挡板51位于第二蒸发源20和待蒸镀基板30之间，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，挡板51的开口511与待蒸镀基板30不交叠，第二蒸发源20可透过开口511对待蒸镀基板30进行蒸镀。蒸镀装置还包括挡板52，挡板52位于第一蒸发源10和第二蒸发源20之间，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，挡板52的开口521与待蒸镀基板30不交叠，第一蒸发源10可透过开口521和开口511对待蒸镀基板30进行蒸镀。挡板51和挡板52的设置可用于控制第一蒸发源10和第二蒸发源20的蒸镀范围，在实现对待蒸镀基板30进行蒸镀的同时，避免第一蒸发源10和第二蒸发源20中蒸镀材料对蒸镀装置中其他部件造成影响。
继续参考图2和图5，在一些可选实施例中，沿垂直于待蒸镀基板30所在平面的方向上，第一蒸发源10和第二蒸发源20之间的间距为10-25cm。
具体的，第一蒸发源10和第二蒸发源20之间的间距大于或等于10cm，有效避免第一蒸发源10和第二蒸发源20之间相互影响。第一蒸发源10和第二蒸发源20之间的间距小于或等于25cm，有利于减小第一腔体40的体积，从而有利于减小制作成本。
图9是本发明提供的蒸镀装置中第一蒸发源和第一轨道的一种连接结构，图10是本发明提供的蒸镀装置中第二蒸发源和第二轨道的一种连接结构，参考图2、图9和图10，在一些可选实施例中，蒸镀装置还包括第一轨道61和第二轨道62，第一轨道61沿第二方向Y位于待蒸镀基板30的至少一侧，第一轨道61沿第一方向X延伸，第二轨道62沿第一方向X位于待蒸镀基板30的至少一侧，第二轨道62沿第二方向Y延伸；
第一蒸发源10远离待蒸镀基板30的一侧设有第一滑轮13，第一滑轮13与第一轨道滑动61连接；
第二蒸发源20远离待蒸镀基板30的一侧设有第二滑轮23，第二滑轮23与第二轨道滑动62连接。
具体的，本实施例提供的蒸镀装置还包括第一轨道61，第一轨道61沿第二方向Y位于待蒸镀基板30的至少一侧，第一轨道61沿第一方向X延伸，第一蒸发源10远离待蒸镀基板30的一侧设有第一滑轮13，第一滑轮13与第一轨道滑动61连接，从而第一滑轮13可在第一轨道61上滑动，从而实现第一蒸发源10沿第一方向X移动。
同理，本实施例提供的蒸镀装置还包括第二轨道62，第二轨道62沿第一方向X位于待蒸镀基板30的至少一侧，第二轨道62沿第二方向Y延伸，第二蒸发源20远离待蒸镀基板30的一侧设有第二滑轮23，第二滑轮23与第二轨道滑动62连接，从而第二滑轮23可在第二轨道62上滑动，从而实现第二蒸发源20沿第二方向X移动。
继续参考图2，本实施例提供一种蒸镀方法，采用本发明实施例提供的蒸镀装置进行蒸镀。
蒸镀方法包括：将第一蒸发源10沿第一方向X从待蒸镀基板30的第一端31移动到待蒸镀基板30的第二端32，第一端31与第二端32相对；
在第一蒸发源10蒸镀完后，将第二蒸发源20沿第二方向Y从待蒸镀基板30的第三端33移动到待蒸镀基板30的第四端34，第三端33与第四端34相对；
或，
将第二蒸发源20沿第二方向Y从待蒸镀基板30的第三端33移动到待蒸镀基板30的第四端34，第三端33与第四端34相对；
在第二蒸发源20蒸镀完后，将第一蒸发源10沿第一方向X从待蒸镀基板30的第一端31移动到待蒸镀基板30的第二端32，第一端31与第二端32相对。
本发明实施例提供的蒸镀装置包括第一蒸发源10和第二蒸发源20，第一蒸发源10沿第一方向X从待蒸镀基板30的第一端31移动到待蒸镀基板30的第二端32，第一端31和第二端32沿第一方向X相对设置，即第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层。第二蒸发源20沿第二方向Y从待蒸镀基板30的第三端33移动到待蒸镀基板30的第四端34，第三端33与第四端34沿第二方向Y相对设置，即第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层。在蒸镀过程中，可先通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层，再通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层。也可先通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层，再通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀膜层。
第一方向X和第二方向Y相交，即第一蒸发源10在待蒸镀基板30上蒸镀膜层时的运动方向与第二蒸发源20在待蒸镀基板30上蒸镀膜层时的运动方向相交，从而第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向与第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向不同，从而通过第一蒸发源10沿第一方向X移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源20沿第二方向Y移动在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的叠加，可消除在待蒸镀基板30上蒸镀的膜层的膜厚偏差，从而通过第一蒸发源10和第二蒸发源20蒸镀完成后可得到膜厚均一性较高的薄膜。
在一些可选实施例中，请参考图11，图11是本发明提供的一种有机发光显示面板的平面示意图，本实施例提供的有机发光显示面板1000，采用本发明实施例提供的蒸镀方法形成。图11实施例仅以手机为例，对有机发光显示面板1000进行说明，可以理解的是，本发明实施例提供的有机发光显示面板1000还可以是电脑、电视、车载显示装置等其他具有显示功能的有机发光显示面板1000，本发明对此不作具体限制。本发明实施例提供的有机发光显示面板1000，具有本发明实施例中所描述的有益效果，本实施例在此不再赘述。
通过上述实施例可知，本发明提供的蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，至少实现了如下的有益效果：
本发明提供的蒸镀装置包括第一蒸发源和第二蒸发源，第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到待蒸镀基板的第二端，第一端和第二端沿第一方向相对设置，即第一蒸发源沿第一方向移动在待蒸镀基板上蒸镀膜层。第二蒸发源沿第二方向从待蒸镀基板的第三端移动到待蒸镀基板的第四端，第三端与第四端沿第二方向相对设置，即第二蒸发源沿第二方向移动在待蒸镀基板上蒸镀膜层。第一方向和第二方向相交，即第一蒸发源在待蒸镀基板上蒸镀膜层时的运动方向与第二蒸发源在待蒸镀基板上蒸镀膜层时的运动方向相交，从而第一蒸发源沿第一方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向与第二蒸发源沿第二方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层中较薄部分和较厚部分的排布方向不同，从而通过第一蒸发源沿第一方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层与通过第二蒸发源沿第二方向移动在待蒸镀基板上蒸镀的膜层的叠加，可消除在待蒸镀基板上蒸镀的膜层的膜厚偏差，从而通过第一蒸发源和第二蒸发源蒸镀完成后可得到膜厚均一性较高的薄膜。
虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
第一蒸发源，所述第一蒸发源沿第一方向从待蒸镀基板的第一端移动到所述待蒸镀基板的第二端，所述第一端与所述第二端相对；
第二蒸发源，所述第二蒸发源沿第二方向从所述待蒸镀基板的第三端移动到所述待蒸镀基板的第四端，所述第三端与所述第四端相对；
其中，所述第一方向与所述待蒸镀基板所在平面相平行，所述第二方向与所述待蒸镀基板所在平面相平行，且所述第一方向和所述第二方向相交。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述第一方向和所述第二方向相垂直。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述第一蒸发源和所述第二蒸发源均为线状蒸发源，且所述第一蒸发源和所述第二蒸发源所蒸镀的材料相同。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述第一蒸发源包括第一坩埚和与所述第一坩埚相连接的第一蒸镀喷嘴，所述第一蒸镀喷嘴位于所述第一坩埚靠近所述待蒸镀基板的一侧，所述第一蒸镀喷嘴与所述第一坩埚之间的夹角大于45°，所述第一蒸镀喷嘴的开口的直径为5-16mm；
所述第二蒸发源包括第二坩埚和与所述第二坩埚相连接的第二蒸镀喷嘴，所述第二蒸镀喷嘴位于所述第二坩埚靠近所述待蒸镀基板的一侧，所述第二蒸镀喷嘴与所述第二坩埚之间的夹角大于45°，所述第二蒸镀喷嘴的开口的直径为5-16mm。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述蒸镀装置还包括第一腔体，所述第一蒸发源和所述第二蒸发源均位于所述第一腔体内，且所述第一蒸发源的待蒸镀区和所述第二蒸发源的待蒸镀区至少部分重叠。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述第一蒸发源位于所述第二蒸发源远离所述待蒸镀基板的一侧，或，所述第二蒸发源位于所述第一蒸发源远离所述待蒸镀基板的一侧。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，
沿垂直于所述待蒸镀基板所在平面的方向上，所述第一蒸发源和所述第二蒸发源之间的间距为10-25cm。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述蒸镀装置还包括第一轨道和第二轨道，所述第一轨道沿所述第二方向位于所述待蒸镀基板的至少一侧，所述第一轨道沿所述第一方向延伸，所述第二轨道沿所述第一方向位于所述待蒸镀基板的至少一侧，所述第二轨道沿所述第二方向延伸；
所述第一蒸发源远离所述待蒸镀基板的一侧设有第一滑轮，所述第一滑轮与所述第一轨道滑动连接；
所述第二蒸发源远离所述待蒸镀基板的一侧设有第二滑轮，所述第二滑轮与所述第二轨道滑动连接。
9.一种蒸镀方法，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的蒸镀装置进行蒸镀；
所述蒸镀方法包括：
将所述第一蒸发源沿所述第一方向从所述待蒸镀基板的第一端移动到所述待蒸镀基板的第二端，所述第一端与所述第二端相对；
在所述第一蒸发源蒸镀完后，将所述第二蒸发源沿所述第二方向从所述待蒸镀基板的第三端移动到所述待蒸镀基板的第四端，所述第三端与所述第四端相对；
或，
将所述第二蒸发源沿所述第二方向从所述待蒸镀基板的第三端移动到所述待蒸镀基板的第四端，所述第三端与所述第四端相对；
在所述第二蒸发源蒸镀完后，将所述第一蒸发源沿所述第一方向从所述待蒸镀基板的第一端移动到所述待蒸镀基板的第二端，所述第一端与所述第二端相对。
10.一种有机发光显示面板，其特征在于，采用权利要求9所述的蒸镀方法形成。
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